JP2007205691A - グラファイト加熱炉 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】グラファイト加熱炉100は、炉体6内に窒素ガスを供給する窒素ガス供給部8と、炉体6内の炉体内ガスを炉体6外に排出する排気部9と、炉体内ガスを炉体6外に放出する放出部としての隙間6a,6bと、を備える。炉体6内に供給される窒素ガスの露点温度は、−80℃以下であり、炉体6内の圧力は、炉体6外の大気圧に対して140Pa以上とされる。
【選択図】 図1
Description
まず、本発明の実施の形態1にかかるグラファイト加熱炉について説明する。図1は、本実施の形態1にかかるグラファイト加熱炉100の構成を示す図である。図1に示すように、グラファイト加熱炉100は、光ファイバ用多孔質母材1を脱水および焼結する脱水焼結炉として構成されており、多孔質母材1が導入される炉心管2と、炉心管2の外周に配置された炉心管3と、炉心管3の外周に配置されたヒータ4と、炉心管3またはヒータ4の外周に配置された耐熱性の断熱材5a〜5cと、を備える。
つぎに、本発明の実施の形態2にかかるグラファイト加熱炉について説明する。図4は、本実施の形態2にかかるグラファイト加熱炉110の構成を示す図である。図4に示すように、グラファイト加熱炉110は、実施の形態1と同様の光ファイバ用多孔質母材1を脱水および焼結する脱水焼結炉として構成されており、実施の形態1のグラファイト加熱炉100に、窒素ガス供給部8が供給する窒素ガスの供給量または排気部9が排出する炉体内ガスの排出量の少なくとも一方を変化させる制御部10をさらに備えた脱水焼結炉として構成されている。
つぎに、本発明の実施の形態3にかかるグラファイト加熱炉について説明する。図5は、本実施の形態3にかかるグラファイト加熱炉200の構成を示す図である。図5に示すように、グラファイト加熱炉200は、光ファイバ母材等のガラスロッド21を延伸する延伸用加熱炉として構成されており、ガラスロッド21が導入される炉心管23と、炉心管23の外周に配置されたヒータ24と、炉心管23またはヒータ24の外周に配置された耐熱性の断熱材25a〜25cと、を備える。炉心管23、ヒータ24および断熱材25a〜25cは、それぞれグラファイトを用いて円筒状に形成され、炉体26内に配置されている。
つぎに、本発明の実施の形態4にかかるグラファイト加熱炉について説明する。図6は、本実施の形態4にかかるグラファイト加熱炉210の構成を示す図である。図6に示すように、グラファイト加熱炉210は、実施の形態3と同様のガラスロッド21を延伸する延伸用加熱炉として構成されており、実施の形態3のグラファイト加熱炉200に、窒素ガス供給部8が供給する窒素ガスの供給量を変化させる制御部30をさらに備えた延伸用加熱炉として構成されている。
つぎに、本発明の実施の形態5にかかるグラファイト加熱炉について説明する。図7は、本実施の形態5にかかるグラファイト加熱炉300の構成を示す図である。図7に示すように、グラファイト加熱炉300は、光ファイバ用プリフォーム31を線引きする線引用加熱炉として構成されており、プリフォーム31が導入される炉心管33と、炉心管33の外周に配置されたヒータ34と、炉心管33またはヒータ34の外周に配置された耐熱性の断熱材35a〜35cと、断熱材35cおよび炉心管33の下部に配置された断熱材としてのカーボン板37およびガラス板38と、を備える。
つぎに、本発明の実施の形態6にかかるグラファイト加熱炉について説明する。図8は、本実施の形態6にかかるグラファイト加熱炉310の構成を示す図である。図8に示すように、グラファイト加熱炉310は、実施の形態5と同様のプリフォーム31を線引きする線引用加熱炉として構成されており、実施の形態5のグラファイト加熱炉300に、窒素ガス供給部8が供給する窒素ガスの供給量を変化させる制御部40をさらに備えた線引用加熱炉として構成されている。
2,3,23,33 炉心管
4,24,34 ヒータ
5a〜5c、25a〜25c、35a〜35c 断熱材
6,26,36 炉体
6a,6b 隙間
6c,26c,36c 空隙
7 シール材
8 窒素ガス供給部
8a 給気管
9 排気部
9a 排気管
10,30,40 制御部
11 圧力計
12 濃度計
21 ガラスロッド
26a,26b,36a,36b 挟持部
31 プリフォーム
37 カーボン板
38 ガラス板
100,200,300 グラファイト加熱炉
Claims (6)
- 炉体内の少なくとも一部がグラファイトを用いて形成されたグラファイト加熱炉において、
前記炉体内に窒素ガスを供給するガス供給部と、
前記炉体内の炉体内ガスを前記炉体外に排出する排気部と、
を備え、
前記炉体内に供給される窒素ガスの露点温度は、−80℃以下であり、
前記炉体内の圧力は、前記炉体外の大気圧に対して140Pa以上であることを特徴とするグラファイト加熱炉。 - 前記排気部は、前記炉体内ガスの少なくとも一部を大気中に放出する放出部を有することを特徴とする請求項1に記載のグラファイト加熱炉。
- 前記炉体内の圧力を検出する圧力検出手段と、
前記圧力検出手段の検出結果に応じて、前記ガス供給部が供給する窒素ガスの供給量または前記排気部が排出する前記炉体内ガスの排出量の少なくとも一方を変化させる制御を行う制御部と、
を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載のグラファイト加熱炉。 - 前記炉体内のシアンガス濃度を検出する濃度検出手段と、
前記濃度検出手段の検出結果に応じて、前記ガス供給部が供給する窒素ガスの供給量または前記排気部が排出する前記炉体内ガスの排出量の少なくとも一方を変化させる制御を行う制御部と、
を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載のグラファイト加熱炉。 - 前記炉体内の温度は、2200K以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載のグラファイト加熱炉。
- 当該グラファイト加熱炉は、光ファイバ母材を脱水および焼結する脱水焼結炉、光ファイバ母材を延伸させる延伸用加熱炉または光ファイバ母材を線引きする線引き用加熱炉であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載のグラファイト加熱炉。
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