JP2007214557A - 窒化物系半導体レーザダイオード - Google Patents
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Abstract
【課題】窒化物系半導体レーザダイオードを提供する。
【解決手段】基板100上に成長されて下部コンタクト層110、下部クラッド層120、活性層140、上部クラッド層170が順次に積層されたものであって、下部クラッド層120の屈折率が、下部コンタクト層120の屈折率と等しいか大きいことを特徴とする窒化物系半導体レーザダイオードである。
【選択図】図1
【解決手段】基板100上に成長されて下部コンタクト層110、下部クラッド層120、活性層140、上部クラッド層170が順次に積層されたものであって、下部クラッド層120の屈折率が、下部コンタクト層120の屈折率と等しいか大きいことを特徴とする窒化物系半導体レーザダイオードである。
【選択図】図1
Description
本発明は、窒化物系半導体レーザダイオードに係り、さらに詳細には、光学モードの損失が抑制されてレーザ光のビーム質が改善された窒化物系半導体レーザダイオードに関する。
半導体レーザダイオードは、光通信のような通信分野やコンパクトディスクプレーヤ(CDP)やデジタル多機能ディスクプレーヤ(DVDP)のような装置で、データの伝送やデータの記録及び判読のための手段として広く使われている。
特に、窒化物系半導体レーザダイオードは、緑色から紫外線領域までの波長を利用可能にすることで、高密度の光情報の保存及び再生、高解像度のレーザプリンタ、プロジェクションTVなど、広範囲な分野に応用されている。
一般的な窒化物系半導体レーザダイオードは、基板上にn型コンタクト層、n型クラッド層、活性層、及びp型クラッド層が順次に積層されて形成され、活性層から発生したレーザ光を屈折率差により活性層に閉じ込め、光学利得を得られる構造を有している。
ここで、活性層に閉じ込められたレーザ光の一部成分は、漏れてn型クラッド層やp型クラッド層に向かうこともある。従来の窒化物系半導体レーザダイオードの場合、一般的にn型コンタクト層の屈折率がn型クラッド層の屈折率より高いので、n型クラッド層に向かったレーザ光の漏れ成分は、消滅せずに基板側に伝播し、それにより、光学モードの損失が発生する。
このような光学モードの損失は、遠距離場(a far field)でリップルを生成するなど、レーザ光のビーム質が悪くなる原因となる。
光学モードの損失を減らすためには、n型クラッド層に漏れるレーザ光を減らすか、またはn型クラッド層に漏れたレーザ光が基板側に伝播されないようにしなければならない。このために、従来の窒化物系半導体レーザダイオードは、AlxCa1−xN(0<x<1)の組成を有するn型クラッド層のAl組成を高めて、活性層からn型クラッド層へのレーザ光の漏れを抑制するか、またはn型クラッド層を厚くすることで、n型クラッド層に漏れた光が基板に伝播される前に十分に消滅させていた。しかし、n型クラッド層のアルミニウムの組成を高めるか、または、n型クラッド層の厚さを増大させれば、成長する間にクラック(crack)が発生する可能性が大きくなるという問題点がある。
また、従来の窒化物系半導体レーザダイオードの場合、紫色から青色や緑色にレーザ光の波長が長くなるほど光学モードの損失が増加するので、ビーム質が大いに悪化し、したがって、ディスプレイ光源などへの応用に深刻な問題となりうる。
本発明は、前記のような問題点を勘案して案出されたものであって、基板方向への光学モードの損失を抑制して、レーザ光のビーム質を向上させた窒化物系半導体レーザダイオードを提供することを目的とする。
前記の目的を達成するために、本発明の第1実施形態による窒化物系半導体レーザダイオードは、基板上に下部コンタクト層、下部クラッド層、活性層、及び上部クラッド層が順次に積層された窒化物系半導体レーザダイオードであって、前記下部クラッド層の屈折率が、前記下部コンタクト層の屈折率と等しいか大きいことを特徴とする。
前記の目的を達成するために、本発明の第2実施形態による窒化物系半導体レーザダイオードは、基板上に成長されて下部クラッド層、活性層、及び上部クラッド層が順次に積層された窒化物系半導体レーザダイオードであって、前記下部クラッド層の屈折率が、前記基板の屈折率と等しいか大きいことを特徴とする。
本発明による窒化物系半導体レーザダイオードによれば、次のような効果がある。
第1に、基板方向への光学モードの損失を抑制してレーザ光のビーム質を向上させることができる。
第2に、下部クラッド層の厚さ調節を通じてOCFやFFPを調節できる。
第3に、レーザ光の波長と関係がなく、光学モードの損失を防止できるので、多様な波長帯でレーザ光のビーム質を維持でき、特に、長波長帯におけるビーム質の向上に有利である。
以下、添付された図面を参照して本発明の望ましい実施形態を詳細に説明する。図1の(a)は、本発明の第1実施形態による窒化物系半導体レーザダイオードの概略的な断面図であり、図1の(b)は、前記窒化物系半導体レーザダイオードをなす各半導体層の屈折率プロファイルを示す。
図面を参照すれば、本発明の第1実施形態による窒化物系半導体レーザダイオードは、基板100上に下部コンタクト層110、下部クラッド層120、下部光導波層130、活性層140、上部光導波層150、電子遮断層160、及び上部クラッド層170が順次に積層されて形成される。ここで、下部クラッド層120は、下部コンタクト層110の屈折率と等しいか大きい屈折率を有する。そして、図面には示されていないが、基板100の下面及び上部クラッド層170の上面には、それぞれ第1及び第2電極層が形成されうる。ここで、前記第1及び第2電極層は、それぞれn型電極層及びp型電極層となりうる。
基板100としては、サファイア基板が使われうる。
基板100の上面には、下部コンタクト層110と下部クラッド層120とが順次に積層されて形成される。
下部コンタクト層110は、n型AlxGa1−xNの化合物半導体から形成され、その構成元素であるAlの平均組成xは、0≦x≦0.1の範囲にあることが望ましい。
下部クラッド層120は、n型AlyGa1−yNの化合物半導体から形成されうる。AlGaN組成を有する化合物半導体において、一般的にAl組成が大きいほどその物質の屈折率は小さくなる。したがって、下部クラッド層120の屈折率が、下部コンタクト層110の屈折率と等しいか大きくなるように、下部クラッド層120のAlの平均組成yが、下部コンタクト層110のAlの平均組成xと等しいか小さいことが望ましい。すなわち、下部コンタクト層110及び下部クラッド層120の構成元素であるAlの平均組成x,yは、0≦y≦x≦0.1の範囲にあることが望ましい。前記のような組成によって、下部クラッド層120側に伝播されたレーザ光の漏れ成分は、下部コンタクト層110でそれ以上伝播できず、光学モードの損失を抑制することができる。
一般的に、窒化物系半導体レーザダイオードにおいて、レーザ光を活性層に十分閉じ込めるためには、クラッド層のAl組成を高めるか、またはその厚さを増大させなければならない。しかし、クラックの発生や結晶成長の困難さなどにより、レーザ光が十分に閉じ込められず、レーザ光の一部の成分がクラッド層に漏れる。したがって、本発明は、下部クラッド層120の屈折率を下部コンタクト層110の屈折率と等しいか大きくすることで、下部クラッド層120側に伝播されたレーザ光の漏れ成分は、下部コンタクト層110でそれ以上伝播されずに消滅して、レーザ光を十分に閉じ込める効果が得られる。また、下部クラッド層120の物質として、Al組成の低いAlGaNを利用するので、クラックが発生する可能性を減らすことができる。
一方、下部クラッド層120は、n型AlyGa1−yNの単一層構造だけでなく、Al組成比y’が互いに異なるn型Aly’Ga1−y’N層が交互に積層された多層構造を有することができる。たとえば、下部クラッド層120は、Al0.08Ga0.92N/GaN層が繰り返して積層された構造から形成されうる。このような複数個の層が積層された構造は、クラックが発生する可能性を減らすことで、下部クラッド層120を安定的に結晶成長させる。
下部クラッド層120の上面には、下部光導波層130が形成されており、下部光導波層130は、n型InxGa1−xN(0≦x≦0.2)化合物半導体(n型半導体)からなりうる。そして、下部光導波層130の上面には、活性層140が形成されており、活性層140は、InxGa1−xN(0<x<1)化合物半導体からなりうる。ここで、活性層140は、多重量子ウェルまたは単一量子ウェルのうちいずれかの構造を有しうる。活性層140の上面には、上部光導波層150が形成されており、上部光導波層150は、p型InxGa1−xN(0≦x≦0.2)化合物半導体からなりうる。一方、上部光導波層150の上面には、電子がオーバーフローされることを防止するために、電子遮断層160が形成されており、電子遮断層160は、AlxGa1−xN(0<x<1)化合物半導体からなりうる。そして、電子遮断層160の上面には、上部クラッド層170が形成されており、上部クラッド層170は、p型AlxGa1−xN(0<x<1、望ましくは、0.01≦x≦0.1)化合物半導体(p型半導体)からなりうる。
前記のように、下部コンタクト層110のAlの平均組成xを、下部クラッド層120のAlの平均組成yと等しいか大きくすることで、下部クラッド層120が、下部コンタクト層110の屈折率と等しいか大きい屈折率を有し、活性層140での光学モードの損失を抑制することができる。このように、レーザ光が効果的に閉じ込められることによって、レーザ光の遠距離場におけるリップル生成が抑制され、ビーム質を向上させることができる。
さらに、下部クラッド層120の厚さを調節して、光閉じ込め係数(Optical Confinement Factor:以下、「OCF」という。)や遠距離場パターン(Far Field Pattern:以下、「FFP」という。)を調節してレーザ光特性を変化させることができる。
図2は、下部クラッド層の厚さによるOCFを示すグラフであり、図3は、下部クラッド層の厚さによるFFPの半値幅(Full Width at Half Maximum:FWHM)値を示すグラフである。前記データは、下部コンタクト層としてn型Al0.01Ga0.99N、下部クラッド層としてn型GaN、下部光導波層として600Å厚さのn型In0.03Ga0.97N、活性層としてIn0.15Ga0.85N/In0.04Ga0.96Nの多重量子ウェル構造、上部光導波層として600Åのp型In0.03Ga0.97N、上部クラッド層として5000Å厚さのp型Al0.02Ga0.98Nが形成された窒化物系半導体レーザダイオードを使用して測定した値である。
図2を参照すれば、下部クラッド層としてn型GaNを利用して、レーザ光発振に十分なOCFを得ることができるということが分かる。
また、本発明の窒化物系半導体レーザダイオードでは、下部クラッド層の厚さと関係なく、屈折率を調節して光学モードの損失を抑制するので、図3に示すように、前記下部クラッド層の厚さを調節することでFFPを調節できる。
前述した実施形態の変形例として、下部クラッド層(図1の120)は、n型InyGa1−yNから形成されてもよい。この場合、n型AlxGa1−xNから形成された下部コンタクト層110のAl平均組成xは、0≦x≦0.1の範囲にあり、前記Inの平均組成yは、0≦y≦0.1であることが望ましい。このように組成によって、下部クラッド層120が下部コンタクト層110の屈折率と等しいか大きい屈折率を有し、活性層140でレーザ光を強く閉じ込めることができる。その結果、レーザ光の遠距離場におけるリップル生成が抑制され、窒化物系半導体レーザダイオードのビーム質を向上させることができる。下部クラッド層120は、単一層構造だけでなく、Inの組成比y’が互いに異なるn型Iny’Ga1−y’N層が交互に積層された多層構造を有することができる。
図4の(a)は、本発明の第2実施形態による窒化物系半導体レーザダイオードの概略的な断面図であり、図4の(b)は、前記窒化物系半導体レーザダイオードをなす各半導体層の屈折率プロファイルを示す。
図面を参照すれば、本発明の第2実施形態による窒化物系半導体レーザダイオードは、基板200上に下部クラッド層220、下部光導波層230、活性層240、上部光導波層250、及び上部クラッド層270が順次に積層されて形成される。ここで、下部クラッド層220は、基板200の屈折率と等しいか大きい屈折率を有する。そして、図面には示されていないが、基板200の下面及び上部クラッド層270の上面には、それぞれ第1及び第2電極層が形成されうる。ここで、前記第1及び第2電極層は、それぞれn型電極層及びp型電極層となりうる。
基板200としては、GaN基板が使われうる。
基板200の上面には、前述した実施形態とは違って、下部コンタクト層なしに下部クラッド層220が積層される。下部クラッド層220の上面には、下部光導波層230、活性層240、上部光導波層250、電子遮断層260、及び上部クラッド層270が順次に積層されている。前記各層は、前述した実施形態の対応する層と実質的に同一なので、その詳細な説明は省略する。
下部クラッド層120は、n型InyGa1−yNの化合物半導体から形成され、Inの平均組成yは、0≦y≦0.1の範囲にあることが望ましい。
このような組成によって、下部クラッド層220が、基板200の屈折率と等しいか大きい屈折率を有するようになる。これにより、下部クラッド層220側に伝播されたレーザ光の漏れ成分は、基板200でそれ以上伝播されずに消滅して、レーザ光を強く閉じ込めることができ、レーザ光の遠距離場におけるリップル生成が抑制され、ビーム質を向上させることができる。また、下部クラッド層220の物質としてGaNまたはInGaNを利用するので、結晶成長の温度を低くすることができるという利点がある。
一方、下部クラッド層220は、n型InyGa1−yNの単一層構造だけでなく、アルミニウムの組成比y’が互いに異なる複数個のn型Iny’Ga1−y’N層が交互に積層された構造を有しうる。このような複数個の層が積層された構造の下部クラッド層220は、クラックが発生する可能性を減らして結晶を安定的に成長させる。
<実施例>
本発明の第1実施形態によって、窒化物系半導体レーザダイオードを製作した。また、図1を参照すれば、基板100としてサファイア基板を使用した。下部コンタクト層110としてn型Al0.02Ga0.98Nを形成した。下部クラッド層120としてn型Al0.01Ga0.99Nを形成した。下部光導波層として600Å厚さのn型In0.03Ga0.97Nを形成した。活性層としてIn0.15Ga0.85N/In0.04Ga0.96Nの多重量子ウェル構造を形成した。上部光導波層として600Åのp型In0.03Ga0.97Nを形成した。上部クラッド層としてAl0.02Ga0.98Nを形成した。
本発明の第1実施形態によって、窒化物系半導体レーザダイオードを製作した。また、図1を参照すれば、基板100としてサファイア基板を使用した。下部コンタクト層110としてn型Al0.02Ga0.98Nを形成した。下部クラッド層120としてn型Al0.01Ga0.99Nを形成した。下部光導波層として600Å厚さのn型In0.03Ga0.97Nを形成した。活性層としてIn0.15Ga0.85N/In0.04Ga0.96Nの多重量子ウェル構造を形成した。上部光導波層として600Åのp型In0.03Ga0.97Nを形成した。上部クラッド層としてAl0.02Ga0.98Nを形成した。
<比較例>
比較例として、下部コンタクト層としてn型GaN、下部クラッド層としてAl0.15Ga0.85Nを使用して、下部クラッド層の屈折率が下部コンタクト層の屈折率より小さな従来の窒化物系半導体レーザダイオードを製作した。前記下部コンタクト層と下部クラッド層とを除いて、上の実施形態と同じ条件である。
比較例として、下部コンタクト層としてn型GaN、下部クラッド層としてAl0.15Ga0.85Nを使用して、下部クラッド層の屈折率が下部コンタクト層の屈折率より小さな従来の窒化物系半導体レーザダイオードを製作した。前記下部コンタクト層と下部クラッド層とを除いて、上の実施形態と同じ条件である。
図5Aないし5Cと、図6Aおよび図6Bとを参照して、前記実施例と比較例の実験結果を比較して説明する。
図5Aは、前記比較例によって製作された窒化物系半導体レーザダイオードの各層別の屈折率及び光強度を示すグラフであり、図5Bは、本比較例のFFPを示すグラフである。
前記光強度は、任意単位(arbitray unit:a.u.)で表した。図面を参照すれば、本比較例の窒化物系半導体レーザダイオードは、下部クラッド層の屈折率(n下部クラッド層)が、下部コンタクト層の屈折率(n下部コンタクト層)より小さな従来の屈折率分布を示す。これにより、下部クラッド層側に伝播されたレーザ光の漏れ成分は、下部コンタクト層に伝播されて、光の閉じ込めが弱くなることが分かる。このようなレーザ光の漏れは、図5Bに示すように、遠距離場においてリップルが発生する原因となり、結果的にビーム質を劣化させる。
図5Cは、本比較例によって製作された窒化物系半導体レーザダイオードのレーザ光波長による光学モードの損失を示すグラフである。図面を参照すれば、紫色から青色や緑色にレーザ光の波長が長くなるにつれて、レーザ光の漏れが増加することが分かる。このようなレーザ光の漏れは、ビーム質を大いに劣化させるので、多様な波長帯の光が要求されるディスプレイ光源などへの応用に深刻な問題点となる。
図6Aは、前記実施形態によって製作された窒化物系半導体レーザダイオードの各層別の屈折率及び光強度を示すグラフであり、図6Bは、前記実施形態のFFPを示すグラフである。
図面を参照すれば、下部クラッド層の屈折率(n’下部クラッド層)が下部コンタクト層の屈折率(n’下部コンタクト層)より大きいので、光強度のプロファイルが滑らかな曲線を表すことが分かる。これは、下部クラッド層側に伝播された漏れ成分が、下部コンタクト層でそれ以上伝播されずに消滅して、レーザ光が十分に閉じ込められることを意味する。このように、レーザ光が漏れないことにより、遠距離でリップルが発生せず、光強度が滑らかな分布を有し、レーザ光のビーム質が優れていることが確認できる。
さらに、本実施例では、レーザ光の漏れが発生しないので、比較例の問題点である波長によるレーザ光の漏れが増大する現象が発生しない。これは、紫色だけでなく、青色、緑色などの多様な波長帯、特に長波長帯において、レーザ光のビーム質を維持することが可能であることを意味する。
このような本発明の窒化物系半導体レーザダイオードは、理解を助けるために図面に示す実施形態を参考として説明されたが、これは、例示的なものに過ぎず、当業者ならば、これから多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点が理解できるであろう。したがって、本発明の真の技術的な保護範囲は、特許請求の範囲によって決定されなければならない。
本発明は、レーザダイオードのような発光素子関連の技術分野に好適に用いられる。
100、200 基板、
110 下部コンタクト層、
120、220 下部クラッド層、
130、230 下部光導波層、
140、240 活性層、
150、250 上部光導波層、
160、260 電子遮断層、
170、270 上部クラッド層。
110 下部コンタクト層、
120、220 下部クラッド層、
130、230 下部光導波層、
140、240 活性層、
150、250 上部光導波層、
160、260 電子遮断層、
170、270 上部クラッド層。
Claims (11)
- 基板上に下部コンタクト層、下部クラッド層、活性層、及び上部クラッド層が順次に積層された窒化物系半導体レーザダイオードにおいて、
前記下部クラッド層の屈折率が、前記下部コンタクト層の屈折率と等しいか大きいことを特徴とする窒化物系半導体レーザダイオード。 - 前記下部コンタクト層は、AlxGa1−xNから形成され、前記下部クラッド層は、AlyGa1−yNから形成され、前記Alの平均組成は、0≦y≦x≦0.1の範囲にあることを特徴とする請求項1に記載の窒化物系半導体レーザダイオード。
- 前記下部クラッド層は、単一層構造を有するか、または前記Alの組成比の相異なる層が交互に積層された多層構造を有することを特徴とする請求項2に記載の窒化物系半導体レーザダイオード。
- 前記下部コンタクト層は、AlxGa1−xNから形成され、前記下部クラッド層は、InyGa1−yNから形成され、前記Alの平均組成は、0≦x≦0.1の範囲にあり、前記Inの平均組成は、0≦y≦0.1にあることを特徴とする請求項1に記載の窒化物系半導体レーザダイオード。
- 前記下部クラッド層は、単一層構造を有するか、または前記Inの組成比の相異なる層が交互に積層された多層構造を有することを特徴とする請求項4に記載の窒化物系半導体レーザダイオード。
- 前記基板は、サファイア基板であることを特徴とする請求項1に記載の窒化物系半導体レーザダイオード。
- 基板上に成長されて下部クラッド層、活性層、及び上部クラッド層が順次に積層された窒化物系半導体レーザダイオードにおいて、
前記下部クラッド層の屈折率が、前記基板の屈折率と等しいか大きいことを特徴とする窒化物系半導体レーザダイオード。 - 前記下部クラッド層は、InyGa1−yNから形成され、前記Inの平均組成は、0≦y≦0.1にあることを特徴とする請求項7に記載の窒化物系半導体レーザダイオード。
- 前記下部クラッド層は、単一層構造を有するか、前記Inの組成比の相異なる層が交互に積層された多層構造を有することを特徴とする請求項8に記載の窒化物系半導体レーザダイオード。
- 前記基板は、GaNから形成されたことを特徴とする請求項7に記載の窒化物系半導体レーザダイオード。
- 前記活性層と前記基板との間の層は、n型半導体から形成され、前記上部クラッド層は、p型半導体から形成されたことを特徴とする請求項1に記載の窒化物系半導体レーザダイオード。
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