JP2007210868A - ガラス母材の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】軸方向における屈折率分布の変動を極力低減することができるガラス母材の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るガラス母材の製造方法は、コアロッド２の外周にガラス微粒子堆積体３を形成する際に、バーナ２１の原料ガスの流量を調整することにより予め多孔質ガラス母材Ｇ２の有効部の外径が下端側から上端側へ向かって次第に大きくなるように形成する。多孔質ガラス母材Ｇ２の有効部のうち外径が小さい部位である下端近傍部分Ａ側をヒータ４によって先行して焼結し、その後、下端側から上端側へ向かってヒータ４によって焼結して透明ガラス化させる。
【選択図】図５

Description

本発明は、ガラス微粒子を堆積させた多孔質ガラス母材を焼結して透明化されたガラス母材とするガラス母材の製造方法に関する。

一般に、コアとクラッドよりなる光ファイバは、光ファイバ用のガラス母材を線引きして製造される。光ファイバ用ガラス母材は、ＶＡＤ法やＯＶＤ法などにより、バーナの火炎中に生成したガラス微粒子を石英等からなるガラスロッドの外周あるいは下側に堆積させて多孔質ガラス母材を形成し、その後、この多孔質ガラス母材を脱水焼結炉内にて加熱して脱水・焼結して透明ガラス化することにより製造される。

また、多孔質ガラス母材を形成する際に、コアの先端位置をレーザにより測定しながら多孔質ガラス母材の引き上げ速度、クラッド部分への原料の供給量を制御し、コア部分とクラッド部分の外径比の軸方向での変動を抑えることが行われている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００３−２７７０９７号公報

ところで、多孔質ガラス母材を焼結して透明ガラス化する際、先行して焼結する箇所が収縮し、その箇所にガラス微粒子が引き寄せられる傾向がある。

このため、上記技術によって軸方向における外径比の変動を抑えて多孔質ガラス母材を形成しても、焼結して透明ガラス化する際に、先行して焼結された部分におけるクラッド部分とコア部分との比率（クラッド／コア比）が大きくなり、軸方向における屈折率分布に変動が生じ、このガラス母材から線引きして得られた光ファイバの屈折率分布が長手方向で均一にならないことがある。

そこで、本発明は、軸方向における屈折率分布の変動を極力低減することができるガラス母材の製造方法を提供することを目的としている。

上記課題を解決することのできる本発明のガラス母材の製造方法は、ガラス微粒子を堆積させた多孔質ガラス母材を焼結して透明ガラス化する際に、前記多孔質ガラス母材の有効部のうち外径が小さい部位を先行して焼結することを特徴とする。

また、本発明は、予め多孔質ガラス母材の有効部の外径を一端側から次第に大きくなるように形成しておき、前記多孔質ガラス母材の有効部のうち外径が小さい一端側から先行して焼結することが好ましい。

さらに、前記多孔質ガラス母材を形成する際に、ガラス微粒子を吹き付けて堆積させるバーナにおける前記ガラス微粒子の原料流量を調整することが好ましい。

また、前記多孔質ガラス母材を形成する際に、ガラス微粒子を吹き付けて堆積させるバーナに対する多孔質ガラス母材の引き上げ速度を調整することが望ましい。

また、上記課題を解決することのできる本発明のガラス母材の製造方法は、ガラス微粒子を堆積させた多孔質ガラス母材を焼結して透明ガラス化する際に、前記多孔質ガラス母材の有効部のうち密度が小さい部位を先行して焼結することを特徴とする。

また、本発明は、予め多孔質ガラス母材の有効部の密度を一端側から次第に大きくなるように形成しておき、前記多孔質ガラス母材の有効部のうち密度が小さい一端側から先行して焼結することが好ましい。

さらに、前記多孔質ガラス母材を形成する際に、ガラス微粒子を吹き付けて堆積させるバーナにおける少なくとも燃焼性ガスの流量を調整することが好ましい。

本発明のガラス母材の製造方法によれば、多孔質ガラス母材を透明ガラス化する際の収縮によるクラッド／コア比のばらつきを極力減らして、軸方向に均一な屈折率分布を有するガラス母材を得ることができる。また、クラッド／コア比を均一化させることにより、コア部分に添加された屈折率調整用添加物を安定してコア部分に留めることができるため、コアとクラッドの屈折率差も長手方向で均一化して安定する。

以下、本発明に係るガラス母材の製造方法の実施形態の例について、図面を参照して説明する。

（第１実施形態）
図１は本実施形態に適用する多孔質ガラス母材を示す概略断面図、図２及び図３は本実施形態に係るガラス母材の製造方法を示す概略断面図、図４は長さ方向位置に対するクラッド／コア比を示すグラフ図である。

図１に示すように、この多孔質ガラス母材Ｇ１は、その中心にコア部分となるコアロッド２を有し、このコアロッド２の周囲にクラッド部分となるガラス微粒子を堆積させたガラス微粒子堆積体３を有している。

この多孔質ガラス母材Ｇ１は、コアロッド２の周囲に、バーナの火炎中に生成したガラス微粒子を吹き付けて堆積させることにより、ガラス微粒子堆積体３を形成するＯＶＤ法またはＶＡＤ法により形成されたものである。または、比較的短い出発ロッドの下端側にガラス微粒子を堆積させていくＶＡＤ法によっても形成できる。

この多孔質ガラス母材Ｇ１は、後の加工により製品となる有効部の外径が軸方向に不均一に形成されており、具体的には、上下端部近傍部分Ａ，Ｂでは外径が相対的に大きく形成され、中央部分Ｃでは外径が相対的に小さく形成されている。

本実施形態では、このように外径が不均一な多孔質ガラス母材Ｇ１を焼結して透明ガラス化する際には、まず、図２に示すように、有効部のうち外径が小さい部位である中央部分Ｃに焼結炉内のヒータ４が配設された位置まで多孔質ガラス母材Ｇ１を下降させ、このヒータ４によって中央部分Ｃを加熱して焼結させる。

このようにすると、外径が小さい部位である中央部分Ｃが焼結により収縮することにより、外径が大きい部位である上下端部近傍部分Ａ，Ｂのガラス微粒子堆積体３が中央部分Ｃに向かって引き寄せられる。

次いで、多孔質ガラス母材Ｇ１を一旦引き上げ、その後、図３に示すように、多孔質ガラス母材Ｇ１を下降させてヒータ４によって下端側から上端側へ向かって加熱して焼結させる。

このようにすると、上下端部近傍部分Ａ，Ｂを含む軸方向全体が焼結され、透明ガラス化されたガラス母材が得られる。

なお、既に焼結した中央部分Ｃでは、ヒータ４を停止させるかあるいは多孔質ガラス母材Ｇ１の移動速度を速めてヒータ４による加熱を抑える。

ここで、図４は、下端から上端へ向かって焼結する一般的な焼結の仕方と本実施形態による焼結の仕方によって中央部分Ｃが外径の小さな部位とされた多孔質ガラス母材Ｇ１を焼結した場合の長さ方向位置に対するクラッド／コア比を示すものである。

下端から上端へ向かって焼結する一般的な焼結の仕方では、図４中符号アで示すように、まず、下端近傍部分Ａが焼結されることにより上方側のガラス微粒子堆積体３が引き寄せられてクラッド／コア比が大きくなり、その後、多孔質ガラス母材Ｇ１の外径に沿って中央部分Ｃにて大きく落ち込み、上端近傍部分Ｂに向かって次第に大きくなるような変動が生じる。

これに対して、本実施形態の焼結の仕方では、図４中符号イで示すように、有効部のうち外径が小さい部位である中央部分Ｃを先行して焼結することにより、外径が大きい部位である上下端部近傍部分Ａ，Ｂのガラス微粒子堆積体３が引き寄せられるので、長さ方向に対してクラッド／コア比の変動を低減することができる。

このように、本実施形態によれば、多孔質ガラス母材Ｇ１を、有効部のうち外径が小さい部位を先行して焼結することにより、軸方向に対するクラッド／コア比の変動を極力低減させることができ、これにより、軸方向における屈折率分布の変動を抑えることができる。したがって、焼結後の透明ガラス化されたガラス母材から線引きして得られる光ファイバの屈折率分布を長手方向で均一化して安定したものとすることができる。

次に、他の外径寸法の多孔質ガラス母材を焼結して透明ガラス化されたガラス母材を製造する場合について説明する。

図５は本実施形態に適用する多孔質ガラス母材を示す概略断面図、図６は均一な外径を有する多孔質ガラス母材を示す概略断面図、図７は長さ方向位置に対するクラッド／コア比を示すグラフ図である。

図５に示すように、この多孔質ガラス母材Ｇ２では、有効部のうち予め下端近傍部分Ａが相対的に小径とされ、上端近傍部分Ｂが相対的に大径とされている。そして、この外径が小さい部位である下端近傍部分Ａから外径が大きい部位である上端近傍部分Ｂへ向かって外径が徐々に大きくされている。

そして、上記のような外径に形成された多孔質ガラス母材Ｇ２を焼結して透明ガラス化する際には、多孔質ガラス母材Ｇ２の下端側にヒータ４を位置させ、このヒータ４によって下端近傍部分Ａ側を加熱して焼結させる。

このようにすると、有効部のうち外径が小さい部位である下端近傍部分Ａが焼結により収縮することにより、外径が大きい部位である上端側のガラス微粒子堆積体３が下端近傍部分Ａに向かって引き寄せられる。

その後、多孔質ガラス母材Ｇ２を下降させることにより、ヒータ４によって下端側から上端側へ向かって加熱して焼結させる。

このようにすると、上下端部近傍部分Ａ，Ｂを含む軸方向全体が焼結され、透明ガラス化されたガラス母材が得られる。

ここで、図６に示すように、有効部が均一な外径を有する多孔質ガラス母材Ｇ３を下端から上端へ向かって焼結すると、ヒータ４によって多孔質ガラス母材Ｇ３の下端近傍部分Ａが加熱されて焼結する際に、この下端近傍部分Ａが収縮し、多孔質ガラス母材Ｇ３の上端側のガラス微粒子堆積体３が下端側へ引き寄せられる。

これにより、図７中符号ウで示すように、下端近傍部分Ａの付近にて、クラッド／コア比が大きくなり、その後、中央部分へ向かってクラッド／コア比が大きく落ち込み、さらに中央部分から上端近傍部分Ｂへ向かって次第に小さくなるように変動が生じてしまう。

これに対して、本実施形態の焼結の仕方では、図７中符号エで示すように、有効部のうち外径が小さい部位である下端近傍部分Ａを先行して焼結することにより、上端側のガラス微粒子堆積体３が下端近傍部分Ａに引き寄せられ、長さ方向に対してクラッド／コア比の変動を低減することができる。

つまり、有効部のうち予め下端近傍部分Ａを小径とし、この下端近傍部分Ａから上端側へ向かって外径を大きくさせた多孔質ガラス母材Ｇ２を、外径が小さい部位である下端側を先行して上端側へ向かって焼結することにより、軸方向に対するクラッド／コア比の変動を極力低減させることができ、これにより、軸方向における屈折率分布の変動を抑えることができる。したがって、焼結後の透明ガラス化されたガラス母材から線引きして得られる光ファイバの屈折率分布を長手方向で均一化して安定したものとすることができる。

次に、有効部のうち予め下端近傍部分Ａが小径とされ、上端近傍部分Ｂが大径とされた上記の多孔質ガラス母材Ｇ２を製造する場合の例について説明する。

図８は多孔質ガラス母材の製造装置を示す概略構成図、図９は制御部による制御方法を説明するグラフ図、図１０は制御部による他の制御方法を説明するグラフ図である。

図８に示す製造装置１１は、いわゆるＶＡＤ法により、反応容器１２の内側の空間内でコアロッド２に対してガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体３を形成するものである。

反応容器１２は、ガラス微粒子を生成して堆積させる際の高温の環境条件においても、塩素ガス等による腐食が極めて起こりにくい、二酸化ケイ素、炭化ケイ素、ニッケル、ニッケル合金等の材料を用いて形成されている。

反応容器１２の中には、垂直方向に昇降可能な把持具１５が収容されている。この把持具１５は、長尺状のコアロッド２の上端を把持して、コアロッド２を垂直方向に支持している。また、把持具１５は、その上方で回転引き上げ装置１６に接続されている。回転引き上げ装置１６は、把持具１５及び把持したコアロッド２を、その軸回りに回転させることができる。

反応容器１２の中には、ガラス微粒子生成用のバーナ２１が設けられている。このバーナ２１は、ガスを吹き出す複数のポートを有しており、そのポートからそれぞれ燃焼ガスとガラス原料ガスを吹き出し、燃焼ガスの燃焼により生じる酸水素火炎中において、ガラス原料を加水分解反応させて、ガラス微粒子を生成するものである。なお、燃焼ガスには、水素（Ｈ_２）からなる燃焼性ガスと酸素（Ｏ_２）からなる助燃性ガスが含まれ、ガラス原料ガスには四塩化ケイ素（ＳｉＣｌ_４）が含まれる。また、バーナ２１は、生成したガラス微粒子をコアロッド２に堆積させるように、コアロッド２に向けて斜め上方に傾けて配置されている。なお、バーナ２１は複数用いても良い。

バーナ２１は、ガス供給装置２２からガスを導入するガス管２３に接続されており、このガス供給装置２２により、バーナ２１に供給されるガスの流量が適宜調整される。

また、反応容器１２の内側には、非接触式の位置検出装置３１が設けられており、ガラス微粒子が堆積しつつあるガラス微粒子堆積体３の位置を検出できるようになっている。位置検出装置３１としては、レーザ投受光装置やＣＣＤカメラを使用することができる。また、位置検出装置３１は、制御部３２と接続されており、ガラス微粒子堆積体３の位置データがこの制御部３２に送られる。

また、制御部３２は、コアロッド２の回転速度及び引き上げ速度を調節する回転引き上げ装置１６に接続されている。そして、この制御部３２は、コアロッド２に堆積させるガラス微粒子を所定の堆積量にて堆積させるべく、位置検出装置３１からの位置データに基づいて回転引き上げ装置１６及びガス供給装置２２の動作を制御する。

上記構成の製造装置１１では、把持具１５によって反応容器１２内に吊り下げたコアロッド２を軸回りに回転させながら、上方向に徐々に引き上げ、バーナ２１によってガラス微粒子を吹き付ける。

ここで、本実施形態では、制御部３２が回転引き上げ装置１６及び位置検出装置３１の検出結果に基づいてガス供給装置２２を制御し、バーナ２１から噴射させる原料ガスの流量を制御する。

具体的には、図９に示すように、上端側から下端側へ向かってガラス微粒子を堆積させるにしたがって原料ガスの流量を徐々に減少させていく。

これにより、下端近傍部分Ａが相対的に小径とされ、下端側から上端側へ向かって次第に外径が大きくされた前述の多孔質ガラス母材Ｇ２（図５参照）を製造することができる。

なお、上記製造装置１１によって下端近傍部分Ａが小径とされ、上端近傍部分Ｂが大径とされた多孔質ガラス母材Ｇ２を製造する方法としては、原料ガスの流量を調整する方法に限らず、回転引き上げ装置１６による引き上げ速度を調整しても良い。

具体的には、図１０に示すように、上端側から下端側へ向かってガラス微粒子を堆積させるにしたがって引き上げ速度を徐々に大きくしていく。

これにより、下端近傍部分Ａが小径とされ、下端側から上端側へ向かって次第に外径が大きくされた前述の多孔質ガラス母材Ｇ２（図５参照）を製造することができる。

（第２実施形態）
上記第１実施形態では、多孔質ガラス母材Ｇ１，Ｇ２に対して有効部のうち外径が相対的に小さい部位を先行して焼結することにより、軸方向に対するクラッド／コア比の変動の低減を図ったが、有効部のうち密度が小さい部位を先行して焼結しても同様の効果を得ることができる。

例えば、図１１に示すように、有効部のうち上下端部近傍部分Ａ，Ｂにおける密度が相対的に高く、中央部分Ｃにおける密度が相対的に低い多孔質ガラス母材Ｇ４を焼結する場合は以下のように焼結を行う。

まず、密度が小さい部位である中央部分Ｃに焼結炉内のヒータ４が配設された位置まで多孔質ガラス母材Ｇ４を下降させ、このヒータ４によって中央部分Ｃを加熱して焼結させる。

このようにすると、密度が小さい部位である中央部分Ｃが焼結により収縮することにより、密度が大きい部位である上下端部近傍部分Ａ，Ｂのガラス微粒子堆積体３が中央部分Ｃに向かって引き寄せられる。

次いで、多孔質ガラス母材Ｇ４を一旦引き上げ、その後、多孔質ガラス母材Ｇ４を下降させることにより、ヒータ４によって下端側から上端側へ向かって加熱して焼結させる。

なお、既に焼結した中央部分Ｃでは、ヒータ４を停止させるかあるいは多孔質ガラス母材Ｇ４の移動速度を速めてヒータ４による加熱を抑える。

このようにすると、上下端部近傍部分Ａ，Ｂを含む軸方向全体が焼結され、透明ガラス化されたガラス母材が得られる。

上記のように有効部のうち密度が相対的に小さい部位である中央部分Ｃを先行して焼結することにより、密度が相対的に大きい部位である上下端部近傍部分Ａ，Ｂのガラス微粒子堆積体３が中央部分Ｃに向かって引き寄せられ、長さ方向に対してクラッド／コア比の変動を低減することができ、軸方向における屈折率分布の変動を抑えることができる。これにより、焼結後の透明ガラス化されたガラス母材から線引きして得られた光ファイバの屈折率分布を長手方向で均一化して安定したものとすることができる。

また、図１２に示すように、有効部のうち下端近傍部分Ａが密度の小さい部位とされ、上端近傍部分Ｂが密度の大きい部位とされた多孔質ガラス母材Ｇ５を焼結する場合は、まず、多孔質ガラス母材Ｇ５の下端側にヒータ４を位置させ、このヒータ４によって下端近傍部分Ａ側を加熱して焼結させる。

このようにすると、密度が小さい部位である下端近傍部分Ａが焼結により収縮することにより、密度が大きい部位である上端側のガラス微粒子堆積体３が引き寄せられる。

その後、多孔質ガラス母材Ｇ５を下降させることにより、ヒータ４によって下端側から上端側へ向かって加熱して焼結させる。

このようにすると、上下端部近傍部分Ａ，Ｂを含む軸方向全体が焼結され、透明ガラス化されたガラス母材が得られる。

そして、上記のように焼結すれば、有効部のうち予め下端近傍部分Ａの密度を小さくし、この下端近傍部分Ａから上端側へ向かって密度を高くした多孔質ガラス母材Ｇ５を、密度が小さい部位である下端側を先行して上端側へ向かって焼結することにより、軸方向に対するクラッド／コア比の変動を極力低減させることができ、これにより、軸方向における屈折率分布の変動を抑えることができる。したがって、焼結後の透明ガラス化されたガラス母材から線引きして得られる光ファイバの屈折率分布を長手方向で均一化して安定したものとすることができる。

次に、有効部のうち予め下端近傍部分Ａの密度が小さくされ、上端近傍部分Ｂの密度が大きくされた上記の多孔質ガラス母材Ｇ５を製造する場合について説明する。

図１３に、多孔質ガラス母材の製造装置を示す。図１３に示すように、この製造装置４１では、反応容器１２の内側に、非接触式の温度測定装置４２が設けられており、ガラス微粒子が堆積しつつあるガラス微粒子堆積体３の堆積面の温度が検出できるようになっている。そして、この温度測定装置４２は、制御部３２と接続されており、ガラス微粒子堆積体３の温度データがこの制御部３２に送られる。

そして、上記構成の製造装置４１では、コアロッド２を軸回りに回転させながら、上方向に徐々に引き上げ、バーナ２１によってガラス微粒子を吹き付ける際に、制御部３２が回転引き上げ装置１６及び温度測定装置４２の検出結果に基づいてガス供給装置２２を制御し、バーナ２１から噴射させる燃焼ガスの流量を制御する。

具体的には、図１４に示すように、上端側から下端側へ向かって減少する目標堆積面の温度となるように、図１５に示すように、少なくとも燃焼ガスのうちの燃焼性ガスである水素（Ｈ_２）の流量を徐々に減少させる。

これにより、酸水素火炎の温度が低下して下端近傍部分Ａの密度が小さくされ、上端近傍部分Ｂの密度が大きくされた前述の多孔質ガラス母材Ｇ５（図１２参照）を製造することができる。

なお、上記実施形態では、いずれもＶＡＤ法によりコアロッド２の外周にガラス微粒子を堆積させる方法により形成した多孔質ガラス母材を用いた場合を例にとって説明したが、本発明は、この方法に限らず、出発ロッドの下端側にコア部分となるガラス微粒子とクラッド部分となるガラス微粒子とをそれぞれバーナによって吹き付けて堆積させて形成した多孔質ガラス母材に適用しても同様の効果を得ることができる。その場合には、コア部分のガラス微粒子堆積体を一定に成長させながら、クラッド部分のガラス微粒子堆積体の外径を小さくしていくか、クラッド部分のガラス微粒子堆積体の密度を小さくしていくとよい。あるいは、コア部分のガラス微粒子堆積体を速く成長させながら、出発ロッドを速く引き上げて、クラッド部分のガラス微粒子堆積体の成長速度を一定にすれば、引き上げ速度を速くした分、クラッド部分のガラス微粒子堆積体の外径が小さくなっていく。

以下の比較例、実施例１及び実施例２にて各多孔質ガラス母材を透明ガラス化して得られたガラス母材の有効部のうち下端から所定寸法毎のクラッド／コア比を求めた。

（比較例）
軸方向にほぼ均一な外径を有する多孔質ガラス母材Ｇ３（図６参照）を下端から上端へ向かって焼結して透明ガラス化した。

（実施例１）
下端近傍部分を小径とし、この下端近傍部分から上端側へ向かって外径を大きくさせた多孔質ガラス母材Ｇ２（図５参照）を、外径が小さい部位である下端側を先行して上端側へ向かって焼結して透明ガラス化した。

（実施例２）
ガラス微粒子堆積体を形成する際の堆積面の温度を、上端側から次第に低くすることにより、下端近傍部分の密度を小さくし、この下端近傍部分から上端側へ向かって密度を高くした多孔質ガラス母材Ｇ５（図１２参照）を、密度が小さい部位である下端側を先行して上端側へ向かって焼結して透明ガラス化した。

上記の結果を表１に示す。

表１にて示したように、比較例では、クラッド／コア比が下端から上端へ向かって次第に小さくなり、その変動幅が４．５％となった。これは、下端近傍部分における焼結時に、上端側のガラス微粒子堆積体が引き寄せられて外径変動が生じたことによると考えられる。

これに対して、実施例１，２では、下端から上端に至るまでのクラッド／コア比の変動が抑制され、実施例１にて０．６％、実施例２にて１．６％と極めて小さな変動幅に抑えられた。これは、外径あるいは密度が小さい部位である下端近傍部分を先行して焼結したことにより、上端側のガラス微粒子堆積体が引き寄せられて外径変動が減少されたことによると考えられる。

本実施形態に適用する多孔質ガラス母材を示す概略断面図である。 ガラス母材の製造方法を示す概略断面図である。 ガラス母材の製造方法を示す概略断面図である。 長さ方向位置に対するクラッド／コア比を示すグラフ図である。 本実施形態に適用する多孔質ガラス母材を示す概略断面図である。 均一な外径を有する多孔質ガラス母材を示す概略断面図である。 長さ方向位置に対するクラッド／コア比を示すグラフ図である。 多孔質ガラス母材の製造装置を示す概略構成図である。 制御部による制御を説明するグラフ図である。 制御部による他の制御を説明するグラフ図である。 本実施形態に適用する多孔質ガラス母材を示す概略断面図である。 本実施形態に適用する多孔質ガラス母材を示す概略断面図である。 多孔質ガラス母材の製造装置を示す概略構成図である。 多孔質ガラス母材の製造時における目標温度を示すグラフ図である。 制御部による制御を示すグラフ図である。

符号の説明

２ コアロッド
３ ガラス微粒子堆積体
４ ヒータ
１１，４１ 製造装置
２１ バーナ
３１ 位置検出装置
４２ 温度測定装置
Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４，Ｇ５ 多孔質ガラス母材

Claims (7)

1. ガラス微粒子を堆積させた多孔質ガラス母材を焼結して透明ガラス化する際に、前記多孔質ガラス母材の有効部のうち外径が小さい部位を先行して焼結することを特徴とするガラス母材の製造方法。
2. 予め多孔質ガラス母材の有効部の外径を一端側から次第に大きくなるように形成しておき、前記多孔質ガラス母材の有効部のうち外径が小さい一端側から先行して焼結することを特徴とする請求項１に記載のガラス母材の製造方法。
3. 前記多孔質ガラス母材を形成する際に、ガラス微粒子を吹き付けて堆積させるバーナにおける前記ガラス微粒子の原料流量を調整することを特徴とする請求項２に記載のガラス母材の製造方法。
4. 前記多孔質ガラス母材を形成する際に、ガラス微粒子を吹き付けて堆積させるバーナに対する多孔質ガラス母材の引き上げ速度を調整することを特徴とする請求項２に記載のガラス母材の製造方法。
5. ガラス微粒子を堆積させた多孔質ガラス母材を焼結して透明ガラス化する際に、前記多孔質ガラス母材の有効部のうち密度が小さい部位を先行して焼結することを特徴とするガラス母材の製造方法。
6. 予め多孔質ガラス母材の有効部の密度を一端側から次第に大きくなるように形成しておき、前記多孔質ガラス母材の有効部のうち密度が小さい一端側から先行して焼結することを特徴とする請求項５に記載のガラス母材の製造方法。
7. 前記多孔質ガラス母材を形成する際に、ガラス微粒子を吹き付けて堆積させるバーナにおける少なくとも燃焼性ガスの流量を調整することを特徴とする請求項６に記載のガラス母材の製造方法。

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