JP2007232507A

JP2007232507A - レゾルバ

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Publication number: JP2007232507A
Application number: JP2006053155A
Authority: JP
Inventors: Yoshimi Kikuchi; 良巳菊池; Takeshi Suganuma; 毅菅沼; Kentaro Ozawa; 健太郎小澤; Yonezo Kubota; 米蔵久保田
Original assignee: Tamagawa Seiki Co Ltd
Current assignee: Tamagawa Seiki Co Ltd
Priority date: 2006-02-28
Filing date: 2006-02-28
Publication date: 2007-09-13

Abstract

【課題】ステータ巻線のコンダクタンスのばらつきを極めて小さくして回転角度の検出精度を高めることが可能なレゾルバを提供する。
【解決手段】それぞれが２枚のシート状コイル（励磁巻線１３０用のシート状コイル１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃ，１３０ｄ及び出力巻線１４０用のシート状コイル１４０ａ，１４０ｂ，１４０ｃ，１４０ｄ）が積層された構造を有する複数のシート状積層コイル１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄ及び複数のシート状積層コイル１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄを支持する支持体１１０を有するステータ１００と、ステータ１００に対して回転自在に配設されたロータ１６０とを備えることを特徴とするレゾルバ１０。
【選択図】図１

Description

本発明は、レゾルバに関する。

図８は、従来のレゾルバ８００を説明するために示す図である。図８（ａ）は従来のレゾルバ８００の構造を示す図であり、図８（ｂ）は従来のレゾルバ８００からの出力電圧を示す図である。

従来のレゾルバ８００は、図８（ａ）に示すように、１相の励磁巻線８０４及び２相の出力巻線（ＳＩＮ出力巻線８０６及びＣＯＳ出力巻線８０７）が突極８０３に巻回されたステータ８０１と、ステータ８０１に対して回転自在に設けられたロータ８０５とを備えるバリアブルリラクタンス型のレゾルバである。ロータ８０５は、鉄心のみで巻線を有しない偏心ロータであり、ロータ８０５とステータ８０１との間のギャップパーミアンスが回転角度θに対して正弦波状に変化する。このため、従来のレゾルバ８００によれば、図８（ｂ）に示すように、上記したギャップパーミアンスを測定することにより回転角度を高精度で検出することができる。

図９は、従来のレゾルバ９００を説明するために示す図である。図９（ａ）は従来のレゾルバ９００の構造を示す図であり、図９（ｂ）は従来のレゾルバ９００の各スロットにおける巻線構造を説明するために示す図である。

従来のレゾルバ９００は、図９（ａ）に示すように、１相の励磁巻線９０４及び２相の出力巻線（ＳＩＮ出力巻線９０６及びＣＯＳ出力巻線９０７（図９（ａ）では図示せず。））が突極９０３に巻回されたステータ９０１と、ステータ９０１に対して回転自在に設けられたロータ９０５とを備えるバリアブルリラクタンス型のレゾルバである。ロータ９０５は、鉄心のみで巻線を有しない偏心ロータであり、従来のレゾルバ８００の場合と同様に、ロータ９０５とステータ９０１との間のギャップパーミアンスが回転角度θに対して正弦波状に変化する。このため、従来のレゾルバ９００によれば、図９（ｂ）に示すように、上記したギャップパーミアンスを測定することにより回転角度を高精度で検出することができる。

また、従来のレゾルバ９００においては、２相の出力巻線（ＳＩＮ出力巻線９０６及びＣＯＳ出力巻線９０７）が各スロット９０２に１スロットピッチ（スロット飛びを伴うことなく、各スロットに順次巻線を入れる状態）で巻回されており（図９（ａ）では図示せず。）、さらに、図９（ｂ）に示すように、その誘起電圧分布が各々正弦波分布となるように分布巻き（その巻線の巻き数（量）も正弦波分布状となる。）されている。

このため、従来のレゾルバ９００によれば、出力電圧に含まれている低次から高次にわたる高周波次数を低減させることにより、回転角度の検出精度を向上することができる。

特開平８−１７８６１１号公報

しかしながら、従来のレゾルバ８００及び従来のレゾルバ９００においては、自動巻回機を用いたとしても、励磁巻線及び出力巻線からなるステータ巻線を各突極に規格どおりに精度よく巻回するのが実際上容易ではないため、ステータ巻線のコンダクタンスのばらつきを極めて小さくして回転角度の検出精度を高めることが困難であるという問題がある。

そこで、本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、ステータ巻線のコンダクタンスのばらつきを極めて小さくして回転角度の検出精度を高めることが可能なレゾルバを提供することを目的とする。

本発明のレゾルバは、それぞれが複数枚のシート状コイルが積層された構造を有する複数のシート状積層コイル及び前記複数のシート状積層コイルを支持する支持体を有するステータと、前記ステータに対して回転自在に配設されたロータとを備えることを特徴とする。

このため、本発明のレゾルバによれば、予め所定の導線パターンが形成されている複数のシート状積層コイルを用いてステータ巻線を形成することが可能となるため、ステータ巻線を規格どおりに精度よく形成することが可能となり、ステータ巻線のコンダクタンスのばらつきを極めて小さくして回転角度の検出精度を高めることが可能となる。

また、本発明のレゾルバによれば、予め所定の導線パターンが形成されている複数のシート状積層コイルを用いてステータ巻線を形成することが可能となるため、自動巻回機を用いて機械的な巻回作業を行ったり、結束・結線作業を行ったりする必要がなくなり、レゾルバを製造するうえでの生産性を高めることが可能となる。

さらにまた、本発明のレゾルバによれば、薄いシート状積層コイルを用いてステータ巻線を形成することができるため、レゾルバを薄型化することが可能となる。

本発明のレゾルバにおいては、各シート状積層コイルは、同一円周上に等分角度の位置に配置されていることが好ましい。
また、本発明のレゾルバにおいては、前記シート状積層コイルとして、励磁巻線用のシート状コイルと、出力巻線用のシート状コイルとが積層されたシート状積層コイルを備えることが好ましい。

このように構成することにより、バリアブルリラクタンス型のレゾルバを構成することが可能となるため、回転角度を高精度で検出することが可能となる。

また、本発明のレゾルバにおいては、前記シート状積層コイルとして、前記励磁巻線用のシート状コイルと、前記出力巻線用のシート状コイルとがそれぞれ複数枚積層されたシート状積層コイルを備えることが好ましい。

このように構成することにより、十分な励磁性能及び検出感度を得ることが可能となり、結果として、回転角度を高精度で検出することが可能となる。

また、本発明のレゾルバにおいては、前記シート状積層コイルを構成する各シート状コイルは、基材の表面に金属層が形成されたシートに、所定パターンでレーザ光を照射することにより形成されたシート状コイルであることが好ましい。

このように構成することにより、シート状積層コイルを構成する各シート状コイルを製造する過程でエッチング液を使用する必要がなくなるため、レゾルバの使用中に、エッチング液の存在に起因してコイルが腐食したり断線したりすることがなくなる。このため、高信頼性のレゾルバを提供することが可能となる。

また、本発明のレゾルバにおいては、前記シート状積層コイルを構成する各シート状コイルは、スルーホールを用いて電気的に接続されていることが好ましい。

このように構成することにより、シート状積層コイル構成する各シート状コイルを良好に接続することが可能となり、高信頼性のレゾルバを提供することが可能となる。

以下、本発明のレゾルバについて、図に示す実施の形態に基づいて説明する。

〔実施形態１〕
図１は、実施形態１に係るレゾルバ１０を説明するために示す図である。図１（ａ）はレゾルバ１０の平面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ｏ−Ｂ−Ｃ断面図であり、図１（ｃ）は図１（ｂ）の要部拡大図である。図２は、実施形態１に係るレゾルバ１０における励磁巻線１３０を説明するために示す図である。図３は、実施形態１に係るレゾルバ１０における出力巻線１４０を説明するために示す図である。図４は、励磁巻線１３０用のシート状コイル１３０ｂの製造方法を説明するために示す図である。

実施形態１に係るレゾルバ１０は、図１に示すように、それぞれが２枚のシート状コイル（励磁巻線１３０用のシート状コイル１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃ，１３０ｄ（図２参照。）及び出力巻線１４０用のシート状コイル１４０ａ，１４０ｂ，１４０ｃ，１４０ｄ（図３参照。））が積層された構造を有する４つのシート状積層コイル１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄ及び４つのシート状積層コイル１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄを支持する支持体１１０を有するステータ１００と、ステータ１００に対して回転自在に配設されたロータ１６０とを備える。

実施形態１に係るレゾルバ１０においては、図２及び図３に示すように、４つの励磁巻線１３０用のシート状コイル１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃ，１３０ｄが励磁巻線１３０を構成し、４つの出力巻線１４０用のシート状コイル１４０ａ，１４０ｂ，１４０ｃ，１４０ｄが出力巻線１４０を構成する。そして、励磁巻線１３０と出力巻線１４０とがステータ巻線１２０（図示せず。）を構成する。

実施形態１に係るレゾルバ１０においては、図１に示すように、各シート状積層コイル１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄは、同一円周上に等分角度（９０度）の位置に配置されている。

実施形態１に係るレゾルバ１０においては、シート状積層コイル１２０ｂは、図１（ｃ）に示すように、励磁巻線１３０用のシート状コイル１３０ｂと、出力巻線１４０用のシート状コイル１４０ｂとをそれぞれ１層ずつ備える。シート状積層コイル１２０ａ，１２０ｃ，１２０ｄの場合も同様である。

実施形態１に係るレゾルバ１０においては、非磁性体材料からなる支持体１１０の上面には、図１（ｃ）に示すように、それぞれが電磁鋼板からなる２枚のヨーク１５０，１５２及びガイドブッシュ１５４が配置されている。そして、２枚のヨーク１５０，１５２及びガイドブッシュ１５４は、ガイドブッシュ１５４の周囲にシート状積層コイル１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄが挿入された状態で、ボルト１５６とナット１５８とを用いて固定されている（図１（ｂ）参照。）。

実施形態１に係るレゾルバ１０においては、図１（ｃ）に示すように、２枚のヨーク１５０，１５２の間に、ロータ１６０が配置されているため、各シート状積層コイル１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄ毎に、独立した磁気回路が構成されることになる。

実施形態１に係るレゾルバ１０においては、図４に示すように、シート状積層コイル１２０ｂを構成する励磁巻線１３０用のシート状コイル１３０ｂは、基材２０の表面に金属層２２が形成されたシートに、所定パターンでレーザ光Ｌを照射することにより形成されたシート状コイルである。他のシート状コイル（励磁巻線１３０用のシート状コイル１３０ａ，１３０ｃ，１３０ｄ及び出力巻線１４０用のシート状コイル１４０ａ，１４０ｂ，１４０ｃ，１４０ｄ）も同様の方法により形成されたシート状コイルである。

基材２０としては、厚さ６０μｍのガラスエポキシ基板を用い、金属層２２としては、厚さ１５μｍの銅からなる金属層を用いた。金属層２２にレーザ光Ｌを照射することにより得られる金属線２４の配列ピッチは５０μｍであり、金属線２４の幅は３０μｍである。金属線２４は、平面トラック状（約８０周）に配置され、これがシート状コイルのコイルとなる。

以上のように構成された実施形態１に係るレゾルバ１０によれば、予め所定の導線パターンが形成されている複数（４つ）のシート状積層コイル１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄを用いてステータ巻線１２０を形成することが可能となるため、ステータ巻線を規格どおりに精度よく形成することが可能となり、ステータ巻線のコンダクタンスのばらつきを極めて小さくして回転角度の検出精度を高めることが可能となる。

また、実施形態１に係るレゾルバ１０によれば、予め所定の導線パターンが形成されている複数（４つ）のシート状積層コイル１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄを用いてステータ巻線１２０を形成することが可能となるため、自動巻回機を用いて機械的な巻回作業を行ったり、結束・結線作業を行ったりする必要がなくなり、レゾルバを製造するうえでの生産性を高めることが可能となる。

さらにまた、実施形態１に係るレゾルバ１０によれば、薄いシート状積層コイル１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄを用いてステータ巻線を形成することができるため、レゾルバを薄型化（例えば、５ｍｍ以下。）することが可能となる。

また、実施形態１に係るレゾルバ１０においては、各シート状積層コイル１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄは、同一円周上に等分角度の位置に配置されており、さらには、シート状積層コイル１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄとして、励磁巻線１３０用のシート状コイル１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃ，１３０ｄと、出力巻線１４０用のシート状コイル１４０ａ，１４０ｂ，１４０ｃ，１４０ｄとが積層されたシート状積層コイルを備えるため、バリアブルリラクタンス型のレゾルバを構成することが可能となり、回転角度を高精度で検出することが可能となる。

また、実施形態１に係るレゾルバ１０においては、シート状積層コイル１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄを構成する各シート状コイル１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃ，１３０ｄ，１４０ａ，１４０ｂ，１４０ｃ，１４０ｄは、基材２０の表面に金属層２２が形成されたシートに、所定パターンでレーザ光Ｌを照射することにより形成されたシート状コイルであるため、シート状積層コイルを構成する各シート状コイルを製造する過程でエッチング液を使用する必要がなくなる。このため、レゾルバの使用中に、エッチング液の存在に起因してコイルが腐食したり断線したりすることがなくなり、高信頼性のレゾルバを提供することが可能となる。

また、実施形態１に係るレゾルバ１０によれば、各シート状積層コイル１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄを上下から挟んで配置された上下２枚のヨーク１５０，１５２の間に、ロータ１６０が配置されているため、各シート状積層コイル１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄ毎に、独立した磁気回路が構成されることになり、回転角度を高精度で検出することが可能となる。

〔実施形態２〕
図５は、実施形態２に係るレゾルバ１２を説明するために示す図である。図５（ａ）はレゾルバ１２の平面図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）のＡ−Ｏ−Ｂ−Ｃ断面図であり、図５（ｃ）は図５（ｂ）の要部拡大図である。図６は、励磁巻線２３０用のシート状コイル２３０ｂを説明するために示す図である。図６（ａ）は励磁巻線２３０用のシート状コイル２３０ｂを構成するシート状コイル３０を模式的に示す平面図であり、図６（ｂ）は励磁巻線２３０用のシート状コイル２３０ｂを構成するシート状コイル４０を模式的に示す平面図であり、図６（ｃ）は励磁巻線２３０用のシート状コイル２３０ｂを模式的に示す断面図である。

実施形態２に係るレゾルバ１２は、図５（ａ）に示すように、基本的には実施形態１に係るレゾルバ１０と同様の構成を有しているが、シート状積層コイルの構造が実施形態１に係るレゾルバ１０の場合とは異なっている。すなわち、実施形態２に係るレゾルバ１２においては、励磁巻線２３０用のシート状コイル２３０ｂは、図５（ｂ）、図５（ｃ）及び図６に示すように、平面トラック状のシート状コイル３０，４０が積層された構造を有する。また、図示はしないが、励磁巻線２３０用のシート状コイル２３０ａ，２３０ｃ，２３０ｄ及び出力巻線２４０用のシート状コイル２４０ａ，２４０ｂ，２４０ｃ，２４０ｄも、平面トラック状のシート状コイルが２枚積層された構造を有する。

このため、実施形態２に係るレゾルバ１２によれば、励磁巻線２３０用のシート状コイル２３０ａ，２３０ｂ，２３０ｃ，２３０ｄと、出力巻線２４０用のシート状コイル２４０ａ，２４０ｂ，２４０ｃ，２４０ｄとが、それぞれ２枚積層されたシート状コイル３０，４０を備えることで、十分な励磁性能及び検出感度を得ることが可能となり、結果として、回転角度を高精度で検出することが可能となる。

また、実施形態２に係るレゾルバ１２においては、励磁巻線２３０用のシート状コイル２３０ａ，２３０ｂ，２３０ｃ，２３０ｄ又は出力巻線２４０用のシート状コイル２４０ａ，２４０ｂ，２４０ｃ，２４０ｄを構成する各シート状コイル３０，４０は、スルーホール５０及びはんだ５２を用いて電気的に接続されている。

このため、実施形態２に係るレゾルバ１２によれば、励磁巻線２３０用のシート状コイル２３０ａ，２３０ｂ，２３０ｃ，２３０ｄ又は出力巻線２４０用のシート状コイル２４０ａ，２４０ｂ，２４０ｃ，２４０ｄを構成する各シート状コイル３０，４０を良好に接続することが可能となり、高信頼性のレゾルバを提供することが可能となる。

なお、実施形態２に係るレゾルバ１２は、これ以外の点では実施形態１に係るレゾルバ１０の場合と同様の構成を有するため、実施形態１に係るレゾルバ１０が有する効果のうち該当する効果を有する。

〔実施形態３〕
図７は、実施形態３に係るレゾルバ１４を説明するために示す図である。図７（ａ）はレゾルバ１４の平面図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）のＡ−Ｏ−Ｂ−Ｃ断面図であり、図７（ｃ）は図７（ｂ）の要部拡大図である。

実施形態３に係るレゾルバ１４は、図７（ａ）に示すように、基本的には実施形態１に係るレゾルバ１０と同様の構成を有しているが、支持体の材料及び構造が実施形態１に係るレゾルバ１０の場合とは異なっている。すなわち、実施形態３に係るレゾルバ１４においては、支持体１１４は、電磁鋼板からなり、図７（ｂ）及び図７（ｃ）に示すように、実施形態１における下側のヨーク１５０の役割を兼ねている。

このように、実施形態３に係るレゾルバ１４は、支持体の材料及び構造が実施形態１に係るレゾルバ１０の場合とは異なっているが、これ以外の点では実施形態１に係るレゾルバ１０の場合と同様の構成を有するため、実施形態１に係るレゾルバ１０が有する効果のうち該当する効果を有する。

なお、実施形態３に係るレゾルバ１４においては、支持体１１４が下側のヨークの役割を兼ねるために、下側のヨークが互い結合された構造を有しているが、磁気的に見ればそれほど強く結合されていないため、実施形態１に係るレゾルバ１０の場合と同様に、各シート状積層コイル１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄ毎に、ほぼ独立した磁気回路が構成されることになるため、回転角度を高精度で検出することが可能となる。

以上、本発明のレゾルバを上記の各実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において実施することが可能であり、例えば、次のような変形も可能である。

（１）実施形態１に係るレゾルバ１０においては、シート状コイルとして、基材２０の片面に金属線２４が形成されたシート状コイルを用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、基材の両面に金属線が形成されたシート状コイルを用いることもできる。

（２）実施形態２に係るレゾルバ１２においては、励磁巻線２３０用のシート状コイル２３０ａ，２３０ｂ，２３０ｄ，２３０ｄ及び出力巻線２４０用のシート状コイル２４０ａ，２４０ｂ，２４０ｃ，２４０ｄとして、それぞれ２枚のシート状コイル３０，４０が積層された構造を有するシート状コイルを用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、それぞれ３枚以上のシート状コイルが積層された構造を有するシート状コイルを用いることもできる。

（３）実施形態１に係るレゾルバ１０においては、複数のシート状積層コイルとして、円周上に等分角度（９０度）の位置に配置された４つのシート状積層コイル１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄを用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、円周上に等分角度の位置に配置された６つ、８つ、１０、１２又はそれ以上のシート状積層コイルを用いることもできる。また、例えば、円周上に等分角度の位置に配置された３つ、５つ、７又はそれ以上のシート状積層コイルを用いることもできる。

（４）実施形態１に係るレゾルバ１０は、２極の極数を有するレゾルバであるが、本発明はこれに限定されるものではない。多極の極数を有する多極・複速度（マルチスピード）のレゾルバであってもよい。

（５）実施形態１に係るレゾルバ１０においては、ロータとして、鉄心のみで巻線を有しないロータ１６０を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、ロータとして、巻線を有するロータを用いることもできる。

（６）実施形態１に係るレゾルバ１０においては、ロータとして、偏心しているロータ１６０を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、ロータとして、偏心していないｎＸ型（Ｘは軸倍角）のロータを用いることもできる。

実施形態１に係るレゾルバ１０を説明するために示す図である。実施形態１に係るレゾルバ１０における励磁巻線１３０を説明するために示す図である。実施形態１に係るレゾルバ１０における出力巻線１４０を説明するために示す図である。励磁巻線１３０用のシート状積層コイル１３０ｂの製造方法を説明するために示す図である。実施形態２に係るレゾルバ１２を説明するために示す図である。励磁巻線２３０用のシート状コイル２３０ｂを説明するために示す図である。実施形態３に係るレゾルバ１４を説明するために示す図である。従来のレゾルバ８００を説明するために示す図である。従来のレゾルバ９００を説明するために示す図である。

符号の説明

１０，１２，１４…レゾルバ、２０…基材、２２…金属層、２４…金属線、３０，４０…シート状コイル、３２，４２…基材、３４，４４…金属線、３６，４６…取出電極、３８，４８…中間接続電極、５０…スルーホール、５２…はんだ、１００，１０２，１０４…ステータ、１１０，１１４…支持体、１１２，１１６…凹部、１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄ、２２０ａ，２２０ｂ，２２０ｃ，２２０ｄ…シート状積層コイル、１３０…励磁巻線、１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃ，１３０ｄ，２３０ｂ，２３０ｄ…励磁巻線用のシート状コイル、１４０…出力巻線、１４０ａ，１４０ｂ，１４０ｃ，１４０ｄ，２４０ｂ，２４０ｄ…出力巻線用のシート状コイル、１５０，１５２…ヨーク、１５４…ガイドブッシュ、１５６…ボルト、１５８…ナット、１６０…ロータ、８００，９００…レゾルバ、８０１，９０１…ステータ、８０２，９０２…スロット、８０３，９０３…突極、８０４，９０４…励磁巻線、８０５，９０５…ロータ、８０６，８０７，９０６，９０７…出力巻線、８０８，９０８…ＳＩＮ出力電圧、８０９，９０９…ＣＯＳ出力電圧、θ…回転角度、Ｌ…レーザ光、Ｒ_１，Ｒ_２，Ｓ_１，Ｓ_２，Ｓ_３，Ｓ_４…端子

Claims

それぞれが複数枚のシート状コイルが積層された構造を有する複数のシート状積層コイル及び前記複数のシート状積層コイルを支持する支持体を有するステータと、
前記ステータに対して回転自在に配設されたロータとを備えることを特徴とするレゾルバ。
請求項１に記載のレゾルバにおいて、
各シート状積層コイルは、同一円周上に等分角度の位置に配置されていることを特徴とするレゾルバ。
請求項１又は２に記載のレゾルバにおいて、
前記シート状積層コイルとして、励磁巻線用のシート状コイルと、出力巻線用のシート状コイルとが積層されたシート状積層コイルを備えることを特徴とするレゾルバ。
請求項３に記載のレゾルバにおいて、
前記シート状積層コイルとして、前記励磁巻線用のシート状コイルと、前記出力巻線用のシート状コイルとがそれぞれ複数枚積層されたシート状積層コイルを備えることを特徴とするレゾルバ。
請求項１〜４のいずれかに記載のレゾルバにおいて、
前記シート状積層コイルを構成する各シート状コイルは、基材の表面に金属層が形成されたシートに、所定パターンでレーザ光を照射することにより形成されたシート状コイルであることを特徴とするレゾルバ。
請求項１〜５のいずれかに記載のレゾルバにおいて、
前記シート状積層コイルを構成する各シート状コイルは、スルーホールを用いて電気的に接続されていることを特徴とするレゾルバ。