KR101742172B1 - 보관 용기 - Google Patents

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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명의 과제는, 퍼지 가스(purge gas)의 유속(流速)의 균일화를 도모하여, 퍼지 가스를 광범위하게 골고루 퍼지게 하는 보관 용기를 제공하는 데 있다.
상기의 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 보관 용기(1)는, 물품을 수용하는 수용 영역(S)을 가지는 보관부(5)가 복수 단(段) 설치되어 있으며, 퍼지 가스를 공급하는 공급부(10)와, 복수의 보관부(5)에 걸쳐서 연통(連通)하여 설치되고, 공급부(10)로부터 공급된 퍼지 가스의 유로가 되는 덕트부(22)와, 덕트부(22)와 수용 영역(S)을 연통시켜, 퍼지 가스를 수용 영역(S)으로 도입하는 도입부(24)를 구비하며, 덕트부(22)에 있어서의 퍼지 가스의 유로에, 확산 부재(32)가 배치되어 있다.

Description

보관 용기{STORAGE CONTAINER}
본 발명은, 보관 용기에 관한 것이다.
반도체 등의 노광에 이용되는 레티클(reticle)은, 반송(搬送)이나 보관을 할 때, 티끌이나 먼지로부터 보호하기 위해 클린(clean) 상태로 유지할 필요가 있다. 이 때문에, 레티클을 보관하는 보관 용기에서는, 그 내부에 퍼지 가스(purge gas)(클린 가스)가 공급되고 있다(예컨대, 특허 문헌 1 참조).
일본 특허공보 제4215079호
보관 용기로서, 레티클을 수용하는 보관부가 상하로 복수 단(段) 겹쳐져 있는 것이 있다. 이러한 보관 용기에서는, 일반적으로, 한 개소(個所)의 공급부로부터 퍼지 가스가 내부에 공급되고, 상하에 걸쳐 설치된 유로(流路)를 통해 각 보관부에 퍼지 가스가 공급된다. 이 경우, 보관 용기 내에서는, 공급부에 가까운 부분에서는 퍼지 가스의 유속(流速)이 빠르고, 공급부로부터 멀리 떨어진 부분에서는 퍼지 가스의 유속이 느려진다. 이 때문에, 보관 용기에서는, 퍼지 가스의 유속이 불균일해지며, 그 결과, 보관부에 있어서 퍼지 가스의 분위기에 차이가 생길 우려가 있다.
본 발명은, 퍼지 가스의 유속의 균일화를 도모할 수 있는 보관 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 보관 용기는, 물품을 수용하는 수용 영역을 가지는 보관부가 복수 단(段) 설치된 보관 용기로서, 퍼지 가스(purge gas)를 공급하는 공급부와, 복수의 보관부가 겹쳐진 상태에서 복수의 보관부에 걸쳐 연통(連通)되고, 공급부로부터 공급된 퍼지 가스의 유로(流路)가 되는 덕트부와, 덕트부와 수용 영역을 연통시켜, 퍼지 가스를 수용 영역으로 도입하는 도입부를 구비하며, 덕트부에 있어서의 퍼지 가스의 유로에, 확산 부재가 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 보관 용기에서는, 덕트부에 있어서의 퍼지 가스의 유로에, 확산 부재가 배치되어 있다. 이에 따라, 보관 용기에서는, 퍼지 가스가 확산 부재에 의해 확산된다. 이 때문에, 보관 용기에서는, 예컨대 확산 부재를 유속이 빠른 부분에 배치함으로써, 유속을 저하시킬 수 있다. 따라서, 보관 용기에서는, 퍼지 가스의 유속의 균일화를 도모하는 것이 가능하다. 그 결과, 보관 용기에서는, 통상적으로는 유속이 빠른 부분이라 하더라도 퍼지 가스가 광범위에 걸쳐 골고루 퍼지기 때문에, 보관부 각각에 있어서의 퍼지 가스의 분위기 차이를 억제할 수 있다.
하나의 실시형태에 있어서는, 확산 부재는, 덕트부의 내벽(內壁)으로부터 돌출되는 판(板) 형상의 부재여도 된다. 이에 의해, 보관 용기에서는, 간이(簡易)한 구성으로 퍼지 가스를 확산시킬 수 있기 때문에, 간이한 구성으로 퍼지 가스의 유속의 균일화를 도모할 수 있다.
하나의 실시형태에 있어서는, 확산 부재는, 공급부로부터 공급되는 퍼지 가스의 유입 방향의 연장선 상에 배치되어 있어도 된다. 퍼지 가스는, 공급부로부터의 유입 방향에 있어서 유속이 빨라지고 있다. 따라서, 확산 부재를 퍼지 가스의 유입 방향의 연장선 상에 배치함으로써, 퍼지 가스를 효과적으로 확산시킬 수 있어, 유속의 균일화를 효과적으로 도모하는 것이 가능하다.
하나의 실시형태에 있어서는, 확산 부재는, 공급부의 근방에 배치된 보관부에 설치되어 있어도 된다. 퍼지 가스는, 공급부에 가까운 부분에서는 유속이 빠르고, 공급부로부터 멀리 떨어진 부분에서는 유속이 느려진다. 따라서, 보관 용기에서는, 확산 부재를 공급부의 근방에 배치된 보관부에 설치하고 있다. 이에 따라, 보관 용기에서는, 퍼지 가스를 확산 부재에 의해 확산시킴으로써, 공급부에 가까운 부분의 퍼지 가스의 유속을 저하시킬 수 있다. 따라서, 보관 용기에서는, 퍼지 가스의 유속의 균일화를 양호하게 도모하는 것이 가능하다.
하나의 실시형태에 있어서는, 확산 부재는, 공급부로부터의 거리에 따라, 면적이 상이해도 좋다. 위에서 설명한 바와 같이, 퍼지 가스는, 공급부에 가까운 부분에서는 유속이 빠르고, 공급부로부터 멀리 떨어진 부분에서는 유속이 느려진다. 따라서, 보관 용기에서는, 예컨대 공급부에 가까운 위치에 배치된 확산 부재의 면적을 크게 함으로써, 퍼지 가스를 보다 효과적으로 확산시킬 수 있다. 그 결과, 보관 용기에서는, 퍼지 가스의 유속의 균일화를 양호하게 도모하는 것이 가능하다.
본 발명에 따르면, 퍼지 가스의 유속의 균일화를 도모할 수 있다.
도 1은, 하나의 실시형태에 따른 보관 용기의 정면도이다.
도 2는, 도 1에 나타낸 보관 용기의 측면도이다.
도 3은, 도 1에 나타낸 보관 용기의 저면도(底面圖)이다.
도 4는, 도 1에 나타낸 보관 용기의 상면도(上面圖)이다.
도 5는, 바닥부(底部)를 나타낸 사시도이다.
도 6은, 보관부를 나타낸 사시도이다.
도 7은, 바닥부와 보관부가 겹쳐진 상태를 나타낸 사시도이다.
도 8은, 도 7에 있어서의 VIII-VIII선에 따른 단면(斷面) 구성을 나타낸 도면이다.
도 9는, 도 7에 있어서의 IX-IX선에 따른 단면 구성을 나타낸 도면이다.
도 10은, 덮개부를 나타낸 사시도이다.
도 11은, 도 10에 있어서의 XI-XI선에 따른 단면 구성을 나타낸 도면이다.
이하에서는, 첨부 도면을 참조하면서, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해 상세히 설명한다. 참고로, 도면의 설명에 있어서 동일 또는 상응하는 요소에는 동일 부호를 사용하며, 중복되는 설명은 생략한다.
도 1은, 하나의 실시형태에 따른 보관 용기의 정면도이다. 도 2는, 도 1에 나타낸 보관 용기의 측면도이다. 도 3은, 도 1에 나타낸 보관 용기의 저면도이다. 도 4는, 도 1에 나타낸 보관 용기의 상면도이다. 각 도면에 도시된 보관 용기(1)는, 예컨대 레티클(물품)을 클린 환경에서 보관하는 용기이다. 참고로, 보관 용기(1)에 보관되는 물품은, 레티클에 한정되지 않는다.
보관 용기(1)는, 바닥부(3)와, 보관부(5)와, 덮개부(7)를 구비하고 있다. 보관부(5)는, 상하 복수 단(여기서는 11개)으로 겹쳐 쌓여 있다. 이하의 설명에서는, 도 1에 있어서의 좌우를 「좌측」, 「우측」으로 하고, 도 2에 있어서의 좌우를 「후측」, 「전측」으로 한다.
도 5는, 바닥부를 나타낸 사시도이다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 바닥부(3)는, 판 형상의 부재이다. 바닥부(3)에는, 퍼지 가스를 보관 용기(1) 내에 공급하는 공급부(10)가 설치되어 있다. 공급부(10)는, 바닥부(3)의 후부(後部)이며 또한 좌우 방향의 대략 중앙부에 배치되어 있다. 공급부(10)는, 예컨대 대략 원형(圓形) 형상을 나타내고 있으며, 바닥부(3)를 관통하는 관통 구멍이다. 공급부(10)의 형상은 특별히 한정되지 않으며, 예컨대 직사각형 형상이나 사다리꼴 형상이어도 된다. 공급부(10)에는, 도시되지 않은 공급원으로부터 퍼지 가스가 공급된다. 바닥부(3)에는, 보관부(5)와 걸림결합하는 걸림결합부(12a, 12b)가 설치되어 있다. 걸림결합부(12a, 12b)는, 통(筒) 형상의 부재이며, 바닥부(3)의 후부에 있어서 서로 좌우 방향으로 이격하여 배치되어 있다.
도 6은, 보관부를 나타낸 사시도이다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 보관부(5)는, 측부(側部)(20a, 20b, 20c, 20d)와, 덕트부(22)와, 도입부(24)를 구비하고 있다. 측부(20a∼20d)는, 레티클을 수용하는 대략 직사각형 형상의 수용 영역(S)을 구획하고 있다. 측부(20a∼20d)의 내벽에는, 레티클을 지지하는 지지부(26a, 26b, 26c, 26d)가 설치되어 있다. 좌우 및 후부에 위치하는 측부(20a, 20b, 20d)의 외측에는, 플랜지부(28a, 28b, 28c)가 설치되어 있다. 플랜지부(28c)에는, 보관부(5)와 걸림결합하는 걸림결합부(29a, 29b)가 설치되어 있다. 걸림결합부(29a, 29b)는, 통 형상의 부재이며, 플랜지부(28c)에 있어서 서로 좌우 방향으로 이격하여 배치되어 있다.
덕트부(22)는, 퍼지 가스의 유로를 형성하고 있다. 덕트부(22)는, 보관부(5)의 후부에 배치되어 있으며, 측부(20a)와 플랜지부(28c)의 사이에 위치하고 있다. 덕트부(22)는, 보관부(5)의 좌우 방향을 따라 설치되어 있다. 덕트부(22)에는, 간막이부(30a, 30b, 30c, 30d)가 설치되어 있다. 간막이부(30a∼30d)는, 덕트부(22)에 있어서, 좌우 방향을 따라 소정의 간격을 두고 복수 개(여기서는 4개)가 배치되어 있다. 덕트부(22)는, 보관부(5)가 겹쳐 쌓였을 때, 다른 보관부(5)의 덕트부(22)와 연통된다.
도 7은, 바닥부와 보관부가 겹쳐진 상태를 나타낸 사시도이다. 도 7에서는, 바닥부(3) 상에 보관부(5)가 2개 겹쳐 쌓여 있다. 도 8은, 도 7에 있어서의 VIII-VIII선에 따른 단면 구성을 나타낸 도면이다. 도 9는, 도 7에 있어서의 IX-IX선에 따른 단면 구성을 나타낸 도면이다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 간막이부(30a∼30d)는, 상하 방향을 따라 연장되어 있다. 간막이부(30a∼30d)의 하단부는, 보관부(5)의 바닥면(底面)보다 상방에 위치하고 있다. 즉, 간막이부(30a∼30d)는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 보관부(5)가 겹쳐 쌓인 상태에 있어서, 인접하는 간막이부(30a∼30d)와의 사이에 공간이 구획된다. 이에 따라, 덕트부(22)에는, 좌우 방향으로 흐르는 퍼지 가스의 유로가 형성되어 있다.
본 실시형태에서는, 상하로 겹쳐 쌓이는 복수의 보관부(5) 중, 일부의 보관부(5)의 덕트부(22)에는, 확산 부재(32)가 설치되어 있다. 구체적으로는, 예컨대, 복수의 보관부(5) 중, 보관 용기(1)의 하부측에 배치되는 보관부(5)의 덕트부(22)에는, 확산 부재(32)가 설치되어 있다. 확산 부재(32)는, 덕트부(22)의 내벽(22a)으로부터 돌출되는 판 형상의 부재(돌출편(突出片))이며, 예컨대 직사각형 형상을 나타내고 있다. 확산 부재(32)의 형상은, 특별히 한정되지 않으며, 예컨대 원형 형상이나 사다리꼴 형상이어도 된다. 또한, 확산 부재(32)는, 복수 설치되어 있어도 된다.
본 실시형태에서는, 확산 부재(32)는, 바닥부(3)의 공급부(10)에 대응하는 위치, 즉 덕트부(22)의 중앙부에 배치되어 있다. 즉, 확산 부재(32)는, 공급부(10)로부터 공급되는 퍼지 가스의 유입 방향의 연장선 상에 배치되어 있다.
도입부(24)는, 측부(20a)에 설치되어 있다. 도입부(24)는, 덕트부(22)와 수용 영역(S)을 연통시키는 노치부이다. 도입부(24)는, 측부(20a)의 하단부에 설치되어 있으며, 하방(下方)을 향해 개구(開口)되는 오목 형상을 나타내고 있다. 도입부(24)의 형상은, 특별히 한정되지 않으며, 예컨대 반원형(半圓形) 형상이나 사다리꼴 형상이어도 된다. 도입부(24)는, 좌우 방향으로 소정의 간격을 두고 복수 개(여기서는 12개)가 설치되어 있다. 퍼지 가스는, 도입부(24)를 통해 덕트부(22)로부터 수용 영역(S)으로 도입된다.
도 10은, 덮개부를 나타낸 사시도이다. 도 11은, 도 10에 있어서의 XI-XI선에 따른 단면 구성을 나타낸 도면이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 덮개부(7)는, 보관부(5)의 최상부(最上部)에 배치되어 있다. 덮개부(7)는, 덮개판(40)과, 측부(42a, 42b, 42c, 42d)와, 덕트부(44)와, 도입부(46)와, 도입 구멍(48)을 가지고 있다.
덮개판(40)은, 판 형상의 부재이다. 덮개판(40)의 측부(42a, 42b, 42d)의 외측은, 플랜지부로 되어 있다. 측부(42a∼42d)는, 레티클을 수용하는 대략 직사각형 형상의 수용 영역(S)을 구획하고 있다. 덕트부(44)는, 퍼지 가스의 유로를 형성하고 있다. 덕트부(44)는, 후부에 배치되어 있다. 덕트부(44)는, 덮개부(7)가 보관부(5)에 겹쳐졌을 때, 보관부(5)의 덕트부(22)와 연통한다.
도입부(46)는, 측부(42a)에 설치되어 있다. 도입부(46)는, 덕트부(44)와 수용 영역(S)을 연통시키는 노치부이다. 도입부(46)는, 측부(42a)의 하단부에 설치되어 있으며, 하방을 향해 개구되는 오목 형상을 나타내고 있다. 도입부(46)는, 좌우 방향으로 소정의 간격을 두고 복수 개(여기서는 12개)가 설치되어 있다.
도입 구멍(48)은, 측부(42a)에 설치되어 있다. 도입 구멍(48)은, 덕트부(44)와 수용 영역(S)을 연통시키는 관통 구멍이다. 도입 구멍(48)은, 측부(42a)의 상단부에 설치되어 있으며, 예컨대 단면(斷面)이 직사각형 형상을 나타내고 있다. 도입 구멍(48)은, 좌우 방향으로 소정의 간격을 두고 복수 개(여기서는 8개)가 설치되어 있다. 퍼지 가스는, 도입부(46) 및 도입 구멍(48)을 통해 덕트부(44)로부터 수용 영역(S)으로 도입된다.
이어서, 보관 용기(1)에 있어서의 퍼지 가스의 흐름에 대해 설명한다. 보관 용기(1)에는, 바닥부(3)의 공급부(10)로부터 퍼지 가스가 공급된다. 공급부(10)로부터 공급된 퍼지 가스는, 덕트부(22)로 유입된다. 이때, 보관부(5)의 덕트부(22)에서는, 퍼지 가스가 확산 부재(32)에 의해 확산된다. 확산 부재(32)에 의해 확산된 퍼지 가스는, 유속이 저하되며, 덕트부(22)에 있어서 간막이부(30a∼30d)의 하부를 통과하여 덕트부(22) 전체로 확산된다. 그리고, 퍼지 가스는, 도입부(24)를 통해, 보관부(5)의 수용 영역(S)으로 도입된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 따른 보관 용기(1)에서는, 덕트부(22)에 있어서의 퍼지 가스의 유로에, 확산 부재(32)가 배치되어 있다. 이에 따라, 보관 용기(1)에서는, 퍼지 가스가 확산 부재(32)에 의해 확산된다. 이 때문에, 보관 용기(1)에서는, 예컨대 확산 부재(32)를 유속이 빠른 부분에 배치함으로써, 유속을 저하시킬 수 있다. 따라서, 보관 용기(1)에서는, 퍼지 가스의 유속의 균일화를 도모하는 것이 가능하다. 그 결과, 보관 용기(1)에서는, 통상적으로는 유속이 빠른 부분이라 하더라도 퍼지 가스가 광범위에 걸쳐 골고루 퍼지기 때문에, 보관부(5) 각각에 있어서의 퍼지 가스의 분위기의 차이를 억제할 수 있다.
본 실시형태에서는, 확산 부재(32)는, 덕트부(22)의 내벽(22a)으로부터 돌출되는 판 형상의 부재로 하고 있다. 이에 따라, 보관 용기(1)에서는, 간이한 구성으로 퍼지 가스를 확산시킬 수 있어, 간이한 구성으로 퍼지 가스의 유속의 균일화를 도모하는 것이 가능하다.
본 실시형태에서는, 확산 부재(32)는, 공급부(10)로부터 공급되는 퍼지 가스의 유입 방향의 연장선 상에 배치되어 있다. 퍼지 가스는, 공급부(10)로부터의 유입 방향에 있어서 유속이 빨라지고 있다. 따라서, 확산 부재(32)를 퍼지 가스의 유입 방향의 연장선 상에 배치함으로써, 퍼지 가스를 효과적으로 확산시킬 수 있어, 유속의 균일화를 효과적으로 도모하는 것이 가능하다.
본 실시형태에서는, 확산 부재(32)는, 공급부(10)의 근방에 배치된 보관부(5)에 설치되어 있다. 퍼지 가스는, 공급부(10)에 가까운 부분에서는 유속이 빠르고, 공급부(10)로부터 멀리 떨어진 부분에서는 유속이 느려진다. 따라서, 보관 용기(1)에서는, 보관 용기(1)의 하부측(공급부(10)측)에 배치되는 보관부(5)에 설치하고 있다. 이에 따라, 보관 용기(1)에서는, 퍼지 가스를 확산 부재(32)에 의해 확산시킴으로써, 공급부(10)에 가까운 부분의 퍼지 가스의 유속을 저하시킬 수 있다. 따라서, 보관 용기(1)에서는, 퍼지 가스의 유속의 균일화를 양호하게 도모하는 것이 가능하다.
본 발명은, 상기 실시형태에 한정되지 않는다. 예컨대, 상기 실시형태에서는, 확산 부재(32)로서 덕트부(22)의 내벽(22a)으로부터 돌출되는 판 형상의 부재를 일례로 들어 설명하였으나, 확산 부재는 다른 구성이어도 된다. 예컨대, 확산 부재는, 덕트부의 유로를 좁히는 부재여도 된다. 요컨대, 확산 부재는, 퍼지 가스를 확산시켜 퍼지 가스의 유속을 변경시키는 수단이면 된다.
상기 실시형태에서는, 확산 부재(32)가 보관 용기(1)의 하부측, 즉 퍼지 가스의 공급부(10)의 근방에 배치되어 있는 구성을 바람직한 구성의 일례로서 설명하였으나, 확산 부재(32)는, 모든 보관부(5)에 설치되어 있어도 된다. 또한, 확산 부재(32)는, 겹쳐 쌓인 보관부(5)에 있어서 연속적으로 설치되지 않아도 된다. 예컨대, 확산 부재(32)는, 격단(隔段)마다(예컨대, 1단째의 보관부(5)와 3단째의 보관부(5) 등에) 설치되어도 된다.
상기 실시형태에 더하여, 확산 부재(32)의 면적을 변경시켜도 된다. 구체적으로는, 공급부(10)로부터의 거리에 따라, 확산 부재(32)의 면적을 변경시킬 수 있다. 보다 상세하게는, 예컨대, 공급부(10)에 가까운 위치에 배치되는 확산 부재(32)의 면적을 크게 하고, 공급부(10)로부터 멀리 떨어진 위치에 배치되는 확산 부재(32)의 면적을 작게 할 수 있다.
1 : 보관 용기
5 : 보관부
22 : 덕트부
24 : 도입부
32 : 확산 부재
S : 수용 영역

Claims (5)

  1. 물품을 수용하는 수용 영역을 가지는 보관부가 복수 단(段) 설치된 보관 용기로서,
    퍼지 가스(purge gas)를 공급하는 공급부와,
    복수의 상기 보관부가 겹쳐진 상태에서 복수의 상기 보관부에 걸쳐 연통(連通)되고, 상기 공급부로부터 공급된 상기 퍼지 가스의 유로(流路)가 되는 덕트부와,
    상기 덕트부와 상기 수용 영역을 연통시켜, 상기 퍼지 가스를 상기 수용 영역으로 도입하는 도입부를 구비하며,
    상기 덕트부에 있어서의 상기 퍼지 가스의 유로에, 퍼지 가스를 확산시키는 확산 부재가 배치되어 있고,
    상기 확산 부재는, 상기 덕트부의 내벽(內壁)으로부터 돌출되는 판(板) 형상의 부재인 것을 특징으로 하는 보관 용기.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 확산 부재는, 상기 공급부로부터 공급되는 상기 퍼지 가스의 유입 방향의 연장선 상에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 보관 용기.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 확산 부재는, 상기 공급부의 근방에 배치된 상기 보관부에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 보관 용기.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 확산 부재는, 상기 공급부로부터의 거리에 따라, 면적이 상이한 것을 특징으로 하는 보관 용기.
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