JP2007173353A - フォトニック結晶発光ダイオード及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】p型半導体クラッド層12、活性層11及びn型半導体クラッド層13に、これら3つの層を通る空孔16を周期的に設けることにより2次元フォトニック結晶を形成する。そして、p型半導体クラッド層12及びn型半導体クラッド層13内の空孔16の内壁に酸化領域17を形成する。電極から注入される正孔(電子)はp(n)型半導体クラッド層12(13)において酸化領域17を避けて流れ、空孔16の内壁から十分離れた位置で活性層に入り、正孔と電子が再結合して発光する。これにより、空孔16の内壁付近において正孔と電子が再結合して光ではなく熱を発生すること(表面再結合)を抑えることができ、発光効率及びエネルギー効率を高めることができる。
【選択図】図2
Description
特許文献1では、表面再結合速度が比較的遅いガリウム、インジウム、アルミニウム等のIII族元素と窒素を含む材料を活性層に用いることにより、表面再結合の影響を抑える、としている。
該p型半導体クラッド層、該活性層及び該n型半導体クラッド層に、これらの層を通る空孔を多数、周期的に配し、
該p型半導体クラッド層と該n型半導体クラッド層のいずれか一方又は両方において、前記空孔の内壁の少なくとも一部を酸化させた、
ことを特徴とする。
p型半導体クラッド層、n型半導体クラッド層、活性層及び電極には通常の発光ダイオードと同様のものを用いることができる。
この場合、活性層の構成物質にはAlを含まないGaAs、GaP、GaInP、GaN等を用いることができる。これらの酸化容易物質及び活性層の構成物質を用いた場合、空孔の内壁を水蒸気に晒すと、アルミニウム含有酸化容易物質は酸化するのに対して活性層の構成物質は酸化されない。そのため、容易にクラッド層内の空孔内壁のみを選択的に酸化することができる。
また、活性層の構成物質に、酸化容易物質と同じ成分を有し、Gaに対するAlの含有量(Al含有量)が酸化容易物質におけるAl含有量よりも少ないものを用いることもできる。この場合には、空孔の内壁を水蒸気に晒す時間を調整することにより、活性層内の空孔内壁はほとんど酸化させずクラッド層内の空孔内壁のみを十分に酸化させることができる。
図2(a)に本実施例の2次元フォトニック結晶発光ダイオードの縦断面図を示す。この2次元フォトニック結晶発光ダイオードは、GaAs/InGaAsから成る活性層11をp型AlGaAsから成るp型半導体クラッド層12とn型AlGaAsから成るn型半導体クラッド層13で挟み、これら3つの層の積層体をITOから成る上部電極14とAuGeNiから成る下部電極15で挟んだ構造を有する。上部電極14の材料には、素子内で発光した光を透過させることができるものであれば、ITO以外のものを用いることもできる。なお、下部電極15には、素子内で発光した光を反射させることができるものであれば、AuGeNi以外のものを用いることもできる。また、p型半導体クラッド層12は、p型AlGaAsから成る層の上にp型GaAsを設けたものであってもよい。
なお、空孔16はn型半導体クラッド層13及び活性層11を貫通してp型半導体クラッド層12内で終止していてもよいし、これら3層を全て貫通していてもよい。
次に、空孔16の内部を400℃の水蒸気に60秒間晒す。これにより、p型半導体クラッド層12及びn型半導体クラッド層13内の空孔16の内壁及びそこからわずかに半導体内に入った領域においてAlGaAsが酸化し、酸化領域17が形成される(e)。これにより、本実施例の2次元フォトニック結晶発光ダイオードが完成する。
12…p型半導体クラッド層
13…n型半導体クラッド層
14…上部電極
15…下部電極
16…空孔
17…酸化膜
21…マスク
Claims (6)
- p型半導体クラッド層と、発光物質から成る活性層と、n型半導体クラッド層と、を1対の電極で挟んだ発光ダイオードにおいて、
該p型半導体クラッド層、該活性層及び該n型半導体クラッド層に、これらの層を通る空孔を多数、周期的に配し、
該p型半導体クラッド層と該n型半導体クラッド層のいずれか一方又は両方において、前記空孔の内壁の少なくとも一部を酸化させた、
ことを特徴とするフォトニック結晶発光ダイオード。 - 前記p型半導体クラッド層と前記n型半導体クラッド層のいずれか一方又は両方が、前記活性層よりも容易に酸化する酸化容易物質を含有することを特徴とする請求項1に記載のフォトニック結晶発光ダイオード。
- 前記酸化容易物質がAlGaAs、AlGaP、AlGaInP、AlGaNのいずれかであることを特徴とする請求項2に記載のフォトニック結晶発光ダイオード。
- p型半導体クラッド層と、発光物質から成る活性層と、n型半導体クラッド層と、を1対の電極で挟んだ発光ダイオードの製造方法であって、
該p型半導体クラッド層、該活性層及び該n型半導体クラッド層に、これらの層を通る空孔を多数、周期的に形成する工程と、
該p型半導体クラッド層と該n型半導体クラッド層のいずれか一方又は両方において、前記空孔の内壁の少なくとも一部を酸化させる酸化工程と、
を有することを特徴とするフォトニック結晶発光ダイオード製造方法。 - 前記p型半導体クラッド層と前記n型半導体クラッド層のいずれか一方又は両方に、前記活性層よりも容易に酸化する酸化容易物質を含有するものを用いることを特徴とする請求項4に記載のフォトニック結晶発光ダイオード製造方法。
- 前記酸化容易物質にAlGaAs、AlGaP、AlGaInP、AlGaNのいずれかを用い、前記酸化工程において空孔の内壁を水蒸気により酸化させることを特徴とする請求項5に記載のフォトニック結晶発光ダイオード製造方法。
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