JP5534690B2 - ダイシングテープ - Google Patents
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Description
図1は本発明に係るダイシングテープ1を示す断面図である。
ダイシングテープ1は、基材フィルム3と、その面上に設けられた粘着性を有する粘着剤層5を有してなる粘着テープである。ダイシングテープ1は、ダイシング時の半導体ウエハの支持固定に用いられるものである。
ループスティフネスの測定条件:
装置;ループスティフネステスタDA(東洋精機)
ループ(サンプル)形状;長さ80mm、幅25mm
圧子の押し込み速度;3.3mm/sec
測定データ;圧子がループと接触した時点から10mm押し込んだときにロードセルに検出される負荷荷重値を採用する。
光重合開始剤の添加量は、前記紫外線硬化性樹脂100質量部に対して0.5〜10質量部とするのが良い。
粘着剤組成物(A)
2−エチルヘキシルアクリレート(75mol%)、メタクリル酸(1mol%)、2−ヒドロキシエチルアクリレート(24mol%)の共重合体に、光重合性炭素−炭素二重結合および官能基を有する化合物として、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、重合禁止剤としてハイドロキノンを適宜加え反応温度および反応時間を調整して、光重合性炭素−炭素二重結合を有する化合物を得た。この化合物100質量部に対して、ポリイソシアネートとして日本ポリウレンタン社製:コロネートLを2質量部、光重合開始剤として日本チバガイギー社製:イルガキュアー184を0.5質量部加えて合し、紫外線硬化性粘着剤組成物(A)を調製した。
以下に示す樹脂材料を、押出機を使用して押出加工することにより基材フィルムを作成した。
樹脂材料
基材フィルムA:エチレン−酢酸ビニル共重合体
東ソー(株)製ウルトラセン631
(100μm厚)
基材フィルムB:エチレン−アクリル酸共重合体アイオノマー(亜鉛架橋)
三井デュポンポリケミカル(株)製ハイミラン1855
(100μm厚)
基材フィルムC:エチレン−メタクリル酸共重合体
三井デュポンポリケミカル(株)製ニュクレルNO35C
(100μm厚)
基材フィルムD:ポリプロピレン−熱可塑性エラストマー混合樹脂
ポリプロピレン:ノバテックPPFG3DC 60%
熱可塑性エラストマー:JSR(株)製ダイナロン1320p 40%
(100μm厚)
基材フィルムE:エチレン−アクリル酸共重合体アイオノマー(ナトリウム架橋)
三井デュポンポリケミカル(株)製ハイミラン1601
(100μm厚)
基材フィルムF:ポリプロピレン−熱可塑性エラストマー混合樹脂
ポリプロピレン:ノバテックPPFG3DC 80%
熱可塑性エラストマー:JSR(株)製ダイナロン1320P 20%
(100μm厚)
粘着剤として粘着剤組成物(A)を剥離処理した厚さ38μmのポリエステルフィルムに乾燥後の厚さが10μmとなるように塗布し、80℃で5分間乾燥した後、上記の各種基材フィルムと張り合わせることでダイシングテープを作製した。
(1)直径200mmの半導体ウエハを厚さ100μmまで研磨する。
3………基材フィルム
5………粘着剤層
7………セパレーター
9………半導体チップ
11………吸着コレット
13………突き上げピン
Claims (4)
- 基材フィルム上に粘着剤層を有してなるダイシングテープであって、
前記基材フィルムが、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、ポリブテン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体、エチレン−(メタ)アクリル酸エステル共重合体、エチレン−(メタ)アクリル酸金属塩系アイオノマー、軟質ポリ塩化ビニル、半硬質ポリ塩化ビニル、ポリウレタン、ポリアミド、ポリイミド、天然ゴム及び合成ゴムからなる群より選ばれた少なくとも1種の高分子材料を含み、
長さ80mm、幅25mmで、ループ状に曲げた前記基材フィルムに、ループの直径方向に3.3mm/secの押し込み速度で圧子を10mm押し込んだ際の負荷荷重値であるループスティフネスが5.8〜14.7mNであることを特徴とするダイシングテープ。 - 前記粘着剤を構成する樹脂組成物が、
炭素−炭素二重結合をポリマー側鎖または主鎖中もしくは主鎖末端に有するポリマーからなる樹脂組成物または、
一般的な粘着剤に紫外線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分などの紫外線硬化樹脂を配合した樹脂組成物である
ことを特徴とする請求項1に記載のダイシングテープ。 - 前記樹脂組成物が、ウレタンアクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ポリエーテルアクリレート、(メタ)アクリル酸オリゴマーおよびイタコン酸オリゴマーからなる群より選ばれた少なくとも1種の粘着剤を主成分として有することを特徴とする請求項2に記載のダイシングテープ。
- 表面に回路が形成された半導体ウエハの裏面を研削する工程と、
前記半導体ウエハ裏面に請求項1に記載のダイシングテープを粘着し、前記ウエハをダイシングしチップ化する工程と、
半導体チップをピックアップする工程と、
を備えることを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
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