JP2007220945A - 磁気抵抗効果素子,磁気ヘッド,磁気再生装置,および磁気抵抗素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】磁気抵抗効果素子が,磁化自由層1340,磁化固着層1342,これらの間に配置される中間層1341,を有する磁気抵抗効果膜1200と,磁気結合層1343と,強磁性層1344と,反強磁性層1320と,磁化自由層1340に対して,磁気抵抗効果膜1200の膜面に略平行かつ前記磁化固着層1342の磁化方向に略垂直な方向のバイアス磁界を加えるバイアス機構部と,磁気抵抗効果膜1200に,磁化固着層1342から前記磁化自由層1340に向かう方向の電流を通電するための一対の電極1110,1140と,を具備し,バイアスポイントが50%より大きい。
【選択図】図1A
Description
縦バイアス機構(例えば,コバルト白金合金やコバルトクロム白金合金が好ましく用いられる磁区制御膜)を用い,磁気抵抗効果膜の膜面に対して略平行かつ磁化固着層の磁化に対して略垂直に,磁化自由層に縦バイアス磁界を加える。これにより,信号磁界がない場合において,磁化固着層の磁化方向と磁化自由層の磁化方向が略垂直となり,バルクハウゼンノイズを避けることができる。巨大磁気抵抗効果は,磁化固着層の磁化と磁化自由層の磁化との相対的な角度変化により発現する。
なお,CIP−GMR素子について,バイアスポイントを調整する技術が公開されている(特許文献1参照)。
この場合,磁気ヘッドにCPP−GMR素子を用いると,スピン注入磁化反転現象が起こる可能性がある。スピン注入磁化反転現象では,スピン注入磁化反転により,磁化自由層における磁化の方向が実質的に変化し,外部磁界に対する磁化自由層の磁化の応答が小さくなる。このスピン注入磁化反転現象は,トラック幅やハイト長が100nm以下の素子(単磁区化しやすくなるためエッジドメインなどの影響が少なくなる)において顕著に表れる。
上記に鑑み,本発明はスピン注入磁化反転現象の低減を図った磁気抵抗効果素子,磁気ヘッド,磁気再生装置,および磁気抵抗素子の製造方法を提供することを目的とする。
(第1の実施の形態)
図1Aは本発明の第1実施形態に係る垂直通電型磁気抵抗効果素子の断面を表す断面図である。本図は,情報の読み出し対象となる磁気記録媒体と対向する記録媒体対向面から眺めた断面を表す。垂直通電型磁気抵抗効果素子1100は,紙面の表側から裏側に向かう方向Dhを正方向とする信号磁界Hを検知する。
垂直通電型磁気抵抗効果素子1100は,スピンバルブ膜1200,一対の磁区制御膜1120,下部シールド層1110,および上部シールド層1140と,を有する。
下地層1310は,例えば,Taからなり,反強磁性層1320と強磁性層1344との交換結合が良好になるようにしたり,あるいはスピンバルブ膜全体の結晶性を向上させたりする。
磁気結合層1343は銅,金,Ru,Rh,Irなどの非磁性金属材料から構成できる。
磁区制御膜1120(CoPt合金やCoCrPt合金などが好ましく用いられる)は絶縁層1150(Al2O3やAlNなどが好ましく用いられる)の上に形成される。
この縦バイアス磁界により,外部磁界Hを印加しないときの磁化自由層1340の磁化方向Df0(初期磁化方向Df0)が規定される。図1Aでは,磁化方向D4が紙面の右向きであるため,初期磁化方向Df0も右向きとなっている。なお,磁化方向D4を紙面の左向きとしても良い。
図1Bは,垂直通電型磁気抵抗効果素子の上面側からみた,磁化方向を表す模式図である。磁区制御膜1120での磁化方向D4と強磁性層1344の磁化方向D1のなす角度θが示される。磁化方向D4,D1が平行の場合,角度θ=0°となる(反平行の場合,θ=180°)。この角度θの絶対値を90°より小さくすることで(好ましくは,100°以上),バイアスポイントを調整できる(|θ|<90°)。
ここで,強磁性層1344の磁化方向D1をずらした場合でも,磁区制御膜1120の磁化方向D4と信号磁界Hの方向Dhとがなす角は略90°に保持される。
発明者らは,この縦バイアス磁界が積層膜に加わった際のスピン注入磁化反転について注目し研究開発を進めた。その結果,スピン注入磁化反転に伴うノイズの抑制方法を見出した。
なお,GMR素子では,磁気記録媒体からの信号磁界と,磁区制御膜1120による縦バイアス磁界の両方が積層膜に加わる点が,スピン注入磁化反転を応用したMRAM(Magnetic Random Access Memory)等のデバイスと異なる。
バイアスポイントの調整につき説明するに先だって,バイアスポイントの意味を説明する。
図2は,バイアスポイントを説明するための模式図であり,横軸が信号磁界Hを縦軸が垂直通電型磁気抵抗効果素子1100の出力Vを表す。
ここでは,垂直通電型磁気抵抗効果素子1100に一定のセンス電流Iを通電し,信号磁界Hを変化させ,垂直通電型磁気抵抗効果素子の出力(電圧)Vを測定している。その結果,信号磁界Hと出力(電圧)Vの関係を表すグラフ(一般に,トランスファーカーブと呼ばれる)が求められる。
バイアスポイントBPは,信号磁界Hがゼロのときの出力VCが出力Vの変化範囲(VB−VC)のどこに位置するかを示すファクタであり,次の式(1)によって定義することができる。
BP=(VC−VA)/(VB−VA)×100[%] …式(1)
なお,信号磁界Hの正負は,次のように定義される。即ち,磁化固着層1342の磁化方向D3と略反平行な磁界(強磁性層1344の磁化方向D1と平行な磁界)が正方向の磁界の方向(図1AのDh)である。一方,磁化固着層1342の磁化方向D3に対して略平行な磁界が負方向の磁界である。
ここで,正負の信号磁界Hの絶対値を等しくするのが通例である。例えば,所定の正の信号磁界Hを+400[Oe]としたら,所定の負の信号磁界Hは,絶対値が同じで向きが反対の,−400[Oe]とする。
このとき,信号磁界Hの絶対値が,出力の変化範囲に対応する範囲(図のH1〜H2)を越えるように定めるのが望ましい。このようにすると,トランスファーカーブに基づいてバイアスポイントBPを算出する手法と結果において変わりないことになる。
図3A,図3Bはそれぞれ,CIP−GMRとCPP−GMRでの電流の通電方向と電流により発生する磁界を示す模式図である。ここでは,理解の容易のため,CIP−GMR,CPP−GMRいずれもが,3つの層1〜層3より構成される磁気抵抗膜を有するとしている。
このため,CIP−GMRでは,磁界H1,H2,H3のバランスによりバイアスポイントBPが変化することとなり,これら磁界H1,H2,H3のバランスをとることが重要となる。なお,既述の特許文献1は,このための技術を開示している。
このため,CPP−GMRでは,CIP−GMRのように,各層で発生する磁界の差によるバイアスポイントの変化は生じない。
CPP−GMRでのスピン注入磁化反転を説明する。
仮に,磁化固着層1342の磁化方向と磁化自由層1340の磁化方向が反平行の場合を考える。この場合,磁化自由層1340から磁化固着層1342へ電流を流すことで,磁化自由層1340の磁化が反転し,磁気抵抗が小さくなる。以下,この理由を説明する。
以上のように,磁化固着層1342から磁化自由層1340に流入する電子により,磁化自由層1340の磁化方向が磁化固着層1342の磁化方向と平行になる。
即ち,電子の流れを(b)磁化自由層1340から磁化固着層1342に向かう方向とする(電流を磁化固着層1342から磁化自由層1340に向かう方向とする)ことで,スピン注入磁化反転によるノイズを低減できる。後述のように,本実施形態では,これに加えて,バイアスポイントを調整することで,スピン注入磁化反転によるノイズの更なる低減を図っている。
CIP−GMRでは,スピン注入磁化反転を考慮する必要はない。即ち,CIP−GMRでは,電気伝導率の高いいずれかの層(一般的にはCuで形成されている中間層)に電流が集中する。このため,層間でのスピン角運動量の移動は生じない。
以上のように,スピン注入磁化反転は,CPP−GMRに特有の現象と言える。
既述のように,電流方向を磁化固着層1342から磁化自由層1340に向かう方向とすることで,スピン注入磁化反転によるノイズを低減できる。これに加えて,バイアスポイントBPを調整することが,スピン注入磁化反転を避ける上で重要なことが判明した。即ち,バイスポイントBPを調整することで,スピン注入磁化反転によるノイズを更に低減できる。
バイアスポイントが50%より小さいことは,正方向での外部磁界Hでの磁気抵抗の変化が大きいことを意味する。バイアスポイントが50%より大きいことは,負方向での外部磁界Hでの磁気抵抗の変化が大きいことを意味する。このように,バイアスポイントが50%より大きいか否かは,外部磁界Hの正方向,負方向の何れで磁気抵抗が大きく変化するかに対応する。
磁化自由層1340の磁化方向Dfは,外部磁界Hによって初期磁化方向Df0から変化し,その結果,磁気抵抗が変化する。このとき,外部磁界Hの正負に応じて,磁化自由層1340の磁化方向Dfは左右に回転する。磁化方向Dfが左右に回転し,磁化固着層1342の磁化方向D3と平行,または反平行の状態に近づくとそれ以上の回転が制限される。このように,磁化自由層1340の磁化方向Dfが初期磁化方向Df0を基準として,±90°より小さい範囲で動くことで,磁気抵抗が変化する。
既述のように,本実施形態では,センス電流を磁化固着層1342から磁化自由層1340に流している。このため,スピン注入磁化反転は,磁化固着層1342の磁化方向D3と磁化自由層1340の磁化方向Dfとを反平行とするように作用する。即ち,磁化自由層1340の磁化方向Dfが磁化固着層1342の磁化方向D3と平行であれば,スピン注入磁化反転が生じ易い。一方,磁化自由層1340の磁化方向Dfが磁化固着層1342の磁化方向D3と反平行であれば,スピン注入磁化反転は生じない。
既述のように,バイアスポイントが50%より大きいことは,磁化固着層1342の磁化方向D3と,磁化自由層1340の初期磁化方向Df0のなす角度φが90°より大きいことを意味する。この場合,磁化自由層1340の磁化方向Dfが磁化固着層1342の磁化方向D3の反平行側にずれていることを意味し,スピン注入磁化反転の低減が可能となる。
磁化固着層1342および強磁性層1344の磁気的膜厚を制御することで,バイアスポイントBPを調節することができる。
即ち,磁化固着層1342の飽和磁化Ms1および厚みt1,強磁性層1344の飽和磁化Ms2および厚みt2が,以下の式(3)を満足するように制御する。
1.2 ≦(Ms1×t1)/(Ms2×t2)< 5 ……式(3)
ここで,強磁性層1344,磁気結合層1343および磁化固着層1342等の磁性層において,飽和磁化と厚みの積が磁気的膜厚である。
磁化自由層1340と磁化固着層1342との間のインターレイヤーカップリング(層間結合)磁界を強め,かつ縦バイアス磁界を弱くすることで,バイアスポイントを制御できる。例えば,インターレイヤーカップリング磁界を150[Oe]より大きくし,また通例3.0[memu/cm2]程度である磁区制御膜1120の磁気的膜厚を,1.5[memu/cm2]程度に弱めることで,バイアスポイントBPを50%より大きくすることができる。
既述のように,磁区制御膜1320の磁化方向D4に対して,強磁性層1344の磁化方向D1の絶対値を90°より小さくすることで(好ましくは,100°以上),バイアスポイントを50%より大きくすることができる。
上記(1)〜(3)の手法は,互いに組み合わせて用いることが出来る。例えば,(1)磁化固着層1342および強磁性層1344の磁気的膜厚および(3)反強磁性層1320の磁化方向の双方を制御することで,バイアスポイントBPを調整できる。
(1)〜(3)の手法の組み合わせても,磁化固着層1342の磁化方向D3に対する磁化自由層1340の初期磁化方向Df0の角度φの絶対値を90°より大きくすることができる。また,複数の手法を組み合わせることにより,いずれかひとつの手法を用いた場合より,素子間のばらつきを抑え歩留まりを上げることができる。
次に,垂直通電型磁気抵抗効果素子1100の作製方法について説明する。
図4は,垂直通電型磁気抵抗効果素子1100の作製手順の一例を表すフロー図である。図5,図6は,図4の手順で作成される垂直通電型磁気抵抗効果素子1100を表す断面図である。
図示しない基板上に,スピンバルブ膜1200を形成する。即ち,下部シールド層1110,下地層1310,反強磁性層1320,強磁性層1344,磁気結合層1343,磁化固着層1342,中間層1341,磁化自由層1340を成膜する(図5参照)。なお,図5は,後述のレジスト層1360を付加した状態を表す。
ここで,このスピンバルブ膜1200の形成の際に,磁化固着層1342,強磁性層1344の材料および厚みを適宜に調整することで,前述の式(3)を満たし,バイアスポイントBPを調整できる。
反強磁性層1320に交換結合磁界(磁気異方性)が付与される。具体的には,磁界の印加と熱処理とを組み合わせることで,交換結合磁界を付与できる。即ち,反強磁性層1320を熱処理してブロッキング温度より高い温度Tとした状態で磁界Hを印加し,冷却する。
なお,交換結合磁界の大きさは膜内の結晶粒径分布や成膜時の真空度によって異なる。PtMnでは,膜厚増加と共に交換結合磁界が増加するが,IrMnでは逆に減少する。
これに対して,反強磁性層1320の熱処理時の磁界Hの方向を磁区制御膜1120の磁化方向D4に対して10°より大きく80°以下とする。この結果,磁区制御膜1120の磁化方向D4に対する強磁性層1344の磁化方向D1の角度θが10°より大きく80°以下となる。この場合,バイアスポイントが50%より大きくなる。
形成されたスピンバルブ膜1200上にレジスト層1360を形成した後(図5参照),イオンミリングで,その側面を下地層1310の一部まで除去する(図6参照)。
スピンバルブ膜1200の除去された側面に,絶縁層1150,磁区制御膜1120を成膜する。次に,レジスト層1360を除去した後,上部シールド層1140を成膜する(図1参照)。
図7は本発明の第2実施形態に係る垂直通電型磁気抵抗効果素子2100の断面を表す断面図である。
本実施形態の垂直通電型磁気抵抗効果素子2100は,第1の実施形態の垂直通電型磁気抵抗効果素子1100と次の(1),(2)の点で異なる。即ち,(1)磁区制御膜1120と絶縁層1150に換えて,絶縁体1130が配置されている。また,(2)保護層1350と上部シールド層1140の間にエクスチェンジバイアス層1345および上部電極層1346が配置されている。
なお,エクスチェンジバイアス層1345と保護層1350との間に,強磁性材料からなる強磁性層,軟磁性材料あるいは非磁性材料からなる層を配置してもよい。
このときの縦バイアス磁界の方向は,磁気抵抗効果膜(スピンバルブ膜1200)の膜面に略平行かつ磁化固着層1342の磁化方向に略垂直である。この角度を垂直からずらすことで,バイアスポイントBPを調節できる。なお,この詳細は後述する。
以下,第2の実施形態でのバイアスポイントの調整方法を説明する。
既述のように,エクスチェンジバイアス層1345内において反強磁性に磁気秩序をおこしている磁気モーメントの角度は,基本的に磁化固着層1342の磁化方向D3に略垂直である。この角度を垂直からずらすことにより,バイアスポイントBPを調整することが出来る。
垂直通電型磁気抵抗効果素子2100の作製方法について説明する。
図8は,垂直通電型磁気抵抗効果素子2100の作製手順の一例を表すフロー図である。
(1)スピンバルブ膜1200の形成(ステップS21)
ステップS21については,第1の実施形態のステップS11と本質的に相違するものではないので,詳細な説明を省略する。
反強磁性層1320に交換結合磁界(磁気異方性)が付与される。具体的には,磁界の印加と熱処理とを組み合わせることで,交換結合磁界を付与できる。即ち,反強磁性層1320を熱処理して第1のブロッキング温度より高い第1の温度T1とした状態で第1の磁界H1を印加し,冷却する。
なお,ステップS22は,エクスチェンジバイアス層1345の形成(ステップS24)に先立って実行される。エクスチェンジバイアス層1345において加熱による元素拡散が生じ,交換結合磁界が低下することを防止するためである。
形成されたスピンバルブ膜1200上にレジスト層を形成した後,イオンミリングで,その側面を下地層1310の一部まで除去する。
スピンバルブ膜1200の除去された側面に,絶縁体1130を形成する。次に,レジスト層を除去した後,エクスチェンジバイアス層1345,上部電極層1346,および上部シールド層1140を成膜する(図7参照)。
エクスチェンジバイアス層1345に磁気異方性が付与される。即ち,エクスチェンジバイアス層1345を熱処理して第2のブロッキング温度より高い第2の温度(第1の温度より低い)T2とした状態で第2の磁界H2を印加し,冷却する。
なお,交換結合磁界の大きさは膜内の結晶粒径分布や成膜時の真空度によって異なる。PtMnでは,膜厚増加と共に交換結合磁界が増加するが,IrMnでは逆に減少する。
これに対して,エクスチェンジバイアス層1345への磁界H2の方向を反強磁性層1320への磁界H1の方向に対して垂直からずらすことにより,バイアスポイントを調整できる。具体的には,反強磁性層1320の熱処理時の磁界H1の方向を磁エクスチェンジバイアス層1345の熱処理時の磁界H2の方向に対して,100°以上で,160°より小さくする。この結果,バイアスポイントBPを50%より大きくすることができる。
垂直通電型磁気抵抗効果素子が,縦バイアス機構として,エクスチェンジバイアス層1345と磁区制御膜1120の両方を有してもよい。
この場合でも,エクスチェンジバイアス層1345の磁気モーメントの角度をずらすことでバイアスポイントBPを調整することができる。
図9は本発明の第3実施形態に係る垂直通電型磁気抵抗効果素子3100の断面を表す断面図である。
本実施形態に係る磁気抵抗効果素子3100では,スピンバルブ膜3200が,分離層1347およびインスタックバイアス層1348を含む。即ち,磁気抵抗効果素子3100は,第2の実施形態でのエクスチェンジバイアス層1345と上部電極層1346に換えて,分離層1347およびインスタックバイアス層1348を有する。
分離層1347は,磁気異方性を付与する際に用いる熱による元素拡散を防ぐためなどに用いられる。
インスタックバイアス層1348は,磁化された硬磁性材料(好ましい材料の一例として,CoPt合金やCoCrPt合金が挙げられる)によって構成される。
垂直通電型磁気抵抗効果素子3100の作製方法について説明する。
図10は,垂直通電型磁気抵抗効果素子3100の作製手順の一例を表すフロー図である。
(1)スピンバルブ膜3200の形成,その側面のエッチング,磁区制御膜1120,上部シールド層1140の形成(ステップS31〜S33)
図示しない基板上に,スピンバルブ膜3200を形成する。即ち,第1の実施形態での下部シールド層1110〜磁化自由層1340の成膜に加え,分離層1347およびインスタックバイアス層1348を成膜する。
他の点では,ステップS31〜S33は,第1の実施形態のステップS11,S13,S14と本質的に相違するものではないので,詳細な説明を省略する。
反強磁性層1320に交換結合磁界(磁気異方性)が付与される。具体的には,磁界の印加と熱処理とを組み合わせることで,交換結合磁界を付与できる。即ち,反強磁性層1320を熱処理して第1のブロッキング温度より高い第1の温度T1とした状態で第1の磁界H1を印加し,冷却する。
インスタックバイアス層1348に磁気異方性が付与される。即ち,インスタックバイアス層1348を熱処理して第2のブロッキング温度より高い第2の温度(第1の温度より低い)T2とした状態で第2の磁界H2を印加し,冷却する。
垂直通電型磁気抵抗効果素子が,縦バイアス機構として,インスタックバイアス層1348と磁区制御膜1120の両方を有してもよい。
この場合でも,インスタックバイアス層1348の磁気モーメントの角度をずらすことでバイアスポイントBPを調整することができる。
次に,本発明の実施形態に係る磁気抵抗効果素子を搭載した磁気再生装置について説明する。本発明の実施形態に係る磁気抵抗効果素子は,例えば,記録再生一体型の磁気ヘッドアセンブリに組み込まれ,磁気記録再生装置に搭載することができる。
磁気記録再生装置150は,複数の磁気記録用媒体ディスクを備えたものとしてもよい。また,磁気記録用媒体ディスクは,記録ビットの磁化方向がディスク面と略平行な「面内記録方式」,記録ビットの磁化方向がディスク面に対して略垂直な「垂直記録方式」のいずれでも良い。
サスペンション154は,図示しない駆動コイルを保持するボビン部などを有するアクチュエータアーム155の一端に接続されている。アクチュエータアーム155の他端には,リニアモータの一種であるボイスコイルモータ156が設けられている。ボイスコイルモータ156は,アクチュエータアーム155のボビン部に巻き上げられた図示しない駆動コイルと,このコイルを挟み込むように対向して配置された永久磁石および対向ヨークからなる磁気回路とから構成される。
磁気ヘッドアッセンブリ160は,例えば,駆動コイルを保持するボビン部などを有するアクチュエータアーム155を有し,アクチュエータアーム155の一端にはサスペンション154が接続されている。サスペンション154の先端には,前述したような本発明の磁気抵抗効果素子を具備するヘッドスライダ153が取り付けられている。
前述のような磁気抵抗効果素子を具備することにより,従来よりも高い記録密度で磁気記録用媒体ディスク200に磁気的に記録された情報を確実に読みとることが可能となる。
下地層1310にTa[5nm],反強磁性層1320にPtMn[15nm],強磁性層1344にCo90Fe10,磁気結合層1343にRu[0.85nm],磁化固着層1342にFe50Co50,中間層1341にCu[5nm],磁化自由層1340にCo90Fe10[1nm]/Ni83Fe17[3.5nm],保護層1350にCu[5nm]を用いた。
縦バイアス機構はCoCrPt合金を用いた磁区制御膜1120とした。反強磁性層1320の着磁方向は,磁区制御膜1120の磁化方向と略垂直になるようにした。強磁性層1344の厚みと磁化固着層1342の厚みを,表1のように変化させた。また,強磁性層1344に用いたCo90Fe10の飽和磁化は1.9T,磁化固着層1342に用いたFe50Co50の飽和磁化は2.2Tである。これを用いて計算した磁気的膜厚Ms1t1およびMs2t2の値をあわせて載せた。
図13は,素子Aについて−1mA通電した場合を表す。
図14,図15はそれぞれ,素子Aについて+2mA,−2mA通電した場合を表す。図16,図17はそれぞれ,素子Bについて+2mA,−2mA通電した場合を表す。図18,図19はそれぞれ,素子Cについて+2mA,−2mA通電した場合を表す。図20,図21はそれぞれ,素子Dについて+2mA,−2mA通電した場合を表す。
なお,この電流値−1mAでは,磁気抵抗効果素子の感度が低い(磁気抵抗変化に伴う出力電圧の変化量が小さい)ために,必ずしも実用的な値ではない。
このように,素子Cにおいて,磁化自由層1340から磁化固着層1342に通電させた場合は,磁気抵抗効果素子としての特性が良好とはいえない。なお,図18の正の磁界Hで抵抗変化が小さくなっているのも,スピン注入磁化反転によるものである。
このように,素子Dにおいて,磁化自由層1340から磁化固着層1342に通電させた場合は,磁気抵抗効果素子としての特性が良好とはいえない。なお,図20の正の磁界Hで抵抗変化がほとんどないのも,スピン注入磁化反転によるものである。
ここで,素子C,Dそれぞれで,磁気的膜厚の比((Ms1*t1)/(Ms2*t2))が1.03および3.45で,バイアスポイントが50%および55%である。このことから,磁気的膜厚の比((Ms1*t1)/(Ms2*t2))1.2程度以上において,バイスポイントが実質的に50%より大きくなるものと推定される。
作成された素子について,実施例1と同様な測定を行い,その結果を表2にまとめた。正の電流においてスピン注入磁化反転の現象に伴う抵抗変化が起こっているものを「判定×」,おこっていないものを「判定○」とした。
しかし,角度θが10°の場合は,正方向の磁界に対する抵抗変化が極めて小さかった(PtMn合金の場合でバイアスポイントが85%,IrMn合金の場合でバイアスポイントが83%)。即ち,素子Fは,磁気抵抗効果素子としてのバランスに欠ける(負方向の磁界は測定できるが,正方向の磁界の測定は困難)。従って,磁界の角度θを10°より大きく90°より小さい(より好ましくは,80°以下)範囲とすることが好ましい。
下地層1310,反強磁性層1320,強磁性層1344,非磁性結合層,磁化固着層1342,中間層1341,磁化自由層1340,保護層は実施例1と同じ構成とし,エクスチェンジバイアス層1345にはIrMnを用いた。反強磁性層1320の熱処理の磁界は(7500[Oe]),そのときの熱処理温度を290度,熱処理時間は3時間とした。エクスチェンジバイアス層1345の熱処理時の磁界は(7500[Oe]),そのときの熱処理温度を270度,熱処理時間を1時間とした。
作成された素子について,実施例1と同様な測定を行い,その結果を表3にまとめた。正の電流においてスピン注入磁化反転の現象に伴う抵抗変化が起こっているものを「判定×」,おこっていないものを「判定○」とした。
以上から,角度θを10°より大きく90°より小さくする(より好ましくは,80°以下)ことが好ましいことが示される。
本発明の実施形態は上記の実施形態に限られず拡張,変更可能であり,拡張,変更した実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
Claims (11)
- 外部磁界に応じて磁化の方向が変化する磁性体膜を有する磁化自由層と,磁化の方向が実質的に一方に固着される磁性体膜を有する磁化固着層と,前記磁化自由層と前記磁化固着層の間に配置される中間層と,を有する磁気抵抗効果膜と, 前記磁気抵抗効果膜の前記磁化固着層上に配置される磁気結合層と, 前記磁気結合層上に配置される強磁性層と,
前記強磁性層上に配置される反強磁性層と,
前記磁化自由層に対して,前記磁気抵抗効果膜の膜面に略平行かつ前記磁化固着層の磁化方向に略垂直な方向のバイアス磁界を加えるバイアス機構部と, 前記磁気抵抗効果膜に,前記磁化固着層から前記磁化自由層に向かう方向の電流を通電するための一対の電極と,を具備し, バイアスポイントが50%より大きいことを特徴とする磁気抵抗効果素子。 - 前記バイアスポイントが,55%以上,80%以下であることを特徴とする請求項1記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記磁化固着層の飽和磁化Ms1および厚みt1,前記強磁性層の飽和磁化Ms2および厚みt2が次の関係にあることを特徴とする請求項1乃至2に記載の磁気抵抗効果素子。
1.2≦(Ms1×t1)/(Ms2×t2)<5 - 前記磁化固着層の磁化方向に対する前記磁気自由層の初期磁化方向の角度が,100°以上で,160°より小さいことを特徴とする請求項1乃至3に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記バイアス機構部が,前記磁気抵抗効果膜の側面に配置され,かつ硬磁性材料を含む一対の磁区制御膜を有し,
前記磁区制御膜の磁化方向に対する前記強磁性層の磁化方向の角度が,10°より大きく80°以下であることを特徴とする請求項1乃至4に記載の磁気抵抗効果素子。 - 請求項1乃至5記載の磁気抵抗効果素子
を具備する磁気ヘッド。 - 磁気記録媒体の情報を再生する請求項6記載の磁気ヘッド
を具備する磁気再生装置。 - 外部磁界に応じて磁化の方向が変化する磁性体膜を有する磁化自由層と,磁化の方向が実質的に一方に固着される磁性体膜を有する磁化固着層と,前記磁化自由層と前記磁化固着層の間に配置される中間層と,を有する磁気抵抗効果膜と,前記磁気抵抗効果膜の前記磁化固着層上に配置される磁気結合層と,前記磁気結合層上に配置される強磁性層と,前記強磁性層上に配置される反強磁性層と,前記磁化自由層に対して,前記磁気抵抗効果膜の膜面に略平行かつ前記磁化固着層の磁化方向に略垂直な方向のバイアス磁界を加えるバイアス機構部と,前記磁気抵抗効果膜に,前記磁化固着層から前記磁化自由層に向かう方向の電流を通電するための一対の電極と,を備える構造体を形成するステップと, 前記磁化自由層に,前記磁化固着層の磁化方向に対する角度が100°以上で,160°より小さい初期磁化方向を付与するステップと, を具備することを特徴とする磁気抵抗効果素子の製造方法。
- 前記磁化自由層に前記初期磁化方向を付与するステップが,前記強磁性層に,前記磁区制御膜の磁化方向に対する角度が10°より大きく,80°以下の磁化方向を付与するステップを有する
ことを特徴とする請求項8記載の磁気抵抗効果素子の製造方法。 - 前記バイアス機構部が,前記磁気抵抗効果膜の側面に配置され,かつ硬磁性材料を含む一対の磁区制御膜を有し,
前記強磁性層に磁化方向を付与するステップが,前記反強磁性層に,前記磁区制御膜の磁化方向に対して10°より大きく,80°以下の方向の磁界を印加しながら,熱処理するステップを含む
ことを特徴とする請求項9記載の磁気抵抗効果素子の製造方法。 - 前記バイアス機構部が,前記磁気抵抗効果膜の前記磁化自由層上に配置され,かつ反強磁性材料を含むエクスチェンジバイアス層を有し,
前記磁化自由層に前記初期磁化方向を付与するステップが,
前記反強磁性層に,第1の方向の磁界を印加しながら,熱処理するステップと,
前記エクスチェンジバイアス層に,第2の方向の磁界を印加しながら,熱処理するステップと,を含み,
前記第2の方向に対する前記第1の方向の角度が10°より大きく,80°以下である
ことを特徴とする請求項8記載の磁気抵抗効果素子の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006040643A JP4296180B2 (ja) | 2006-02-17 | 2006-02-17 | 磁気抵抗効果素子,磁気ヘッド,磁気再生装置,および磁気抵抗素子の製造方法 |
US11/595,996 US20070195469A1 (en) | 2006-02-17 | 2006-11-13 | Magnetoresistive effect element, magnetic head, magnetic reproducing apparatus, and manufacturing method of magnetoresistive effect element |
CNA2009100077233A CN101488554A (zh) | 2006-02-17 | 2007-02-16 | 磁阻效应元件的制造方法 |
CNB200710085268XA CN100541853C (zh) | 2006-02-17 | 2007-02-16 | 磁阻效应元件、磁头、以及磁再现装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006040643A JP4296180B2 (ja) | 2006-02-17 | 2006-02-17 | 磁気抵抗効果素子,磁気ヘッド,磁気再生装置,および磁気抵抗素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007220945A true JP2007220945A (ja) | 2007-08-30 |
JP4296180B2 JP4296180B2 (ja) | 2009-07-15 |
Family
ID=38427948
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006040643A Active JP4296180B2 (ja) | 2006-02-17 | 2006-02-17 | 磁気抵抗効果素子,磁気ヘッド,磁気再生装置,および磁気抵抗素子の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070195469A1 (ja) |
JP (1) | JP4296180B2 (ja) |
CN (2) | CN101488554A (ja) |
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US10048093B2 (en) | 2014-03-10 | 2018-08-14 | Dmg Mori Seiki Co., Ltd. | Position detecting device |
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JP6586974B2 (ja) * | 2017-04-10 | 2019-10-09 | Tdk株式会社 | 磁気抵抗効果素子 |
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- 2006-02-17 JP JP2006040643A patent/JP4296180B2/ja active Active
- 2006-11-13 US US11/595,996 patent/US20070195469A1/en not_active Abandoned
-
2007
- 2007-02-16 CN CNA2009100077233A patent/CN101488554A/zh active Pending
- 2007-02-16 CN CNB200710085268XA patent/CN100541853C/zh not_active Expired - Fee Related
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---|---|
US20070195469A1 (en) | 2007-08-23 |
CN100541853C (zh) | 2009-09-16 |
CN101488554A (zh) | 2009-07-22 |
JP4296180B2 (ja) | 2009-07-15 |
CN101026222A (zh) | 2007-08-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070903 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090324 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090413 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120417 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4296180 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120417 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130417 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140417 Year of fee payment: 5 |