JP2007213822A - マイクロプラズマジェット発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数巻のマイクロアンテナ4と、マイクロアンテナ4の近傍に配置された放電管5と、マイクロアンテナ4に高周波電力を供給する高周波電源と、放電管5の一端にガスを供給するガス供給手段とを備えたマイクロプラズマジェット発生装置1において、金属板を加工して製作したマイクロアンテナ4を一対の基板2、3の間に挟んで配置した。
【選択図】図2
Description
まず、本発明のマイクロプラズマジェット発生装置の第1の実施形態について,図1〜図3を参照して説明する。
次に、本発明の第2の実施形態について,図4〜図6を参照して説明する。なお、以下の実施形態の説明においては、先行する実施形態と共通の構成要素については同一の参照符号を付して説明を省略し、主として相違点についてのみ説明する。
次に、本発明の第3の実施形態について,図7、図8を参照して説明する。
次に、本発明の第4の実施形態について,図9、図10を参照して説明する。
次に、本発明の第5の実施形態について,図11、図12を参照して説明する。
次に、本発明の第6の実施形態について,図13を参照して説明する。
2 基板
3 基板
4 マイクロアンテナ
5 放電管
6 ガス供給手段
7 配置凹部
8 溝
9 誘電板
10 浅溝状凹部
11a、11b 配線板
12a、12b 収容凹部
13 中間誘電板
15 誘電体からなる管
19 高周波電源
20 装置ケース
P プラズマ
G ガス
Claims (9)
- 複数巻のマイクロアンテナと、マイクロアンテナ近傍に配置された放電管と、マイクロアンテナに高周波電力を供給する高周波電源と、放電管の一端にガスを供給するガス供給手段とを備えたマイクロプラズマジェット発生装置において、金属板を加工して製作したマイクロアンテナを一対の基板の間に挟んで配置したことを特徴とするマイクロプラズマジェット発生装置。
- 放電管を、何れか一方の基板に形成した溝とこの溝とマイクロアンテナとの間に配置した誘電体から成る誘電板にて構成したことを特徴とする請求項1記載のマイクロプラズマジェット発生装置。
- 放電管を、何れか一方の基板に形成した溝内に誘電体からなる管を配置して構成したことを特徴とする請求項1記載のマイクロプラズマジェット発生装置。
- マイクロアンテナに接続してマイクロアンテナに電力を供給する配線板を一対の基板の間に挟んで配置したことを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のマイクロプラズマジェット発生装置。
- 少なくともマイクロアンテナと誘電板と配線板の何れかを、何れか一方又は両方の基板に形成した凹部に収容した状態で一対の基板の間に挟んだことを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のマイクロプラズマジェット発生装置。
- 少なくともマイクロアンテナと誘電板と配線板の何れかを、両方の基板の間に挟んで配置するとともに接着剤にて固定したことを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のマイクロプラズマジェット発生装置。
- 何れか一方の基板のマイクロアンテナを挟まない面上に、マイクロアンテナからの反射波を抑制する整合回路を構成するリアクタンス素子と配線板を配置したことを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載のマイクロプラズマジェット発生装置。
- マイクロアンテナ又は配線板を構成する金属板の厚みを、高周波電流が流れる表面からの深さの2倍以上に設定したことを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載のマイクロプラズマジェット発生装置。
- 少なくとも何れか一方の基板を、装置ケース又は装置ケースに結合された放熱板に面接触させて配置したことを特徴とする請求項1〜8の何れかに記載のマイクロプラズマジェット発生装置。
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