JP5458887B2 - シリコン構造体およびセンサチップ - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態1におけるシリコン構造体およびその製造方法について、図面を参照しながら説明する。
図13は本発明の実施の形態2における細胞電気生理センサの断面図である。図13に示す細胞電気生理センサ用のセンサチップ14は、薄板15と、この薄板15上に形成され配置された枠体16とを備えている。この薄板15の細胞捕捉面19は二酸化珪素層20で形成されるとともに、枠体16はシリコン層で形成され、この枠体16の内壁16aには二酸化珪素からなる複数の繊維状突起物22が直接接合されている。なお、枠体16は上方が開放され、枠体16の内側はキャビティ17となっている。
図26は本発明の実施の形態3におけるセンサチップの断面図である。本実施の形態と実施の形態2との違いは、図26に示すように、繊維状突起物22を、枠体16の内壁16aだけでなく、薄板15のシリコン層18の下面にも形成した点である。さらに本実施の形態では、繊維状突起物22を、導通孔21の周辺を囲むように形成している。
図27は本発明の実施の形態4における細胞電気生理センサの断面図である。図27に示す細胞電気生理センサ用のセンサチップ113は、薄板114と、この薄板114上に形成され配置された円筒状の枠体115とを備えている。枠体115は上方が開放され、内部はキャビティ116となっている。
図35は本発明の実施の形態5におけるセンサチップの断面図である。本実施の形態と実施の形態4との違いは、図35に示すように、繊維状突起物121をシリコン層117の下面117aの一部の領域に形成した点である。すなわち、本実施の形態の繊維状突起物121は、凹部119および導通孔120の内壁には形成されていない。本実施の形態の繊維状突起物121は、導通孔120の導出口120bや凹部119と所定の間隔をあけ、導出口120bや凹部119の外周を囲うように形成されている。
1a,6a 表面
1b,6b 所定の領域
2,7,22,121 繊維状突起物
3,8 レジスト膜
4,28,128 シード層
5 二酸化珪素薄膜
14,113 センサチップ
15,114 薄板
16,115 枠体
16a 内壁
17,116 キャビティ
18 第二のシリコン層(シリコン層)
19,113a 細胞捕捉面
20,118 二酸化珪素層
21,120 導通孔
23,122 チップ保持板(保持部)
24a,24b,123a,123b 電解槽
25a,25b,124a,124b 電極
26,125 細胞
27 第一のシリコン層(シリコン層)
29,31,130,133 保護膜
30 熱酸化膜
117,126 シリコン層
117a 下面
119 凹部
120a 開口部
120b 導出口
127 マスク
129 繊維状突起物を残したい領域
131 繊維状突起物を除去したい領域
132 繊維状突起物を形成しない領域
Claims (10)
- 基材と、
この基材のシリコンからなる表面に直接接合された、アモルファスの二酸化珪素からなる複数の繊維状突起物と、を備え、
前記複数の繊維状突起物は、カールした状態で互いに絡みあうように密集し、それぞれの前記繊維状突起物はランダムな方向に枝分かれしているシリコン構造体。 - 前記繊維状突起物は、前記基材のシリコンからなる表面に共有結合している請求項1に記載のシリコン構造体。
- 前記繊維状突起物の長さは、1.0μm以上、200μm以下とした請求項1に記載のシリコン構造体。
- 前記繊維状突起物の間隔は、1μm以上、10μm以下とした請求項1に記載のシリコン構造体。
- 前記繊維状突起物の太さは、0.01μm以上、1μm以下とした請求項1に記載のシリコン構造体。
- 前記繊維状突起物の間隔は、1.0μm以上、10μm以下とした請求項1に記載のシリコン構造体。
- 導通孔を有する薄板と、
この薄板上に配置された枠体と、を備え、
前記薄板の細胞捕捉面は二酸化珪素層で形成されるとともに、前記枠体はシリコン層で形成され、この枠体の内壁にはアモルファスの二酸化珪素からなる複数の繊維状突起物が直接接合され、前記繊維状突起物は、カールした状態で互いに絡みあうように密集し、それぞれの前記繊維状突起物はランダムな方向に枝分かれしているセンサチップ。 - 導通孔を有する薄板と、
この薄板上に配置された枠体と、を備え、
前記薄板は、シリコン層と、このシリコン層上に形成された二酸化珪素層との積層体からなり、前記シリコン層の下面には、アモルファスの二酸化珪素からなる複数の繊維状突起物が直接接合され、前記繊維状突起物は、カールした状態で互いに絡みあうように密集し、さらに、ランダムな方向に枝分かれしているセンサチップ。 - 前記二酸化珪素層は、細胞捕捉面を形成している請求項8に記載のセンサチップ。
- 前記繊維状突起物は、前記導通孔の導出口と所定の間隔をあけ、この導出口の外周を囲うように形成されている請求項8に記載のセンサチップ。
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