JP2007245389A - 半導体用粘着シート - Google Patents

Abstract

【課題】エキスパンド性と再剥離性に優れた粘着シートであって、粘着層と基材フィルムの投錨性にも特に優れた、ダイシング工程用保持シートなどとして有用な半導体用粘着シートを提供することにある。
【解決手段】本発明の半導体ウエハ加工用粘着シートは、ポリ塩化ビニル樹脂を主成分とする基材フィルム（Ａ層）の少なくとも片側に、分子内に窒素原子を含有するアクリル樹脂を含む中間層（Ｂ層）、及び、アクリル樹脂と放射線重合開始剤を含む放射線硬化型粘着剤層（Ｃ層）を、Ａ層／Ｂ層／Ｃ層の順に有することを特徴としている。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体ウエハのバックグラインド加工やダイシング加工に用いられる再剥離型の半導体用粘着シートに関する。

従来、半導体の製造工程においては、様々な粘着シートが用いられている。中でも、半導体ウエハの裏面研削（バックグラインド）工程でウエハを保護するために用いられる保護シートや、素子小片への切断分割（ダイシング）工程で用いられる固定用シート等には、貼付後、所定の工程が終了した後に再び剥離される「再剥離型」の粘着シートが使用されている。

これらの再剥離型の粘着シートには様々な特性が要求される。例えば、粘着層には、加工工程では十分な密着力を発揮するが、剥離工程では、容易に剥離できる易剥離性が求められる。また、基材フィルムには、バックグラインド用保護シートとしては研削砥石の高い圧力によるウエハ破損を防止する目的で、ダイシング用シートとしてはピックアップ回収時のエキスパンド性を向上する目的で、高い柔軟性・伸縮性が必要とされる。

上記、易剥離性の改良に関しては、例えば、分子内に炭素−炭素二重結合を少なくとも２個以上有する放射線硬化型粘着剤を用いた、放射線の照射により易剥離性を発現する粘着シートが知られている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。一方、基材フィルムとしては、エキスパンド性やダイシング性を向上する観点から、柔軟なポリ塩化ビニルフィルムが好適に用いられる。

基材フィルム上に粘着剤層を積層する方法としては、一般的に、粘着剤層を直接塗布・乾燥させる直射方式と、粘着剤をセパレータと呼ばれる離型フィルム上に塗布した後に貼り合わせる転写方式が用いられるが、ポリ塩化ビニルフィルムに放射線硬化型粘着剤を設ける場合には、前者が主に用いられている。これは、上記粘着剤のベースポリマーに一般的に用いられているアクリル樹脂と、基材のポリ塩化ビニル樹脂の親和性が低いため、転写方式では十分な密着性（投錨性）が得られないためである。しかしながら、直射式の場合は、塗液乾燥工程でポリ塩化ビニルフィルムも熱を受けるため、熱変形によるテープ厚みのばらつき等、テープ品質の低下が生じることがある。

このため、ポリ塩化ビニルフィルムに対する放射線硬化型粘着剤の投錨性を向上させることが切望されており、例えば、ウレタン樹脂と窒素原子の親和性を利用して、塩化ビニル樹脂とウレタン樹脂からなる共重合樹脂シートに、窒素原子を含有するアクリル樹脂粘着剤を積層し、投錨性を改良した粘着シートが知られている（例えば、特許文献３参照）。

しかしながら、上記の技術にも、塩化ビニル樹脂に対するウレタン樹脂の共重合量が規定されるため柔軟性などの基材フィルムの物性が変更・制限される点や、転写法を用いるには密着性のレベルがいまだ不十分である点など、課題が残っているのが現状である。

特開昭６０−１９６９５６号公報 特開昭６０−２２３１３９号公報 特開平１１−３０２６０７号公報

本発明の目的は、優れた再剥離性、高いエキスパンド性を発揮する粘着シートであって、さらに、粘着層と基材フィルムの投錨性に優れ、製造・加工工程や使用の際に粘着層の剥離が少ない、優れた半導体用粘着シートを提供することにある。

本発明者らは、上記目的を達成するため鋭意検討した結果、ポリ塩化ビニルフィルム上に、窒素原子を含むアクリル系樹脂層を介して、放射線硬化型のアクリル系粘着剤層を設けることによって、ポリ塩化ビニルフィルムとアクリル系粘着材層の密着性が飛躍的に向上することを見出し、本発明を完成した。

すなわち、本発明は、ポリ塩化ビニル樹脂を主成分とする基材フィルム（Ａ層）の少なくとも片側に、分子内に窒素原子を含有するアクリル樹脂を含む中間層（Ｂ層）、及び、アクリル樹脂と放射線重合開始剤を含む放射線硬化型粘着剤層（Ｃ層）を、Ａ層／Ｂ層／Ｃ層の順に有することを特徴とする半導体用粘着シートを提供する。

さらに、本発明は、前記Ｂ層中に、分子内に炭素−炭素二重結合を有する放射線重合性のモノマーまたはオリゴマーを含有する前記の半導体用粘着シートを提供する。

さらに、本発明は、前記Ｃ層中に、分子内に炭素−炭素二重結合を有する放射線重合性のモノマーまたはオリゴマーを含有する前記の半導体用粘着シートを提供する。

さらに、本発明は、前記Ｃ層のアクリル樹脂が、炭素−炭素二重結合を含む側鎖を、全側鎖の１％以上有するアクリル樹脂である前記の半導体用粘着シートを提供する。

さらに、本発明は、前記Ｂ層を構成するアクリル樹脂の窒素原子含有モノマー単位の含有量が１５％以上である前記の半導体用粘着シートを提供する。

さらに、本発明は、前記Ｂ層中の放射線重合開始剤の含有量が、０．０１重量％未満である前記の半導体用粘着シートを提供する。

さらに、本発明は、前記Ｂ層及びＣ層が、転写法によって作製された前記の半導体用粘着シートを提供する。

本発明の半導体用粘着シートは、通常のポリ塩化ビニル基材フィルムを用いることができるため、エキスパンド性、ピックアップ性等の物性制御が容易で、さらに粘着層と基材フィルムの投錨性に優れるため、製造・加工工程や使用の際に粘着層の剥離、被着体への糊残りが生じず、生産性が向上し、産業上有益である。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。図１は本発明の半導体用粘着シートの一例を示す概略断面図である。図１に示される半導体用粘着シート１は、基材フィルム１１の少なくとも片面に、中間層１２、放射線硬化型粘着剤層１３、離型フィルム１４が設けられている。

本発明の半導体用粘着シートは、少なくとも、基材フィルム（Ａ層という）、中間層（Ｂ層という）、及び、放射線硬化型粘着剤層（Ｃ層）からなるＡ層／Ｂ層／Ｃ層の３層積層構造を有する。Ａ層／Ｃ層の２層積層構造では、本発明の効果を得ることができない。なお、本発明の効果を阻害しない範囲で、上記のＡ層、Ｂ層、Ｃ層の他にも、フィルム層が設けられていてもよい。特に、粘着シート表面の汚染防止や保管時のブロッキング防止などの観点で、さらに離型フィルム（または離型樹脂層）が設けられていることが好ましく、その場合は、Ａ層／Ｂ層／Ｃ層／離型フィルム（離型樹脂層）、離型フィルム（離型樹脂層）／Ａ層／Ｂ層／Ｃ層、離型フィルム（離型樹脂層）／Ａ層／Ｂ層／Ｃ層／離型フィルム（離型樹脂層）の積層構成が好ましい。最も好ましい積層構成は、Ａ層／Ｂ層／Ｃ層／離型フィルム（離型樹脂層）である。

本発明の半導体用粘着シートに用いられるＡ層は、ポリ塩化ビニル樹脂を主成分とする。なお、ここでいう「主成分とする」とは、層中の含有量が５０重量％以上、好ましくは７０重量％以上、最も好ましくは、８０重量％以上であることをいう。

本発明のポリ塩化ビニル樹脂は、軟質ポリ塩化ビニルであることが好ましい。軟質ポリ塩化ビニルとしては、可塑剤を含有するものでもよいし、共重合体やポリマーアロイであってもよい。基材フィルムとして、柔軟な軟質ポリ塩化ビニルを用いることにより、高いエキスパンド性が得られたり、ダイシング工程でウエハの破損を防止できるため、好ましい。

上記可塑剤としては、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレート、ジノニルフタレート、ジイソデシルフタレート等のフタル酸エステル、その他ポリエステル可塑剤、エポキシ化大豆油等のエポキシ系可塑剤、トリメット系可塑剤が、好ましく例示される。可塑剤を添加する場合、添加量は、Ａ層全体の質量に対して、２０〜４０重量％が好ましく、より好ましくは２５〜３５重量％である。可塑剤の添加量が２０重量％未満の場合には、ポリ塩化ビニル樹脂が硬質となって、エキスパンド性が低下する場合があり、４０重量％を超える場合には、粘着シート表面に可塑剤がブリードして、半導体ウエハに付着して汚染の原因となったりする。

上記共重合体としては、ウレタン−塩化ビニル共重合体、エチレン−塩化ビニル共重合体、酢酸ビニル−塩化ビニル共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体等の塩化ビニル共重合体が挙げられる。これら共重合体は、１種類のみで使用してもよいし、２種以上の混合物、または他の樹脂およびエラストマーとの混合物としてもよい。なお、上記の共重合体には、ブロック共重合体やランダム共重合体に加えて、グラフト共重合物を含むことはもちろんである。また、上記混合物とは、単なるブレンドのみならず、化学結合を有するアロイも含む。

さらに、本発明のＡ層には、本発明の効果を阻害しない範囲内において、他の安定剤、滑剤、加工助剤として公知のものが含まれていてもよい。

本発明のＡ層の厚さは、特に制限されないが、通常５０〜２５０μｍであり、好ましくは、７０〜２３０μｍである。

また、ダイシング工程の後に、粘着剤層に放射線が照射されるため、本発明のＡ層は十分な放射線透過性を有するものが好ましい。例えば、波長３６５ｎｍの光線透過率が５０％以上であることが好ましい。

本発明のＢ層は、分子内に窒素原子を含むアクリル樹脂を必須成分として含有する。前記アクリル樹脂の含有量は、Ｂ層の全体に対して、７０重量％以上が好ましく、より好ましくは８０重量％以上である。分子内に窒素原子を含むアクリル樹脂とは、窒素原子を有する単量体成分を必須の構成要素として含有するアクリル樹脂である。

窒素原子を含む単量体成分としては、例えば、（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリル酸Ｎ−ヒドロキシメチルアミド、（メタ）アクリル酸アルキルアミノアルキルエステル（例えば、ジメチルアミノエチルメタクリレート、ｔ−ブチルアミノエチルメタクリレート等）、Ｎ−ビニルピロリドン、アクリロイルモルフォリン、アクリロニトリル、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド等が挙げられる。なお、（メタ）アクリル酸エステルとはアクリル酸エステル及び／またはメタアクリル酸エステルをいい、本発明の（メタ）とは全て同様の意味である。該窒素原子を含む単量体成分の含有量は、Ｂ層のアクリル樹脂全体の５重量％以上であることが好ましく、さらに好ましくは１０重量％以上、最も好ましくは１５重量％以上である。窒素原子を含む単量体成分の含有量が５重量％未満である場合には、ポリ塩化ビニル基材フィルムと粘着剤層の密着力（投錨性）が低下して、製造・加工工程や使用中に粘着層が剥離・脱落することがある。また、被着体からの剥離時に被着体に糊残りが生じる場合がある。

窒素原子を含む単量体成分以外の単量体成分としては、特に限定されず、公知のアクリル単量体成分を用いることが可能である。中でも、Ｃ層との親和性、耐熱性、凝集力、粘着性改良などの観点から、（メタ）アクリル酸アルキルエステルと、必要に応じて、その他の共重合成分から構成されることが好ましく例示される。（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸イソノニルなどが挙げられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルは１種のみを用いてもよいし、２種以上を共重合体として用いてもよい。その他の共重合成分としては、（メタ）アクリル酸のヒドロキシアルキルエステル（例えば、ヒドロキシエチルエステル、ヒドロキシブチルエステル、ヒドロキシヘキシルエステル等）、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、（メタ）アクリル酸、イタコン酸、無水マレイン酸、酢酸ビニル、スチレン等が挙げられる。共重合成分は、１種又は２種以上使用できる。更に、必要に応じて、架橋のため、多官能性モノマーなどを共重合成分として含んでもよい。

本発明のＢ層のアクリル樹脂の重量平均分子量は、凝集力の観点から、５０万〜２００万が好ましく、さらに好ましくは８０万〜１５０万である。

本発明のＢ層は、ベースポリマーであるアクリル樹脂等の数平均分子量を高める目的で、架橋剤を含有してもよい。架橋剤としては、ポリイソシアネート化合物、エポキシ化合物、アジリジン化合物、メラミン樹脂、尿素樹脂、無水化合物、ポリアミン、カルボキシル基含有ポリマーなどが挙げられる。中でも、ポリイソシアネート化合物を含有する場合に、投錨性が向上する効果が得られるため、好ましい。架橋剤の添加量は、アクリル樹脂１００重量部に対して、０．０１〜１００重量部が好ましい。

本発明のＢ層には、放射線硬化後のＣ層との投錨性を確保するために、炭素−炭素二重結合を分子中に含む放射線重合性のモノマーまたはオリゴマー（以下、放射線重合性化合物とも称する）を含有することが好ましい。放射線重合性化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオール（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸と多価アルコールのエステル化物；エステルアクリレートオリゴマー；２−プロペニル−３−ブテニルシアヌレート、トリス（２−メタクリロキシエチル）イソシアヌレート等のイソシアヌレート又はイソシアヌレート化合物等が挙げられる。これらの放射線重合性化合物は、１種類のみ用いてもよいし、２種以上を混合して用いてもよい。添加量としては特に限定されないが、アクリル樹脂に対して、１〜５０重量部が好ましく、５〜２０重量部がさらに好ましい。添加量が１重量部未満の場合には、放射線硬化後の投錨性を得る効果が小さく、５０重量部を超える場合には、放射線照射による硬化が進みすぎて、Ａ層に対する投錨性が低下する場合がある。

本発明のＢ層には、光重合開始剤を添加しないことが好ましい。また、この場合、Ｂ層全体での光重合開始剤の含有量は、Ｂ層の総質量に対して、０．０５重量％未満であることが好ましく、より好ましくは０．０１重量％未満である。Ｂ層に光重合開始剤を添加しない場合でも、Ｃ層に添加された光重合開始剤の一部は、Ｂ層中に拡散移動するため、ある程度の光重合開始剤はＢ層に存在することとなる。しかし、上記の拡散は、ほとんどがＢ層／Ｃ層界面近傍までであり、Ｂ層内部（Ａ層側）までは拡散しない。このため、Ｂ層中の光重合開始剤は、Ｃ層との界面付近に局在することとなる。この状態で、放射線照射をすると、Ｂ層／Ｃ層界面近傍では、Ｂ層とＣ層の樹脂成分が架橋反応を起こし化学結合を生じるため、Ｂ層とＣ層の投錨性は飛躍的に向上する。一方、ポリ塩化ビニル樹脂（Ａ層）側には、光重合開始剤が存在しないため、Ｂ層の硬化はほとんど起こらず、Ａ層との親和性、投錨性は維持される。Ｂ層に光重合開始剤を添加し、光重合開始剤の含有量が０．０５重量％以上となる場合には、Ｂ層全体が放射線による硬化を起こすため、凝集力が高くなって、塩化ビニル樹脂との親和性が低下し、Ａ層とＢ層の投錨性が低下することがある。

本発明のＢ層の厚みは、特に限定されないが、１〜２０μｍが好ましく、さらに好ましくは３〜１０μｍである。

さらに、本発明のＢ層には、必要に応じて、本発明の効果を損なわない範囲内で、帯電防止剤を含有していてもよい。また、従来公知の各種の老化防止剤、充填剤、着色剤等の慣用の添加剤を含有させてもよい。

本発明のＣ層は、アクリル樹脂からなるベースポリマーと光重合開始剤を必須成分として含有する。

本発明のＣ層に用いられるアクリル樹脂としては、特に限定されず、公知のものを用いることが可能であるが、例えば、１種又は２種以上の（メタ）アクリル酸アルキルエステルを単量体成分とする重合体、または、必要に応じ粘着性、凝集力、耐熱性などの改質を目的として、さらに１種又は２種以上共重合成分を共重合してなる共重合体が用いられるＣ層の（メタ）アクリル酸アルキルエステルや共重合成分としては、上記Ｂ層に好ましく用いられる成分として例示した（メタ）アクリル酸アルキルエステルや共重合成分から選択することができる。また、その他、必要に応じて、（メタ）アクリル酸メトキシエチル、（メタ）アクリル酸エトキシや前記の窒素原子含有のモノマーを単量体成分として用いていてもよい。

本発明のＣ層のアクリル樹脂の重量平均分子量は、低分子量体低減の観点から、５０万以上が好ましく、さらに好ましくは８０万〜３００万である。また、Ｃ層は半導体ウエハ等の転写汚染防止等の点から、低分子量物の含有量が小さいこと好ましい。具体的には、分子量１０万以下の低分子量体の含有量は、Ｃ層の樹脂総量に対して、１０重量％以下が好ましく、さらに好ましくは５重量％以下である。

さらに、Ｃ層にも、アクリル樹脂等の数平均分子量を高めるため、架橋剤を添加してもよい。架橋剤としては、Ｂ層の場合と同様に、ポリイソシアネート化合物、エポキシ化合物、アジリジン化合物、メラミン樹脂、尿素樹脂、無水化合物、ポリアミン、カルボキシル基含有ポリマー等から選択することができる。Ｃ層中の架橋剤の添加量は、粘着力の観点から、Ｃ層のアクリル樹脂１００重量部に対して、０．０１〜５重量部が好ましい。

本発明のＣ層は、紫外線、電子線などにより硬化する放射線硬化型粘着剤層である。放射線硬化型とすることによって、例えば、ダイシング時には、高い粘着性によりチップの剥離を防止し、一方、ピックアップ時には、紫外線硬化により粘着力を失って、チップからの剥離性が向上する。

本発明のＣ層は、炭素−炭素二重結合等の放射線硬化性の官能基を有し、粘着性を示すものであれば特に限定されないが、例えば、Ｂ層と同様に、炭素−炭素二重結合を分子中に含む放射線重合性化合物（モノマーまたはオリゴマー）を含有することが好ましい。放射線性重合化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオール（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸と多価アルコールのエステル化物；エステルアクリレートオリゴマー；２−プロペニル−３−ブテニルシアヌレート、トリス（２−メタクリロキシエチル）イソシアヌレート等のイソシアヌレート又はイソシアヌレート化合物等が挙げられる。これらの放射線重合化合物は、１種類のみ用いてもよいし、２種以上を混合して用いてもよい。中でも、Ｂ層とＣ層に用いられる放射線重合化合物が同じである場合には、放射線照射時に、Ｂ層／Ｃ層界面で架橋反応が進行し、投錨性が向上するため好ましい。放射線重合化合物の添加量は、特に限定されないが、放射線照射後の再剥離性（ピックアップ性）の観点から、Ｃ層全体の２０〜７５重量％が好ましく、特に好ましくは、４０〜７０重量％である。

また、Ｃ層としては、上記放射線重合化合物を添加する代わりに、または、放射線重合化合物の添加に加えて、炭素−炭素二重結合を側鎖又は主鎖中もしくは主鎖末端に有するアクリル樹脂をベースポリマーとして混合して用いてもよい。例えば、分子内に炭素−炭素二重結合を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体は、上述の、（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体に炭素−炭素二重結合を導入することによって得られる。これを調製するには既知の様々な方法があるが、分子設計の容易さから、あらかじめポリマーに官能基を有するモノマーを共重合した後、この官能基と付加反応し得るようなもう一方の官能基とかつ炭素−炭素二重結合を有するモノマーを、炭素−炭素二重結合を維持したまま付加反応させる方法が好ましい。このアクリルポリマー側の官能基と炭素−炭素二重結合を有するモノマー側の官能基の組合せとしては、例えば、カルボン酸基とエポキシ基またはアジリジル基、ヒドロキシル基とイソシアネート基などが挙げられる。中でも、反応追跡の容易さから、アクリルポリマー側としてヒドロキシル基、モノマー側としてイソシアネート基を用いる組合せが、特に好ましい。炭素−炭素二重結合を有するイソシアネート化合物としては、例えば、メタクリロイルイソシアネートや２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネートなどが挙げられる。また、アクリルポリマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチルや（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチルや（メタ）アクリル酸６−ヒドロキシヘキシル、２−ヒドロキシエチルビニルエーテル、４−ヒドロキシブチルビニルエーテル、ジエチレングルコールモノビニルエーテルなどをモノマー単位として有するポリマーが挙げられる。炭素−炭素二重結合をアクリル樹脂の側鎖に有する場合には、全側鎖（全側鎖数）の１％以上が炭素−炭素二重結合を有することが好ましく、より好ましくは３％以上である。炭素−炭素二重結合が、全側鎖の１％未満である場合には、側鎖に炭素−炭素二重結合を導入する効果が小さい。

本発明のＣ層は、光重合開始剤を含有する。光重合開始剤としては、例えば、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインアルキルエーテル類；ベンジル、ベンゾイン、ベンゾフェノン、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等の芳香族ケトン類；ベンジルジメチルケタール等の芳香族ケタール類；ポリビニルベンゾフェノン、クロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン等のチオキサントン類等が挙げられる。光重合開始剤の添加量は、特に限定されないが、Ｃ層を構成するアクリル樹脂１００重量部に対して、０．１〜１０重量部が好ましく、さらに好ましくは、０．５〜５重量部である。光重合開始剤の添加量が０．１重量％未満である場合には、放射線照射による再剥離性が不十分である場合がある。また、添加量が５重量％を超える場合には、Ｃ層表面に光重合開始剤がブリードして、半導体ウエハの転写汚染の原因となったり、Ｂ層の深くまで光重合開始剤が浸透・拡散して、Ａ層とＢ層の投錨性が低下することがある。

Ｃ層の厚みは、特に限定されないが、１〜２０μｍが好ましく、さらに好ましくは、３〜１０μｍである。

なお、本発明のＣ層には、必要に応じて、本発明の効果を損なわない範囲内で、従来公知の各種の粘着付与剤、老化防止剤、充填剤、着色剤等の慣用の添加剤を含有させてもよい。

本発明の粘着シートには、粘着剤層を保護する目的のためや、またはラベル加工のため、または粘着剤を平滑にする目的のために、必要に応じて、離型フィルム（セパレーター）が設けられていてもよい。離型フィルムの構成材料としては、特に限定されないが、紙、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート等の合成樹脂フィルムなどが挙げられる。離型フィルムの表面には粘着剤層からの剥離性を高めるため、必要に応じて、シリコーン処理、長鎖アルキル処理、フッ素処理等の剥離処理が施されていてもよい。また、必要に応じて、粘着シートが環境紫外線によって反応してしまわぬように、紫外線防止処理が施されていてもよい。離型フィルムの厚みは、特に限定されないが、例えば、１０〜２００μｍが好ましく、より好ましくは２５〜１００μｍである。

本発明の粘着シートの形状は、特に限定されず、テープ状、ラベル状などのあらゆる形状をとりうる。

以下に、本発明の粘着シートの製造方法の例を説明すが、製造方法はこれに限定されるものではない。

［基材フィルム（Ａ層）］
本発明のＡ層に用いられるポリ塩化ビニルフィルムは、エチレン脱塩素法やオキシ塩素化法などの既存の重合方法を用いて重合されたポリ塩化ビニル樹脂を用いて製造することができる。必要に応じて、上記ポリ塩化ビニル樹脂と可塑剤、安定剤、滑剤等を、バンバリーミキサーやミキシングロールまたは１軸や２軸の押出機で混練してポリマーを得る。ポリマーのシート化は、カレンダー法やＴダイ法、チューブ法などを用いることができる。また、市販のポリ塩化ビニルフィルムを用いてもよい。

［アクリル樹脂組成物（Ｂ層、Ｃ層）］
本発明のＢ層、Ｃ層を形成するアクリル樹脂は、単一又は２種以上の単量体成分の重合により得られる。重合方法としては、溶液重合法、塊状重合法、乳化重合法、懸濁重合法等の既知の重合方法を用いることができる。フィルムへの塗工の容易さの観点などからは、例えば、溶液重合を用いることができる。主たるモノマー成分、共重合モノマー成分を、所定量、トルエンなどの溶媒に溶解させ、モノマーの種類にもよるが、５５〜６５℃で５〜１０時間共重合させ、放射線重合化合物および架橋剤を加えて、また、Ｃ層樹脂の場合には光重合開始剤を加えて、アクリル樹脂組成物の溶液が得られる。

［Ｂ層及びＣ層の積層］
Ｂ層をＡ層に積層する場合、厚さ精度を向上させるために、あらかじめ、離型フィルムに中間層溶液を塗布・乾燥させた後に、ポリ塩化ビニルフィルムに貼り合わせる、転写法を用いることが好ましい。転写法ではポリ塩化ビニルフィルムが乾燥工程を通ることがないため、熱による変形が生じにくく好ましい。しかし、必ずしも、これに限定されるわけではなく、共押出、押出ラミネート、サーマルラミネート、ドライラミネート、溶液キャスト等の一般公知の手法を用いることも可能である。
Ｃ層をＢ層に積層する場合も同様に転写法を用いることが好ましい。例えば、上記で得られたＡ層／Ｂ層の２層積層フィルムから、離型フィルムを剥離し、Ｂ層と同様にＣ層を貼り合わせることによって、Ａ層／Ｂ層／Ｃ層の３層積層粘着シートが得られる。

［物性の測定方法ならびに効果の評価方法］
以下に、本願で用いられる測定方法および効果の評価方法について例示する。

（１）９０°引き剥がし粘着力
実施例、比較例で得られた半導体用粘着シートを、長さ１５０ｍｍ×幅２５ｍｍの短冊状に切断し、サンプル片を作製した。なお、シートの長手方向（塩化ビニルフィルム原反の長手方向、テープ状粘着シートサンプルであればテープの長手方向）を、サンプルの長さ方向とし、それに垂直な方向とサンプルの幅方向とした。
２３℃（室温）下、鏡面処理したシリコンウエハ（信越半導体（株）製、商品名「ＣＺＮ＜１００＞２．５−３．５」、直径４インチ）に、上記サンプル片を貼付けた。（なお、離型フィルムは剥離した後に貼付を行った。）貼り付け部分は長さ８０ｍｍ×幅２５ｍｍであった。無荷重、室温雰囲気下で３０分静置したサンプルを放射線照射前サンプルとした。
また、同様のサンプルに、シート裏面（基材フィルム側）から、下記条件で紫外線を照射し、放射線照射後サンプルとした。
光源 ： 高圧水銀灯
照射強度： ５０ｍＷ／ｃｍ²（測定機器：ウシオ社製「紫外線照度計ＵＴ−１０１」）
照射時間： １０秒
照射エネルギー：５００ｍＪ／ｃｍ²
上記、放射線照射前サンプルと放射線照射後サンプルについて、ＪＩＳ Ｚ ０２３７に準拠して、下記の条件で、９０°引き剥がし試験を行い、引き剥がし粘着力（単位：Ｎ／２５ｍｍ）を測定した。
繰り返し試験数 ： ３
温度 ： ２３℃
剥離角度 ： ９０°
引張速度 ： ３００ｍｍ／分
初期長さ（チャック間隔） ： １５０ｍｍ

（２）糊残り
（１）の試験後のシリコンウエハを目視にて観察し、シリコンウエハ上に粘着剤層又は粘着剤層と中間層の積層体の残留物（糊残り）が確認されなかったものを良好（○）、若干の糊残りが観察されたものを不十分（△）、全面に糊残りが観察されたものを不良（×）と判断した。

以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。

実施例１
（Ｂ層組成物溶液の調製）
ブチルアクリレート８０重量部、アクリロニトリル２０重量部、及び、アクリル酸２重量部を、酢酸エチル中で常法にて共重合させ、重量平均分子量８０万のアクリル樹脂を得た。このアクリル樹脂（樹脂成分）１００重量部に対し、放射線重合性オリゴマーとしてＵＶ硬化型ウレタンアクリレートオリゴマー（ペンタエリスリトールトリアクリレートとジイソシアネートを反応させて得たＵＶ硬化オリゴマー：粘度１Ｐａ・Ｓ（６０℃）、重量平均分子量２０００）２０重量部、架橋剤としてポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン（株）製、商品名「コロネートＬ」）２重量部を加え、Ｂ層組成物溶液を得た。
（Ｃ層組成物溶液の調製）
メチルアクリレート５０重量部、２−エチルヘキシルアクリレート５０重量部、及び、アクリル酸５重量部を、酢酸エチル中で常法にて共重合させ、重量平均分子量１００万のアクリル樹脂を得た。このアクリル樹脂（樹脂成分）１００重量部に対し、光重合開始剤として、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン（チバ・スペシャリティー・ケミカルズ（株）製、商品名「イルガキュア６５１」、光波長３６５ｎｍにおけるモル吸光係数が１５０ｍｏｌ^-1・ｃｍ^-1、長波長側の最大吸収波長が４００ｎｍ）３重量部、放射線重合性オリゴマーとしてＵＶ硬化型ウレタンアクリレートオリゴマー（上記Ｂ層に用いたものと同じ）６０重量部、及び、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン（株）製、商品名「コロネートＬ」）２重量部を加え、Ｃ層組成物溶液を得た。
（粘着シートの調製）
離型フィルムとして、シリコーンからなる離型処理を施されたポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（三菱化学ポリエステルフィルム（株）製、商品名「ダイアホイルＭＲＮ」、フィルム厚み３８μｍ）の離型処理された側の表面に、上記Ｂ層組成物溶液を塗布し、１４０℃で５分間乾燥し、離型フィルム上にＢ層を作製した。Ｂ層厚みは５μｍであった。次いで、上記Ｂ層を形成した離型フィルムを、軟質ポリ塩化ビニルフィルム（フィルム厚み１００μｍ）にローラーを用いて、Ｂ層が接するように貼り合わせ、ポリ塩化ビニルフィルム（Ａ層）上にＢ層を転写法にて形成し、Ａ層／Ｂ層の積層シートを得た。なお、積層シートのＢ層側の表面には、さらに上記離型フィルムが積層されている。
次に、上記と同様に、離型ＰＥＴフィルム上にＣ層組成物溶液を塗布・乾燥し、離型フィルム上にＣ層を作製した。Ｃ層厚みは５μｍであった。
さらに、上記のＡ層／Ｂ層の積層シートから、離型フィルムを剥離した後、積層シートのＢ層上に、上記のＣ層を有する離型フィルムを、ローラーにてＣ層とＢ層が接するように貼り合わせ、半導体用粘着シートを得た。
得られた粘着シートは、表１に示すように、放射線照射によって良好な再剥離性を示し、尚かつ、引き剥がし時の糊残りの少ない、投錨性に優れた粘着シートであった。

実施例２
（Ｂ層組成物溶液の調製）
２−エチルヘキシルアクリレート７０重量部、アクリロイルモルフォリン３０重量部、及び、アクリル酸２重量部を、酢酸エチル中で常法にて共重合させ、重量平均分子量９０万のアクリル樹脂を得た。このアクリル樹脂１００重量部に対し、ＵＶ硬化型ウレタンアクリレートオリゴマー（実施例１と同じ）２０重量部、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン（株）製、商品名「コロネートＬ」）２重量部を加え、Ｂ層組成物溶液を得た。
（Ｃ層組成物溶液の調製）
メチルアクリレート５０重量部、２−エチルヘキシルアクリレート５０重量部部、及び、２−ヒドロキシエチルアクリレート５重量部を、酢酸エチル中で常法にて共重合させ、さらに、得られたポリマー中の２−ヒドロキシエチルアクリレートの側鎖末端ＯＨ基の９０％に、２−メタクリロイルオキシエチレンイソシアネートのＮＣＯ基を付加反応させ、末端に炭素−炭素二重結合を有する重量平均分子量５０万のアクリル樹脂を得た。なお、アクリル樹脂の全側鎖に対する炭素−炭素二重結合を含む側鎖の割合は４．３％であった。
このアクリル樹脂１００重量部に対し、光重合開始剤として、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン（チバ・スペシャリティー・ケミカルズ（株）製、商品名「イルガキュア６５１」）３重量部、メラミン系架橋剤２重量部、ＵＶ硬化型ウレタンアクリレートオリゴマー（実施例１と同じ）３０重量部、及び、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン（株）製、商品名「コロネートＬ」）２重量部を加え、Ｃ層組成物溶液を得た。
（粘着シートの調製）
上記のＢ層組成物溶液、Ｃ層組成物溶液を用い、基材フィルムなどその他の条件は、実施例１と全く同様にして、転写法を用いて、半導体用粘着シートを得た。
得られた粘着シートは、表１に示すように、放射線照射によって良好な再剥離性を示し、尚かつ、引き剥がし時の糊残りの少ない、投錨性に優れた粘着シートであった。

比較例１
（Ｂ層組成物溶液の調製）
ブチルアクリレート５０重量部、２−エチルヘキシルアクリレート５０重量部、及び、アクリル酸２重量部を、酢酸エチル中で常法にて共重合させ、重量平均分子量８０万のアクリル樹脂を得た。このアクリル樹脂１００重量部に対し、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン（株）製、商品名「コロネートＬ」）２重量部を加え、Ｂ層組成物溶液を得た。
上記のＢ層組成物溶液を用い、Ｃ層組成物、基材フィルムなどその他の条件は、実施例１と全く同様にして、転写法を用いて、半導体用粘着シートを得た。
得られた粘着シートは、表１に示すように、引き剥がし時の糊残りが観察され、投錨性の劣る粘着シートであった。

比較例２
Ｂ層を設けないこと以外は、実施例２と全く同様にして、転写法を用いて、半導体用粘着シートを得た。
得られた粘着シートは、表１に示すように、引き剥がし時の糊残りが観察され、投錨性の劣る粘着シートであった。

実施例、比較例より、本発明の窒素原子を含有するアクリル樹脂からなる中間層を有する粘着シートでは、剥離時の糊残りが発生せず、評価は良好であった。比較例に示した、窒素原子を含有するアクリル樹脂からなる中間層を有しない粘着性シートの場合は、投錨性が悪く、糊残りが発生しており、実用性に劣るものであった。

本発明の再剥離用粘着シートの一例を示す概略断面図である。

符号の説明

１ 半導体ウエハ用粘着シート
１１ 基材フィルム（Ａ層）
１２ 中間層（Ｂ層）
１３ 放射線硬化型粘着剤層（Ｃ層）
１４ 離型フィルム

Claims (7)

1. ポリ塩化ビニル樹脂を主成分とする基材フィルム（Ａ層）の少なくとも片側に、分子内に窒素原子を含有するアクリル樹脂を含む中間層（Ｂ層）、及び、アクリル樹脂と放射線重合開始剤を含む放射線硬化型粘着剤層（Ｃ層）を、Ａ層／Ｂ層／Ｃ層の順に有することを特徴とする半導体用粘着シート。
2. Ｂ層中に、分子内に炭素−炭素二重結合を有する放射線重合性のモノマーまたはオリゴマーを含有する、請求項１に記載の半導体用粘着シート。
3. Ｃ層中に、分子内に炭素−炭素二重結合を有する放射線重合性のモノマーまたはオリゴマーを含有する、請求項１または請求項２に記載の半導体用粘着シート。
4. Ｃ層のアクリル樹脂が、炭素−炭素二重結合を含む側鎖を、全側鎖の１％以上有するアクリル樹脂である、請求項１〜３のいずれかの項に記載の半導体用粘着シート。
5. Ｂ層を構成するアクリル樹脂の窒素原子含有モノマー単位の含有量が１５％以上である請求項１〜４のいずれかの項に記載の半導体用粘着シート。
6. 前記Ｂ層中の放射線重合開始剤の含有量が、０．０１重量％未満である請求項１〜５のいずれかの項に記載の半導体用粘着シート。
7. 前記Ｂ層及びＣ層が、転写法によって作製された請求項１〜６のいずれかの項に記載の半導体用粘着シート。

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