JP5687045B2 - スパッタリング装置およびスパッタリング方法 - Google Patents
スパッタリング装置およびスパッタリング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5687045B2 JP5687045B2 JP2010282833A JP2010282833A JP5687045B2 JP 5687045 B2 JP5687045 B2 JP 5687045B2 JP 2010282833 A JP2010282833 A JP 2010282833A JP 2010282833 A JP2010282833 A JP 2010282833A JP 5687045 B2 JP5687045 B2 JP 5687045B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnet
- cylindrical target
- target
- sputtering
- lowering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 title claims description 40
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 20
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 16
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 4
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
特許文献1には、円筒状のターゲット内面にマグネットを配置したスパッタリング装置が開示されている。特許文献2には、円筒状ターゲットとして、ターゲットの両端にターゲットを支持する機構と、ターゲットを回転させる回転機構を有する円筒状ターゲットが記載されている。また、ターゲットに冷却水を流入する冷却水システムを設けることが記載されている。
そこで、ターゲットの消耗の度合いに応じ、ターゲットとマグネットとの間の間隔(T/M距離)を調製するスパッタリング装置が提案されている(例えば、特許文献3)。
特許文献3には、ターゲットの裏側に設けられたマグネットの位置を調整することにより、T/M距離を調整することが記載されている。
そのため、円筒状ターゲットを用いたスパッタリング装置において、スパッタリング装置の稼動を停止することなく、T/M距離を調整することはできなかった。
その結果、ターゲット材の種類、膜組成によりT/M距離を変更する必要が生じた時であっても、スループットを落とすことなく、生産を続けることができる。また、T/M距離を自由に調整できるので、汎用性の高い装置を提供することができる。
図1は本発明に係るスパッタリング装置の一態様を示す断面模式図である。図2は、図1の矢印Aからの円筒状ターゲットの切断模式図である。なお、図2において、円筒状ターゲット内部の記載は省略している。
冷却水は、冷却水導入口16より、円筒状ターゲット1の一端から導入され、円筒状ターゲット1内部を冷却水の流れ25の方向に流され、円筒状ターゲット1の他端から冷却水排出口17へ排出される。冷却水を流すことにより、成膜時に発生するターゲット表面の熱を取り除き、高出力スパッタが可能となる。
真空チャンバ18の外には、電源23が設けられており、電源23から電力給電端子14を介して、真空チャンバ18内に給電される。回転駆動軸保持ブロック13は、電流給電端子14と繋がっており、電流給電端子14から供給電流をターゲット表面へ運ぶことが可能となっている。
図1のスパッタリング装置を用いた基板のスパッタリングは以下の手順で行う。
図3は、初期状態における円筒状ターゲット1内でのマグネット2の位置を示す模式図であり、円筒状ターゲット1の側面から円筒状ターゲットの内部を見た模式図である。図4は、マグネット3を上昇させたときの状態を示す模式図である。図5は、マグネット3を下降させたときの状態を示す模式図である。両矢印31は、円筒状ターゲット1の内径を示す。
T/M距離を長くしたいときには、図4に示すようにマグネット昇降棒6をα上昇させることにより、マグネット2をα上昇させることができる。この結果、T/M距離は、αだけ長くなり、L+αとなる。
一方、T/M距離を短くしたいときには、図5に示すようにマグネット昇降棒6をβ下降させることにより、マグネット2をβ下降させることができる。この結果、T/M距離は、βだけ短くなり、L―βとなる。
本発明によれば、T/M距離の変更が装置の稼動を停止することなく行える。
2 マグネット
3 マグネット支持部材
4 回転駆動軸
5 第一のシール部材
6 マグネット昇降棒
7 マグネット昇降駆動機構(モータ)
8 第二のシール部材
9 回転駆動ベルト
10 回転駆動機構(モータ)
11 マグネット昇降方向
12 ベアリング
13 回転駆動軸保持ブロック
14 電流給電端子
15 冷却水配管
16 冷却水導入口
17 冷却水排出口
18 真空チャンバ
19 基板
20 基板搬送機構
21 ガスボンベ
22 真空ポンプ
23 電源
24 シールド
25 冷却水の流れ
101 円筒状ターゲット内壁面
Claims (3)
- 基板にスパッタリングを行うスパッタリング装置において、
チャンバと、
チャンバ内に設けられた円筒状ターゲットと、
前記円筒状ターゲットの内部に設けられたマグネットと、
前記マグネットを前記円筒状ターゲット内部で支持するマグネット支持部材と、
前記マグネット支持部材の両端部に一端がそれぞれ接続された一対のマグネット昇降棒と、
前記マグネット支持部材に一端で接続された前記一対のマグネット昇降棒の他端にそれぞれ接続され、前記チャンバ外に設けられたマグネット昇降駆動機構と、を有し、
前記マグネット昇降駆動機構により前記マグネット昇降棒を昇降させることにより、前記マグネットと円筒状ターゲット内壁との間隔を変更可能としたことを特徴とするスパッタリング装置。 - 前記円筒状ターゲットの両端部には、冷却水を前記円筒状ターゲットの内部に流通させるための一対の冷却水配管がそれぞれ連結され、
前記一対のマグネット昇降棒は、前記一対の冷却水配管の中にそれぞれ配設されていることを特徴とする請求項1に記載のスパッタリング装置。 - 請求項1又は2に記載のスパッタリング装置を用いて基板にスパッタリングする方法であって、
前記一対のマグネット昇降棒を昇降させることにより、マグネットと円筒状ターゲット内部との間隔を調整する工程を有することを特徴とするスパッタリング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010282833A JP5687045B2 (ja) | 2010-12-20 | 2010-12-20 | スパッタリング装置およびスパッタリング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010282833A JP5687045B2 (ja) | 2010-12-20 | 2010-12-20 | スパッタリング装置およびスパッタリング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012132039A JP2012132039A (ja) | 2012-07-12 |
JP5687045B2 true JP5687045B2 (ja) | 2015-03-18 |
Family
ID=46647964
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010282833A Active JP5687045B2 (ja) | 2010-12-20 | 2010-12-20 | スパッタリング装置およびスパッタリング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5687045B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6180825A (ja) * | 1984-09-28 | 1986-04-24 | Hitachi Ltd | 液体処理装置 |
EP2778253B1 (de) | 2013-02-26 | 2018-10-24 | Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon | Zylinderförmige Verdampfungsquelle |
WO2016005476A1 (en) * | 2014-07-09 | 2016-01-14 | Soleras Advanced Coatings Bvba | Sputter device with moving target |
JP6415957B2 (ja) * | 2014-12-09 | 2018-10-31 | 株式会社アルバック | ロータリーカソード、および、スパッタ装置 |
KR102364799B1 (ko) | 2015-02-24 | 2022-02-18 | 가부시키가이샤 알박 | 마그네트론 스퍼터링 장치용 회전식 캐소드 유닛 |
CN111101097A (zh) * | 2018-10-26 | 2020-05-05 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 反应腔室及薄膜沉积设备 |
CN115747741A (zh) * | 2022-11-17 | 2023-03-07 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 溅射镀膜设备 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8137519B2 (en) * | 2008-03-13 | 2012-03-20 | Canon Anelva Corporation | Sputtering cathode, sputtering apparatus provided with sputtering cathode, film-forming method, and method for manufacturing electronic device |
KR20110014593A (ko) * | 2008-05-16 | 2011-02-11 | 베카에르트 어드벤스드 코팅스 | 높은 강성을 갖는 회전가능한 스퍼터링 마그네트론 |
US20110155568A1 (en) * | 2009-12-29 | 2011-06-30 | Sputtering Components, Inc. | Indexing magnet assembly for rotary sputtering cathode |
-
2010
- 2010-12-20 JP JP2010282833A patent/JP5687045B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012132039A (ja) | 2012-07-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5687045B2 (ja) | スパッタリング装置およびスパッタリング方法 | |
KR101299724B1 (ko) | 마그네트론 스퍼터 캐소드 및 성막 장치 | |
JP2011071168A (ja) | プラズマ処理装置及びシャワーヘッド | |
JP2012102384A (ja) | マグネトロンスパッタ装置 | |
JPWO2010058672A1 (ja) | 基板処理方法及び基板処理装置 | |
JP4735813B2 (ja) | 熱処理装置と蒸着処理装置の複合装置 | |
JP2004169172A (ja) | マグネトロンスパッタリング装置及びそのスパッタリング方法 | |
JP2007182617A (ja) | スパッタ成膜方法及び装置 | |
JP2022179487A (ja) | 成膜装置及び電子デバイスの製造方法 | |
US20130112669A1 (en) | Heat treatment apparatus | |
JP2014084530A (ja) | スパッタリング成膜装置及び真空成膜設備 | |
CN101736297B (zh) | 镀膜用旋转溅射阴极装置 | |
JP2011202190A (ja) | スパッタリング装置及びスパッタリング方法 | |
JP2001158961A (ja) | スパッタリング装置 | |
JP2014074188A (ja) | スパッタリング装置およびスパッタリング方法 | |
KR101341433B1 (ko) | 마그네트론 스퍼터링 장치 | |
TW201127978A (en) | Magnetron sputtering electrode and sputtering device | |
KR20120021642A (ko) | 스퍼터 장치 | |
TW201131004A (en) | Magnet unit for magnetron sputtering electrode and sputtering device | |
KR101773668B1 (ko) | 기판 회전이 가능한 스퍼터 장치 | |
JP2005281832A (ja) | マグネトロンスパッタリング装置および該マグネトロンスパッタリング装置に用いるカソード | |
JP2007077478A (ja) | 成膜方法及び成膜装置 | |
JP2009108383A (ja) | ターゲット装置及びマグネトロンスパッタリング装置 | |
JP4517070B2 (ja) | マグネトロンスパッタ装置及び方法 | |
JP2013030693A (ja) | プラズマ処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131204 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140423 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140424 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140610 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141014 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141027 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150106 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5687045 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |