JP2007250528A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 検査すべき基板の複数の評価ポイントの座標情報と、前記複数の評価ポイントを含む領域に形成されたパターンの設計レイアウト情報と、ユーザより入力された所定のパラメータの値又は範囲若しくは予め記録されたデフォルト値の情報と、を含む入力情報を設定するステップと、
   前記設計レイアウト情報を用いて、前記複数の評価ポイントの座標情報と前記所定のパラメータの値又は範囲若しくは前記デフォルト値の情報とに基づいて設定された撮像ポイントの探索範囲から、前記複数の評価ポイント間で共有しうる撮像ポイントを決定し、前記決定された撮像ポイントと前記撮像ポイントを共有する前記複数の評価ポイントとを所定の順序で撮像する撮像シーケンスを決定するステップと、
   前記決定された撮像ポイント及び撮像シーケンスと前記入力情報に基づいて、前記複数の評価ポイント間で前記撮像ポイントを共有する撮像レシピを生成するステップと、
   を有することを特徴とする撮像レシピの生成方法。
2. 請求項１記載の撮像レシピの生成方法であって、
   前記所定のパラメータの値又は範囲の情報は、処理パラメータ，ユーザ要求仕様，履歴情報，アドレッシングあるいはオートフォーカスあるいはオートブライトネス・コントラスト用の撮像ポイントの数，座標，サイズ，形状，撮像順序，電子ビーム垂直入射座標，撮像条件の一部又は全ての撮像パラメータ、のうち選択されたパラメータの値又は範囲の情報であり、
   前記撮像ポイントと撮像シーケンスを設定するステップでは、前記設定された探索範囲における撮像ポイント候補の指標値を前記設計レイアウト情報を用いて算出し、前記算出された指標値に基づいて前記撮像ポイント候補の中から前記撮像ポイントを決定し、前記決定された撮像ポイントと前記複数の評価ポイントの座標情報と前記選択されたパラメータの値又は範囲の情報とに基づいて前記撮像シーケンスを決定することを特徴とする撮像レシピの生成方法。
3. 請求項１記載の撮像レシピの生成方法であって、
   前記撮像ポイントと撮像シーケンスを決定するステップでは、前記撮像ポイントのサイズ及び形状も含めて決定し、前記決定された撮像ポイントと前記撮像ポイントを共有する前記複数の評価ポイントとを所定の順序で撮像する撮像シーケンスを決定することを特徴とする撮像レシピの生成方法。
4. 請求項１記載の撮像レシピの生成方法であって、
   前記撮像ポイントと撮像シーケンスを決定するステップでは、前記所定のパラメータの値又は範囲若しくは前記デフォルト値の情報としてビームシフトの可動範囲及び禁止領域の情報を用いて、前記撮像ポイントの探索範囲を設定することを特徴とする撮像レシピの生成方法。
5. 請求項１記載の撮像レシピの生成方法であって、
   前記撮像ポイントと撮像シーケンスを決定するステップにおいて前記決定された撮像ポイントは、前記撮像ポイントの探索範囲内にあるアドレッシングポイント、オートフォーカスポイント、オートスティグマポイント又はオートブライトネス・コントラスポイントから選択されたものであることを特徴とする撮像レシピの生成方法。
6. 請求項１乃至６記載の撮像レシピの生成方法であって、
   前記入力情報を設定するステップにおいて、前記複数の評価ポイントの座標情報は、前記検査すべき基板の回路設計データに基づいて決定されることを特徴とする撮像レシピ生成装置。