JP2007266392A - 3次元形状を有する半導体部材を加工する方法およびこの方法を用いて形成されたトランジスタ - Google Patents
3次元形状を有する半導体部材を加工する方法およびこの方法を用いて形成されたトランジスタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007266392A JP2007266392A JP2006090610A JP2006090610A JP2007266392A JP 2007266392 A JP2007266392 A JP 2007266392A JP 2006090610 A JP2006090610 A JP 2006090610A JP 2006090610 A JP2006090610 A JP 2006090610A JP 2007266392 A JP2007266392 A JP 2007266392A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plateau
- self
- pattern
- semiconductor member
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 114
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 41
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 38
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 35
- 229920000359 diblock copolymer Polymers 0.000 claims description 24
- 229920000578 graft copolymer Polymers 0.000 claims description 19
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 claims description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 87
- 239000010408 film Substances 0.000 description 42
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 38
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 38
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 35
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 31
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 28
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 27
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 20
- 230000008569 process Effects 0.000 description 16
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 16
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 15
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 14
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 13
- -1 dimethylsiloxane Chemical class 0.000 description 13
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 12
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 12
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 11
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 11
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 11
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 8
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 8
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 7
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 7
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 7
- 229920002845 Poly(methacrylic acid) Polymers 0.000 description 6
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 6
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 6
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 6
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 238000005191 phase separation Methods 0.000 description 6
- 229920000075 poly(4-vinylpyridine) Polymers 0.000 description 6
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 5
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 5
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 5
- 229920005604 random copolymer Polymers 0.000 description 5
- KGIGUEBEKRSTEW-UHFFFAOYSA-N 2-vinylpyridine Chemical class C=CC1=CC=CC=N1 KGIGUEBEKRSTEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 4
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 4
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 4
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 4
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XLLXMBCBJGATSP-UHFFFAOYSA-N 2-phenylethenol Chemical compound OC=CC1=CC=CC=C1 XLLXMBCBJGATSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 3
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 3
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 3
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 3
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethyl acetate Chemical compound COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FUGYGGDSWSUORM-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxystyrene Chemical compound OC1=CC=C(C=C)C=C1 FUGYGGDSWSUORM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIQCNGHVCWTJSM-UHFFFAOYSA-N Dimethyl phthalate Chemical compound COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OC NIQCNGHVCWTJSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-L adipate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)CCCCC([O-])=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N adipic acid Chemical compound OC(=O)CCCCC(O)=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 2
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 2
- DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N dibutyl phthalate Chemical compound CCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCC DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 2
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N isobutanol Chemical compound CC(C)CO ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 150000003053 piperidines Chemical class 0.000 description 2
- 229920000885 poly(2-vinylpyridine) Polymers 0.000 description 2
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 2
- 229920005573 silicon-containing polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229920000428 triblock copolymer Polymers 0.000 description 2
- ARCGXLSVLAOJQL-UHFFFAOYSA-N trimellitic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1 ARCGXLSVLAOJQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 2
- OXHSYXPNALRSME-UHFFFAOYSA-N (4-ethenylphenyl)-trimethylsilane Chemical compound C[Si](C)(C)C1=CC=C(C=C)C=C1 OXHSYXPNALRSME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTKPMCIBUROOGY-UHFFFAOYSA-N 2,2,2-trifluoroethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(F)(F)F QTKPMCIBUROOGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CLISWDZSTWQFNX-UHFFFAOYSA-N 2,2,3,3,3-pentafluoropropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(F)(F)C(F)(F)F CLISWDZSTWQFNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VIEHKBXCWMMOOU-UHFFFAOYSA-N 2,2,3,3,4,4,4-heptafluorobutyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F VIEHKBXCWMMOOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DFVPUWGVOPDJTC-UHFFFAOYSA-N 2,2,3,4,4,4-hexafluorobutyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(F)(F)C(F)C(F)(F)F DFVPUWGVOPDJTC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOC(C)=O NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVTZGGQGWAKDNU-UHFFFAOYSA-N 6-(2,2-dimethoxyethoxy)-6-oxohexanoic acid Chemical compound COC(COC(=O)CCCCC(=O)O)OC QVTZGGQGWAKDNU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000789 Aluminium-silicon alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLZUEZXRPGMBCV-UHFFFAOYSA-N Butylhydroxytoluene Chemical compound CC1=CC(C(C)(C)C)=C(O)C(C(C)(C)C)=C1 NLZUEZXRPGMBCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004803 Di-2ethylhexylphthalate Substances 0.000 description 1
- MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N Di-n-octyl phthalate Natural products CCCCCCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCCCCCC MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000258963 Diplopoda Species 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000446313 Lamella Species 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002319 Poly(methyl acrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000001361 adipic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011037 adipic acid Nutrition 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 238000010539 anionic addition polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229940111131 antiinflammatory and antirheumatic product propionic acid derivative Drugs 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003849 aromatic solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N benzyl N-[2-hydroxy-4-(3-oxomorpholin-4-yl)phenyl]carbamate Chemical compound OC1=C(NC(=O)OCC2=CC=CC=C2)C=CC(=C1)N1CCOCC1=O FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IHTSDBYPAZEUOP-UHFFFAOYSA-N bis(2-butoxyethyl) hexanedioate Chemical compound CCCCOCCOC(=O)CCCCC(=O)OCCOCCCC IHTSDBYPAZEUOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- BTANRVKWQNVYAZ-UHFFFAOYSA-N butan-2-ol Chemical compound CCC(C)O BTANRVKWQNVYAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000010354 butylated hydroxytoluene Nutrition 0.000 description 1
- 125000005587 carbonate group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 238000010538 cationic polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000005354 coacervation Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 1
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HBGGXOJOCNVPFY-UHFFFAOYSA-N diisononyl phthalate Chemical compound CC(C)CCCCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCCCCC(C)C HBGGXOJOCNVPFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FBSAITBEAPNWJG-UHFFFAOYSA-N dimethyl phthalate Natural products CC(=O)OC1=CC=CC=C1OC(C)=O FBSAITBEAPNWJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 1
- 229960001826 dimethylphthalate Drugs 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 1
- 239000003759 ester based solvent Substances 0.000 description 1
- CNEKKZXYBHKSDC-UHFFFAOYSA-N ethyl acetate;propane-1,2-diol Chemical compound CC(O)CO.CCOC(C)=O CNEKKZXYBHKSDC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 1
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 1
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 229940035429 isobutyl alcohol Drugs 0.000 description 1
- 125000001972 isopentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000005453 ketone based solvent Substances 0.000 description 1
- 150000003903 lactic acid esters Chemical class 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 125000005397 methacrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229940017219 methyl propionate Drugs 0.000 description 1
- VCCPBPXMXHHRLN-UHFFFAOYSA-N methylsulfinylmethane;propan-2-one Chemical compound CC(C)=O.CS(C)=O VCCPBPXMXHHRLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 1
- JESXATFQYMPTNL-UHFFFAOYSA-N mono-hydroxyphenyl-ethylene Natural products OC1=CC=CC=C1C=C JESXATFQYMPTNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- ROLDJWUVXBRJKC-UHFFFAOYSA-N n-[bis(dimethylamino)phosphoryl]-n-methylmethanamine;n,n-dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O.CN(C)P(=O)(N(C)C)N(C)C ROLDJWUVXBRJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KKFHAJHLJHVUDM-UHFFFAOYSA-N n-vinylcarbazole Chemical compound C1=CC=C2N(C=C)C3=CC=CC=C3C2=C1 KKFHAJHLJHVUDM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HVYCQBKSRWZZGX-UHFFFAOYSA-N naphthalen-1-yl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound C1=CC=C2C(OC(=O)C(=C)C)=CC=CC2=C1 HVYCQBKSRWZZGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002560 nitrile group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002530 phenolic antioxidant Substances 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229920006112 polar polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 1
- 229920003214 poly(methacrylonitrile) Polymers 0.000 description 1
- 229920000548 poly(silane) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000172 poly(styrenesulfonic acid) Polymers 0.000 description 1
- 229920003251 poly(α-methylstyrene) Polymers 0.000 description 1
- 229920002239 polyacrylonitrile Polymers 0.000 description 1
- 229920002338 polyhydroxyethylmethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 229920000182 polyphenyl methacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920002717 polyvinylpyridine Polymers 0.000 description 1
- 150000005599 propionic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004076 pyridyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 229940116351 sebacate Drugs 0.000 description 1
- CXMXRPHRNRROMY-UHFFFAOYSA-L sebacate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)CCCCCCCCC([O-])=O CXMXRPHRNRROMY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000001338 self-assembly Methods 0.000 description 1
- 125000005372 silanol group Chemical group 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 125000004962 sulfoxyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical group FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 150000003568 thioethers Chemical class 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001988 toxicity Effects 0.000 description 1
- 231100000419 toxicity Toxicity 0.000 description 1
- YFNKIDBQEZZDLK-UHFFFAOYSA-N triglyme Chemical compound COCCOCCOCCOC YFNKIDBQEZZDLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
- H01L29/78696—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film characterised by the structure of the channel, e.g. multichannel, transverse or longitudinal shape, length or width, doping structure, or the overlap or alignment between the channel and the gate, the source or the drain, or the contacting structure of the channel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/42384—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate for thin film field effect transistors, e.g. characterised by the thickness or the shape of the insulator or the dimensions, the shape or the lay-out of the conductor
- H01L29/42392—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate for thin film field effect transistors, e.g. characterised by the thickness or the shape of the insulator or the dimensions, the shape or the lay-out of the conductor fully surrounding the channel, e.g. gate-all-around
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】突起部を有する半導体部材上にプラトー部を形成する工程と、上記プラトー部に、自己組織化材料またはその溶液を選択的に塗布し、自己組織化材料膜を形成する工程と、上記自己組織化材料膜に潜像を自己組織的に作成する工程と、上記潜像をエッチングによって現像し自己組織化材料膜のパターンを形成する工程と、前記パターンをマスクとして前記半導体部材を加工する工程と、を備えている。
【選択図】図1
Description
日経マイクロデバイス2005年4月号no.238、pp60 Miri Park, Christopher Harrison, Paul M.Charkin,Ric hard, A.Register,Douglas H.Adamson, SCIENCE VOL.276 30/MAY 1997、p1401-1404
導入率(%)=(ポリマー鎖中の酸性基又は塩基性基の数)/(ポリマー鎖の重合度)×100
本発明の実施例1は、カンチレバー針先にトランジスタを形成する方法である。
まず、図6(a)に示すようにシリコン基板2上に電子線用レジスト3を塗布する。続いて、図6(b)に示すようにレジスト3に電子ビーム4を照射し、露光することにより長軸が50nm〜100nmの楕円形状の開口5が例えば100個(図面上では1個)、マトリクス上に配置されたレジストパターン3aを作成する(図6(c)参照)。その後、このレジストパターン3aをマスクとして、FIB(Focused Ion Beam)を用いて60keVのPイオンを5×1014cm−2の面密度で照射し、シリコン基板2にN型半導体領域6を形成する。
次に、プラトー部10上にポリマー膜18aが形成された基板2を窒素雰囲気中で、210℃、4時間のアニールを行い、ジブロックコポリマー膜18aのPSとPMMAの相分離を行った。これにより、図11に示すように、プラトー部10にはPSからなる相18a1と、PMMAからなる2つのドット(潜像)18a2を有するパターンが自己組織的に形成される。なお、図11はプラトー部10の拡大斜視図である。
次に、図12(a)に示すようにO2プラズマを用い、その流量が30sccm、圧力が13.3Pa(100mTorr)、パワーが100Wのエッチング条件でRIE(Reactive Ion Etching)法を用いてエッチングすることにより、PMMAからなるドット(潜像)18a2を完全に除去、すなわち潜像を現像し、そのドット跡に開口18a3を形成した。続いて、図12(b)に示すように、RIEを用いてオーバーエッチングを行い、開口18a3の径を大きくした。このとき、2つの開口18a3の最短距離は数nmであった。その後、図12(c)に示すように、イオンインプラ装置を用いてBイオンを60KeV、1×1014 ions/cm2で照射し、プラトー部10の開口18a3に対応する領域にソース領域20およびドレイン領域21を形成する。
次に、図14(a)に示すように、プラトー部10に分子量40万のPSとPMMAが1:9のジブロックコポリマーB(20%シクロヘキサノン溶液)22を塗布する。その後、前述したと同様に45℃のオーブン中で乾燥することにより、図14(b)に示すようにプラトー部10上にジブロックコポリマー膜22aを形成した。続いて、窒素雰囲気中で、210℃、4時間のアニールを行い、ブロックコポリマー膜22aのPSとPMMAの相分離を行った。すると、PSからなる相とPMMAからなる1つのドット(潜像)を有するパターン(図示せず)が形成される。この潜像はプラトー部10に形成されたソース領域20とドレイン領域21に跨って設けられる。その後、同様にO2プラズマを用い、その流量が30sccm、圧力が13.3Pa(100mTorr)、パワーが100Wのエッチング条件で上記パターンにRIEを施すことにより、PSからなる領域を完全に除去した。これにより、図14(c)に示すように、PMMAからなるドット22a1のみがプラトー部10上に残置される。
CF4ガスを用いその流量が14sccm、圧力が1.3Pa(10mTorr)、パワーが200Wのエッチング条件で、PMMAからなる上記ドット22a1をマスクとしてピラミッド構造8にRIEを施すことにより、プラトー部の径を10nm程度までに小さくし、ピラミッド構造8aを尖らせる(図15参照)。
なお、実施例1では、プラトー部10の形状は楕円形であったが、三角形であってもよい。これを図17(a)乃至図19(c)を参照して説明する。図17(a)に示すように、Auからなる配線(図示せず)が形成されたピラミッド構造8の三角形の形状のプラトー部10にジブロックポリマーAの溶液18をディッピング塗布する(図17(b)参照)。なお、プラトー部10の三角形の一辺の大きさは30nmであり、ジブロックポリマーAの分子量は8万である。
なお、実施例1では、プラトー部10の形状は楕円形であったが、四角形であってもよい。これを図20(a)乃至図22(c)を参照して説明する。図20(a)に示すように、Auからなる配線(図示せず)が形成されたピラミッド構造8の三角形の形状のプラトー部10にジブロックポリマーAの溶液18をディッピング塗布する(図20(b)参照)。なお、プラトー部10の四角形の一辺の大きさは20nmであり、実施例1と同様にジブロックポリマーAの分子量は10万である。
次に、本発明の実施例4による3次元トランジスタアレイの製造方法を説明する。
まず、図23に示すように、シリコン基板30上にアクリル系ArFレジスト(JSR製)を塗布し、開口数(NA)が0.65のArFステッパーを用いて、幅50nmのラインパターンをレジストに描画し、その後、レジストをオーバー現像してスリム化させ、25nm幅、高さ100nmの孤立した2個のラインパターンを有するレジストパターン(図示せず)を得た。これらの2個のラインパターンのピッチは200nmであった。このレジストパターンをマスクとしてCF4のエッチングガスを用いて異方的にエッチングすることにより、シリコン基板40上に転写し、その後、上記レジストパターンを除去する。すると、幅20nm、高さ80nmの孤立したシリコンからなるラインパターン42が200nmのピッチで形成された基板40が得られる(図23参照)。
このラインパターン42が埋め込まれるように、ジメチルシロキサンのトルエン溶液を塗布し、乾燥させることにより、ソフトプリントの逆スタンプ形状の鋳型(図示せず)を得た。この鋳型に、分子量が10万で、PMMA:PSの組成比が2:8であるシブロックコポリマーのシクロヘキサノン溶液を一旦塗布した後、圧力0.5Gpaで上記ラインパターン42上に転写し、約10nm厚のシブロックコポリマー膜48をラインパターンの露出している壁面に形成した(図27、図28参照)。このシブロックコポリマーは、シリンダー状に自己組織化する特性を有している。なお、図28は、図27の側面、すなわち矢印の示す方向からみた側面図である。
次に、窒素雰囲気中で、210℃、4時間のアニールを行い、図29に示すように、ジブロックコポリマー膜48のPSからなる相48aとPMMAからなる相48bの相分離を行い、相分離したパターンを形成した。なお、図29も図28と同様に側面図である。相分離したパターンは、ラインパターン42の壁面に、基板40の面に並行に配向し、ピッチが30nmであった。すなわち、本実施例においては、プラトー部はラインパターン42の壁面であり、基板40の面に垂直となっている。
次に、図30に示すようにO2プラズマを用い、流量が30sccm、圧力が6.5Pa(50mTorr)、パワーが100WでRIEすることにより、PMMAからなる相48bを完全に除去した。引き続き、CF4プラズマを用い、流量が30sccm、圧力が13.3Pa(100mTorr)、パワーが100WでRIEすることにより、等方的にエッチングし、シリコンからなるパターン42に、PMMAからなる相48bの跡に対応する位置に貫通した開口部49を形成する。
次に、図31に示すように、全面にレジスト50を塗布し、このレジスト50にゲート部の開口に相当する50nmのトレンチ52を形成する。なお、トレンチ52の幅(図31上では横方向の長さ)は、図24に示すレジストパターン44の厚みよりも狭い。続いて、図25で説明した同様に、メタル層54aと絶縁膜54bとを交互に堆積し、CMPした後、レジスト50をリフトオフしてゲート電極に接続された配線54を作製した(図32参照)。
次に、図33に示すように、開口49を利用して全面にイオンインプラ装置を用いてBイオンを60KeV、1x1014 ions/cm2で照射し、ソースとドレインを形成した。最後に全面を軽く酸化して、ポリイミドでコーティングしトランジスタを形成した。図32の左側がソースSとなり、中央がゲートG、右側がドレインDとなっている。
3 レジスト層
3a レジストパターン
4 電子ビーム
5 開口
6 N型半導体領域
8 ピラミッド構造
10 プラトー部
12 Au膜
12a Au配線
14 スタンパー
16 アルカンチオールのパターン
18 ジブロックコポリマーAの溶液
18a ジブロックコポリマー膜
18a1 PS相
18a2 PMMA相
18a3 開口
20 ソース
21 ドレイン
22 ジブロックコポリマーB溶液
22a ジブロックコポリマー膜
22a1 PMMA相
30 静電記録型媒体
32 ゲート
Claims (7)
- 突起部を有する半導体部材上にプラトー部を形成する工程と、
前記プラトー部に、自己組織化材料またはその溶液を選択的に塗布し、自己組織化材料膜を形成する工程と、
前記自己組織化材料膜に潜像を自己組織的に作成する工程と、
前記潜像をエッチングによって現像し自己組織化材料膜のパターンを形成する工程と、
前記パターンをマスクとして前記半導体部材を加工する工程と、
を備えたことを特徴とする3次元形状を有する半導体部材を加工する方法。 - 前記プラトー部は前記突起部の頂面であることを特徴とする請求項1記載の3次元形状を有する半導体部材を加工する方法。
- 前記突起部は半導体基板上に形成されたものであり、前記プラトー部は前記突起部の側面であり、前記側面は前記基板の面に実質的に垂直であることを特徴とする請求項1記載の3次元形状を有する半導体部材を加工する方法。
- 前記自己組織化材料は、ディッピング法によって塗布されることを特徴とする請求項1または2記載の3次元形状を有する半導体部材を加工する方法。
- 前記自己組織化材料は、ソフトプリント法によって塗布されることを特徴とする請求項1または3記載の3次元形状を有する半導体部材を加工する方法。
- 前記プラトー部の周辺が、自己組織化材料またはその溶液に対して60度以上の接触角を有する膜で被覆されており、かつ自己組織化材料がジブロックコポリマーまたはグラフトコポリマーであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の3次元形状を有する半導体部材を加工する方法。
- 請求項1乃至6のいずれかに記載の方法を用いて前記プラトー部に形成されたソースおよびドレインを備えているトランジスタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006090610A JP5270817B2 (ja) | 2006-03-29 | 2006-03-29 | 3次元形状を有する半導体部材を加工する方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006090610A JP5270817B2 (ja) | 2006-03-29 | 2006-03-29 | 3次元形状を有する半導体部材を加工する方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007266392A true JP2007266392A (ja) | 2007-10-11 |
JP5270817B2 JP5270817B2 (ja) | 2013-08-21 |
Family
ID=38639072
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006090610A Expired - Fee Related JP5270817B2 (ja) | 2006-03-29 | 2006-03-29 | 3次元形状を有する半導体部材を加工する方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5270817B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012178428A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Toshiba Corp | パターンデータ生成装置、パターンデータ生成方法、及びパターン形成方法 |
KR20140101309A (ko) * | 2013-02-08 | 2014-08-19 | 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 | 블록 코폴리머 조성물 및 그의 관련 방법 |
KR20140101306A (ko) * | 2013-02-08 | 2014-08-19 | 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 | 블록 코폴리머 제제와 이와 관련한 방법 |
KR20140101310A (ko) * | 2013-02-08 | 2014-08-19 | 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 | 자기조립 제어 코폴리머 조성물 및 관련 방법 |
US9384980B2 (en) | 2014-07-01 | 2016-07-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Manufacturing method of semiconductor device |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04223340A (ja) * | 1990-03-23 | 1992-08-13 | Siliconix Inc | 電界効果トランジスタの製造方法 |
JPH04368180A (ja) * | 1991-05-31 | 1992-12-21 | Samsung Electron Co Ltd | 絶縁ゲート形電界効果トランジスタの構造およびその製造方法 |
JPH06333941A (ja) * | 1993-05-19 | 1994-12-02 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JPH08227994A (ja) * | 1994-12-20 | 1996-09-03 | Toshiba Microelectron Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2001151834A (ja) * | 1999-06-07 | 2001-06-05 | Toshiba Corp | パターン形成材料、多孔質構造体の製造方法、パターン形成方法、電気化学セル、中空糸フィルター、多孔質カーボン構造体の製造方法、キャパシタの製造方法、および燃料電池の触媒層の製造方法 |
JP2001189466A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-07-10 | Toshiba Corp | スイッチング素子の製造方法、スイッチング素子及びスイッチング素子アレイ |
JP2002241532A (ja) * | 2001-02-16 | 2002-08-28 | Toshiba Corp | パターン形成方法 |
JP2003155365A (ja) * | 2001-11-22 | 2003-05-27 | Toshiba Corp | 加工方法及び成形体 |
JP2003218383A (ja) * | 2002-01-18 | 2003-07-31 | Toshiba Corp | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2004260003A (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-16 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
-
2006
- 2006-03-29 JP JP2006090610A patent/JP5270817B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04223340A (ja) * | 1990-03-23 | 1992-08-13 | Siliconix Inc | 電界効果トランジスタの製造方法 |
JPH04368180A (ja) * | 1991-05-31 | 1992-12-21 | Samsung Electron Co Ltd | 絶縁ゲート形電界効果トランジスタの構造およびその製造方法 |
JPH06333941A (ja) * | 1993-05-19 | 1994-12-02 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JPH08227994A (ja) * | 1994-12-20 | 1996-09-03 | Toshiba Microelectron Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2001151834A (ja) * | 1999-06-07 | 2001-06-05 | Toshiba Corp | パターン形成材料、多孔質構造体の製造方法、パターン形成方法、電気化学セル、中空糸フィルター、多孔質カーボン構造体の製造方法、キャパシタの製造方法、および燃料電池の触媒層の製造方法 |
JP2001189466A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-07-10 | Toshiba Corp | スイッチング素子の製造方法、スイッチング素子及びスイッチング素子アレイ |
JP2002241532A (ja) * | 2001-02-16 | 2002-08-28 | Toshiba Corp | パターン形成方法 |
JP2003155365A (ja) * | 2001-11-22 | 2003-05-27 | Toshiba Corp | 加工方法及び成形体 |
JP2003218383A (ja) * | 2002-01-18 | 2003-07-31 | Toshiba Corp | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2004260003A (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-16 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012178428A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Toshiba Corp | パターンデータ生成装置、パターンデータ生成方法、及びパターン形成方法 |
KR20140101309A (ko) * | 2013-02-08 | 2014-08-19 | 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 | 블록 코폴리머 조성물 및 그의 관련 방법 |
KR20140101306A (ko) * | 2013-02-08 | 2014-08-19 | 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 | 블록 코폴리머 제제와 이와 관련한 방법 |
KR20140101310A (ko) * | 2013-02-08 | 2014-08-19 | 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 | 자기조립 제어 코폴리머 조성물 및 관련 방법 |
JP2014152332A (ja) * | 2013-02-08 | 2014-08-25 | Rohm & Haas Electronic Materials Llc | 誘導自己組織化共重合組成物および関連方法 |
JP2014152331A (ja) * | 2013-02-08 | 2014-08-25 | Rohm & Haas Electronic Materials Llc | ブロック共重合体配合物およびそれに関する方法 |
JP2014169436A (ja) * | 2013-02-08 | 2014-09-18 | Rohm & Haas Electronic Materials Llc | ブロック共重合体組成物及びそれに関連する方法 |
KR102188296B1 (ko) * | 2013-02-08 | 2020-12-08 | 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 | 자기조립 제어 코폴리머 조성물 및 관련 방법 |
KR102193316B1 (ko) | 2013-02-08 | 2020-12-22 | 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 | 블록 코폴리머 제제와 이와 관련한 방법 |
KR102193322B1 (ko) | 2013-02-08 | 2020-12-22 | 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 | 블록 코폴리머 조성물 및 그의 관련 방법 |
US9384980B2 (en) | 2014-07-01 | 2016-07-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Manufacturing method of semiconductor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5270817B2 (ja) | 2013-08-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101769888B1 (ko) | 블록 공중합체의 자가조립에 의해 기판 상에 이격된 리소그래피 피처들을 제공하는 방법들 | |
JP4421582B2 (ja) | パターン形成方法 | |
US10538859B2 (en) | Methods for providing patterned orientation templates for self-assemblable polymers for use in device lithography | |
JP6034355B2 (ja) | ブロック共重合体自己組織化方法、パターン化基板およびパターン化テンプレート | |
JP3926360B2 (ja) | パターン形成方法およびそれを用いた構造体の加工方法 | |
US8771929B2 (en) | Tone inversion of self-assembled self-aligned structures | |
US8828253B2 (en) | Lithography using self-assembled polymers | |
US5743998A (en) | Process for transferring microminiature patterns using spin-on glass resist media | |
JP4445538B2 (ja) | パターン形成方法 | |
US8828871B2 (en) | Method for forming pattern and mask pattern, and method for manufacturing semiconductor device | |
JP5270817B2 (ja) | 3次元形状を有する半導体部材を加工する方法 | |
KR20140083008A (ko) | 자가-조립가능한 중합체에 대한 패터닝된 방위 템플릿을 제공하는 방법 | |
JP2008036491A (ja) | パターン形成方法及びモールド | |
US20140346141A1 (en) | Self-assemblable polymer and methods for use in lithography | |
JP5330527B2 (ja) | 構造体 | |
JP2017514671A (ja) | ブロックコポリマーの秩序化 | |
JP2002303992A (ja) | 微小構造の製造方法 | |
WO2013143813A1 (en) | Methods of providing patterned templates for self-assemblable block copolymers for use in device lithography | |
Yang et al. | Directed Self‐Assembly of Block Copolymer for Bit Patterned Media with Areal Density of 1.5 Teradot/Inch2 and Beyond | |
KR20150013441A (ko) | 디바이스 리소그래피에서 사용되는 자가조립가능한 블록 공중합체들에 대한 패터닝된 화학적 에피택시 템플릿을 제공하는 방법들 | |
JP5284328B2 (ja) | パターン形成方法およびインプリント用モールドの製造方法 | |
JP2010152013A (ja) | パターン形成方法、インプリントモールド、および磁気記録媒体の製造方法 | |
TWI569094B (zh) | 藉由嵌段共聚物之自組裝而在基板上提供微影特徵之方法 | |
JP3967730B2 (ja) | 空孔の形成方法および磁気抵抗効果素子の製造方法 | |
Cui et al. | Indirect Nanofabrication |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110916 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20111202 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120302 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20120409 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20120507 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20120525 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130326 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130510 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |