JP2007180516A - 密閉容器の蓋開閉システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】FIMS内部における開口部10の上部にカーテンノズルを配置して、該開口面を閉鎖する不活性ガスからなるガスカーテンを形成すると同時に、FOUP内部に対しても不活性ガスを供給する。その際、FOUP内部へ供給される不活性ガスの供給方向を、ガスカーテンを形成するガス流れに対して対向する流れ成分を有さない方向とする。
【選択図】図1C
Description
Claims (4)
- 被収容物を内部に収容可能であってその一つの面に開口を有する略箱状の本体と、前記本体から分離可能であって前記開口を塞いで前記本体と共に密閉空間を形成する蓋と、を備える収容容器から前記蓋を取り外すことによって前記開口を開放して前記被収容物の挿脱を可能とする、前記蓋の開閉システムであって、
前記収容容器が載置される載置台と、
前記載置台に隣接して前記開口と正対する略矩形状の開口部と、
前記蓋を保持可能であると共に前記開口部を閉止可能であり、前記蓋を保持して前記開口部を開放することにより前記開口と前記開口部とを連通させるドアと、
前記開口部に関して前記載置台が配置される側と反対側において、前記略矩形状の開口部の一辺である第1の辺の外側に配置されて前記第1の辺の対辺である第2の辺に向かって不活性ガスを略線状に放出可能なカーテンノズルと、
前記カーテンノズルよりも前記収容容器内部側に配置されて前記カーテンノズルから放出される不活性ガス流に向かうガス流成分を有することなく前記収容容器内部に向かう方向に不活性ガスを噴出可能な不活性ガス供給ノズルと、を有することを特徴とする蓋開閉システム。 - 前記不活性ガス供給ノズルのノズル開口は、前記略矩形状の開口部の前記第1の辺に隣接して前記カーテンノズルのノズル開口より前記収容容器内部側に配置されることを特徴とする請求項1に記載の蓋開閉システム。
- 被収容物を内部に収容可能であってその一つの面に開口を有する略箱状の本体と、前記本体から分離可能であって前記開口を塞いで前記本体と共に密閉空間を形成する蓋と、を備える収容容器から前記蓋を取り外すことによって前記開口を開放して前記被収容物の挿脱を可能とする、前記蓋の開閉システムであって、
前記収容容器が載置される載置台と、
前記載置台に隣接して前記開口と正対する略矩形状の開口部と、
前記蓋を保持可能であると共に前記開口部を閉止可能であり、前記蓋を保持して前記開口部を開放することにより前記開口と前記開口部とを連通させるドアと、
前記開口部に関し前記載置台が配置される側と反対側において、前記略矩形状の開口部の一辺である第1の辺の外側に配置されて前記第1の辺の対辺である第2の辺に向かって不活性ガスを略線状に放出可能なカーテンノズルと、
前記カーテンノズルにおいて前記不活性ガスを放出するノズル開口の開口領域の周囲空間を規定し且つ前記不活性化ガスの放出方向に開口するノズルカバーと、を有することを特徴とする蓋開閉システム。 - 前記カーテンノズルよりも前記収容容器内部側に配置されて前記カーテンノズルから放出される不活性ガス流に向かうガス流成分を有することなく前記収容容器内部に向かう方向に不活性ガスを噴出可能な不活性ガス供給ノズルを更に有することを特徴とする請求項3に記載の蓋開閉システム。
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