JP2007283651A - 硬脆性ディスクの加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平滑な載置面(11a)を有する取付け治具(10)に多数の硬脆性の板材(15)を積み重ねるとともに、前記取付け治具(10)と各板材(15)とを固着剤(16)を介して一体的に固着し、小径の内径円筒刃(4)と大径の外径円筒刃(5)とを同軸に有するコアリングカッター(2)を設け、該コアリングカッター(2)を超音波スピンドル(1)により回転かつ超音波振動させつつ、前記内径円筒刃(4)及び外径円筒刃(5)を前記板材(15)の上段から下段に向けて貫通させる。また、前記内径円筒刃(4)及び外径円筒刃(5)の先端部は、それぞれの外周を下方に向かって縮小するテーパー面(4c,5c)とする。
【選択図】図1
Description
請求項2に係る発明は、前記内径円筒刃及び外径円筒刃の先端部を、それぞれの外周を下方に向かって縮小するテーパー面としたものである。
請求項2に係る発明は、前記内径円筒刃及び外径円筒刃の下端の肉厚が薄く、従って板材との接触面積が小さくなり、食込み時における板材への衝撃が小さくなり、加工が安定することになる。
2 コアリングカッター
3 シャンク
4 内径円筒刃
4a 中ホルダー
4b 内径刃体
4c テーパー面
5 外径円筒刃
5a 外ホルダー
5b 外径刃体
5c テーパー面
6 注水孔
7 ノズル
10 取付け治具
11 底板
11a 載置面
12 側板
13 収容室
14 逃げ凹部
14a 小径の孔
14b リング状の凹溝
15 板材
15a 最下段の板材
15c 最上段の板材
15b 中間部の板材
16 固着材
17 ディスク(加工品)
17a 中心孔
Claims (2)
- 平滑な載置面(11a)を有する取付け治具(10)に多数の硬脆性の板材(15)を積み重ねるとともに、前記取付け治具(10)と各板材(15)とを固着剤(16)を介して一体的に固着し、小径の内径円筒刃(4)と大径の外径円筒刃(5)とを同軸に有するコアリングカッター(2)を設け、該コアリングカッター(2)を超音波スピンドル(1)により回転かつ超音波振動させつつ、前記内径円筒刃(4)及び外径円筒刃(5)を前記板材(15)の上段から下段に向けて貫通させることを特徴とする硬脆性ディスクの加工方法。
- 内径円筒刃(4)及び外径円筒刃(5)の先端部は、それぞれの外周を下方に向かって縮小するテーパー面(4c,5c)としたことを特徴とする請求項1記載の硬脆性ディスクの加工方法。
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JP2003094301A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-04-03 | Tamagawa Seiki Co Ltd | コアリング用砥石の刃構造 |
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---|---|---|---|---|
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