JP2007261134A - 帯電防止バリアフィルム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】高分子材料からなる基材(2)の少なくとも一方の面に、酸化アルミニウムからアルミニウムへの傾斜構造を有した蒸着薄膜層(3)を設けることで、蒸着加工中の帯電によるバリア劣化を防止する。また、前蒸着薄膜層(3)が、基材(2)側から膜表面へ、Al:O=1:2から1:0の範囲で連続的に変化する。さらに前記蒸着薄膜層(3)表面の表面固有抵抗が、50〜1000Ω/cm2で、前記蒸着薄膜層(3)の厚さが、5〜300nmの範囲内であることを特徴とする帯電防止バリアフィルムである。
【選択図】図1
Description
電子線加熱方式を用いた場合、アルミ坩堝表面は常に高エネルギーの電子線照射に曝されるため、Al材料の酸化を抑えられ、安定したプロセスが達成されている。
た蒸着薄膜層(3)を設けることで、蒸着加工中の帯電によるバリア劣化を防止することが可能になる。
反応蒸着法に用いる蒸着部分としては、図2に示すように、主に冷却ドラム(12)、アルミニウム蒸発ルツボ(13)、酸素導入部(14)などから形成されている。電子線加熱方式を用いた反応蒸着時に、酸素導入部(14)を基材(11)巻出し近傍に設置することにより、膜の厚さ方向に傾斜組成をもつ酸化アルミニウム膜を、厚さ12μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムからなる基材(11)の片面に厚さ約20nm形成した帯電防止バリアフィルムを得た。この時、蒸着薄膜の膜組成比は、基材(11)近傍において、Al:O=1:1.8であり、表面へ向かって傾斜構造を取る。最表面の膜組成比は、Al:O=1:0.5である。
電子線加熱方式を用いた反応蒸着時に、図3に示すように、酸素導入部(14)を蒸着窓の中心に設置することにより、膜の厚さ方向に膜質が均一な酸化アルミニウム膜(Al:O=1:1.8)を厚さ12μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムからなる基材(11)の片面に厚さ約20nm形成した帯電防止バリアフィルムを得た。
比較例1と同様だが、アルミニウムと酸素の組成比がAl:O=1:0.5となるように、厚さ12μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムからなる基材(11)の片面に厚さ約20nmの酸化アルミニウム膜を形成した帯電防止バリアフィルムを得た。
実施例1及び比較例1、2の帯電防止バリアフィルムの光線透過度、及びガスバリア性を、酸素透過度及び水蒸気透過度により評価した。及びその際の表面固有抵抗を測定した。その結果を表1に記す。
(1)光線透過度・・・分光光度計(島津製作所社製 UV−3100)を用いて、波長400nmの光の透過度を測定。
(2)酸素透過度・・・モダンコントロール社製[MOCON OX−TRAN(登録商標)]を用いて、30℃−70%RH雰囲気下で各フィルムを蒸着直後に測定した。
(3)水蒸気透過度・・・モダンコントロール社製[MOCON PERMATRAN−W(登録商標)]を用いて、40℃−90%RH雰囲気下で各フィルムを蒸着直後に測定した。
実施例1は、光線透過度は75%以上と透明性を維持しつつ、バリア性も優れていることが分かる。また、蒸着薄膜表面の表面固有抵抗は、183Ω/cm2であり、目視によるリロール不良も観察されなかった。一方、比較例1は、光線透過度は80%以上と透明
性が悪く、蒸着後のバリア性も実施例1よりも悪く、劣化していることが分かる。この時の蒸着薄膜表面の表面固有抵抗は、測定限界(1000Ω/cm2)以上であり、目視によるリロール不良も観察された。比較例2では、蒸着後のバリア性は優れるものの、光線透過度が70%を切るほどに低く、透明蒸着フィルムとしての要件を満たしていない。蒸着薄膜表面の表面固有抵抗は、25Ω/cm2であり、目視によるリロール不良は観察されなかった。
2・・・基材
3・・・蒸着薄膜層
11・・・基材
12・・・冷却ドラム
13・・・アルミニウム蒸発ルツボ
14・・・酸素導入部
15・・・酸化アルミニウム(アルミナ)蒸気領域
16・・・アルミニウム蒸気領域
Claims (4)
- 高分子材料からなる基材の少なくとも一方の面に、酸化アルミニウムからアルミニウムへの傾斜構造を有した蒸着薄膜層を設けることで、蒸着加工中の帯電によるバリア劣化を防止することを特徴とする帯電防止バリアフィルム。
- 前記傾斜構造を有した蒸着薄膜層が、基材側から膜表面へ、Al:O=1:2から1:0の範囲で連続的に変化することを特徴とする請求項1記載の帯電防止バリアフィルム。
- 前記蒸着薄膜層表面の表面固有抵抗が、50〜1000Ω/cm2であることを特徴とする請求項1又は2記載の帯電防止バリアフィルム。
- 前記傾斜構造を有した蒸着薄膜層の厚さが、5〜300nmの範囲内であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の帯電防止バリアフィルム。
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