JP2007182617A - スパッタ成膜方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
ターゲット材料の使用効率を良くできると共に形成される膜の均一性に優れた成膜方法及び装置を提供する。
【解決手段】
本発明による成膜装置では、ターゲットが基板のサイズより小さく、基板に対して放電限界位置まで近づけて配置し、基板を自転させかつターゲットに対する距離を変える基板駆動装置を設け、カソード電極を基板の表面に平行に移動させるカソード電極移動装置を設け、ターゲットと基板との距離に応じてスパッタガスの圧力を調整するスパッタガス調整装置をガス導入系に設ける。また、本発明による成膜方法では、上記の成膜装置を用いて、成膜すべき基板のサイズより小さいターゲットを、基板に対して放電限界位置まで近づけて位置決めし、基板を自転させかつターゲットに対する距離を変えしかもターゲットを基板の表面に平行に移動させ、ターゲットと基板との距離に応じてスパッタガスの圧力を調整しながら成膜を行う。
【選択図】 図1
Description
2:凹レンズ
3:基板ホルダ
4:密封軸受け部材
5:回転駆動軸
6:基板駆動装置
7:カソード電極組立体
8:ターゲット
9:電極本体
10:永久磁石
11:絶縁体
12:支持ハウジング
13:支持ハウジング12の他端のフランジ
14:水平方向駆動部材
15:蛇腹装置
16:水平方向駆動装置
17:揺動装置
18:支持部材
19:駆動モータ
20:変換機構
21:電力供給導体
22:冷却水導管
23:制御装置
31:真空チャンバ
32:凸レンズ
33:基板ホルダ
34:密封軸受け部材
35:回転駆動軸
36:基板駆動装置
37:カソード電極組立体
38:ターゲット
39:電極本体
40:永久磁石
41:絶縁体
42:回転支持ハウジング
43:軸受装置
44:歯車
45:モータ
46:カソード電極組立体37の制御装置
47:揺動装置
48:支持部材
49:駆動モータ
50:変換機構
51:電力供給導体
52:冷却水導管
53:動作制御装置
Claims (14)
- 真空チャンバ内に基板とスパッタターゲットの装着されるカソード電極とを対向させて設け、基板とターゲットとを相対的に動かしながら基板上に薄膜を成長させる成膜装置であって、
ターゲットが基板のサイズより小さく、基板に対して放電限界位置まで近づけて配置し、
基板を自転させかつターゲットに対する距離を変える基板駆動装置を設け、
カソード電極を基板の表面に平行に移動させるカソード電極移動装置を設け、
ターゲットと基板との距離に応じてスパッタガスの圧力を調整するスパッタガス調整装置をガス導入系に設けた
ことを特徴とする成膜装置。 - カソード電極がマグネトロン型のものであり、マグネトロン磁石を揺動させる揺動手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。
- 基板駆動装置及びカソード電極移動装置が、基板の表面形状に応じて、基板とターゲットとの距離及びターゲットの位置を調整するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。
- ターゲットへ供給される電力が直流電力と交流電力とを重畳したものから成ることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。
- ターゲットが位置調整可能な複数のターゲットから成ることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。
- 基板が凹状の曲面を有することを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。
- 基板が凸状の曲面を有することを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。
- 真空チャンバ内に基板とスパッタターゲットの装着されるカソード電極とを対向させて設け、基板とターゲットとを相対的に動かしながら基板上に薄膜を成長させる成膜方法であって、
成膜すべき基板のサイズより小さいターゲットを、基板に対して放電限界位置まで近づけて位置決めし、
基板を自転させかつターゲットに対する距離を変えしかもターゲットを基板の表面に平行に移動させ、ターゲットと基板との距離に応じてスパッタガスの圧力を調整しながら成膜を行う、
ことを特徴とする成膜方法。 - ターゲットと基板との距離が減少するにつれてスパッタガスの圧力を上昇させることを特徴とする請求項8に記載の成膜方法。
- ターゲットを装着するカソード電極がマグネトロン型のものであり、マグネトロン磁石を揺動させながら成膜を行うことを特徴とする請求項8に記載の成膜方法。
- 基板の表面形状に応じて、基板とターゲットとの距離及びターゲットの位置を調整することを特徴とする請求項8に記載の成膜方法。
- ターゲットに直流電力と交流電力とを重畳して供給して、放電電圧を低下させることを特徴とする請求項8に記載の成膜方法。
- 基板が凹状の曲面を有することを特徴とする請求項8に記載の成膜方法。
- 基板が凸状の曲面を有することを特徴とする請求項8に記載の成膜方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006002664A JP2007182617A (ja) | 2006-01-10 | 2006-01-10 | スパッタ成膜方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006002664A JP2007182617A (ja) | 2006-01-10 | 2006-01-10 | スパッタ成膜方法及び装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012111323A Division JP2012158835A (ja) | 2012-05-15 | 2012-05-15 | スパッタ成膜装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007182617A true JP2007182617A (ja) | 2007-07-19 |
Family
ID=38338950
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006002664A Pending JP2007182617A (ja) | 2006-01-10 | 2006-01-10 | スパッタ成膜方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007182617A (ja) |
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