JP6540450B2 - ガラス母材の製造方法 - Google Patents
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Description
炉体内に炉心管を配置した焼結炉で多孔質ガラス母材を焼結するガラス母材の製造方法であって、
前記炉心管は、第一の炉心管内に第二の炉心管が配置された二重構造の炉心管として構成され、
前記第一の炉心管と前記第二の炉心管との間に形成される中間室に流量調節器で流量が調節されたガスを供給し、
前記中間室の圧力が所定の圧力範囲に維持されるように、前記流量調節器を制御して、前記多孔質ガラス母材の焼結を行う。
最初に本発明の実施形態の概要を説明する。
本実施形態にかかるガラス母材の製造方法は、
(1)炉体内に炉心管を配置した焼結炉で多孔質ガラス母材を焼結するガラス母材の製造方法であって、
前記炉心管は、第一の炉心管内に第二の炉心管が配置された二重構造の炉心管として構成され、
前記第一の炉心管と前記第二の炉心管との間に形成される中間室に流量調節器で流量が調節されたガスを供給し、
前記中間室の圧力が所定の圧力範囲に維持されるように、前記流量調節器を制御して、前記多孔質ガラス母材の焼結を行う。
この構成によれば、炉体内の細かな圧力調整を可能にし、製品不良の発生を確実に防止する、ガラス母材の製造方法を提供することができる。
前記第二の炉心管内の圧力が所定の圧力範囲に維持されるように、前記流量調節器を制御して、前記多孔質ガラス母材の焼結を行うことが好ましい。
この構成によれば、中間室の圧力変動に影響を与える第二の炉心管内の圧力を細かく調節することができる。
前記炉体内の圧力が所定の圧力範囲に維持されるように、前記流量調節器を制御して、前記多孔質ガラス母材の焼結を行うことが好ましい。
この構成によれば、中間室の圧力変動に影響を与える炉体内の圧力を細かく調節することができる。
この構成によれば、排気側の調整弁に詰まりやすいシリカ微粒子を含む排気ガスが排気されることから、(1)から(3)にかかる発明を適用することが好適である。
以下、本発明に係るガラス母材の製造方法の実施の形態の例を、図面を参照して説明する。
図1に示すように、焼結炉100は、炉体7内に、炉心管3(以下、第一炉心管という)が配置され、第一炉心管3内に第二炉心管4が第一炉心管3と同軸状に配置されて構成されている。第一炉心管3と第二炉心管4との間には空間(以下、中間室という)10が画成されている。
SiO2粒子からなる多孔質ガラス母材1は、出発棒である支持棒2を、第二炉心管4の貫通部4a、第一炉心管3の貫通部3aおよび炉体7の貫通部7aを通して、第二炉心管4の中心部に吊り下げ支持される。第一炉心管3および第二炉心管4は、ともに高純度のカーボンで作られた円筒状の側壁部材が複数個に分割して多段に積重ねられて、その上下が円板状の蓋と底部材で封止されて構成されている。第一炉心管3および第二炉心管4の複数個の側壁部材同士の接合箇所を接合部3b,4bとする。なお、第一炉心管3および第二炉心管4は、石英の分割構造で構成してもよい。
第一炉心管3の外側には、加熱ヒータ5が配置され、加熱ヒータ5の外側を断熱材6で覆って外部への熱放散を遮蔽している。炉体7は、ステンレス等の耐食性に優れた金属で形成され、第一炉心管3および第二炉心管4を含む構成部材の全体を囲い、外囲気から完全に封止する。
ガス供給管11には、流量調整器として、供給ガスの流量制御を行なうマスフローコントローラ(MFC)11aが設けられている。ガス圧制御装置19によりMFC11aを制御することで、炉心室8内に供給される脱水焼結用ガスの流量が調整される。炉心室8内に供給される脱水焼結用ガスの流量をMFC11aにより調整することで、炉心室8の圧力が所定の範囲に維持される。
図2(A)は、比較例に係る中間室の圧力変動を示す図であり、図2(B)は、実施例に係る中間室の圧力変動を示す図である。
図2(A)に示される比較例では、中間室のガス排気管(図1のガス排気管14)に調整弁を設け、調整弁の開閉により中間室の内部圧力を調整し、中間室の圧力変動を1時間にわたって測定した。一方、図2(B)に示される実施例では、上記記載の通り、中間室のガス供給管(図1のガス供給管13)に流量調整器としてMFCを設け、中間室にMFCで流量が調節されたガスを供給し、中間室の圧力変動を1時間にわたって測定した。
その結果、図2(A)に示される比較例においては中間室の圧力変動幅は約1.4KPaであったが、図2(B)に示される実施例においては中間室の圧力変動幅は約0.9KPaに抑えられた。これにより、ガス排気管側に設けられていた調整弁の代わりに、ガス供給管側にMFCを設けて、中間室に供給されるガスの圧力を調整することで、中間室の圧力を所望の範囲に安定して維持することができることが確認できた。
2:支持棒
3:第一炉心管
4:第二炉心管
5:加熱ヒータ
6:断熱材
7:炉体
8:炉心室
9:炉体室
10:中間室
11,13,15:ガス供給管
11a,13a,15a:MFC(流量調節器)
12,14,16:ガス排気管
17,18:差圧計
19:ガス圧制御装置
Claims (3)
- 炉体内に炉心管を配置した焼結炉で多孔質ガラス母材を焼結するガラス母材の製造方法であって、
前記炉心管は、第一の炉心管内に第二の炉心管が配置された二重構造の炉心管として構成され、
前記第一の炉心管と前記第二の炉心管との間に形成される中間室と前記炉体内であって前記第一の炉心管の外側に画成される炉体室とに流量調節器で流量が調節されたガスを供給し、
前記中間室の圧力および前記炉体室の圧力が所定の圧力範囲に維持されるように、前記流量調節器を制御して、前記多孔質ガラス母材の焼結を行う、ガラス母材の製造方法。 - 前記第二の炉心管内に、流量調節器で流量が調節されたガスを供給し、
前記第二の炉心管内の圧力が所定の圧力範囲に維持されるように、前記流量調節器を制御して、前記多孔質ガラス母材の焼結を行う、請求項1に記載のガラス母材の製造方法。 - 前記第二の炉心管内に供給するガスは、SiCl4またはSiF4を含む、請求項1または請求項2に記載のガラス母材の製造方法。
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