JP2014074188A - スパッタリング装置およびスパッタリング方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、スパッタリング装置の稼動を停止させることなく、T/S距離を調整することを可能とするスパッタリング装置および方法を提供することを目的とする。
【課題を解決する手段】
基板にスパッタリング処理を行うスパッタリング装置において、チャンバーと、チャンバー内に設けられた円筒状ターゲットと、円筒状ターゲットを基板と対向する位置に保持するターゲット支持機構と、ターゲット支持機構に設けられた支持軸と、を有し、支持軸の一端は前記円筒状ターゲットと接続し、支持軸は支持軸の回動中心部を中心に回動可能である。
【選択図】図1
【課題を解決する手段】
基板にスパッタリング処理を行うスパッタリング装置において、チャンバーと、チャンバー内に設けられた円筒状ターゲットと、円筒状ターゲットを基板と対向する位置に保持するターゲット支持機構と、ターゲット支持機構に設けられた支持軸と、を有し、支持軸の一端は前記円筒状ターゲットと接続し、支持軸は支持軸の回動中心部を中心に回動可能である。
【選択図】図1
Description
本発明は、スパッタリング装置およびスパッタリング方法に係わり、特に円筒状のターゲットを用いた回転式カソードを有するスパッタリング装置および方法に関する。
スパッタリング装置として、円筒状のターゲットを用いたスパッタリング装置が知られている(例えば、特許文献1、2)。
特許文献1には、円筒状のターゲット内部に磁場発生機構を配置したスパッタリング装置が開示されている。特許文献2には、円筒状ターゲットとして、ターゲットの両端にターゲットを支持する機構と、ターゲットを回転させる回転機構を有する円筒状ターゲットが記載されている。また、ターゲットに冷却水を流入する冷却水システムを設けることが記載されている。
特許文献1には、円筒状のターゲット内部に磁場発生機構を配置したスパッタリング装置が開示されている。特許文献2には、円筒状ターゲットとして、ターゲットの両端にターゲットを支持する機構と、ターゲットを回転させる回転機構を有する円筒状ターゲットが記載されている。また、ターゲットに冷却水を流入する冷却水システムを設けることが記載されている。
ところで、このような円筒状のターゲットを用いたスパッタリング装置においてもターゲット(target)と基板(substrate)との間の距離(T/S距離)を調節することが望まれる。そこで、特許文献3には、エンドブロックとスパッタ装置の取付部との間に、インサート部品を挿入することにより、T/S距離を調整可能とすることが記載されている。
しかしながら、特許文献3に記載されたスパッタリング装置において、T/S距離を調整する為には、円筒状ターゲットをスパッタリング装置から一度取外してインサート部品を装着しなければならなかった。また、T/S距離は、インサート部品によって定まるため、T/S距離を任意に変更することはできなかった。
そこで、本発明は、スパッタリング装置の稼動を停止させることなく、T/S距離を調整することを可能とするスパッタリング装置および方法を提供することを目的とする。
そこで、本発明は、スパッタリング装置の稼動を停止させることなく、T/S距離を調整することを可能とするスパッタリング装置および方法を提供することを目的とする。
上記課題は、本発明により解決することができる。
すなわち、本発明のスパッタリング装置は、基板にスパッタリング処理を行うスパッタリング装置において、チャンバーと、前記チャンバー内に設けられた円筒状ターゲットと、前記円筒状ターゲットを前記基板と対向する位置に保持するターゲット支持機構と、前記ターゲット支持機構に設けられた支持軸と、を有し、前記支持軸の一端は前記円筒状ターゲットと接続し、前記支持軸は前記支持軸の回動中心部を中心に回動可能であることを特徴とする。
本発明のスパッタリング方法は、上記スパッタリング装置を用いて基板にスパッタリングする方法であって、前記支持軸を前記回動中心部を中心に回動させることにより、前記基板とターゲットとの距離を所定の間隔に設定する工程を有することを特徴とする。
すなわち、本発明のスパッタリング装置は、基板にスパッタリング処理を行うスパッタリング装置において、チャンバーと、前記チャンバー内に設けられた円筒状ターゲットと、前記円筒状ターゲットを前記基板と対向する位置に保持するターゲット支持機構と、前記ターゲット支持機構に設けられた支持軸と、を有し、前記支持軸の一端は前記円筒状ターゲットと接続し、前記支持軸は前記支持軸の回動中心部を中心に回動可能であることを特徴とする。
本発明のスパッタリング方法は、上記スパッタリング装置を用いて基板にスパッタリングする方法であって、前記支持軸を前記回動中心部を中心に回動させることにより、前記基板とターゲットとの距離を所定の間隔に設定する工程を有することを特徴とする。
本発明によれば、円筒状ターゲットに回動運動を与えることにより、円筒状ターゲットを用いたスパッタ装置においても任意の距離にT/S距離を調整することができる。
本発明のスパッタリング装置の一態様を図1、2を参照して説明する。
図1は、本発明の一実施態様に係わるスパッタリング装置を概略的に示した図である。
図1は、本発明の一実施態様に係わるスパッタリング装置を概略的に示した図である。
チャンバー13内には、円筒状ターゲット1が設けられている。また、チャンバー13内には、基板搬送機構10が設けられており、チャンバー13内に搬入された基板9は基板搬送機構10により搬送される。チャンバー13内には、不図示のガス供給口からガスが供給される。また、不図示の排気口からチャンバー13内のガスが排気される。
円筒状ターゲット1はターゲット支持機構6にて支持されている。ターゲット支持機構6は、円筒状ターゲット1の回転駆動軸8を支持する2本の支持軸61と、支持軸61とモータ固定板4と接続する接続棒62とを具備する。支持軸61は、いずれもその一端が円筒状ターゲット1の回転駆動軸8を保持する。
円筒状ターゲット1を回転させる為の回転駆動伝達用ベルト3が、円筒状ターゲット1の回転駆動軸8と
ターゲット駆動用モータ2との間に渡されている。ターゲット駆動用モータ2は、モータ固定板4に固定されている。回転駆動伝達用ベルト3は大気側でターゲット回転用モータ2に取付けられており、回転用モータ2を回転させると、回転用モータ2の駆動が回転駆動伝達用ベルト3により円筒状ターゲット1の回転駆動軸8に伝達され、回転駆動軸8に接続された円筒状ターゲット1が回転する。
円筒状ターゲット1を回転させる為の回転駆動伝達用ベルト3が、円筒状ターゲット1の回転駆動軸8と
ターゲット駆動用モータ2との間に渡されている。ターゲット駆動用モータ2は、モータ固定板4に固定されている。回転駆動伝達用ベルト3は大気側でターゲット回転用モータ2に取付けられており、回転用モータ2を回転させると、回転用モータ2の駆動が回転駆動伝達用ベルト3により円筒状ターゲット1の回転駆動軸8に伝達され、回転駆動軸8に接続された円筒状ターゲット1が回転する。
円筒状ターゲット1を支持する円筒状ターゲット支持機構6には、円筒状ターゲット1の内面を冷却する不図示の冷却水路が設けられており、冷却水を円筒状ターゲット1内に供給、排出することが出来るようになっている。また、円筒状ターゲット1を支持するターゲット支持機構6には、円筒状ターゲット1に電力を供給する不図示の電極が設けられており、不図示の電源から電力を供給することが出来るようになっている。
ターゲット回転用モータ2は、モータ固定板4に固定されている。モータ固定板4は、ターゲット支持機構6の大気側部分と連結部7で連結されている。
回動軸5は、チャンバー13の壁内に設けられており、ターゲット支持機構6の支持軸61は、支持軸の回動中心部63を中心に回動可能に、回動軸5に固定されている。回動軸5はベアリングにより、外から動力を与えることにより回転可能な構造となっている。
回転動力伝達部12の一端には、支持軸61を回動させるための第一の歯車15が設けられている。第一の歯車15は、第二の歯車16に噛み合うように配置されている。第二の歯車16は、不図示の歯車駆動モータに接続されており、歯車16を回転させることにより、歯車15に接続されている回転動力伝達部12に歯車の回転が伝達され、ターゲット支持機構6の支持軸61が支持軸61の回動中心部63を中心に回動する。
支持軸61の駆動範囲をカバーするようにターゲット支持機構6のチャンバー13導入部にはベローズ11が設けられており、駆動部においてチャンバー13内との真空を保持する役割を担っている。
支持軸61の駆動範囲をカバーするようにターゲット支持機構6のチャンバー13導入部にはベローズ11が設けられており、駆動部においてチャンバー13内との真空を保持する役割を担っている。
円筒状ターゲット1の内側には、磁場発生構造体としての不図示の磁場発生機構が配置されている。磁場発生機構は、円筒状ターゲット1が回転しても磁場発生機構は回転しないように配設されている。
なお、上記例では、真空を保持する手段としてベローズ11を例に説明したが、これに限らず、磁性流体を使用したシール等、駆動部における真空シールが可能な方法であれば用いることができる。
次に、図1のスパッタリング装置を用いた基板へのスパッタリング方法について説明する。
不図示の真空ポンプにてチャンバー13を排気し、チャンバー13内を所望の圧力(例えば1×10−5Pa程度)にした後、不図示のガス供給口より所望の流量(例えば、アルゴンガスを数100sccm程度)を導入する。チャンバー13内の圧力が安定した後、チャンバー外に設けた不図示の電源より円筒状ターゲット1へ電流を供給し、放電プラズマを励起させる。励起されたプラズマは、円筒状ターゲット1の内面に設置された不図示の磁場発生機構により作られた閉ループ磁界に沿った領域にてスパッタリングが行われる。
不図示の真空ポンプにてチャンバー13を排気し、チャンバー13内を所望の圧力(例えば1×10−5Pa程度)にした後、不図示のガス供給口より所望の流量(例えば、アルゴンガスを数100sccm程度)を導入する。チャンバー13内の圧力が安定した後、チャンバー外に設けた不図示の電源より円筒状ターゲット1へ電流を供給し、放電プラズマを励起させる。励起されたプラズマは、円筒状ターゲット1の内面に設置された不図示の磁場発生機構により作られた閉ループ磁界に沿った領域にてスパッタリングが行われる。
基板9は基板搬送機構10により、円筒状ターゲット1の直下を通過する。基板搬送機構10としては、基板を基板搬送保持具に載置して搬送する方法、基板を回転ロールにて搬送する方法、ウェブ基板をロールツーロールにより搬送する方法など、連続的に基板を搬送することのできる機構が用いられる。その際、スパッタリングにより、円筒状ターゲット1の材料(例えば、Ti、Mo、Al等の金属材料)が微粒子として下方向に放出され、基板9に付着する。スパッタリング時に放出されるターゲット材料の基板以外への付着を最小限に留める為、シールド14を円筒状ターゲット1の両端付近に設けることが好ましい。
本発明で用いるT/S距離の変更方法を、図1とともに、図2、3を用いて説明する。図2、3は、チャンバー内で基板とターゲットとの配置を示す模式図であり、チャンバー13の側面から、支持軸61と円筒状ターゲット1を見た図である。基板は、移動方向100に移動する。図2は、図1において、T/S距離が最小であるときの円筒状カソードと基板の位置関係を示す概略図であり、図3はT/S距離を変化させたときの位置関係を示す概略図である。ここで、T/S距離とは、円筒状ターゲットのターゲット面と基板9との一番短い距離をいう。
図2において、T/S距離は、Lである。この状態から、T/S距離を増加させる為にモータ固定板4を矢印aの方向に動かす。すると、回動中心部63を支点として、支持軸61が回動し、円筒状ターゲット1が矢印bの方向に弧を描くように動く。
その結果、円筒状ターゲット1は、基板9から鉛直方向にr移動し、T/S距離がL+rとなる(図3)。
すなわち、T/S距離は、rだけ長くなる。このようにして、T/S距離を所定の間隔に設定することができる。
その結果、円筒状ターゲット1は、基板9から鉛直方向にr移動し、T/S距離がL+rとなる(図3)。
すなわち、T/S距離は、rだけ長くなる。このようにして、T/S距離を所定の間隔に設定することができる。
不図示の歯車駆動モータを用いて、円筒状ターゲット1を動かしているため、精度、再現性の高いT/S距離の調整が可能である。
なお、円筒状ターゲット1の位置が、基板の進行方向に対して前後方向にずれるが、通過成膜にてスパッタリングを行う為、実質的にT/S距離のみを可変した形と同じになる。
なお、円筒状ターゲット1の位置が、基板の進行方向に対して前後方向にずれるが、通過成膜にてスパッタリングを行う為、実質的にT/S距離のみを可変した形と同じになる。
次に、図4を用いて、歯車15、16を用いて支持軸61を回動させる方法の詳細について説明する。
図4は、歯車15、16と、回転動力伝達部12の位置関係を示す模式図である。図中、図1と同一の符号は、同一の部品を示す。
図4は、歯車15、16と、回転動力伝達部12の位置関係を示す模式図である。図中、図1と同一の符号は、同一の部品を示す。
回転動力伝達部12の一端には、第一の歯車15が接続されており、第二の歯車16が第一の歯車15とかみ合わさっている。また、回転動力伝達部12の他端は、モータ固定板4に接続しており、モータ固定板4には、ターゲット支持機構6の支持軸61の一端が接続されており、支持軸61の他端は円筒状ターゲット1に接続している。
第二の歯車16をcの方向に回すことにより、第一の歯車15はdの方向に回り、その結果、第一の歯車15に接続した回転駆動伝達部12がeの方向に動き、モータ固定板4もeの方向に動く。それにより、図2において、モータ固定板4に接続した支持軸61が回動中心部63を中心に回動する。
第二の歯車16をcの方向に回すことにより、第一の歯車15はdの方向に回り、その結果、第一の歯車15に接続した回転駆動伝達部12がeの方向に動き、モータ固定板4もeの方向に動く。それにより、図2において、モータ固定板4に接続した支持軸61が回動中心部63を中心に回動する。
図5に支持軸を回動させる他の態様として、クラッチモータ31を用いた例を示す。クラッチモータ31の
動力により、回転駆動伝達部12を動かすことができる。
動力により、回転駆動伝達部12を動かすことができる。
図6に支持軸を回動させる他の態様として、LMガイド32を用いた例を示す。LMガイド32により、回転駆動伝達部12を動かすことができる。
なお、上記例では、モータ駆動を用いた例を挙げて説明したが、前後運動をさせる駆動機構であれば、本法に限らず用いることができる。
図7、8に、円筒状ターゲット1内に配置されている磁場発生構造体の断面模式図を示す。
マグネット20は、図7、8に示すように磁場発生構造体であるマグネットユニット22の中に配置されている。円筒状ターゲット1の両端を塞いでいるフランジ23の中心には、ベアリング24が設けられ、ベアリング24にマグネットユニット22の中心軸21が接続される構造になっている。このように、中心軸21は、円筒状ターゲット1の長手方向軸である回転駆動軸8と独立して保持されているので、円筒状ターゲット1の動きに連動することがない。
従って、円筒状ターゲット1が回転駆動軸8を中心に回転しても、マグネット20は、マグネットの自重で常に下向きに位置する。その結果、本発明の方法でT/S距離を変更してもスパッタリングの方向は変わらない。
マグネット20は、図7、8に示すように磁場発生構造体であるマグネットユニット22の中に配置されている。円筒状ターゲット1の両端を塞いでいるフランジ23の中心には、ベアリング24が設けられ、ベアリング24にマグネットユニット22の中心軸21が接続される構造になっている。このように、中心軸21は、円筒状ターゲット1の長手方向軸である回転駆動軸8と独立して保持されているので、円筒状ターゲット1の動きに連動することがない。
従って、円筒状ターゲット1が回転駆動軸8を中心に回転しても、マグネット20は、マグネットの自重で常に下向きに位置する。その結果、本発明の方法でT/S距離を変更してもスパッタリングの方向は変わらない。
なお、上記態様では、マグネットの自重を利用した下向きの制御にて説明をしたが、円筒状ターゲット1内面の中心軸に回転機構を設けることにより、下向きの制御をすることも可能である。この場合、円周上のあらゆる角度の制御が可能となる。
このように、本発明によれば、T/S距離を装置を再組み立てすることなく変更するができるため、生産性を向上することができる。また、スパッタ装置の稼動を停止することなくT/S距離を変更することができるため、汎用性の高いスパッタリング装置を提供することができる。
1 円筒状ターゲット
2 ターゲット回転用モータ
3 回転駆動伝達用ベルト
4 モータ固定板
5 回動軸
6 ターゲット支持機構
61 支持軸
62 接続棒
63 回動中心部
7 連結部
8 回転駆動軸
9 基板
10 基板搬送機構
11 ベローズ
12 回転駆動伝達部
13 チャンバー
14 シールド
15 第一の歯車
16 第二の歯車
20 マグネット
21 中心軸
22 マグネットユニット
23 フランジ
24 ベアリング
31 クラッチモータ
32 LMガイド
100基板進行方向
2 ターゲット回転用モータ
3 回転駆動伝達用ベルト
4 モータ固定板
5 回動軸
6 ターゲット支持機構
61 支持軸
62 接続棒
63 回動中心部
7 連結部
8 回転駆動軸
9 基板
10 基板搬送機構
11 ベローズ
12 回転駆動伝達部
13 チャンバー
14 シールド
15 第一の歯車
16 第二の歯車
20 マグネット
21 中心軸
22 マグネットユニット
23 フランジ
24 ベアリング
31 クラッチモータ
32 LMガイド
100基板進行方向
Claims (4)
- 基板にスパッタリングを行うスパッタリング装置において、チャンバーと、前記チャンバー内に設けられた円筒状ターゲットと、前記円筒状ターゲットを前記基板と対向する位置に保持するターゲット支持機構と、前記ターゲット支持機構に設けられた支持軸と、を有し、前記支持軸の一端は前記円筒状ターゲットと接続し、前記支持軸は前記支持軸の回動中心部を中心に回動可能であることを特徴とするスパッタリング装置。
- 前記円筒状ターゲット内部に磁場発生構造体を有し、該磁場発生構造体の中心軸は、前記円筒状のターゲットの長手方向軸とは独立して保持されていることを特徴とする請求項1記載のスパッタリング装置。
- 前記チャンバー内に基板を搬送する搬送機構を有することを特徴とする請求項1に記載のスパッタリング装置。
- 請求項1に記載のスパッタリング装置を用いて基板にスパッタリングする方法であって、前記支持軸を前記回動中心部を中心に回転させることにより、前記基板とターゲットとの距離を所定の間隔に設定する工程を有することを特徴とするスパッタリング方法。
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JP2010289264A JP2014074188A (ja) | 2010-12-27 | 2010-12-27 | スパッタリング装置およびスパッタリング方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016005476A1 (en) * | 2014-07-09 | 2016-01-14 | Soleras Advanced Coatings Bvba | Sputter device with moving target |
US20200140992A1 (en) * | 2016-12-14 | 2020-05-07 | Schneider Gmbh & Co. Kg | Device, method and use for the coating of lenses |
JP2020105566A (ja) * | 2018-12-27 | 2020-07-09 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013109078A1 (de) * | 2013-08-22 | 2015-02-26 | Von Ardenne Gmbh | Prozessanordnung und Verfahren zum Betreiben einer Prozessanordnung |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5527439A (en) * | 1995-01-23 | 1996-06-18 | The Boc Group, Inc. | Cylindrical magnetron shield structure |
JPH10204630A (ja) * | 1997-01-22 | 1998-08-04 | Sony Corp | スパッタリング装置、スパッタリング方法およびターゲット |
WO2002042518A1 (de) * | 2000-11-27 | 2002-05-30 | Unaxis Trading Ag | Target mit dickenprofilierung für rf manetron |
JP2002359203A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-12-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 成膜装置、プラズマcvd装置、成膜方法及びスパッタ装置 |
JP2005133110A (ja) * | 2003-10-28 | 2005-05-26 | Konica Minolta Opto Inc | スパッタリング装置 |
-
2010
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-
2011
- 2011-11-22 WO PCT/JP2011/006504 patent/WO2012090379A1/ja active Application Filing
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016005476A1 (en) * | 2014-07-09 | 2016-01-14 | Soleras Advanced Coatings Bvba | Sputter device with moving target |
US10424468B2 (en) | 2014-07-09 | 2019-09-24 | Soleras Advanced Coatings Bvba | Sputter device with moving target |
US20200140992A1 (en) * | 2016-12-14 | 2020-05-07 | Schneider Gmbh & Co. Kg | Device, method and use for the coating of lenses |
US11842889B2 (en) * | 2016-12-14 | 2023-12-12 | Schneider Gmbh & Co. Kg | Device, method and use for the coating of lenses |
JP2020105566A (ja) * | 2018-12-27 | 2020-07-09 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 |
JP7229014B2 (ja) | 2018-12-27 | 2023-02-27 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 |
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WO2012090379A1 (ja) | 2012-07-05 |
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Legal Events
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