JP2007277636A - レーザ焼入れ方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】レーザ焼入れにおいて、隣接する焼入れ済みの層に焼なましが発生することを防止する焼入れ方法を提供する。
【解決手段】本発明のレーザ焼入れ方法にあっては、焼入れノズル190が重ね焼入れするピッチP1の中間の溝にC1,C2,C3を予め加工しておくものである。中心線L3に沿って、ノズル190を走行させて焼入れ層H23を加工した後に、ノズル190を1ピッチP1だけ平行移動して、焼入れ層H24を加工する状態を示す。レーザビームLBの熱エネルギーE1は、焼入れ層H23側にも放射されるが、溝C3により遮断され、焼入れ層H23を焼なますことは防止される。
【選択図】図4
【解決手段】本発明のレーザ焼入れ方法にあっては、焼入れノズル190が重ね焼入れするピッチP1の中間の溝にC1,C2,C3を予め加工しておくものである。中心線L3に沿って、ノズル190を走行させて焼入れ層H23を加工した後に、ノズル190を1ピッチP1だけ平行移動して、焼入れ層H24を加工する状態を示す。レーザビームLBの熱エネルギーE1は、焼入れ層H23側にも放射されるが、溝C3により遮断され、焼入れ層H23を焼なますことは防止される。
【選択図】図4
Description
本発明は半導体レーザを利用した焼入れ方法に関する。
例えば、特許文献1は、本出願人が提案したレーザ焼入れ装置を開示している。また、特許文献2は、工作機械の主軸に着脱自在に装備されるレーザ焼入工具を開示している。
これらのレーザ焼入工具にあっては、レーザ発光源である半導体レーザバーや半導体レーザスタックからのレーザ光は、光ファイバーや導波路により工具先端のトーチまで伝送される。
特開2003−138314号公報
特開2005−238253号公報
これらのレーザ焼入工具にあっては、レーザ発光源である半導体レーザバーや半導体レーザスタックからのレーザ光は、光ファイバーや導波路により工具先端のトーチまで伝送される。
図1は、本発明のレーザ焼入れ方法に使用されるレーザ焼入工具の斜視図、図2はレーザ焼入工具の全体構成を示す断面側面図、図3は図2の上面図である。
全体を符号100で示すレーザ焼入工具は、ベース110上に載置される半導体レーザスタック120を備える。半導体レーザスタック120は電源接続端子122を有し、図示しない電源に接続される。
全体を符号100で示すレーザ焼入工具は、ベース110上に載置される半導体レーザスタック120を備える。半導体レーザスタック120は電源接続端子122を有し、図示しない電源に接続される。
半導体レーザスタック120の出力は光通路132を有するホルダー130内に投入される。ホルダー130の光通路132内には集光光学系(レンズ)134が装備され、半導体レーザスタック120の出力光の束を集光する。
集光されたレーザビームはホルダー140内の発散光学系レンズ142へ入力され、ビームの軸線が平行になるように発散される。発散したレーザ光は角形光導波路150の一端部にとりつけた第1の折返しミラー160へ送られる。折り返しミラー160で角形光導波路150の軸線方向に折返されたレーザ光は角形光導波路150の内面の反射面152に反射されつつ進行し、ホルダー172内の再集光光学系レンズ170に入射される。
集光されたレーザビームはホルダー140内の発散光学系レンズ142へ入力され、ビームの軸線が平行になるように発散される。発散したレーザ光は角形光導波路150の一端部にとりつけた第1の折返しミラー160へ送られる。折り返しミラー160で角形光導波路150の軸線方向に折返されたレーザ光は角形光導波路150の内面の反射面152に反射されつつ進行し、ホルダー172内の再集光光学系レンズ170に入射される。
この角形光導波路150を通過する間に、従来の断面丸形の光導波路に比べて反射回数は低減され、減衰も少なくて済む。
再集光光学系レンズ170で再集光されたレーザビームは第2の折返しミラー180で軸線を90度変更され、光導波路ノズル190から出射され、図示しないワークの表面に焼入処理を施す。
再集光光学系レンズ170で再集光されたレーザビームは第2の折返しミラー180で軸線を90度変更され、光導波路ノズル190から出射され、図示しないワークの表面に焼入処理を施す。
図6は、上述したレーザ焼入工具100を利用したレーザ焼入れプロセスを示す説明図である。
ワークW上をレーザ焼入工具100のノズル190は、レーザビームLBを照射しつつ矢印F1方向に進行し、ワークWの表面上に中心線L1に沿った焼入れ部Y1が形成される。現在ノズル190からのレーザビームLBの照射を受けている部分にはレーザ加熱部H0が形成される。
レーザ加熱部H0の直後のエリアR1は、レーザによる熱がワークWの母材内に拡散され、急速に冷却される。
ワークW上をレーザ焼入工具100のノズル190は、レーザビームLBを照射しつつ矢印F1方向に進行し、ワークWの表面上に中心線L1に沿った焼入れ部Y1が形成される。現在ノズル190からのレーザビームLBの照射を受けている部分にはレーザ加熱部H0が形成される。
レーザ加熱部H0の直後のエリアR1は、レーザによる熱がワークWの母材内に拡散され、急速に冷却される。
図7は、レーザ焼入れの原理を示す説明図である。
図の(a)は、ノズル190からのレーザビームLBの照射を受けている状態を示し、高温のレーザ加熱部H0が形成される。
図の(b)は、ノズルが通過した後の冷却部の加熱部H1の状態を示す。レーザで受けた熱E1はワークWの母材内に拡散され、急冷される。この作用によって、図の(c)に示す焼入れ部H2が形成される。
図の(a)は、ノズル190からのレーザビームLBの照射を受けている状態を示し、高温のレーザ加熱部H0が形成される。
図の(b)は、ノズルが通過した後の冷却部の加熱部H1の状態を示す。レーザで受けた熱E1はワークWの母材内に拡散され、急冷される。この作用によって、図の(c)に示す焼入れ部H2が形成される。
図8は中心線L1に沿ってノズル190を通過させた状態を示し、幅寸法D1だけレーザ加熱部H0と焼入れ部が形成された状態を示す。
1回のパスによってレーザ焼入れされる幅寸法D1は比較的狭いので、幅寸法の大きな焼入れ部を形成するためには、後数回のパスを行ってレーザ焼入れを行う必要がある。
1回のパスによってレーザ焼入れされる幅寸法D1は比較的狭いので、幅寸法の大きな焼入れ部を形成するためには、後数回のパスを行ってレーザ焼入れを行う必要がある。
図9は幅寸法D10の大きな領域にレーザ焼入れを行う状態を示す。
中心線L1,L2,L3に対応する位置にノズル190をピッチP1だけ移動させて焼入れ層H11,H12,H13,H14を形成する。
中心線L1,L2,L3に対応する位置にノズル190をピッチP1だけ移動させて焼入れ層H11,H12,H13,H14を形成する。
図10は、焼入れ層H13の処理が完了し、隣接する層H14の焼入れを行っている状態を示す。層H14を焼入れする際に、レーザビームLBにより加熱される層H14のエネルギーE1は、焼入れにより硬化された層H13側へ伝導される。この熱により、硬化された焼入れ層H13は、再加熱される。
この再加熱により既に焼入れにより硬化した焼入れ層H13の層H14に隣接する部分が焼なまし状態となり軟化層S13が形成されてしまう。
すなわち、焼入れ幅D10を得るために、複数のパスを通す、いわゆる重ね焼きを行うと、焼入れ層の間に軟化層が形成されてしまう。
この現象により、焼入れ層の表面は硬度の高い表面HSと硬度が低い表面SSが帯状に隣接する構造になってしまう。
この再加熱により既に焼入れにより硬化した焼入れ層H13の層H14に隣接する部分が焼なまし状態となり軟化層S13が形成されてしまう。
すなわち、焼入れ幅D10を得るために、複数のパスを通す、いわゆる重ね焼きを行うと、焼入れ層の間に軟化層が形成されてしまう。
この現象により、焼入れ層の表面は硬度の高い表面HSと硬度が低い表面SSが帯状に隣接する構造になってしまう。
このように焼入れ面の硬度ムラが発生した場合、後工程の研磨や切削加工において加工中の切り込み量が硬度差により微妙にことなり、加工精度にムラが出る問題が発生する。
本発明の目的は、上述した不具合を解消するレーザ焼入れ方法を提供するものである。
本発明の目的は、上述した不具合を解消するレーザ焼入れ方法を提供するものである。
上記目的を達成するために、本発明のレーザ焼入れ方法は、焼入れノズルが通過するワーク表面の複数のパスの間に予め溝を形成する工程を備えるものである。
本発明によれば、レーザビームのスポットをワーク表面の狭い範囲を照射しつつ複数のパスを通過させて幅寸法の大きな部分を焼入れする際に、既に硬化された部分に焼なましを発生させることが防止される。
したがって、均一な硬度をもつ焼入れ層を形成することができる。
したがって、均一な硬度をもつ焼入れ層を形成することができる。
図4は、本発明のレーザ焼入れ方法の概要を示す説明図である。
本発明のレーザ焼入れ方法にあっては、焼入れノズル190が重ね焼入れするピッチP1の中間に溝C1,C2,C3を予め加工しておくものである。
ここで、ピッチP1は、レーザ出力・レーザ出力モード、ノズル形状、レーザ発振器ユニット内のレンズ形状等の要因により決定される対象物へのレーザ照射の熱エネルギー分布の範囲に基いて設定される。また、溝C1,C2,C3の幅寸法B1もレーザ出力・レーザ出力モード、ノズル形状、レーザ発振器ユニット内のレンズ形状等の要因により決定される対象物へのレーザ照射の熱エネルギー分布の範囲に基いて設定されるものである。
本発明のレーザ焼入れ方法にあっては、焼入れノズル190が重ね焼入れするピッチP1の中間に溝C1,C2,C3を予め加工しておくものである。
ここで、ピッチP1は、レーザ出力・レーザ出力モード、ノズル形状、レーザ発振器ユニット内のレンズ形状等の要因により決定される対象物へのレーザ照射の熱エネルギー分布の範囲に基いて設定される。また、溝C1,C2,C3の幅寸法B1もレーザ出力・レーザ出力モード、ノズル形状、レーザ発振器ユニット内のレンズ形状等の要因により決定される対象物へのレーザ照射の熱エネルギー分布の範囲に基いて設定されるものである。
図4は、中心線L3に沿って、ノズル190を走行させて焼入れ層H23を加工した後に、ノズル190を1ピッチP1だけ平行移動して、焼入れ層H24を加工する状態を示す。
レーザビームLBの熱エネルギーE1は、焼入れ層H23側にも放射されるが、溝C3により遮断され、焼入れ層H23を焼なますことは防止される。
レーザビームLBの熱エネルギーE1は、焼入れ層H23側にも放射されるが、溝C3により遮断され、焼入れ層H23を焼なますことは防止される。
図5は、本発明のレーザ焼入れ方法により焼入れ処理したワークWの断面構造を示す。
各焼入れ層H21,H22,H23,H24の間は、溝C1,C2,C3で仕切られているので、焼入れ処理された表面は、均一な硬化層HSで覆われる。
そこで、後工程の研削や切削加工が均一な硬度で行われるので、加工精度の向上を図ることができる。
各焼入れ層H21,H22,H23,H24の間は、溝C1,C2,C3で仕切られているので、焼入れ処理された表面は、均一な硬化層HSで覆われる。
そこで、後工程の研削や切削加工が均一な硬度で行われるので、加工精度の向上を図ることができる。
100 レーザ焼入工具
110 ベース
120 半導体レーザスタック
130 集光光学系レンズホルダー
134 集光光学系レンズ
140 発散光学系レンズホルダー
142 発散光学系レンズ
150 角形光導波路
160 第1の折返しミラー
170 再集光光学系レンズ
180 第2の折返しミラー
190 光導波路ノズル
110 ベース
120 半導体レーザスタック
130 集光光学系レンズホルダー
134 集光光学系レンズ
140 発散光学系レンズホルダー
142 発散光学系レンズ
150 角形光導波路
160 第1の折返しミラー
170 再集光光学系レンズ
180 第2の折返しミラー
190 光導波路ノズル
Claims (2)
- 半導体レーザスタックから出射されるレーザビームを集光してスポットを形成し、焼入れノズルから出射してワーク表面に焼入れを行う方法であって、
焼入れノズルが通過するワーク表面の複数のパスの間に予め溝を形成する工程を備えるレーザ焼入れ方法。 - 溝は隣接するパスの中央部に形成される請求項1記載のレーザ焼入れ方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006105455A JP2007277636A (ja) | 2006-04-06 | 2006-04-06 | レーザ焼入れ方法 |
CNB2007100855033A CN100540690C (zh) | 2006-04-06 | 2007-03-07 | 激光淬火方法 |
US11/685,258 US20070235431A1 (en) | 2006-04-06 | 2007-03-13 | Laser hardening method |
EP07405083A EP1842928A1 (en) | 2006-04-06 | 2007-03-13 | Laser hardening method |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007277636A true JP2007277636A (ja) | 2007-10-25 |
Family
ID=38068501
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006105455A Pending JP2007277636A (ja) | 2006-04-06 | 2006-04-06 | レーザ焼入れ方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070235431A1 (ja) |
EP (1) | EP1842928A1 (ja) |
JP (1) | JP2007277636A (ja) |
CN (1) | CN100540690C (ja) |
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- 2006-04-06 JP JP2006105455A patent/JP2007277636A/ja active Pending
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2007
- 2007-03-07 CN CNB2007100855033A patent/CN100540690C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2007-03-13 US US11/685,258 patent/US20070235431A1/en not_active Abandoned
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CN101050482A (zh) | 2007-10-10 |
CN100540690C (zh) | 2009-09-16 |
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