JP2007116076A - 半導体素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】GaN系半導体の窒素極性面上に、コンタクト抵抗の低いn型電極を形成する。
【解決手段】窒素原子を含む面上にn型電極12を備えたGaN系半導体を有する半導体素子において、n型電極12と接し、(III族原子数)/(V族原子数)が1よりも大きいV族原子の空孔領域11を設ける。
【選択図】図1
【解決手段】窒素原子を含む面上にn型電極12を備えたGaN系半導体を有する半導体素子において、n型電極12と接し、(III族原子数)/(V族原子数)が1よりも大きいV族原子の空孔領域11を設ける。
【選択図】図1
Description
本発明は、GaN系半導体のn型電極のコンタクト抵抗を低減する技術に関する。
GaN系半導体は、高耐圧、高速電子デバイスのほか、青紫色レーザなどの発光素子に用いられる重要な材料である。GaN系半導体においては、n型電極でのコンタクト抵抗を低減することで、素子の動作電圧を低減し、高効率な素子、例えば、高出力かつ信頼性の高い青紫色レーザが実現可能となる。
GaN系半導体素子において、動作効率の向上や、信頼性の向上を実現するためには、n型電極における電圧降下を低く保つ必要がある。そのために、高い熱的安定性を持ち、コンタクト抵抗が低いn型電極が必要である。従来、GaN系半導体素子には六方晶GaN系結晶が用いられ、そのGa面(Ga原子のみが露出している面)に対して幅広く電極形成技術の開発がなされてきた。一方、近年、n型導電性の六方晶GaN基板のN面(N原子のみが露出している面)や、サファイア基板のR面上に形成されたGaNのR面など、Ga面以外の面を主面として用いたGaN系素子の研究開発が行われつつある。例えば、Ga面上にp型電極を設け、Ga面に対向するN面上にn型電極を設けたGaN系青紫色レーザでは、n型電極とp型電極とが平面的に見て重なるように形成できるので、Ga面上にp型電極およびn型電極の両方を設ける場合に比べてチップサイズを低減できるほか、プロセスが簡便となりコスト削減が可能となる。このように、GaN基板のGa面以外の面を活用することで、新しいデバイス構成や機能が実現できる可能性がある。
特開2004−6718号公報
しかしながら、N面などのN原子を含む面上にn型電極を形成した場合、Ga面に比べてコンタクト抵抗が高くなるという課題がある。この課題を解決するために、GaN基板のN面をエッチングし、酸化物などを含むN面上の変質層を除去することが提案されている(特開2004−6718号公報参照)。しかしながら、本願発明者の検討によれば、変質層を除去しただけではn型電極におけるコンタクト抵抗を十分に低減することはできなかった。
本発明の目的は、N原子を含む面上に十分にコンタクト抵抗の低いn型電極が形成された半導体素子およびその製造方法を提供することにある。
本願発明者らは、GaN系半導体基板を用いた半導体素子において、N面など、Nを含む面のコンタクト抵抗がGa面に比べて高いのは、面内に存在するN原子の一部がGa原子との結合を持たないために実効的に正孔として機能し、n型キャリア濃度が減少することが原因であると考えた。
そこで、本願発明者らはGaN系半導体がn型電極と接する領域にN空孔を形成させ、当該領域のIII/V族原子比を1よりも大きくすることで、n型コンタクト抵抗を低減できるのではないかと考えた。
本発明の半導体素子は、GaNからなる基板と、前記基板のN原子を含む面上に設けられ、GaおよびNを含む化合物半導体からなり、(Gaの原子数)/(Nの原子数)が1より大きいN空孔領域と、前記N空孔領域のN原子を含む面の上または上方に設けられたn型電極とを備えている。
GaN系半導体中において、N空孔はGaとNの電気陰性度の差(N>Ga)から、正に帯電しており、電子を放出するドナーとして機能し、電子キャリア濃度を増加させると考えられる。このため、n型GaNとn型電極とのコンタクト抵抗を大幅に低減することができる。
なお、n型電極にはTi層やV層が含まれていてもよく、その場合にはn型電極とN空孔領域との間にTiN層やVN層が形成されている場合がある。
本発明の半導体素子は、平面面積が小さい上、n型電極におけるコンタクト抵抗が小さくなっている。そのため、高性能の青紫色レーザなどの発光素子をより低コストで供給することが可能となる。
(実施形態)
以下、本発明の実施形態に係る半導体発光素子の製造方法について、GaN系材料を用いる青紫色レーザを例にとって説明する。
以下、本発明の実施形態に係る半導体発光素子の製造方法について、GaN系材料を用いる青紫色レーザを例にとって説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る青紫色レーザを示す断面図である。同図に示すように、本実施形態の青紫色レーザは、Ga面を第1の主面とし、N面を第2の主面とするn型GaN基板1と、n型GaN基板1のGa面上に設けられたn型AlGaNからなる第1のクラッド層2と、第1のクラッド層2上に設けられ、InGaN層からなる量子井戸を含む活性層3と、活性層3の上に設けられたAlGaNからなるオーバーフロー抑制層4と、オーバーフロー抑制層4の上に設けられ、レーザ共振器方向に延びるリッジストライプが上部に形成されたp型AlGaN超格子からなる第2のクラッド層5と、第2のクラッド層5のリッジストライプを除く部分上に設けられたSiO2からなる絶縁膜7と、第2のクラッド層5のリッジストライプ上に設けられたp型GaNからなるコンタクト層6と、コンタクト層6の上面(Ga面)上に設けられたパラジウム(Pd)層と白金(Pt)層からなるp型電極8と、p型電極8上に設けられ、Ti層、Pt層およびAu層からなる配線電極9と、配線電極9上に設けられたAuからなるパッド電極10と、n型GaN基板1のN面(裏面;窒素極性面)上に設けられ、N空孔を含むGaNを有するN空孔領域11と、N空孔領域11のN面上に設けられ、N空孔領域11側から順に形成されたTi層、Pt層およびAu層からなるn型電極12とを備えている。すなわち、本実施形態の青紫色レーザは、n型GaN基板1のGa面上方にp型電極8が、N面下方にn型電極12がそれぞれ設けられ、n型GaN基板1とn型電極12との間にはN空孔領域11が設けられていることを特徴とする。N空孔領域11は、GaNの結晶構造を維持しつつ、部分的にN原子が抜けたN空孔を含んでいる。従って、N空孔領域11においては、(Ga原子数)/(N原子数)が1より大きくなっている。n型GaN基板1およびN空孔領域11の結晶構造は、例えば六方晶である。本実施形態の青紫色レーザでは、活性層3の端面から共振器方向にレーザ光が射出される。
図2(a)〜(d)は、本実施形態の青紫色レーザの製造方法を示す断面図である。
まず、図2(a)に示すように、n型GaN基板1の上面(Ga面)上に、例えば有機金属気相成長法(Metalorganic Chemical Vapor Deposition:MOCVD法)により、第1のクラッド層2、活性層3、オーバーフロー抑制層4、第2のクラッド層5およびコンタクト層6を順次成長させる。その後、例えばプラズマCVD法を用いてコンタクト層6上にストライプ状のSiO2膜15を形成する。
次いで、SiO2膜15をマスクとして例えば誘導結合プラズマ(ICP)ドライエッチングを行い、コンタクト層6と第2のクラッド層5の上部とで構成されるストライプ形状(リッジストライプ)を作成する。そして、SiO2膜15を除去する。
次いで、SiO2膜15をマスクとして例えば誘導結合プラズマ(ICP)ドライエッチングを行い、コンタクト層6と第2のクラッド層5の上部とで構成されるストライプ形状(リッジストライプ)を作成する。そして、SiO2膜15を除去する。
次いで、図2(b)に示すように、例えばプラズマCVD法によりSiO2膜からなる絶縁膜7を基板上面(Ga面)上に成膜した後、フォトリソグラフィーおよびエッチングを用いて絶縁膜7のうちリッジストライプ上に設けられた部分に開口を形成する。さらに、フォトリソグラフィーによるリフトオフと、例えばEB蒸着装置を用いた蒸着とを行うことによって、Pd/Ptからなるp型電極8を、コンタクト層6の上に形成する。
その後、図2(c)に示すように、フォトリソグラフィーと、例えばEB蒸着装置を用いた蒸着とを行うことによって、Ti層、Pt層、Au層を有する配線電極9、およびパッド電極10を順次形成する。
次に、図2(d)に示すように、へき開による共振器形成が可能となるように、n型GaN基板1を裏面(N面)側から研磨して薄くする。その後、n型GaN基板1のN面を、例えばイオン性ガスを用いて処理することでN空孔領域11を形成する。具体的には、以下の条件でN面のECRエッチングを行う。Cl2ガスを使用し、ガス流量は100mL/sec(100sccm)とし、圧力は1Paとする。プラズマ有機RF出力は300Wとし、μ波電流を200mAとし、例えば0.9μm程度エッチングする。その後、Ti層、Pt層、Au層を有するn型電極12を例えばEB蒸着装置を用いてN空孔領域11のN面上に形成する。なお、本工程において、ECRエッチングの代わりにICPエッチングの他、イオン照射やプラズマ処理、熱処理などを用いてもよい。
次に、本実施形態の構成による効果と、当該効果が得られる理由についての仮説とを説明する。
GaN結晶において、N原子はGa原子に比べて他の原子との結合力が弱く、比較的結晶格子中から遊離しやすい。このため、GaN結晶のN面にイオン照射やプラズマ処理などを行うと、GaN結晶内からN原子が遊離してN面の表層部分にN空孔が形成されると考えられる。N空孔はキャリアとして機能する電子を発生させる。従って、n型電極12とn型GaN基板1との間のコンタクト抵抗が低減できると考えられる。
図3は、n型GaN基板1のN面とn型電極12との間にN空孔領域11を形成した場合としない場合の青紫色レーザにおいて、Ti層、Pt層、Au層を有するn型電極におけるコンタクト抵抗の測定結果を示す図である。n型電極のTi層は5nmとした。なお、同図の横軸は、n型電極12の形成後に加えられた熱処理(シンター)の処理温度を示す。
図3に示すように、N空孔領域11が設けられない場合、熱処理を受けない場合でもコンタクト抵抗は2x10-3Ω・cm2であり、300℃以上の熱処理(シンター)を受けると、コンタクト抵抗は10-2Ω・cm2台にまで上昇した。一方、N空孔領域11が設けられた場合のコンタクト抵抗は熱処理温度が500℃以下であればおよそ1x10-4Ω・cm2で安定していた。半導体素子を外部回路と接続する際に通常はんだ付けを行うが、このとき200℃〜300℃の熱が基板に加わる。そのため、本実施形態の青紫色レーザによれば、外部回路との接続のためにはんだ付けを行った場合でもコンタクト抵抗を従来の青紫色レーザに比べて大幅に低減できることが分かる。以上のように、N空孔を形成することで、n型GaN系半導体のN面とn型電極とのコンタクト抵抗を低減できるほか、コンタクト抵抗値を熱に対して安定化させることができる。
図4は、n型GaN基板1のN面側にN空孔領域11を形成させた後に、Ti層の厚さを5nm、10nm、50nm、100nmに変えたn型電極12を形成させたときのコンタクト抵抗を示す図である。すべての試料においてn型電極12中のPt層は100nmでAu層の厚さは200nmとする。また、図4の横軸は、n型電極12の形成後に青紫色レーザに加えた熱処理の温度を示す。この結果から、n型電極12中のTi層を薄くするとコンタクト抵抗が低下するとともに、熱的な安定性が増すことが分かる。Ti層の厚さが10nmであれば300℃以下の熱処理後にコンタクト抵抗を低減でき、Ti層の厚さが5nmであれば500℃以下の熱処理後であってもコンタクト抵抗を低減することができる。
なお、本願発明者らが本実施形態の青紫色レーザをオージェ電子分光(AES)を用いて調査したところ、n型電極12とN空孔領域11(n型GaN基板1)との界面にTiN層が形成されていることが確認された。N空孔領域11を形成する際に、結晶中から完全に抜け切らないN原子が存在し、それがn型電極12のTi層と結合してTiN層を形成した可能性がある。また、Ti層がNを吸収することによりGaN中のN空孔濃度を増す効果があり、半導体中の電子濃度を増し、コンタクト抵抗を低減させる効果がある。しかしながら、Ti層の厚さが50nm以上となって厚すぎる場合、絶縁膜として機能するTiN層が厚くなるので、図4に示すようにコンタクト抵抗が上昇すると考えられる。ただし、Ti層の全ての部分にNが拡散しない場合があるので、Ti層の厚さが薄い場合には、TiN層が形成されても部分的に残存するTiによってコンタクト抵抗は低く保たれると考えられる。
なお、青紫色レーザにおいて、熱処理によりコンタクト抵抗が上昇する傾向があるが、熱処理によりGaNからNが抜け、TiNが厚くなることが原因と考えられる。コンタクト抵抗が上昇する温度は、Ti層の厚さが10nmのときで400℃、Ti層の厚さが5nmのときで600℃である。半導体素子を回路に接続させるためには通常はんだ付けを行うが、このとき、200〜300℃程度の熱が加わる。はんだ付けをした後にもコンタクト抵抗を低く保つためには、Ti層の膜厚を10nm以下、さらに望ましくは5nm以下とするとよい。
また、本実施形態の青紫色レーザではn型のGaN基板が用いられているので、絶縁性のサファイア基板を用いる場合に比べて放熱性の面で優れている。さらに、基板のN面側にn型電極が設けられていることで製造プロセスが簡易になっている上、p型電極とn型電極とを平面的に重複するように形成させることができるので、チップサイズを小さくすることができ、製造コストを低減することができる。
なお、本実施形態の青紫色レーザは、n型GaN基板1のN面(C面;0001面)上方にn型電極12が設けられているが、n型GaN基板1のM面(1−100面)、A面(11−20)面、R面(1−102面)、(11−22)面など、N原子を含む面の上方であればN空孔領域を形成してコンタクト抵抗を低減することができる。ここで、「−1」、「−2」との表記は「1バー」、「2バー」を意味するものである。
また、本実施形態の青紫色レーザにおいて、n型電極12中のTi層に代えてバナジウム(V)層を設けてもN空孔領域11を設けた場合にコンタクト抵抗を低減することが可能となる。なお、ここではn型電極12にTi層またはV層が含まれている場合について説明しているが、n型電極12にこれらの層が含まれていない場合でも、電極とは別にTi層またはV層をN空孔領域11のN面上に形成してこれらの窒化物を形成させてもよい。この際に、Ti層またはV層がN空孔領域11からN原子を効果的に奪えるように、N空孔領域11に損傷を加えるなどの加工を行うことにより、n型電極12におけるコンタクト抵抗をさらに低くすることができる。また、Ti層やV層に限らず、Nと反応する物質の層であればN空孔領域のN面上に設けてN空孔を生じさせることができる。
また、本実施形態では、青紫色レーザの例を説明したが、GaN基板のN原子を含む面上にn型電極が設けられたLED(Light Emitting Device)にN空孔領域を設けてもn型電極におけるコンタクト抵抗を低減することができる。
本発明に係るGaN系半導体素子は、低抵抗な光源や増幅素子として、高密度ディスクへの高速書き込みや、携帯電話基地局における高出力送信などに用いることができる。
1 n型GaN基板
2 第1のクラッド層
3 活性層
4 オーバーフロー抑制層
5 第2のクラッド層
6 コンタクト層
7 絶縁膜
8 p型電極
9 配線電極
10 パッド電極
11 N空孔領域
12 n型電極
15 SiO2膜
2 第1のクラッド層
3 活性層
4 オーバーフロー抑制層
5 第2のクラッド層
6 コンタクト層
7 絶縁膜
8 p型電極
9 配線電極
10 パッド電極
11 N空孔領域
12 n型電極
15 SiO2膜
Claims (6)
- GaNからなる基板と、
前記基板のN原子を含む面上に設けられ、GaおよびNを含む化合物半導体からなり、(Gaの原子数)/(Nの原子数)が1より大きいN空孔領域と、
前記N空孔領域のN原子を含む面の上または上方に設けられたn型電極とを備えていることを特徴とする半導体素子。 - 前記基板および前記N空孔領域の結晶構造は六方晶であり、
前記N空孔領域のN原子を含む面は、N面であることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子。 - 前記n型電極と前記N空孔領域との間にGaNとは異なる金属窒化物を含む膜をさらに備えていることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子。
- 前記金属窒化物を含む膜は、前記n型電極の構成材料とNとの化合物を含む膜であることを特徴とする請求項3に記載の半導体素子。
- 前記n型電極の構成材料とNとの化合物はTiNまたはVNであることを特徴とする請求項3に記載の半導体素子。
- 前記n型電極の構成材料とNとの化合物はTiNであり、
前記n型電極は厚さが10nm以下のTi層を有していることを特徴とする請求項3に記載の半導体素子。
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