JP2007276113A - ウェハ位置ずれ検出装置およびウェハ位置ずれ検出方法 - Google Patents
ウェハ位置ずれ検出装置およびウェハ位置ずれ検出方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 このウェハ位置ずれ検出装置は、伸びと縮みを行うアーム機構部、アーム機構部の先部の把持プレート37、アーム機構部を回転させる回転機構部、回転機構部等を支持するベース、ベースの上に位置不変の第1および第2の光センサ13,14を備えたロボットアーム12を有する。ウェハ17が第1の位置にあるときにおける、第1の光センサによる検出結果と第2の光センサによる検出結果との第1の組合せ結果と、ウェハが第2の位置にあるときにおける、第1の光センサによる検出結果と第2の光センサによる検出結果との第2の組合せ結果とに基づいてウェハの位置ずれの有無を判定する。
【選択図】図3
Description
図1は、本発明に係るウェハ位置ずれ検出装置が設けられたウェハ処理装置の内部構成を示す平面図であり、図2は図1の要部の縦断面図である。図2ではウェハ位置ずれ検出装置の図示は省略されている。図1と図2によれば、マルチチャンバ形式によるウェハ処理装置10においてウェハ搬送のためのセパレーションチャンバ(ウェハ搬送チャンバ)11が示されている。セパレーションチャンバ11の内部にはウェハ搬送装置が設けられ、ウェハ搬送装置はロボットアーム12によって構成されている。図1と図2によればロボットアーム12の平面図と側面図が示される。このロボットアーム12に対して本発明に係るウェハ位置ずれ検出装置が付設される。ロボットアーム12自体の構成は、従来技術の箇所で説明されたロボットアーム101と基本的には同じである。このロボットアーム12に付設されるウェハ位置ずれ検出装置の構成に本発明の特徴があり、このウェハ位置ずれ検出装置は所定位置関係にて配置された2つの光センサ13,14(図1に示す)によって特徴付けられる。光センサ13,14は例えば透過型の光センサであり、投光部と受光部を備えている。
11 セパレーションチャンバ
12 ロボットアーム
13,14 光センサ
17 ウェハ
Claims (4)
- 伸びと縮みの動作を行うアーム機構部と、
前記アーム機構部の先部に取り付けられ、かつウェハを載置する把持プレートと、
前記アーム機構部を回転させる回転機構部と、
前記回転機構部および前記アーム機構部を支持するベースと、
前記ベースの上に位置不変の第1および第2の光センサと、
を備えたロボットアームを有し、
前記ウェハが第1の位置にあるときにおける、前記第1の光センサによる検出結果と前記第2の光センサによる検出結果との第1の組合せ結果と、
前記ウェハが第2の位置にあるときにおける、前記第1の光センサによる検出結果と前記第2の光センサによる検出結果との第2の組合せ結果と、
に基づいて前記ウェハの位置ずれの有無を判定することを特徴とするウェハ位置ずれ検出装置。 - 前記第1と第2の光センサは、前記アーム機構部が最縮状態にあるとき前記第1の光センサが前記ウェハで遮光状態となりかつ前記第2の光センサが受光状態となり、前記ウェハが前記第2の位置にあって前記アーム機構部が前記最縮状態以外の特定状態にあるとき前記第1の光センサが受光状態になりかつ前記第2の光センサが遮光状態になるように、配置されており、
前記特定状態における第1回目のウェハ検出で前記第1の光センサが受光状態かつ前記第2の光センサが遮光状態となり、前記最縮状態における第2回目のウェハ検出で前記第1の光センサが遮光状態かつ前記第2の光センサが受光状態となるときに前記ウェハは正常位置にあると判定され、それ以外の場合には位置ずれが生じたと判定されることを特徴とする請求項1記載のウェハ位置ずれ検出装置。 - 前記の第1と第2の光センサは共に開口部を持つコ字型形態を有し、前記第1の光センサは前記ロボットアームの伸縮方向に向かって前記開口部を向けて配置され、前記第2の光センサは前記伸縮方向に直交する方向に向かって前記開口部を向けて配置されることを特徴とする請求項2記載のウェハ位置ずれ検出装置。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載されたウェハ位置ずれ検出装置で実施されるウェハ位置ずれ検出方法であって、
前記アーム機構部が最縮状態にあるとき前記第1の光センサが前記ウェハで遮光状態となりかつ前記第2の光センサが受光状態となり、
前記アーム機構部が前記最縮状態以外の特定状態にあるとき前記第1の光センサが受光状態となりかつ前記第2の光センサが遮光状態となることを条件にして、前記ウェハは正常位置であると判定し、
前記条件が満たされないときには前記ウェハは位置ずれが生じたと判定する、
ことを特徴とするウェハ位置ずれ検出方法。
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