JP2007211973A - 流体軸受装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】高いモーメント剛性及び軸受性能を有する流体軸受装置を提供する。
【解決手段】複数の軸受スリーブ８１、８２で複数のラジアル軸受隙間を形成することにより、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２間の軸方向スパンを拡大させて、軸受装置のモーメント剛性を高める。また、各軸受スリーブ８１、８２をハウジング７に固定した状態で、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２の同軸度を３μｍ以下に設定することにより、精度の高いラジアル軸受隙間を得る。
【選択図】図２

Description

本発明は、流体軸受装置及びその製造方法に関するものである。

流体軸受装置は、ラジアル軸受隙間に生じる流体の潤滑膜で軸部材を相対回転自在に支持するものであり、近年では、その優れた回転精度、高速回転性、静粛性等を活かして、例えば、ＨＤＤ等の磁気ディスク駆動装置、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ／ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ／ＲＡＭ等の光ディスク駆動装置、ＭＤ、ＭＯ等の光磁気ディスク駆動装置等のスピンドルモータ、レーザビームプリンタ（ＬＢＰ）のポリゴンスキャナモータ、プロジェクタのカラーホイールモータ、あるいはファンモータなどの小型モータ用として使用されている。

例えば、ＨＤＤ等のディスク駆動装置のスピンドルモータに組み込まれる流体軸受装置では、軸部材をラジアル方向に支持するラジアル軸受部およびスラスト方向に支持するスラスト軸受部の双方を動圧軸受で構成する場合がある。この種の流体軸受装置（動圧軸受装置）におけるラジアル軸受部としては、例えば焼結金属製の軸受スリーブの内周面に、複数の動圧溝を有するラジアル軸受面を軸方向に離隔させて形成し、このラジアル軸受面と、ラジアル軸受面に対向する軸部材の外周面との間にラジアル軸受隙間を形成するものが知られている（特許文献１を参照）。

上記情報機器類のモータ用軸受装置では、ラジアル軸受隙間の幅精度が重要であり、この幅精度が軸受性能を大きく左右する。従って、ラジアル軸受隙間の精度を左右するラジアル軸受面や軸部材の外周面には高い表面精度が求められる。かかる観点から、従来では、軸部材の外周面に入念に仕上げ加工が施されている。一方、軸受スリーブ内周のラジアル軸受面については、焼結金属製軸受スリーブのサイジングと同時にラジアル軸受面を成形する手法が確立され、これによってラジアル軸受面の要求精度が低コストに実現されている。具体的には、スリーブ状の焼結金属素材の内周に、ラジアル軸受面の形状に対応した成形部をその外周に有するサイジングピンを挿入し、その状態で焼結金属材を金型に入れて圧迫する。圧迫により、焼結金属素材の内周面が塑性流動を起こしてサイジングピンの成形部に食い付き、成形部の表面形状が焼結金属素材の内周面に転写されるため、高精度のラジアル軸受面を成形することが可能となる（特許文献２を参照）。
特開２００３−２３９９５１号公報 特開平１０−３０６８２７号公報 特開平１１−２６９４７５号公報

近年のＨＤＤ等のディスク装置では、ディスク容量の増大に伴い、搭載するディスク枚数が増加する傾向にある。ディスク枚数の増加により、ディスク駆動装置のスピンドルモータに組み込まれる軸受装置に負荷されるモーメント荷重が大きくなるため、軸受装置にはさらに高いモーメント剛性が求められている。特に、複数枚のディスクを搭載したスピンドルモータを軸方向が水平な状態で使用する場合には、軸受装置に大きなモーメント荷重が負荷されるため、これに耐えうるモーメント剛性が要求される。

軸受装置のモーメント剛性を高めるには、二つの軸受面間のスパンをできるだけ大きくするのが有効である。しかしながら、従来のように、一つの軸受スリーブに二つの軸受面を設けた場合、軸受面間のスパン拡大に伴って軸受スリーブが軸方向に細長くなるので、
軸受スリーブの製作過程で種々の不具合を生じる可能性がある。例えば上記のように焼結金属で軸受スリーブを形成する場合、圧粉成形時にその全体に成形圧力を均一に作用させることが難しくなり、焼結金属の密度にばらつきを生じる。密度のばらつきは、焼結金属の表面空孔を介した油の滲み出しや焼結金属内部への油の還流を不均一化し、これが原因となって軸受性能の低下を招くおそれがある。

この問題は、例えば特許文献３に示すように、それぞれに軸受面を有する複数の軸受スリーブを軸方向に並べて配置することで解決することができる。

しかしながら、この構成では、たとえ個々の軸受スリーブ内周のラジアル軸受面が高精度に成形されていても、各軸受スリーブを接着、圧入等の手段でハウジングに固定する際に芯ずれが生じるおそれがある。例えば接着では、軸受スリーブの外周面とハウジングの内周面との間に接着隙間（接着剤が充填される空間）が存在する分だけ、軸受スリーブの半径方向位置が定まらず、二つの軸受スリーブの同軸度が低下するおそれがある。また、圧入では、軸受スリーブの内周面の精度が軸受スリーブ外周面やハウジング内周面の精度に倣うため、これらの面の仕上げ精度によっては、ラジアル軸受面の同軸度が低下するおそれがある。同軸度の低下は、軸受性能の低下、さらには軸受スリーブと軸部材との接触による摩耗等の不具合を招く恐れがある。このような不具合を回避するために軸受隙間を広く設定すると、隙間に充填された潤滑流体の圧力が低下するため、十分な軸受剛性が得られない。

本発明の課題は、高いモーメント剛性及び軸受性能を有する流体軸受装置を提供することである。

前記課題を解決するため、本発明の流体軸受装置は、ラジアル軸受面を有する軸受スリーブと、軸受スリーブを固定したハウジングと、軸受スリーブの内周に挿入される軸部材と、軸受スリーブのラジアル軸受面と軸部材の外周面との間に、軸方向に離隔して形成されるラジアル軸受隙間とを備え、複数の軸受スリーブを軸方向に並べて配置し、かつ各軸受スリーブをハウジングに固定した状態で、各軸受スリーブのラジアル軸受面の同軸度を３μｍ以下にしたことを特徴とする。

このように本発明の流体軸受装置では、ラジアル軸受面を有する軸受スリーブが軸方向に並べて配置されているので、ラジアル軸受面とこれに対向する軸部材の外周面との間のラジアル軸受隙間は、軸方向に離隔した複数箇所に形成される。この構成であれば、隣接するラジアル軸受面間の軸方向スパンを拡大した場合でも、個々の軸受スリーブの軸方向寸法の拡大を抑制することができる。従って、モーメント剛性の向上を図る一方で、個々の軸受スリーブを均質化して、軸受性能の向上を図ることができる。例えば軸受スリーブが焼結金属製である場合にも、その圧粉成形時の成形圧力のばらつきを抑えて均一密度を得ることが可能であり、軸受性能が高まる。

また、ラジアル軸受面の同軸度が３μｍ以下に設定されていることにより、ラジアル軸受隙間の幅精度が確保され、軸受性能の低下や、軸部材と軸受スリーブとの接触による摩耗等の不具合が回避できる。ここでの同軸度は、各軸受スリーブがハウジングに固定された状態でのものである。仮にハウジング固定前に各軸受スリーブの同軸度を上記規定値に設定したとしても、前記の理由からハウジング固定後には、同軸度が狂うおそれがあるが、本願発明によればこの種の懸念がなく、軸受装置の使用時に高い軸受性能が得られる。

ここでいう同軸度とは、ＪＩＳ Ｂ ０６２１−１９８４で定義されているように、基準軸線と同一直線上にあるべき軸線の基準軸線からの狂いの大きさをいい、その大きさは
、上記軸線を全て含み、基準軸線と同軸である幾何学的円筒のうち、最も小さい円筒の直径で表される。例として、図１４及び図１５に、二つの軸受スリーブの内周面Ｃ１、Ｃ２（それぞれの内周面Ｃ１、Ｃ２の軸線Ｌ１及びＬ２のみ図示）の同軸度の評価を示す。ここで、基準軸線は軸線Ｌ２（の延長部分）とする。同軸度の大きさは、軸線（線分）Ｌ１を全て含み、基準軸線となる軸線Ｌ２と同軸の幾何学的に正しい円筒のうち、最も小さい円筒Ｃｍｉｎの直径Ｄｃで表される。従って、直径Ｄｃの値で表される同軸度であれば、例えば軸線Ｌ２に対する軸線Ｌ１の傾き度合い（図１４を参照）や、軸線Ｌ２に対する軸線Ｌ１の半径方向へのずれ（図１５を参照）等を含めた両面Ｃ１、Ｃ２間の形状偏差を適切に評価することができる。

隣接する軸受スリーブの対向端面同士は、軸方向の隙間をあけて配置する他、互いに接触させることもできる。この他、対向端面間の隙間にスペーサを配置することもできる。これらのうち、軸受スリーブ相互間で潤滑流体が行き来できるよう、軸受スリーブの対向する端面同士を接触させるのが望ましい。

また、このような流体軸受装置には、ラジアル軸受隙間の潤滑流体に動圧作用を発生させる動圧発生部を設けることもできる。この場合、動圧発生部を軸方向にできるだけ離隔した２箇所に設けると、モーメント剛性を効果的に高めることができる。動圧発生部は、軸受スリーブ内周のラジアル軸受面に設ける他、ラジアル軸受面と対向する軸部材の外周面に設けることもできる。

また、前記課題を解決するために、本発明は、ラジアル軸受面を有する軸受スリーブと、軸受スリーブを固定したハウジングと、軸受スリーブの内周に挿入される軸部材と、軸受スリーブのラジアル軸受面と軸部材の外周面との間に形成されたラジアル軸受隙間とを備える流体軸受装置を製造するための方法であって、複数の軸受スリーブを軸方向に並べ、前記複数の軸受スリーブを、ラジアル軸受面相互間の芯出しを行った上でハウジングに固定することを特徴とする。これにより複数の軸受スリーブの各ラジアル軸受面を同軸度３μｍ以下に設定することが可能となる。

軸受スリーブのハウジングへの固定方法としては、圧入、隙間接着、圧入接着、溶着等を採用できる。隙間接着は、軸受スリーブの外周面とハウジングの内周面との嵌め合いを隙間嵌めとし、この隙間に供給した接着剤を固化させる方法であり、圧入接着は、接着剤の介在下で軸受スリーブを軸受スリーブの内周に圧入する方法である。圧入や圧入接着等のように、軸受スリーブの外周面とハウジングの内周面との嵌め合いが締まり嵌めとなる構成では、ラジアル軸受面の形状が軸受スリーブの外周面やハウジング内周面の形状に倣う場合があり、精度確保が難しくなるので、軸受スリーブの外周面はハウジングの内周面に隙間接着するのが望ましい。

このように、隙間接着で軸受スリーブをハウジングに固定すればラジアル軸受面相互間で高い同軸度を得ることができるが、その一方で、接着固定後の処理態様あるいは使用態様によっては、同軸度の低下を招くことがある。すなわち、この種の流体軸受装置であれば、その優れた回転精度、静粛性等を活かしてＨＤＤ等の情報機器に搭載・使用されるが、上述の用途では、アウトガスの低減を図る狙いから、加熱を必要としない型の接着剤（嫌気性接着剤や光硬化型接着剤など）を使用した場合であっても、加熱処理（ベーキング）を施す場合がある。この際、加熱前後におけるラジアル軸受面間の同軸度を比較したところ、加熱後における同軸度の低下（悪化）が判明した。これでは、せっかく高精度に組付け（接着固定）を行ったとしても、その後の処理態様、もっと言えば使用態様（使用雰囲気温度）の影響を受けて同軸度が低下する恐れがある。

また、接着固定であれば、接着剤の固化に要する時間が生産性に直結するので、使用する接着剤には固化時間が比較的短くて済むもの、例えば嫌気性接着剤などが好適である。しかし、この種の接着剤を使用した場合であっても上述の問題は避けられない。

以上の事情を踏まえ、本発明者らは、嫌気性接着剤を使用する場合に、併せて使用するプライマーの希釈濃度に着目し、この希釈濃度を適正に管理したプライマーを使用することで同軸度の低下を可及的に抑制可能との知見を得るに到った。詳細には、同程度あるいは同程度以上の割合で希釈したプライマーを使用した場合、上述の不具合が生じ、逆に、全く希釈せずにプライマーをそのまま使用した場合には、プライマー自体の固化変形（収縮）が原因で同軸度の低下を招く場合があることが判明したことを受け、上述の発明はなされたものである。

従い、嫌気性接着剤を使用し、かつハウジングと軸受スリーブの少なくとも何れか一方の接着固定面に、予め希釈濃度０％を超え５０％未満のプライマーを供給した状態で隙間接着を行うことで、例えば加熱処理後の同軸度の低下を極力小さく抑えることができる。これにより、上述の高精度な組付け作業を活かして、ラジアル軸受面間の同軸度に優れた流体軸受装置を得ることができる。また、接着作業後の保持時間（放置時間）を短縮でき、これにより生産性の向上を図ることができる。

以上のように、本発明によると、高いモーメント剛性を有し、かつ高い軸受性能を有する軸受装置を得ることができる。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

図１は、本発明に係る流体軸受装置の一例として動圧軸受装置１を組み込んだ情報機器用スピンドルモータの一構成例を概念的に示している。このスピンドルモータは、ＨＤＤ
等のディスク駆動装置に用いられるもので、軸部材２を回転自在に非接触支持する動圧軸受装置１と、軸部材２に装着されたロータ（ディスクハブ）３と、例えば半径方向のギャップを介して対向させたステータコイル４およびロータマグネット５を備えている。ステータコイル４はブラケット６の外周に取付けられ、ロータマグネット５はディスクハブ３の内周に取付けられる。動圧軸受装置１のハウジング７は、ブラケット６の内周に装着される。ディスクハブ３には、磁気ディスク等のディスクＤが複数枚保持される。ステータコイル４に通電すると、ステータコイル４とロータマグネット５との間の電磁力でロータマグネット５が回転し、それによって、ディスクハブ３および軸部材２が一体となって回転する。

図２は、上記スピンドルモータで使用される動圧軸受装置１の一例を示すものである。この動圧軸受装置１は、ハウジング７と、ハウジング７の内周に固定されるスリーブ部８と、スリーブ部８の内周に挿入された軸部材２と、ハウジング７の一端開口をシールするシール部材９と、ハウジング７の他端開口を封口する蓋部材１０とを主要な構成部品として備える。スリーブ部８は軸方向に並べて配置された複数の軸受スリーブで構成され、本実施形態では、端面同士が連結された二つの軸受スリーブ（第１軸受スリーブ８１と第２軸受スリーブ８２）で構成される場合を例示する。なお、以下説明の便宜上、シール部材９の側を上側、その軸方向反対側を下側として説明を進める。

軸部材２は、軸部２ａと、軸部２ａの下端で外径側に張り出したフランジ部２ｂとを一体または別体に有する。この軸部材２は、全体をステンレス鋼等の金属材で形成する他、例えば軸部２ａを金属製、フランジ部２ｂを樹脂製とした金属と樹脂のハイブリッド構造とすることもできる。本実施形態において、軸部２ａの外周面２ａ１は動圧溝等のない平滑な円筒面に、フランジ部２ｂの両端面２ｂ１、２ｂ２は動圧溝等のない平滑な平面に形成されている。

本実施形態では、第１軸受スリーブ８１の内周面８１ａと軸部材２の軸部２ａの外周面２ａ１との間に第１ラジアル軸受部Ｒ１が設けられ、第２軸受スリーブ８２の内周面８２ａと軸部２ａの外周面２ａ１との間に第２ラジアル軸受部Ｒ２が設けられる。また、第２軸受スリーブ８２の下側端面８２ｃと軸部材２のフランジ部２ｂの上側端面２ｂ１との間に第１スラスト軸受部Ｔ１が設けられ、蓋部材１０の上側端面１０ａとフランジ部２ｂの下側端面２ｂ２との間に第２スラスト軸受部Ｔ２が設けられる。

ハウジング７は、例えば、樹脂材料を射出成形して円筒状に形成され、その内周面７ａは、同径でストレートな円筒面となっている。図１に示すブラケット６の内周面にハウジング７の外周面が圧入、接着、圧入接着等適宜の手段で固定される。

ハウジング７を形成する樹脂材料は射出成形可能な樹脂材料であれば非晶性樹脂・結晶性樹脂を問わず使用可能で、例えば、非晶性樹脂として、ポリサルフォン（ＰＳＵ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリフェニルサルフォン（ＰＰＳＵ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）等、結晶性樹脂として、液晶ポリマー（ＬＣＰ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等を用いることができる。もちろんこれらは一例にすぎず、軸受の用途や使用環境に適したその他の樹脂材料を使用することもできる。上記の樹脂材料には、必要に応じて強化材（繊維状、粉末状等の形態は問わない）や潤滑剤、導電材等の各種充填材が一種または二種以上配合される。

この他、黄銅やアルミニウム合金等の軟質金属材料、その他の金属材料でハウジング７を形成することもできる。

ハウジング７の上端開口部の内周には、金属材料や樹脂材料で形成された環状のシール部材９が、例えば圧入、接着、あるいはこれらを併用して固定される。シール部材９の内周面９ａは、軸部２ａの外周面２ａ１に設けられたテーパ面２ａ２とシール空間Ｓを介して対向する。軸部２ａのテーパ面２ａ２は上側に向かって漸次縮径しており、軸部材２の回転により遠心力シールとしても機能する。動圧軸受装置の組立後、シール部材９で密封された動圧軸受装置１の内部空間に潤滑流体として例えば潤滑油が充満され、この状態では、潤滑油の油面はシール空間Ｓの範囲内に維持される。なお部品点数の削減および組立工数の削減のため、シール部材９をハウジング７と一体成形することもできる。また、軸部材２の外周面２ａ１をストレート形状とし、シール部材９の内周面９ａをテーパ形状にすることでシール空間Ｓを形成することもできる。

ハウジング７の下端開口部は、ハウジング７とは別体の蓋部材１０で封口される。蓋部材１０は、金属材料あるいは樹脂材料で円盤状に形成され、例えば圧入、接着、またはこれらを併用して固定される。蓋部材１０の上側端面１０ａの一部環状領域には、第２スラスト軸受部Ｔ２のスラスト軸受面Ｃが形成され、スラスト軸受面Ｃには、例えばスパイラル形状に配列された動圧溝が形成されている（図示省略）。

第１、第２軸受スリーブ８１、８２は、共に焼結金属からなる多孔質体、特に銅を主成分とする焼結金属の多孔質体で円筒状に形成される。両軸受スリーブ８１、８２は、軸方向同一長さに形成されている。なお、第１、第２軸受スリーブ８１、８２の一方または双方は、焼結金属以外にも、黄銅等の軟質金属で形成することもできる。本実施形態においては、二つの軸受スリーブ８１、８２は、その端面同士を密着させ状態でハウジング７の内周面に固定されている。端面同士を密着させることで、２つの軸受スリーブ８１、８２の間で潤滑油を行き来させることができ、動圧軸受装置１内で潤滑油をよりダイナミックに流動させることが可能となる。軸受スリーブ８１、８２のハウジング７への固定方法としては、例えば隙間接着が採用される。接着隙間の幅は、これが大きすぎると十分な強度で接着することが難しくなるので、最大の隙間幅を１００μｍ以下、望ましくは５０μｍ以下、より望ましくは２０μｍ以下に設定することが好ましい。

第１軸受スリーブ８１の内周面８１ａの上端には、第１ラジアル軸受部Ｒ１のラジアル軸受面Ａ１が設けられる。ラジアル軸受面Ａ１には、例えば図３（ａ）に示すように、ヘリングボーン形状の動圧溝８１ａ１、該動圧溝８１ａ１を区画する凸状の背部８１ａ２が形成される。また、第２軸受スリーブ８２の内周面８２ａの下端には、第２ラジアル軸受部Ｒ２のラジアル軸受面Ａ２が設けられ、ラジアル軸受面Ａ２には、軸方向中心に対して上下対称なヘリングボーン形状の動圧溝８２ａ１、該動圧溝８２ａ１を区画する凸状の背部８２ａ２が形成される。軸受スリーブ８１、８２の何れでも、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２以外の領域では、その内径寸法は両軸受面の動圧溝８１ａ１、８２ａ１での内径寸法と同径もしくはこれよりも大径に設定されている。加えて、この図示例では、各々の内周面８１ａ、８２ａの、軸受スリーブ８１、８２の当接面８１ｃ、８２ｂ側に、真円形状をなす帯部８１ａ３、８２ａ３がそれぞれ突出して形成される。ここで各帯部８１ａ３、８２ａ３は、動圧溝８１ａ１、８２ａ１を区画する背部８１ａ２と同程度の内径寸法を有している。

第１軸受スリーブ８１の動圧溝８１ａ１は軸方向中心ｍ（上下の傾斜溝間領域の軸方向中央）に対して軸方向非対称に形成されており、軸方向中心ｍより上側領域の軸方向寸法Ｘ１が下側領域の軸方向寸法Ｘ２よりも大きくなっている。そのため、軸部材２の回転時、第１軸受スリーブ８１の動圧溝８１ａ１による潤滑油の引き込み力（ポンピング力）は第２軸受スリーブ８２の対称形の動圧溝８２ａ１に比べ相対的に大きくなる。なお、動圧溝８１ａ１、８２ａ１の形状としては、公知のその他の形状、例えばスパイラル形状等に形成することもできる。また、第１および第２軸受スリーブ８１、８２のラジアル軸受面Ａ１、Ａ２を動圧溝のない真円形状とし、これに対向する軸部材２の軸部外周面２ａ１に同様の動圧溝を形成してもよい。

第２軸受スリーブ８２の下側端面８２ｃの一部環状領域には、第１スラスト軸受部Ｔ１
のスラスト軸受面Ｂが形成され、当該スラスト軸受面Ｂには、例えば図３（ｂ）に示すように、スパイラル形状の動圧溝８２ｃ１が形成されている。動圧溝形状は、公知のその他の形状、例えばヘリングボーン形状に形成することもできる。

第１軸受スリーブ８１および第２軸受スリーブ８２の外周面には、一または複数の軸方向の循環溝８１ｅ、８２ｅが形成される。また、第１軸受スリーブ８１の上側端面８１ｂには、半径方向の循環溝８１ｆが形成される。

以上の構成を有する第１軸受スリーブ８１の内周面８１ａは、例えば、第１軸受スリーブ８１の内周面８１ａに、内周面８１ａの形状に対応した成形部をその外周に有するサイジングピンを挿入し、その状態で金型に入れて圧縮成形（サイジング）することで形成することができる。圧縮成形により、第１軸受スリーブ８１の内周面８１ａが塑性流動を起こしてサイジングピンの成形部に食い付き、成形部の表面形状が軸受スリーブ内周面８１ａに転写される。これにより、第１軸受スリーブ８１の内周面８１ａにラジアル軸受面Ａ１を精度良く成形することができる。第１軸受スリーブ８１を圧縮成形用の金型から取り出すと、第１軸受スリーブ８１にスプリングバックが生じて成形した内周面８１ａが拡径するので、成形後の内周面８１ａを崩すことなく、サイジングピンをスムーズに第１軸受スリーブ８１の内周から抜き取ることができる。ラジアル軸受面Ａ１は、上記圧縮成形以外の方法、例えばインクジェット印刷等で形成することもできる。なお、第２軸受スリーブ８２の内周面８２ａへのラジアル軸受面Ａ２の形成方法は、第１軸受スリーブ８１のそれに準ずるので、重複説明を省略する。

上記構成の動圧軸受装置１において、軸部材２が回転すると、第１軸受スリーブ８１の内周面８１ａのラジアル軸受面Ａ１、および第２軸受スリーブ８２の内周面８２ａのラジアル軸受面Ａ２は、それぞれ軸部材２の外周面２ａ１とラジアル軸受隙間を介して対向する。そして、軸部材２の回転に伴い、上記ラジアル軸受隙間に充満された潤滑油は、動圧溝の動圧作用によってその圧力が高められ、軸部材２がラジアル方向に回転自在に非接触支持される。これにより、軸部材２をラジアル方向に回転自在に非接触支持する第１ラジアル軸受部Ｒ１と第２ラジアル軸受部Ｒ２とが形成される。

また、軸部材２が回転すると、第２軸受スリーブ８２の下側端面８２ｃのスラスト軸受面Ｂとなる領域がフランジ部２ｂの上側端面２ｂ１と所定のスラスト軸受隙間を介して対向し、蓋部材１０の上側端面１０ａのスラスト軸受面Ｃとなる領域がフランジ部２ｂの下側端面２ｂ２と所定のスラスト軸受隙間を介して対向する。そして軸部材２の回転に伴い、各スラスト軸受隙間に充満された潤滑油は、動圧溝の動圧作用によってその圧力が高められ、軸部材２が両スラスト方向に回転自在に非接触支持される。これにより、軸部材２をスラスト方向に回転自在に非接触支持する第１スラスト軸受部Ｔ１と第２スラスト軸受部Ｔ２とが形成される。

さらに、軸部材２の回転中は、上側のラジアル軸受面Ａ１での上下の動圧溝８１ａ１のポンピング力差により、各軸受スリーブ８１、８２の内周面８１ａ、８２ａと軸部材２の外周面２ａ１との間の隙間で潤滑油が下方へ向けて流れる。下方に押し込まれた潤滑油は、第１スラスト軸受部Ｔ１のスラスト軸受隙間→軸方向の循環溝８２ｅ、８１ｅ→半径方向の循環溝８１ｆを経て第１ラジアル軸受部のラジアル軸受隙間に戻る。このように軸受装置の内部を潤滑油が循環することで、潤滑油の局部的な負圧発生を防止し、これに伴う気泡の発生を回避することができる。なお、軸方向の循環溝８２ｅ、８１ｅや半径方向の循環溝８１ｆは、ハウジング７の内周面やシール部材９の下側端面に形成することもできる。

このような軸受内部での潤滑油の循環は、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２の動圧溝の長さ等
を調整することにより、上記とは逆向きの循環とすることもできる。また、特に潤滑油を強制的に循環させる必要のない場合は、ラジアル軸受面Ａ１およびＡ２の動圧溝の双方を、それぞれの軸方向中心に対して上下対称な形状とすることもできる。

以上の構成を有する動圧軸受装置１は、例えば、ハウジング７の内周に二つの軸受スリーブ８１、８２、およびシール部材９を固定した後、軸受スリーブ８１、８２の内周に軸部材２を挿入し、さらに蓋部材１０でハウジング７の下端開口部を封口することで組み立てられる。その後、ハウジング７の内部空間に潤滑油を注油することで、図1に示す動圧軸受装置１が完成する。

この組立工程において、ハウジング７の内周に二つの軸受スリーブ８１、８２を固定する際、軸受スリーブ８１、８２は、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２相互間で芯出しした状態でハウジング７の内周に挿入され、隙間接着により固定される。

この芯出し作業は、図４（ａ）、（ｂ）に示す芯出し機構を用いて行うことができる。この芯出し機構は、軸心と直交する方向に独立してスライド移動可能の複数（例えば３本）の角柱状の冶具１１ａ、１１ｂ、１１ｃで構成される。各治具１１ａ〜１１ｃを軸受スリーブ８１、８２の内周に挿入した後、各治具１１ａ〜１１ｃを、その外接円径が拡径するように半径方向にスライド移動させて軸受スリーブ８１、８２の内周面８１ａ、８２ａ（特にラジアル軸受面Ａ１、Ａ２）の円周方向３箇所に押し当てる。これにより円周方向の３箇所で拡径力が作用するので、軸受スリーブ８１、８２間の芯出しが行われる（同図（ｃ）参照）。このように治具１１ａ〜１１ｃを軸受スリーブ８１、８２の内周面８１ａ、８２ａに押し当てながら、軸受スリーブ８１、８２をハウジング７の内周に挿入し、軸受スリーブ８１、８２をハウジング７の内周面に隙間接着で固定する。接着剤の固化後、治具１１ａ〜１１ｃをその外接円径が縮径する方向にスライド移動させ、その後、軸受スリーブ８１、８２の内周から抜き取ることにより、ハウジング７および軸受スリーブ８１、８２からなるアセンブリが完成する。

以上の工程により、アセンブリのラジアル軸受面Ａ１、Ａ２間の同軸度を３μｍ以下に設定することが可能となる。必要があれば、製造したアセンブリ毎にラジアル軸受面Ａ１、Ａ２間の同軸度を測定し、３μｍを超える値を示すアセンブリを不良品として取り扱うこととする。ここでの同軸度の測定は、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２の背部８１ａ２、８２ａ２で行うこととし、測定方法は、例えば、真円度測定装置や円筒度測定装置等を用いて一方の軸受面の軸心を抽出し、その軸心を基準として他方の軸受面の軸心とのずれを測定することで行われる。また、図３に示すように、内周面８１ａ、８２ａに背部８１ａ２、８２ａ２および帯部８１ａ３、８２ａ３が設けられている場合、同軸度の測定は、背部８１ａ２、８２ａ２および帯部８１ａ３、８２ａ３の内周面を基準に行うこととする。

以上に示したように、本発明では、軸方向に複数の軸受スリーブ８１、８２を並べて配置しているので、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２間の軸方向スパンを大きくした場合でも、軸受スリーブの長大化を回避することができる。従って、高いモーメント剛性が得られる一方、焼結金属製軸受スリーブの圧粉成形時にも密度のバラツキが生じず、安定して潤滑油を軸受スリーブの内部と外部の間で循環させることができる。

また、これら複数の軸受スリーブ８１、８２が同軸度３μｍ以下となるように芯出しされた状態でハウジング７に固定されているので、ラジアル軸受隙間の幅を均一にして軸受性能の向上を図ることができ、かつ軸受スリーブ８１、８２と軸部材２との接触を回避による摩耗を抑制することができる。

図５および図６に芯出し機構の他の構成例を示す。

このうち、図５に示す芯出し機構は、二つの治具１２ａ、１２ｂの軸方向の相対スライ
ド運動で芯出しを行うものである。両治具１２ａ、１２ｂのうち、一方の治具１２ａの対
向二面と他方の治具１２ｂの一面は、それぞれ軸受スリーブ８１、８２の内周面８１ａ、８２ａの曲率半径よりも僅かに小さい曲率半径を有する部分円筒面状に形成される。両治具１２ａ、１２ｂは、それぞれに設けたテーパ面１２ａ１、１２ａ２で面接触している。この芯出し機構では、何れか一方の治具を軸方向にスライド移動させてテーパ面１２ａ１、１２ａ２同士を圧接させることにより（図面では治具１２ｂを上方に移動させることにより）、両治具１２ａ、１２ｂの外接円径を拡径させることができる。これにより、治具１２ａ、１２ｂを軸受スリーブ８１、８２の内周面８１ａ、８２ａに３点接触させること
ができるので、図４に示す芯出し機構と同様に、二つの軸受スリーブ８１、８２の芯出しを行うことができる（図５（ｃ）参照）。なお、この実施形態では、１つの治具１２ａに、軸受スリーブ内周面に対する２つの接触点を設けているが、図４に示す芯出し機構でも同様の治具１２ａを使用することができ、これにより治具の使用本数を減じることができる。

図６に示す芯出し機構は、治具１３として、流体圧により拡径・縮径が可能な中空円筒体を用いるものである。治具１３の内部空間１３ａに油等の流体を供給して治具１３の外周面を拡径させることにより、治具１３の外周面が軸受スリーブ８１、８２の内周面８１ａ、８２ａ全体に押し当てられ、二つの軸受スリーブ８１、８２の芯出しが行われる（図６（ｃ）参照）。

以上に述べた芯出し機構は、何れも複数の軸受スリーブ８１、８２の内周に導入され、拡径あるいは縮径可能な治具１１〜１３で構成されていたが、軸受スリーブ８１、８２間の芯出し作業は、他の構造の芯出し機構により行われるものでもよい。図７はその一例を示すもので、同図に示す芯出し機構は、予め外周面１５ａを高精度に仕上げたピン１５と、ピン１５の一端に設けられる基部１６とで構成される治具１４を用いるものである。この場合、軸受スリーブ８１、８２間の芯出し作業は、以下のように行われる。

まず、図７に示すように、治具１４のピン１５に１つ目の軸受スリーブ（第２軸受スリーブ８２）を導入する。この場合、ピン１５の外周面１５ａと、第２軸受スリーブ８２の内周面８２ａとの間に隙間がほとんどない状態となるよう、ピン１５の外径寸法を第２軸受スリーブ８２の内径寸法に合わせている。従い、第２軸受スリーブ８２はピン１５に対して軽圧入（止まり嵌めともいう）される。

次に、図８に示すように、ハウジング７（ここでは後述する図１３で例示のハウジング７）を、ピン１５に軽圧入した第２軸受スリーブ８２の外側に導入する。そして、図９に示すように、ハウジング７と同じ方向から２つ目の軸受スリーブ（第１軸受スリーブ８１）をピン１５に軽圧入し、第２軸受スリーブ８２に当接する位置まで押し込む。このようにして、各軸受スリーブ８１、８２を治具に取付けることで、各軸受スリーブ８１、８２が、ピン１５に対する導入姿勢を矯正しながら所定位置に導入されることになり、軸受スリーブ８１、８２間での芯出しが行われる。よってこの状態で軸受スリーブ８１、８２をハウジング７に固定すれば、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２間の同軸度に優れた（３μｍ以下）動圧軸受装置（流体軸受装置）１を得ることができる。

また、この場合、軸受スリーブ８１、８２の外周面あるいはハウジング７の内周面７ａの何れか一方に接着剤を塗布し、かつハウジング７が軸受スリーブ８１、８２に対して隙間嵌めとなるように導入することで、ハウジング７と軸受スリーブ８１、８２を隙間接着により固定することができる。特に、上述の芯出し固定態様であれば、例えばハウジング７の内周面７ａの一方の導入側端部７ａ１に接着剤を塗布しておくことで、ハウジング７の導入に伴い、導入側端部７ａ１に供給した接着剤が第２軸受スリーブ８２の外周面とこれに対向するハウジング７の内周面７ａとの間の隙間に広く行き渡る。同様に、ハウジング７の内周面７ａの他方の導入側端部７ａ２に接着剤を塗布しておくことで、ハウジング７内部への第１軸受スリーブ８１の導入に伴い、導入側端部７ａ２に供給した接着剤が第１軸受スリーブ８１の外周面とこれに対向するハウジング７の内周面７ａとの間の隙間に広く行き渡る。そのため、かかる方法によれば、接着剤をなるべく広くかつ均等に行き渡らせることができ、より高い接着強度を得ることができる。

このように、接着により固定する場合、使用する接着剤には固化時間が比較的短くて済むもの、また紫外線照射など硬化に特段の硬化設備を必要としない接着剤、例えば嫌気性接着剤が生産面、コスト面から好適である。もちろん、接着隙間からはみ出して空気と触れる箇所も硬化させることを考えると、加熱あるいは紫外線照射の併用により硬化する型の嫌気性接着剤を使用することもできる。また、嫌気性接着剤は、その多くがＣｕイオン等の金属イオンを媒体として重合反応を生じるものであるから、例えば軸受スリーブ８１、８２をＣｕ粉末等の焼結金属製、ハウジング７をアルミ製とする場合、硬化促進あるいは接着力の更なる向上を狙って、ハウジング７の側にプライマーを塗布するのがよい。

この際、使用するプライマーとしては、既述した本発明者らの知見に基づき、後段階における加熱処理あるいは高温雰囲気下での使用により同軸度の低下が生じない程度、あるいは接着剤の硬化時間が短すぎることに起因して生じる接着剤自体の固化変形により同軸度の低下が生じない程度の希釈濃度に調整したものが好ましい。具体的には、希釈濃度０％を超え、５０％未満のプライマーを使用するのが好ましく、１０％以上４０％以下であればなお好ましく、２０％以上３０％以下であればさらに好ましい。希釈濃度を上記範囲に調整したプライマーを使用することで、例えば加熱処理後の同軸度の低下を極力小さく抑えることができる。また、接着作業後の保持時間（放置時間）を短縮でき、これにより生産性の向上を図ることができる。もちろん、嫌気性接着剤としても、上述の不具合が比較的現れにくいものを併せて使用するのが好ましい。ここで、対応するプライマーとして、例えば、アセック（株）製のＡＳ８０００（希釈濃度２０％）を一例に挙げることができる。また、この種のプライマーに好適な嫌気性接着剤として、例えば、アセック（株）製のＡＳ６００６を一例に挙げることができる。

また、これと併せて、接着固定面の表面状態を改善するための手段を施すのが好ましい。例えばハウジング７の内周面７ａ（導入側端部７ａ１、７ａ２）における酸化被膜を除去する工程や、物理的あるいは化学的に粗面化する工程を導入することで、更なる接着強度の向上を図ることが可能となる。

以上に述べた本発明の構成および製造方法は、上記構成の流体軸受装置のみならず、他の構成の流体軸受装置にも好ましく適用することができる。以下、図１０〜図１２に動圧軸受装置１の他の構成例を示すが、図２および図３に示す構成と機能・作用を同一にする部材・部位については、同一の参照番号を付与し、重複説明を省略する。

図１０は、動圧軸受装置１の第２構成例を示している。同図に示す動圧軸受装置１は、主に、蓋部材１０をハウジング７と一体に形成した点で、図２に示す動圧軸受装置１と構成を異にする。この場合、軸部材２のフランジ部２ｂは、ハウジング１７の側部１７ａと底部１７ｂの境界部内周に設けられた段部１７ｃによって得られる軸方向空間に収容される。

図１１は、動圧軸受装置１の第３構成例を示している。同図に示す動圧軸受装置１は、ハウジング１７の段部１７ｃを省略した点で、図７に示す第２構成例の動圧軸受装置１と構成を異にする。この場合、図１０に示す構成の動圧軸受装置１に比べ、スラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２における支持面積を拡大させ、スラスト軸受部におけるモーメント荷重に対する負荷能力を向上させることができる。

図１２は、動圧軸受装置１の第４構成例を示している。同図に示す動圧軸受装置１は、主に、ハウジング７の両端開口部にシール空間Ｓ１、Ｓ２を設けた点、およびスラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２スリーブ部８の両端に設けた点で図２に示す動圧軸受装置１と構成を異にする。この場合、シール空間Ｓ１は、軸部材２に固定された第１シール部材１９の外周面１９ａとハウジング７の上端開口部の内周面との間に、またシール空間Ｓ２は第２シール部材２０の外周面２０ａと、ハウジング７の下端開口部の内周面との間に形成される。また、第１スラスト軸受部Ｔ１は、第１シール部材１９の下側端面１９ｂと第１軸受スリーブ８１の上側端面８１ｂとの間に設けられ、第２スラスト軸受部Ｔ２は、第２シール部材２０の上側端面２０ｂと第２軸受スリーブ８２の下側端面８２ｃとの間に設けられる。

本構成の動圧軸受装置１は、図２に示す動圧軸受装置１と比べ、両スラスト軸受部間の離間距離が大きくなっているため、スラスト軸受部におけるモーメント荷重に対する負荷能力を向上させることができる。

図１３は、第４構成例に係る動圧軸受装置１の変形例を示している。同図に示す動圧軸受装置１は、ハウジング７の内周面７ａのうち、軸受スリーブ８１、８２との接着固定面となる領域（小径面）に比べて、その軸方向両端を大径にした点、および大径部分（大径面７ｂ、７ｃ）と小径面との間に段差面７ｄ、７ｅを設けた点で第４構成例に係る動圧軸受装置１と構成を異にする。

この構成であれば、例えばスラスト軸受面Ｂ、Ｃ（具体的には動圧溝８２ｃ１等）を軸受スリーブ８１、８２の端面８１ｂ、８２ｃに代えてハウジング７の段差面７ｄ、７ｅに設けることができ、これによりスラスト支持領域を半径方向外側に移動させることができる。この場合、軸受スリーブ８１、８２は端面８１ｂ、８２ｃに動圧溝８２ｃ１等を設けずに済むので、薄肉化など設計の自由度を高めることができ、あるいは加工コストを低減することができる。

また、この場合、図７〜図９に示すように、基部１６の第２軸受スリーブ８２との当接端面１６ａと、ハウジング７との当接端面１６ｂとの間に所定の段差を設けた基部１６を使用することで、第２軸受スリーブ８２の下側端面８２ｃをハウジング７の段差面７ｅより軸方向中央側に寄せた状態で固定することができる。従い、ロストルクの増加を避けて、ハウジング７の段差面７ｅをスラスト軸受面として有効に使用することができる。また、双方の当接端面１６ａ、１６ｂ間の段差を高精度に設定すれば、段差面７ｅに対する下側端面８２ｃの軸方向位置決めを正確に行うことができる。第１軸受スリーブ８１の上側端面８１ｂと他方の段差面７ｄとの位置関係についても同様に定めることができる。

以上の説明では、ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２およびスラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２として、ヘリングボーン形状やスパイラル形状等の動圧溝によって潤滑油の動圧作用を発生させる構成を例示しているが、本発明はこれに限定されるものではない。

例えば、ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２として、いわゆるステップ軸受や多円弧軸受を採用しても良い。また、動圧発生部を有しない真円軸受を用いることもできる。スラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２の一方又は双方は、例えば、スラスト軸受面となる領域に、複数の半径方向溝形状の動圧溝を円周方向所定間隔に設けた、いわゆるステップ軸受、いわゆる波型軸受（ステップ型が波型になったもの）等で構成することもできる。

また、以上の説明では、スリーブ部８を軸方向に並べて配置した２つの軸受スリーブ８１、８２で構成する形態について説明を行ったが、軸受スリーブを軸方向に３個以上並べてスリーブ部８を構成することもできる。

また、以上の説明では、２つの軸受スリーブ８１、８２の端面同士を接触させた構成を例示しているが、必ずしも接触させる必要は無く、両スリーブ８１、８２を軸方向に離隔して配置することもでき、さらに両スリーブ８１、８２の間の隙間にスペーサを配置することもできる。スペーサを含油金属や含油樹脂等の含油性を有する材料で形成すれば、軸受スリーブ８１、８２に対する補油機能を確保することが可能となる。

また、以上の説明では、動圧軸受装置１の内部に充満する流体として、潤滑油を例示したが、それ以外にも各軸受隙間に動圧を発生させることができる流体、例えば空気等の気体や、磁性流体等を使用することもできる。

本発明の有用性を立証するため、上述の方法で製造した流体軸受装置のラジアル軸受面間における同軸度を測定し、評価した。固定手段には隙間接着を採用した。また、併せて、固定後、加熱等の後処理による同軸度の変化と、その際に使用した接着剤との関係について検証を行った。

（条件）
ハウジングは図１３に示す形状でアルミ製、軸受スリーブは図３に示す形状で銅粉末からなる焼結金属製とし、これら軸受スリーブとハウジングに対し、図７に示す治具１４を用いて芯出しおよび接着固定を行った。この際に使用した治具１４のピン１５の振れ（最大値）は１．２μｍであった。接着剤には、３種類の嫌気性接着剤（何れもアセック（株）製のＡＳ５８５１、ＡＳ５５０３、ＡＳ６００６）を使用した。また、何れの場合も、ハウジングの接着固定面に、予め所定の濃度に希釈したプライマー（アセック（株）製のＡＳ８０００ 希釈濃度５０％）を塗布しておき、その後、上述の接着剤を塗布するようにした。

何れも接着固定後、一定時間（０時間、６３時間の２種類）放置した後に同軸度を測定した。同軸度の測定後、ベーキング（９０℃×６０分）を施し、ベーキング後における同軸度をそれぞれ測定した。また、同軸度の測定は以下の手順で行った。図３に例示の軸受スリーブを用いて説明する。
［１］まず、一方の軸受スリーブ（第１軸受スリーブ８１）について、真円度測定装置で背部８１ａ２の軸方向中央における内周面形状を測定すると共に、帯部８１ａ３の内周面形状を測定し、これらの測定結果から第１軸受スリーブ８１の中心軸を求める。
［２］次に、手順［１］で求めた中心軸を基準として他方の軸受スリーブ（第２軸受スリーブ８２）の背部８２ａ２および帯部８２ａ３の内周面形状を測定し、基準軸（手順［１］で求めた第１軸受スリーブ８１の中心軸）からの半径方向へのずれ量の最大値（直径量）でもって同軸度を算出した。

（結果）
図１６に、ベーキング前後における同軸度の測定結果を代表して示す。なお、同図には、接着固定後一定時間（６３時間）放置した場合の結果のみを代表して示している。図中左側のプロット群がベーキング前に測定した同軸度、右側のプロット群がベーキング後に測定した同軸度をそれぞれ示す。同図より、何れの接着剤を使用した場合においても、組立時（ベーキング前）においては、非常に優れた同軸度（３μｍ以下）を示す結果が得られた。接着固定後、一定時間放置しなかった（０時間）場合についても同様の結果が得られた。また、３種類の接着剤のうち、ＡＳ５８５１やＡＳ５５０３においては何れも、放置時間（０時間、６３時間）によらず、ベーキング後、同軸度の低下が見られたが、ＡＳ６００６のうち、接着固定後に６３時間放置したものについては、同軸度の低下はほとんど見られなかった。

次に、比較的同軸度に悪影響を及ぼす可能性の低い接着剤（実施例１でいえばＡＳ６００６）を使用した場合における、接着後の放置時間と、ベーキング後における同軸度の変化量との関係につき検証を行った。

（条件）
具体的には、嫌気性接着剤（ＡＳ６００６）およびプライマー（ＡＳ８０００ 希釈濃度５０％）を用いて接着固定後、放置時間を異ならせたもの（２４時間、６３時間）に対して加熱処理（ベーキング）を行い、その前後における同軸度をそれぞれ測定した。被着体の材質、接着固定に使用する治具、接着態様、ベーキング条件、および同軸度の測定条件については実施例１と同様である。

（結果）
図１７に同軸度の測定結果を示す。同図より、比較的放置時間の長いもの（６３時間放置）については、ベーキングの有無に拘らず高い同軸度（３μｍ以下）が得られた。言い換えると、ベーキングによる同軸度の低下は見られなかった。これに対して、比較的放置時間の短いもの（２４時間放置）については、ベーキングの前後で同軸度が低下する傾向が見られた。

次に、実施例２の結果を受け、嫌気性接着剤に対して用いるプライマーの希釈濃度が、接着後の放置時間と、ベーキング前後における同軸度の変化量との関係に及ぼす影響について検証を行った。

（条件）
具体的には、接着剤はそのまま（嫌気性接着剤：ＡＳ６００６）で希釈濃度を変更したプライマー（ＡＳ８０００ 希釈濃度５０％から希釈濃度２０％に変更）を用い、かつ接着後の放置時間を比較的短くした（２４時間）場合における、ベーキング前後の同軸度を測定した。この他の条件は、実施例２と同様である。

（結果）
図１８に同軸度の測定結果を示す。同図より、希釈濃度を小さくしたプライマーを用いた場合であれば、放置時間が短くても同軸度の低下を小さく抑えられることが分かった。

本発明に係る流体軸受装置（動圧軸受装置１）を組み込んだ情報機器用スピンドルモータの断面図である。 動圧軸受装置１の断面図である。 （ａ）図は軸受スリーブの断面図、（ｂ）図は第２軸受スリーブの下側端面を示す図である。 複数の軸受スリーブの位置決めの第１の例を説明する図であり、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は横断面図、（ｃ）は位置決めの過程を示す部分横断面図である。 複数の軸受スリーブの位置決めの第２の例を説明する図であり、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は横断面図、（ｃ）は位置決めの過程を示す部分横断面図である。 複数の軸受スリーブの位置決めの第３の例を説明する図であり、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は横断面図、（ｃ）は位置決めの過程を示す部分横断面図である。 複数の軸受スリーブの位置決めの第４の例を工程順に説明する図である。 複数の軸受スリーブの位置決めの第４の例を工程順に説明する図である。 複数の軸受スリーブの位置決めの第４の例を工程順に説明する図である。 動圧軸受装置の第２の構成を示す断面図である。 動圧軸受装置の第３の構成を示す断面図である。 動圧軸受装置の第４の構成を示す断面図である。 動圧軸受装置の第４の構成の変形例を示す断面図である。 本発明における同軸度の概念を視覚的に説明する図である。 本発明における同軸度の概念を視覚的に説明する図である。 実施例１に係る同軸度の測定結果を示す図である。 実施例２に係る同軸度の測定結果を示す図である。 実施例３に係る同軸度の測定結果を示す図である。

符号の説明

１ 動圧軸受装置
２ 軸部材
７ ハウジング
８ スリーブ部
８１、８２ 軸受スリーブ
９ シール部材
１１、１２、１３、１４ 冶具
Ａ１、Ａ２ ラジアル軸受面
Ｂ、Ｃ スラスト軸受面
Ｒ１、Ｒ２ ラジアル軸受部
Ｔ１、Ｔ２ スラスト軸受部
Ｓ、Ｓ１、Ｓ２ シール空間

Claims (8)

1. ラジアル軸受面を有する軸受スリーブと、軸受スリーブを固定したハウジングと、軸受スリーブの内周に挿入される軸部材と、軸受スリーブのラジアル軸受面と軸部材の外周面との間に、軸方向に離隔して形成されるラジアル軸受隙間とを備える流体軸受装置において、
   複数の軸受スリーブが軸方向に並べて配置され、かつ各軸受スリーブをハウジングに固定した状態で、各軸受スリーブのラジアル軸受面の同軸度を３μｍ以下にしたことを特徴とする流体軸受装置。
2. 隣接する軸受スリーブの端面同士を接触させた請求項１記載の流体軸受装置。
3. さらに、前記ラジアル軸受隙間の潤滑流体に動圧作用を発生させる動圧発生部を有する請求項１記載の流体軸受装置。
4. 軸受スリーブの外周面を、ハウジングの内周面に隙間接着した請求項１〜３の何れか記載の流体軸受装置。
5. 嫌気性接着剤を用い、かつ、少なくとも何れか一方の接着固定面に、希釈濃度０％を超え５０％未満のプライマーを供給した状態で隙間接着がなされた請求項４記載の流体軸受装置。
6. ラジアル軸受面を有する軸受スリーブと、軸受スリーブを固定したハウジングと、軸受スリーブの内周に挿入される軸部材と、軸受スリーブのラジアル軸受面と軸部材の外周面との間に形成されたラジアル軸受隙間とを備える流体軸受装置を製造するための方法であって、
   複数の軸受スリーブを軸方向に並べ、前記複数の軸受スリーブを、ラジアル軸受面相互間の芯出しを行った上でハウジングに固定することを特徴とする流体軸受装置の製造方法。
7. 軸受スリーブの外周面をハウジングの内周面に隙間接着することで、軸受スリーブをハウジングに固定する請求項６記載の流体軸受装置の製造方法。
8. 嫌気性接着剤を使用し、かつ、少なくとも何れか一方の接着固定面に、希釈濃度０％を超え５０％未満のプライマーを供給した状態で隙間接着を行う請求項７記載の流体軸受装置の製造方法。

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