JP2007238680A - 樹脂組成物及び樹脂組成物を使用して作製した半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(A)ポリアルキレンオキサイド骨格を有するビスマレイミド化合物、(B)ポリアルキレンオキサイド骨格を有するアリルエステル化合物、(C)ヒドロキシカルボニル基を有する(メタ)アクリレート、(D)水酸基を有する(メタ)アクリレート、(E)ラジカル開始剤、及び(F)充填材を含むことを特徴とする樹脂組成物。
【選択図】なし
Description
一方、環境対応の一環として鉛フリー半田対応のため、より高いリフロー信頼性が求められるようになった。
ここで現在主流であるエポキシ樹脂系のダイアタッチペーストの場合には、例えばアミン系硬化剤を用いることにより、60秒程度の硬化時間で硬化が可能になるが、高リフロー性に重要な低応力性、吸水後の熱時接着強度などで充分な特性を得られていない。
マレイミドなどのイミド結合を有する化合物を使用すると特に金属への密着が改善されることはすでに特許文献2〜7に記載の通りであるが、より高リフロー信頼性に重要な低応力性において満足するものではなかった。
[1](A)ポリアルキレンオキサイド骨格を有するビスマレイミド化合物、(B)ポリアルキレンオキサイド骨格を有するアリルエステル化合物、(C)ヒドロキシカルボニル基を有する(メタ)アクリレート、(D)水酸基を有する(メタ)アクリレート、(E)ラジカル開始剤、及び(F)充填材を含むことを特徴とする樹脂組成物。
[2]上記アリルエステル化合物(B)が式(1)で示される構造を含むものである[1]項記載の樹脂組成物。
[4]さらに希釈剤としてラジカル重合可能な不飽和二重結合が1つ以上ある化合物(G)を含む[1]〜[3]項のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
[5]上記成分(A)、(B)、(C)、(D)及び(G)において、((C)+(D)+(G))/((A)+(B))が0.01〜3である[4]項に記載の樹脂組成物。
[6]上記成分(C)、(D)及び(G)において、(C)/((C)+(D)+(G))が0.001〜0.9である[4]又は[5]項に記載の樹脂組成物。
[7]上記成分(D)が式(2)示される構造を含むものである[1]〜[6]項のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
[9][1]〜[8]項のいずれか1項に記載の樹脂組成物をダイアタッチ材料として用いて製作されることを特徴とする半導体装置。
好ましい化合物(B)としては、分子量500以上、5000以下のもので、より好ましい分子量の範囲は800以上、2000以下である。下限値より小さい場合には樹脂組成物中の官能基の数が多くなり硬化物の弾性率が高くなる傾向にあり、上限値より大きい場合には樹脂組成物の粘度が高くなりすぎ実用的でないためである。
これらの化合物の持つ水酸基が支持体表面と水素結合をして密着性を向上させる。しかしながら硬化物中の分子間の凝集力が高くなるため、硬化物が硬くなる可能性がある。よって式(2)に示されるような構造を含むことが望ましい。式(2)に含まれる環状脂肪族は応力緩和性に富むため、金属への密着力と低応力性を両立することができる。
本発明で用いる室温で液状であるラジカル重合可能な不飽和結合を1つ以上もつ化合物(G)は、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、ターシャルブチル(メタ)アクリレート、イソデシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、トリデシル(メタ)アクリレート、セチル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、イソアミル(メタ)アクリレート、イソステアリル(メタ)アクリレート、ベヘニル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、その他のアルキル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ターシャルブチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジンクモノ(メタ)アクリレート、ジンクジ(メタ)アクリレート、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ジエチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコール(メタ)アクリレート、トリフロロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフロロプロピル(メタ)アクリレート、2,2,3,3,4,4−ヘキサフロロブチル(メタ)アクリレート、パーフロロオクチル(メタ)アクリレート、パーフロロオクチルエチル(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、1,3−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,10−デカンジオールジ(メタ)アクリレート、テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、メトキシエチル(メタ)アクリレート、ブトキシエチル(メタ)アクリレート、エトキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート、オクトキシポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ラウロキシポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ステアロキシポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート、アリロキシポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート、N,N’−メチレンビス(メタ)アクリルアミド、N,N’−エチレンビス(メタ)アクリルアミド、1,2−ジ(メタ)アクリルアミドエチレングリコール、ジ(メタ)アクリロイロキシメチルトリシクロデカン、2−(メタ)アクリロイロキシエチル、N−(メタ)アクリロイロキシエチルマレイミド、N−(メタ)アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタルイミド、N−(メタ)アクリロイロキシエチルフタルイミド、n−ビニル−2−ピロリドン、スチレン誘導体、α−メチルスチレン誘導体などが挙げられる。
またこれら化合物(G)は必要に応じて複数種を混ぜて使用しても良い。
また上記成分(C)、(D)及び(G)において、(C)/((C)+(D)+(G))は、0.001〜0.9が好ましく、より好ましくは0.01〜0.8で、さらに好ましくは0.01〜0.6である。この数値が下限値よりも低い場合、ヒドロキシカルボニル基を有する(メタ)アクリレート(C)の効果がなくなり、接着強度が低下する。一方、この数値が上限値よりも高い場合、接着強度は良いが吸水後接着強度は大きく低下する。
本発明の樹脂組成物は、例えば各種成分を予備混合した後、3本ロールを用いて混練した後真空脱泡することにより製造することができる。
以下に実施例を用いて本発明を具体的に説明する。配合割合は重量部で示す。
成分(A)としてポリアルキレンマレイミド酢酸エステル(大日本インキ工業(株)製、ルミキュアMIA−200、以下化合物1)、成分(B)としてポリアルキレン含有アリルエステル(昭和電工(株)製、アリルエステル樹脂DA101、式(1)のR1がH、以下化合物2)、成分(C)として2−メタクリロイロキシエチルコハク酸(共栄社化学(株)製、ライトエステルHO−MS、以下化合物3)、成分(D)として1,4−シクロヘキサンジメタノールモノアクリレート(日本化成化学(株)製、CHDMMA、式(2)のR2がH、R3、R4がCH2、以下化合物5)、成分(E)として1,1−ジ(tert−ブチルパーオキシ)シクロヘキサン(日本油脂(株)製、パーヘキサCS、以下化合物6)、成分(F)として平均粒径3μm、最大粒径20μmのフレーク状銀粉(以下銀粉)、成分(G)として2官能であるプロピルジメタクリレート(共栄社化学(株)製、ライトエステル3PG、以下化合物7)、添加剤としてγ−グリシジルプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業(株)製、KBM−403E、以下化合物10)を表1のように配合し、3本ロールにて混合し、更に真空脱泡して樹脂組成物を得た。以下の評価方法により評価し、表1に示した。
・接着強度:表1の樹脂組成物を用いて、4×4mmシリコンチップを銀メッキなし、銀メッキあり、Ni−Pdメッキした銅リードフレーム上にマウントし、表面温度が170℃に設定された熱盤上で2分加熱し、硬化した。硬化直後及び吸水処理後(85℃、85RH%、72時間)に自動接着力測定装置を用いて250℃での熱時ダイシェア強度を測定した(単位:N/チップ)。この時の測定値が35N/チップ以上であるものを合格とした。
・耐半田クラック性:表1に示す樹脂組成物を用い、下記のリードフレームとシリコンチップを、表面温度が170℃に設定された熱盤上で2分加熱し硬化させ接着した。その後スミコンEME−7026(住友ベークライト(株)製)を封止材として用い封止したパッケージを60℃、相対湿度60%の条件下で192時間吸湿処理した後、IRリフロー処理(260℃、10秒、3回リフロー)を行い、処理後のパッケージを超音波深傷装置(透過型)により剥離の程度を測定した。ダイアタッチ部の剥離面積が10%未満の場合を合格とした。剥離面積の単位は%である。
パッケージ:QFP(14×20×2.0mm)
リードフレーム:銀スポットメッキした銅リードフレーム
チップサイズ:6×6mm
実施例1以外で用いた成分は、成分(C)として2−アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸(共栄社化学(株)製、ライトアクリレートHOA−HH、以下化合物4)、成分(G)として1官能であるテトラヒドロフルヒリルアクリレート(共栄社化学(株)製、ライトアクリレートTHF−A、以下化合物8)と3官能であるトリメチロールプロパントリメタクリレート(共栄社化学(株)製、ライトエステルTMP、以下化合物9)であり、表1、2の配合に従い、実施例1と同様に樹脂組成物を作製した。作製した樹脂組成物を実施例1と同様に評価した。
Claims (9)
- (A)ポリアルキレンオキサイド骨格を有するビスマレイミド化合物、(B)ポリアルキレンオキサイド骨格を有するアリルエステル化合物、(C)ヒドロキシカルボニル基を有する(メタ)アクリレート、(D)水酸基を有する(メタ)アクリレート、(E)ラジカル開始剤、及び(F)充填材を含むことを特徴とする樹脂組成物。
- 上記成分(A)及び(B)において、(A)/(B)が0.1〜3である請求項1又は2記載の樹脂組成物。
- さらに希釈剤としてラジカル重合可能な不飽和二重結合が1つ以上ある化合物(G)を含む請求項1〜3のいずれか1項に記載の組成物。
- 上記成分(A)、(B)、(C)、(D)及び(G)において ((C)+(D)+(G))/((A)+(B))が0.01〜3である請求項4に記載の樹脂組成物。
- 上記成分(C)、(D)及び(G)において、(C)/((C)+(D)+(G))が0.001〜0.9である請求項4又は5に記載の樹脂組成物。
- 上記成分(F)が銀粉である請求項1〜7のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載の樹脂組成物をダイアタッチ材料として用いて製作されることを特徴とする半導体装置。
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