JP2007273844A - 半導体素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】GaN基板上に形成された半導体レーザ素子においてGaN基板の窒素面を研磨して薄片化する。その後、N面にn電極形成の前処理、たとえば、ICP装置によるプラズマ処理を加える。このとき、前処理条件を適切に設定することで、面の表面粗さのRMSを、60nm以下とする。
【選択図】図1
Description
以下に、第1の実施形態にかかる半導体素子およびその製造方法について、GaN系材料を用いる青紫色レーザを例として説明する。
以下に、第2の実施形態にかかる半導体素子およびその製造方法について、GaN系材料を用いる青紫色レーザを例として説明する。
上述の2つの実施形態では、六方晶GaN系半導体の一例としてGaNを基板に用いる場合について説明した。しかしながら、本発明は、他のGaN系半導体、例えば、窒化アルミニウム(AlN)、窒化インジウム(InN)、窒化ボロン(BN)やそれらの混晶にも適用することができる。
2 n−AlGaNクラッド層
3 InGaN量子井戸活性層
4 p−AlGaNオーバーフロー抑制層
5 p−AlGaN超格子クラッド層
6 p−GaNコンタクト層
7 SiO2絶縁膜
8 Pd/Pt−p電極
9 Ti/Pt/Au配線電極
10 Auパッド電極
11 SiO2膜
12 Ti/Pt/Au裏面n電極
13 PbSn半田
14 サブマウント
Claims (9)
- 六方晶窒化ガリウム系結晶からなり、窒素面の表面を有する半導体基板と、
前記半導体基板のうち前記窒素面が露出する部分に形成されたn型導電性領域と、
前記n型導電性領域における前記窒素面の少なくとも一部の表面上に形成されたn電極とを備え、
前記n型導電性領域と前記n電極との界面における前記窒素面の表面粗さの平均平方根(Root Mean Square,RMS)が60nm以下である、半導体素子。 - 請求項1に記載の半導体素子であって、
前記n電極のうち前記n型導電性領域と接する面と反対側の面の上は、PbSn半田を介してサブマウントに接着されている、半導体素子。 - 請求項1に記載の半導体素子であって、
前記平均平方根が20nm以下である、半導体素子。 - 請求項3に記載の半導体素子であって、
前記n電極のうち前記n型導電性領域と接する面と反対側の面の上は、AnSn半田を介してサブマウントに接着されている、半導体素子。 - 請求項1〜4のうちいずれか1項に記載の半導体素子であって、
前記半導体基板のうち前記n型導電性領域における前記窒素面には、前記平均平方根が60nm以下の領域と60nmより大きい領域とが存在し、前記n電極は、前記n型導電性領域における前記窒素面のうち、前記平均平方根が60nm以下の領域の上を含む領域に形成されている、半導体素子。 - 請求項5に記載の半導体素子であって、
前記n型導電性領域の前記窒素面において、前記平均平方根が60nm以下の領域は、前記n型導電性領域における前記窒素面の全体のうちの10%よりも大きい、半導体素子。 - 請求項5に記載の半導体素子であって、
前記半導体基板のうち前記n型導電性領域における前記窒素面には段差が形成され、前記段差の下側の淵に沿って前記平均平方根が60nmより大きい領域が形成され、前記段差の下側の淵から離れた領域に前記平均平方根が60nm以下の領域が形成されている、半導体素子。 - 請求項1〜7のうちいずれか1項に記載の半導体素子であって、
前記n電極が、Ti膜と、前記Ti膜上に形成されたPt膜とを含む、半導体素子。 - 請求項1〜8のうちいずれか1項に記載の半導体素子であって、
前記n電極がVを含む、半導体素子。
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