JP2007227250A - 検査装置及び検査装置の予備排気室を真空排気する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料室10と予備排気室20とを備えた検査装置において、予備排気室20内を真空排気する前に、試料ホルダ2上に保持された試料1を予備排気室20内に配置し、大気側ゲート弁22閉じ、給気弁28を開け、2〜4気圧の乾燥窒素を予備排気室20内に導入する。大気開放弁26を開き、予備排気室20内の空気が排気され、乾燥窒素に置換される。
【選択図】図1
Description
Claims (12)
- 検査用の試料を保持する真空排気された試料室と、検査前の試料又は検査後の試料を一時的に保管する予備排気室と、上記予備排気室に乾燥した不活性ガスを注入するための給気弁と、上記予備排気室を大気開放するための大気開放弁と、を有し、上記予備排気室内を真空排気する前に、上記給気弁を開け、上記大気開放弁を開けることによって、上記予備排気室内の空気を乾燥した不活性ガスによって置換することを特徴とする検査装置。
- 請求項1記載の検査装置において、上記大気開放弁は、上記予備排気室内の圧力が所定の圧力を超えたとき、開き、上記予備排気室内の圧力が大気圧に戻ったとき、閉じる制御弁であることを特徴とする検査装置。
- 請求項1記載の検査装置において、上記給気弁は上記予備排気室の天井側に設けられ、上記大気開放弁は上記予備排気室の底部側に設けられていることを特徴とする検査装置。
- 請求項1記載の検査装置において、上記給気弁を開けてから所定の時間が経過したとき、上記給気弁を閉じることを特徴とする検査装置。
- 請求項1記載の検査装置において、上記不活性ガスは窒素であることを特徴とする検査装置。
- 請求項1記載の検査装置において、上記予備排気室内の空気のうち、上記検査前の試料の上側の空間の空気のみを乾燥した不活性ガスによって置換することを特徴とする検査装置。
- 請求項1記載の検査装置において、上記予備排気室内には、上記検査前の試料の上側に、上記乾燥した不活性ガスを溜めるための仕切り板が設けられていることを特徴とする検査装置。
- 検査用の試料を保持する真空排気された試料室と、検査前の試料又は検査後の試料を一時的に保管する予備排気室と、上記試料室と上記予備排気室の間に設けられた第1のゲート弁と、上記予備排気室内を真空排気するための予備排気室排気弁と、上記予備排気室に乾燥した窒素を注入するための給気弁と、上記予備排気室を大気開放するための大気開放弁と、を有し、上記予備排気室排気弁を開けて上記予備排気室内を真空排気する前に、上記予備排気室内の空気を乾燥窒素によって置換することを特徴とする顕微鏡装置。
- 請求項8記載の顕微鏡装置において、上記大気開放弁は、上記予備排気室内の圧力が所定の圧力を超えたとき、開き、上記予備排気室内の圧力が大気圧に戻ったとき、閉じる制御弁であることを特徴とする顕微鏡装置。
- 請求項8記載の顕微鏡装置において、上記給気弁を開けてから所定の時間が経過したとき、上記給気弁を閉じることを特徴とする顕微鏡装置。
- 検査用の試料を保持する真空排気された試料室と、検査前の試料又は検査後の試料を一時的に保管する予備排気室と、を備えた検査装置の予備排気室を真空排気する方法において、
試料が保持された予備排気室を密閉状態にすることと、
上記予備排気室内に乾燥窒素を注入することと、
上記予備排気室内の圧力が所定の圧力になったら上記予備排気室を大気開放することと、
上記予備排気室内の圧力が大気圧に戻ったら上記予備排気室を密閉することと、
上記乾燥窒素の注入を停止することと、
上記予備排気室内を真空排気することと、
を含む検査装置の予備排気室を真空排気する方法。 - 請求項11記載の検査装置の予備排気室を真空排気する方法において、検査前の試料の固定、又は、検査前の試料のアライメントを、上記予備排気室が大気開放されてから密閉されるまでの間で行うことを特徴とする検査装置の予備排気室を真空排気する方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2006
- 2006-02-24 JP JP2006048982A patent/JP2007227250A/ja not_active Withdrawn
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