JP2007248086A5 - - Google Patents

Claims (20)

1. 被検査基板を搭載して所定方向に走査するＸＹステージと、被検査基板上の欠陥を斜め
   から照明する照明装置と、その欠陥を上方に配した検出光学系で検出する検出装置と、温度及び気圧の変化に対して、結像位置変化を補正する機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
2. 請求項１記載の欠陥検査装置において、前記斜めからの照明は、ステージの走行方向と
   は直角方向に長い楕円形状の照明光束をステージの走査方向から規定の照射角度で照射す
   る照明光学系であり、更に該照明系と平面的に異なる方向より、規定の照射角度で前期斜
   めからの照明と同じ位置を照射する照明光学系を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
3. 請求項１または２記載の欠陥検査装置において、
   オートフォーカスの照明光は前記検出光学系の検出レンズに干渉しない空間に照明光路
   を有し、暗視野照明となるように被検査基板上の投影し、反射光を対向するポジションセ
   ンサに結像させる構成を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載の欠陥検査装置において、
   前記検出光学系は拡大系レンズを有し、欠陥の散乱光を高ＮＡで取り込み、センサに拡
   大投影させることによって、より微小な欠陥，解像限界以下の欠陥を検出可能とすること
   を特徴とする欠陥検査装置。
5. 請求項１記載の欠陥検査装置において、温度または気圧の少なくともいずれかの測定器
   を装置内に設置していることを特徴とする欠陥検査装置。
6. 請求項１〜５のいずれかに記載の欠陥検査装置において、
   温度及び気圧の変化に対して前記検出光学系のセンサの高さまたは被検査基板高さを補
   正する結像位置補正機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
7. 請求項６記載の欠陥検査装置において、
   結像位置を補正するために、センサを上下させるＺ機構、または被検査基板の高さを変
   更するステージＺ機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
8. 請求項５記載の欠陥検査装置において、
   温度のセンサ部分を検査レンズ表面および気圧測定口を検査レンズ近傍に設置したこと
   を特徴とする欠陥検査装置。
9. 請求項１〜８のいずれかに記載の欠陥検査装置において、
   事前に温度，気圧の少なくともいずれかと、補正量の相関をテーブルデータとして記憶
   する記憶手段を備え、該記憶手段に記憶されたテーブルデータに基づき、結像位置補正を
   リアルタイムに実行する機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
10. 被検査物を搭載するステージと、被検査物を照明する照明装置と、その欠陥を検出光学系で検出する検出装置と、温度及び気圧の少なくとも１つの変化に対して、結像位置変化を補正する補正装置とを備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
11. 請求項１０記載の欠陥検査装置において、
    前記照明装置は、被検査物上で長い楕円形状の照明光束を生じることを特徴とする欠陥検査装置。
12. 請求項１０または１１記載の欠陥検査装置において、
    前記照明装置とは異なる、オートフォーカスの照明光を発生する第２の照明装置を有することを特徴とする欠陥検査装置。
13. 請求項１０〜１２のいずれかに記載の欠陥検査装置において、
    前記検出光学系は拡大系レンズをすることを特徴とする欠陥検査装置。
14. 請求項１０記載の欠陥検査装置において、温度または気圧の少なくともいずれかの測定器を装置内に設置していることを特徴とする欠陥検査装置。
15. 請求項１０〜１４のいずれかに記載の欠陥検査装置において、
    温度及び気圧の少なくとも１つの変化に対して、前記検出光学系のセンサの高さまたは被検査物高さを補正する結像位置補正機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
16. 請求項１５記載の欠陥検査装置において、
    結像位置を補正するために、センサを上下させるＺ機構、または被検査物の高さを変
    更するステージＺ機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
17. 請求項１４記載の欠陥検査装置において、
    温度のセンサ部分を検査レンズ表面、および気圧測定口を検査レンズ近傍に設置したことを特徴とする欠陥検査装置。
18. 請求項１０〜１７のいずれかに記載の欠陥検査装置において、
    事前に温度，気圧の少なくともいずれかと、補正量の相関をデータとして記憶する記憶手段を備え、該記憶手段に記憶されたデータに基づき、結像位置補正を実行する機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
19. 被検査物を照明し、前記被検査物の欠陥を検出し、温度及び気圧の少なくとも１つの変化に対して、結像位置変化を補正することを特徴とする欠陥検査方法。
20. 請求項１９記載の欠陥検査方法において、
    前記温度は、検査レンズ表面の温度であり、前記気圧は、検査レンズ近傍の気圧であることを特徴とする欠陥検査方法。