JP6418606B2 - パターン輪郭抽出装置、パターン輪郭抽出方法およびパターン輪郭抽出プログラム - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施形態によるパターン輪郭抽出装置を含むパターン輪郭抽出システムの構成の一例を示すブロック図である。パターン輪郭抽出システムは、SEM10と、パターン輪郭抽出装置20と、を備える。
第1の実施形態では、測定点を通る所定の直線として、基準輪郭データ上の測定点での接線に対して垂直な垂線を用いた。これは一例であり、測定点を通る所定の直線は、別のものであってもよい。第2の実施形態では、測定点を通る所定の直線として、輪郭の重心を通る直線を用いる場合について説明する。
Claims (3)
- プロセス条件を変えて形成されたパターンの画像データを読み込む読み込み手段と、
それぞれの前記プロセス条件の前記画像データから前記パターンの輪郭を抽出する輪郭抽出手段と、
前記輪郭を重ね合わせる重ね合わせ手段と、
重ね合わせた複数の前記輪郭と交差する直線状の測定線を設定し、前記測定線上の測定点を基準とした、前記測定線と前記各輪郭との各交点の前記測定線上での変動量を算出する変動量算出手段と、
前記プロセス条件と前記変動量との間の関係を示す変動量−プロセス条件対応情報を、前記測定線ごとに算出する対応情報算出手段と、
所望のプロセス条件に対応する前記測定点を基準とした前記測定線上での予測変動量を、前記変動量−プロセス条件対応情報から算出し、前記測定線上で前記測定点に前記予測変動量を加算した算出点を、前記測定線ごとに算出し、前記算出点間を結んだ予測輪郭を算出する輪郭算出手段と、
を備え、
前記読み込み手段は、前記パターンの元となる設計デザインも読み込み、
前記重ね合わせ手段は、前記輪郭と前記設計デザインとを重ね合わせ、
前記変動量算出手段は、前記設計デザインの重心位置を始点とする直線状の測定線を複数設定し、前記測定線と前記設計デザインとの交点を前記測定点とするパターン輪郭抽出装置。 - プロセス条件を変えて形成されたパターンの画像データを読み込む読み込み工程と、
それぞれの前記プロセス条件の前記画像データから前記パターンの輪郭を抽出する輪郭抽出工程と、
前記輪郭を重ね合わせる輪郭重ね合わせ工程と、
重ね合わせた複数の前記輪郭と交差する直線状の測定線を設定する測定線設定工程と、
前記測定線上の測定点を基準とした、前記測定線と前記各輪郭との各交点の前記測定線上での変動量を算出する変動量算出工程と、
前記プロセス条件と前記変動量との間の関係を示す変動量−プロセス条件対応情報を、前記測定線ごとに算出する対応情報算出工程と、
所望のプロセス条件に対応する前記測定点を基準とした前記測定線上での予測変動量を、前記変動量−プロセス条件対応情報から算出する予測変動量算出工程と、
前記測定線上で前記測定点に前記予測変動量を加算した算出点を、前記測定線ごとに算出する算出点算出工程と、
前記算出点間を結んだ予測輪郭を算出する輪郭算出工程と、
を含み、
前記読み込み工程では、前記パターンの元となる設計デザインも読み込み、
前記重ね合わせ工程では、前記輪郭と前記設計デザインとを重ね合わせ、
前記変動量算出工程では、前記設計デザインの重心位置を始点とする直線状の測定線を複数設定し、前記測定線と前記設計デザインとの交点を前記測定点とするパターン輪郭抽出方法。 - リソグラフィ処理で得られるパターンの予測輪郭を算出するパターン輪郭抽出プログラムであって、コンピュータに、
プロセス条件を変えて形成された前記パターンの画像データを読み込む読み込み手順と、
それぞれの前記プロセス条件の前記画像データから前記パターンの輪郭を抽出する輪郭抽出手順と、
前記輪郭を重ね合わせる輪郭重ね合わせ手順と、
重ね合わせた複数の前記輪郭と交差する直線状の測定線を設定する測定線設定手順と、
前記測定線上の測定点を基準とした、前記測定線と前記各輪郭との各交点の前記測定線上での変動量を算出する変動量算出手順と、
前記プロセス条件と前記変動量との間の関係を示す変動量−プロセス条件対応情報を、前記測定線ごとに算出する対応情報算出手順と、
所望のプロセス条件に対応する前記測定点を基準とした前記測定線上での予測変動量を、前記変動量−プロセス条件対応情報から算出する予測変動量算出手順と、
前記測定線上で前記測定点に前記予測変動量を加算した算出点を、前記測定線ごとに算出する算出点算出手順と、
前記算出点間を結んだ予測輪郭を算出する輪郭算出手順と、
を実行させ、
前記読み込み手順では、前記パターンの元となる設計デザインも読み込み、
前記重ね合わせ手順では、前記輪郭と前記設計デザインとを重ね合わせ、
前記変動量算出手順では、前記設計デザインの重心位置を始点とする直線状の測定線を複数設定し、前記測定線と前記設計デザインとの交点を前記測定点とするパターン輪郭抽出プログラム。
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