JP2007225425A - 細胞電気生理センサとそれを用いた測定方法およびその製造方法 - Google Patents
細胞電気生理センサとそれを用いた測定方法およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007225425A JP2007225425A JP2006046548A JP2006046548A JP2007225425A JP 2007225425 A JP2007225425 A JP 2007225425A JP 2006046548 A JP2006046548 A JP 2006046548A JP 2006046548 A JP2006046548 A JP 2006046548A JP 2007225425 A JP2007225425 A JP 2007225425A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cell
- holding substrate
- cell holding
- recesses
- cells
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
Abstract
【解決手段】上記課題を解決するため本発明は、細胞保持基板12と、この細胞保持基板12の上方に配置した第1電極槽15と、この第1電極槽15の内部に配置した第1電極16と、細胞保持基板12の下方に配置した第2電極槽17と、この第2電極槽17の内部に配置した第2電極18とを備えている。そして、細胞保持基板12の上面には複数の凹部13を形成し、これらの凹部13から細胞保持基板12の下面に向けて貫通孔14を形成するとともに、隣接する凹部13の内壁は互いに交差させて形成したものである。これにより凹部13への細胞19のトラップ率を向上させることができ、少量の細胞19で検査処理することができる。
【選択図】図2
Description
図1は本発明の実施の形態1における細胞電気生理センサ11の細胞保持基板12を示す斜視図であり、この細胞保持基板12内部の実線部分は、後述の凹部13と貫通孔14の外観形状を表している。また図2は図1の破線A−B断面における細胞電気生理センサ11の断面図である。
本実施の形態2と実施の形態1との違いは、図11の細胞保持基板12の上面図から判るように、一つの凹部13の内壁を、隣接する4つの凹部13の内壁とそれぞれ交差させ、凹部13の開口部の形状を、上面から見ると正方形状を示すように形成したことである(最外周の凹部13を除く)。
本実施の形態3と実施の形態1との違いは、図12の細胞保持基板12の上面図で示すように、細胞保持基板12の上面の全面に凹部13を形成したことである。
12 細胞保持基板
13 凹部
14 貫通孔
15 第1電極槽
16 第1電極
17 第2電極槽
18 第2電極
19 細胞
19a 被験体細胞
19b 未保持の細胞
20 第1電解液
21 第2電解液
22 マスク層
23 湾曲部
Claims (12)
- 細胞保持基板と、この細胞保持基板の上方に配置した第1電極槽と、この第1電極槽の内部に配置した第1電極と、前記細胞保持基板の下方に配置した第2電極槽と、この第2電極槽の内部に配置した第2電極とを備え、前記細胞保持基板の上面には複数の凹部を形成し、これらの凹部から前記細胞保持基板の下面に向けて貫通孔を形成するとともに、隣接する凹部の内壁は互いに交差させて形成した細胞電気生理センサ。
- 前記細胞保持基板の上面は、隣接する凹部の内壁が交差している部分より上方に設けた請求項1に記載の細胞電気生理センサ。
- 細胞保持基板と、この細胞保持基板の上方に配置した第1電極槽と、この第1電極槽の内部に配置した第1電極と、前記細胞保持基板の下方に配置した第2電極槽と、この第2電極槽の内部に配置した第2電極とを備え、前記細胞保持基板の上面には複数の凹部を形成し、これらの凹部から前記細胞保持基板の下面に向けて貫通孔を形成するとともに、隣接する凹部の開口部間は、上方に突出する湾曲部とした細胞電気生理センサ。
- 前記細胞保持基板の上面は、前記湾曲部より上方に設けた請求項3に記載の細胞電気生理センサ。
- 隣接する前記貫通孔の中心点間距離が、被験体細胞の平均直径の2倍より短く、かつこの被験体細胞の平均直径より長いことを特徴とする請求項1から4のいずれか一つに記載の細胞電気生理センサ。
- 前記凹部を、前記細胞保持基板の上面の略全面に形成した請求項1または3または5のいずれか一つに記載の細胞電気生理センサ。
- 第1電極槽に第1電解液と細胞を注入し、第2電極槽に第2電解液を注入し、細胞保持基板の上面に配置した凹部に細胞を保持し、この細胞を前記凹部に設けた貫通孔の開口部に密着させ、この密着させた細胞を保持した状態で、前記凹部に保持されていない細胞を除去した後、前記凹部に保持された細胞の電気生理現象を測定する細胞電気生理センサを用いた測定方法。
- 細胞保持基板の上に、所定間隔にエッチングホールを設けたマスク層を配置し、次にエッチングガスを用いたドライエッチング加工で、前記細胞保持基板の上面に複数の凹部を隣接する凹部の内壁が交差するように形成し、その後前記エッチングガスとエッチングを抑制するガスとを交互に用いたドライエッチング加工で前記凹部から前記細胞保持基板の下面まで貫通する貫通孔を形成する細胞電気生理センサの製造方法。
- 前記マスク層はシリコン酸化物、またはシリコン窒化物、またはシリコンオキシ窒化物の少なくともいずれか一つからなる請求項8に記載の細胞電気生理センサの製造方法。
- 前記エッチングガスは、CF4、またはSF6、またはNF3、またはXeF2の少なくともいずれか一つとした請求項8または9に記載の細胞電気生理センサの製造方法。
- 前記エッチングを抑制するガスは、CHF3、またはC4F8の少なくとも一方とした請求項8から10のいずれか一つに記載の細胞電気生理センサの製造方法。
- 前記凹部をドライエッチング加工で形成する際、キャリアガスとしてN2、またはAr、またはHe、またはH2の少なくともいずれか一つを用いた請求項8から11のいずれか一つに記載の細胞電気生理センサの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006046548A JP4844161B2 (ja) | 2006-02-23 | 2006-02-23 | 細胞電気生理センサとそれを用いた測定方法およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006046548A JP4844161B2 (ja) | 2006-02-23 | 2006-02-23 | 細胞電気生理センサとそれを用いた測定方法およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007225425A true JP2007225425A (ja) | 2007-09-06 |
JP4844161B2 JP4844161B2 (ja) | 2011-12-28 |
Family
ID=38547383
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006046548A Expired - Fee Related JP4844161B2 (ja) | 2006-02-23 | 2006-02-23 | 細胞電気生理センサとそれを用いた測定方法およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4844161B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101099670B1 (ko) * | 2009-04-14 | 2011-12-29 | 한국과학기술원 | 단일 세포 분석 장치 |
WO2012120852A1 (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-13 | パナソニック株式会社 | センサチップ |
EP2554654A1 (en) * | 2010-03-30 | 2013-02-06 | Panasonic Corporation | Sensor device |
JP2016163591A (ja) * | 2016-06-14 | 2016-09-08 | ヤマハ発動機株式会社 | プレート |
JP6218199B1 (ja) * | 2016-10-06 | 2017-10-25 | 日本航空電子工業株式会社 | 電気化学測定装置及びトランスデューサ |
US10138452B2 (en) | 2014-08-05 | 2018-11-27 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Object-holding device |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63129980A (ja) * | 1986-11-19 | 1988-06-02 | Hitachi Ltd | 細胞保持装置 |
JPH1183798A (ja) * | 1997-09-02 | 1999-03-26 | Shimadzu Corp | 電気泳動部材およびそれを用いた電気泳動装置 |
JP2004333404A (ja) * | 2003-05-12 | 2004-11-25 | Hitachi Ltd | マイクロリアクタ及びその製造方法、並びに試料スクリーニング装置 |
JP2005506083A (ja) * | 2001-10-25 | 2005-03-03 | バル−イラン ユニバーシティ | 相互作用型透明個別細胞バイオチッププロセッサー |
WO2005116242A1 (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 医薬品安全性試験方法及び医薬品安全性試験システム |
JP2007506968A (ja) * | 2003-09-26 | 2007-03-22 | エージェンシー フォー サイエンス,テクノロジー アンド リサーチ | センサーアレイ集積型電気化学チップ、その形成方法及び電極被覆 |
-
2006
- 2006-02-23 JP JP2006046548A patent/JP4844161B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63129980A (ja) * | 1986-11-19 | 1988-06-02 | Hitachi Ltd | 細胞保持装置 |
JPH1183798A (ja) * | 1997-09-02 | 1999-03-26 | Shimadzu Corp | 電気泳動部材およびそれを用いた電気泳動装置 |
JP2005506083A (ja) * | 2001-10-25 | 2005-03-03 | バル−イラン ユニバーシティ | 相互作用型透明個別細胞バイオチッププロセッサー |
JP2004333404A (ja) * | 2003-05-12 | 2004-11-25 | Hitachi Ltd | マイクロリアクタ及びその製造方法、並びに試料スクリーニング装置 |
JP2007506968A (ja) * | 2003-09-26 | 2007-03-22 | エージェンシー フォー サイエンス,テクノロジー アンド リサーチ | センサーアレイ集積型電気化学チップ、その形成方法及び電極被覆 |
WO2005116242A1 (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 医薬品安全性試験方法及び医薬品安全性試験システム |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101099670B1 (ko) * | 2009-04-14 | 2011-12-29 | 한국과학기술원 | 단일 세포 분석 장치 |
EP2554654A1 (en) * | 2010-03-30 | 2013-02-06 | Panasonic Corporation | Sensor device |
EP2554654A4 (en) * | 2010-03-30 | 2014-07-09 | Panasonic Corp | DETECTION DEVICE |
WO2012120852A1 (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-13 | パナソニック株式会社 | センサチップ |
US10138452B2 (en) | 2014-08-05 | 2018-11-27 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Object-holding device |
JP2016163591A (ja) * | 2016-06-14 | 2016-09-08 | ヤマハ発動機株式会社 | プレート |
JP6218199B1 (ja) * | 2016-10-06 | 2017-10-25 | 日本航空電子工業株式会社 | 電気化学測定装置及びトランスデューサ |
JP2018059823A (ja) * | 2016-10-06 | 2018-04-12 | 日本航空電子工業株式会社 | 電気化学測定装置及びトランスデューサ |
WO2018066358A1 (ja) * | 2016-10-06 | 2018-04-12 | 日本航空電子工業株式会社 | 電気化学測定装置及びトランスデューサ |
US11162064B2 (en) | 2016-10-06 | 2021-11-02 | Japan Aviation Electronics Industry, Limited | Electrochemical measurement device and transducer |
US11859167B2 (en) | 2016-10-06 | 2024-01-02 | Japan Aviation Electronics Industry, Limited | Electrochemical measurement device and transducer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4844161B2 (ja) | 2011-12-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5233187B2 (ja) | 細胞電気生理センサ | |
JP4844161B2 (ja) | 細胞電気生理センサとそれを用いた測定方法およびその製造方法 | |
JP4784696B2 (ja) | 細胞電位測定デバイスとそれに用いる基板、細胞電位測定デバイス用基板の製造方法 | |
JP4552423B2 (ja) | 細胞外電位測定デバイスおよびこれを用いた細胞外電位の測定方法 | |
JP5458887B2 (ja) | シリコン構造体およびセンサチップ | |
WO2003104788A1 (ja) | 細胞外電位測定デバイスおよびその製造方法 | |
CN104737010B (zh) | 生物体由来物的检查装置 | |
JP2005265758A (ja) | 細胞外電位測定デバイスおよびその製造方法 | |
JP4596009B2 (ja) | 細胞電気生理センサ用チップとこれを用いた細胞電気生理センサおよび細胞電気生理センサ用チップの製造方法 | |
JP2004271331A (ja) | 細胞外電位測定デバイスおよびその製造方法 | |
WO2004079354A1 (ja) | 細胞外電位測定デバイスおよびその製造方法 | |
JP3945317B2 (ja) | 細胞外電位測定デバイスおよびその製造方法 | |
JP4868067B2 (ja) | 細胞電気生理センサ用チップとこれを用いた細胞電気生理センサ、および細胞電気生理センサ用チップの製造方法 | |
US10918999B2 (en) | Cell-capturing filter, method for manufacturing cell-capturing filter, and degradation determination method for cell-capturing filter | |
JP2004271330A (ja) | 細胞外電位測定デバイスおよびその製造方法 | |
US10962525B2 (en) | Process for characterizing a blood sample | |
JP2009291135A (ja) | 細胞電気生理センサ | |
JP4742973B2 (ja) | 細胞電気生理測定デバイスおよびこれの製造方法 | |
US8202439B2 (en) | Diaphragm and device for measuring cellular potential using the same, manufacturing method of the diaphragm | |
KR101887073B1 (ko) | 웨어러블 생체소자 및 그 제조 방법 | |
WO2012120852A1 (ja) | センサチップ | |
JP5011984B2 (ja) | 細胞電気生理センサ | |
JP4747852B2 (ja) | 細胞電気生理センサとその製造方法 | |
JP2007225483A (ja) | 細胞電気生理センサとその使用方法およびその製造方法 | |
JP2009002876A (ja) | 細胞電気生理センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081226 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110330 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110913 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110926 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141021 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4844161 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141021 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |