JP4462037B2 - 半導体ウェハ間の共通欠陥判別方法 - Google Patents
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Description
S3 欠陥検出ステップ
S5 領域割当ステップ
S6,S7 領域抽出ステップ
S8〜S10 欠陥判別ステップ
1,1a,1b 半導体ウェハ(基板)
Da1,Da2,Db1,Db2,Db3 欠陥
Claims (7)
- 複数枚の半導体ウェハで欠陥を検出し、前記各半導体ウェハに渉って同じ位置に存在する欠陥を共通欠陥として判別する、半導体ウェハ間の共通欠陥判別方法であって、
前記半導体ウェハの検査領域を繰り返しパターンからなる所定の領域に分割し、各分割領域を識別するための領域座標を設定する領域設定ステップと、
前記各半導体ウェハについて設計外の欠陥を検出し、当該欠陥の位置を測定する欠陥検出ステップと、
前記各半導体ウェハにおいて、検出された前記欠陥の1個ずつについて、その位置に基づき該欠陥が属する分割領域を割り当てる領域割当ステップと、
前記複数枚の半導体ウェハにおける前記欠陥の割り当てられた分割領域を比較して、前記各半導体ウェハに渉って前記欠陥が1個でも存在する分割領域を共通欠陥領域として抽出する領域抽出ステップと、
前記共通欠陥領域に属していない前記欠陥を以後の共通欠陥の判別対象から除外し、前記各半導体ウェハにおける前記抽出した共通欠陥領域に属する前記欠陥の位置を比較して、各半導体ウェハに渉って同じ位置に存在する前記欠陥を共通欠陥として判別する欠陥判別ステップとを有することを特徴とする半導体ウェハ間の共通欠陥判別方法。 - 前記欠陥検出ステップにおいて、前記欠陥の位置と共に前記欠陥の外観情報を測定し、
前記欠陥判別ステップにおいて、
前記各半導体ウェハに渉って同じ位置に存在すると共に同じ外観情報を有する欠陥を共通欠陥として抽出することを特徴とする請求項1に記載の半導体ウェハ間の共通欠陥判別方法。 - 前記外観情報が、面積、形状、明るさ、周囲とのコントラスト、もしくは色のいずれか、またはそれらの組み合わせであることを特徴とする請求項2に記載の半導体ウェハ間の共通欠陥判別方法。
- 前記欠陥が、前記半導体ウェハの製造工程におけるマスクに起因する欠陥であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の半導体ウェハ間の共通欠陥判別方法。
- 前記マスクが、アライナ用のマスクであることを特徴とする請求項4に記載の半導体ウェハ間の共通欠陥判別方法。
- 前記半導体ウェハに、繰り返しパターンからなる複数個のチップ領域が形成されてなり、
前記分割領域を、前記チップ領域に設定することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の半導体ウェハ間の共通欠陥判別方法。 - 前記分割領域を、前記欠陥検出ステップにおいて欠陥の検出に用いる検査装置の視野範囲内の大きさに設定することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の半導体ウェハ間の共通欠陥判別方法。
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