JP2007171854A - 光走査装置・画像形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ミラー幅２ｒを可能な限り小さくすることができ、高品位な画像形成が行える光走査装置を提供する。
【解決手段】従来、光源ユニットから振動ミラー面への入射角αと振動ミラーの振れ角（振幅）をθ０との関係は、α＞２θ０であり、最大偏向角２θｍａｘ＝α＋２θ０としていたが、本発明では、同期検知センサ１３８、１４０へは振動ミラー４６０で偏向された光ビームが走査レンズ１２０、１２１の脇をすり抜け、結像レンズ１３９、１４１により集束され、入射されるようにすることで、２θ０≧α＞２θｓ＞２θｄここで、θｄは感光体上を走査する有効振れ角、θｓは同期検知時の振れ角、なる関係としている。すなわち、振動ミラーに入射する光ビームの光線と上記結像光学系の光軸とのなす角度をα（入射角度）、上記光検出手段に入射すべく偏向された光ビームの光線と上記結像光学系の光軸とのなす角度を２θｓ、上記振動ミラーの振幅をθ０、とすると、θ０≧α／２＞θｓなる関係を満足するようにしている。
【選択図】図４

Description

本発明は、被走査面を光走査する光走査装置、該光走査装置を有する複写機、プリンタ、ファクシミリ、プロッタ等の画像形成装置に関する。
本発明は、光走査型のバーコード読み取り装置や車載用のレーザレーダ装置等へも応用が可能である。

従来の光走査装置においては光ビームを走査する偏向器としてポリゴンミラーやガルバノミラーが用いられるが、より高解像度な画像と高速プリントを達成するにはこの回転をさらに高速にしなければならず、軸受の耐久性や風損による発熱、騒音が課題となり、高速走査に限界がある。
これに対し、近年シリコンマイクロマシニングを利用した偏向装置の研究が進められており、特許文献１や特許文献２に開示されるように、Ｓｉ基板で振動ミラーとそれを軸支するねじり梁を一体形成した方式が提案されている。

この方式によれば、ミラー面サイズが小さく小型化できるうえ、共振を利用して往復振動させるので高速動作が可能であるにもかかわらず、低騒音で消費電力が低いという利点がある。
さらに、低振動で、発熱がほとんどないために、光走査装置を収容するハウジングを薄肉化でき、ガラス繊維の配合率が少ない低コストな樹脂成形材を用いても画像品質への影響が発生し難いといった利点もある。
特許文献３や特許文献４には、ポリゴンミラーの代わりに振動ミラーを配備した例が開示されている。

一般に、図１９に示すような単純な板状の振動ミラーを想定すると、振動ミラーの寸法を、回転軸に平行な方向の幅ｄ、回転軸に直交する方向の幅２ｒ、厚さｔ、ねじり梁の寸法を、長さｈ、幅ａとすると、Ｓｉの密度ρ、材料定数Ｇを用いて、
慣性モーメントＩ＝（４ρｒｄｔ／３）・ｒ２
バネ定数Ｋ＝（Ｇ／２ｈ）・｛ａｔ（ａ２＋ｔ２）／１２｝
となり、共振振動数ｆ０は、
ｆ０＝（１／２π）・√（Ｋ／Ｉ）＝（１／２π）・√｛Ｇａｔ（ａ２＋ｔ２）／２４ＬＩ｝
となる。
ここで、ねじり梁の長さＬと振れ角θ０は略比例関係にあるため、振れ角θは
θ０＝κ／Ｉ・ｆ０２ κは定数 （１）
で表され、共振振動数ｆ０はねじり梁のバネ定数Ｋによって変化し、それに伴って振れ角θも変化してしまうことになる。

ところで、振動ミラーの周速υ、面積Ｅ（＝２ｒｄ）に対して、空気の密度ηとすると
空気の粘性抵抗Ｐ＝Ｃ・ηυ＾２・Ｅ＾３ Ｃは定数
が振動ミラーの回転に対抗して働く。
一方、振動トルクＴと振れ角θ０の関係は、
θ０＝κ’・Ｔ／Ｋ κ’は定数 （２）
であるから、振れ角θを安定に保つには、ねじり梁のバネ定数Ｋの変化や空気抵抗に対応した回転トルクＴを発生させるべく印加電流を加減すればよい。

上記したように、共振振動数は温度によってねじり梁のバネ定数が変化、あるいは大気圧による空気の粘性抵抗が変化すること等により、振れ角が変化してしまうという問題がある。
そのため、特許文献５に開示されるように、走査されたビームを検出することで振れ角を検出し、振動ミラーに与える印加電流を加減することで、振れ角を安定的に保つ制御が行われている。
なお、特許文献６には、走査レンズを介さずに、同期検知センサにより光ビームを検出した例、特許文献７には、回折光学素子を用いた光走査装置が開示されている。

特許第２９２４２００号公報 特許第３０１１１４４号公報 特許第３４４５６９１号公報 特許第３５４３４７３号公報 特開２００４−２７９９４７号公報 特開２００５−５６２４５号公報 特許第３５５９７１０号公報

振動ミラーをポリゴンミラーの代わりとして用いることで、低騒音化や低消費電力化が可能となり、オフィス環境に適合した画像形成装置が提供できる。また、ハウジングの薄肉化などによって軽量化や低コスト化が可能である。
しかしながら、上記したように、振動ミラーは共振現象を利用して動作しているが故に、ミラー幅２ｒを大きくすると、走査速度が上がらず、振れ角も小さくなってしまう。
また、Ｓｉウエハを用いた半導体プロセスにより作製するため、微小加工という性格や取り数からみてもプロセスの特長を活かすには、ミラー幅２ｒはなるべく小さい方が望ましい。
一方で、被走査面でのビームスポット径と振動ミラーに入射する光ビームの光束径とは反比例の関係にあり、微小なビームスポット径を得ようとすると必然的にミラー幅２ｒを大きくしなければならない。
また、ミラー自体の厚さが数百μｍと薄いため、ミラー幅２ｒが大きくなるのに伴って振幅動作に対抗して作用する慣性力や空気抵抗も大きくなり、ミラーが波打つように変形してビームスポット径を劣化させる要因となる。

従って、ミラー幅２ｒはできるだけ小さい方が望ましいが、振幅θ０に対する走査領域を走査する画角θｄの比で表される有効走査率（θｄ／θ０）が大きいと、被走査面上における主走査方向に沿った各画素のドット間隔の疎密、いわゆるリニアリティが、振れ角が大きくなるに従って加速度的に劣化し、結像光学系での補正がし切れなくなってしまうことから、高画質化に必要なドット間隔の均一性を確保するには有効走査率（θｄ／θ０）は５０％程度に留めなければならず、光路長が延び、被走査面でビームスポットを絞り込むには、それなりのミラー幅２ｒが必要となっている。
さらに、高画質化が望まれるにつれ、高精細なドットを忠実に再現する上でビームスポットの小径化が求められており、ますます、ミラー幅２ｒを小さくするのに不利な条件となっている。

本発明は、ミラー幅２ｒを可能な限り小さくすることができ、高品位な画像形成が行える光走査装置、該光走査装置を有する画像形成装置の提供を、その目的とする。

上記目的を達成するために、本発明では、ビームスポットの小径化により求められる光ビームの光束径ｄ０に対し、振動ミラー面の向き、光源から振動ミラーに入射する際の光線、同期検知センサに至る光線との関係を所定の条件とすることにより、ミラー幅２ｒを最小限で済ませるようにした。
具体的には、請求項１記載の発明では、光源手段と、ねじり梁によって支持され、上記光源手段からの光ビームを偏向して被走査面を往復走査する振動ミラーと、上記振動ミラーに周期的に回転力を発生させる振動ミラー駆動手段と、上記振動ミラーによって走査された光ビームを上記被走査面に結像する結像光学系と、
主走査方向における所定位置で上記振動ミラーによって偏向された光ビームを検出する光検出手段と、を有する光走査装置において、上記振動ミラーに入射する光ビームの光線と上記結像光学系の光軸とのなす角度をα（入射角度）、上記光検出手段に入射すべく偏向された光ビームの光線と上記結像光学系の光軸とのなす角度を２θｓ、上記振動ミラーの振幅をθ０、とすると、
θ０≧α／２＞θｓ
なる関係を満足することを特徴とする。

請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の光走査装置において、上記光検出手段は、上記結像光学系を介さずに、上記振動ミラーによって偏向された光ビームを検出することを特徴とする。
請求項３に記載の発明では、請求項２に記載の光走査装置において、上記結像光学系を構成する光学素子の少なくとも１面に、上記光源手段の波長変化に伴う主走査方向における結像位置の移動を補正するようにパワーを設定した回折面を有することを特徴とする。
請求項４に記載の発明では、請求項１に記載の光走査装置において、上記被走査面における走査領域端に到達すべく偏向された光ビームの光線と上記結像光学系の光軸とのなす角度を２θｄとすると、上記振動ミラーの振幅中心が上記結像光学系の光軸に対し、
α／２−θｄ
だけ傾くように配備することを特徴とする。

請求項５に記載の発明では、請求項４に記載の光走査装置において、上記結像光学系を構成する光学素子の少なくとも１面に、光軸に対して主走査方向に非対称な曲面を有することを特徴とする。
請求項６に記載の発明では、請求項４に記載の光走査装置において、上記光源手段を変調するクロックのパルス周期または位相の少なくともいずれか一方を、主走査位置に応じて可変する光源駆動手段を備えることを特徴とする。
請求項７に記載の発明では、請求項１に記載の光走査装置において、上記振動ミラー駆動手段は、上記光検出手段により検出された検出信号をもとに、上記振動ミラーの振幅を算出し、振れ角が一定となるように回転力を制御することを特徴とする。
請求項８記載の発明では、請求項１に記載の光走査装置において、
上記光源手段は、上記振動ミラーの振れ角が少なくとも
θ０≧θ≧α／２
の範囲において発光を禁止する光源駆動手段を備えることを特徴とする。

請求項９に記載の発明では、画像形成装置において、請求項１乃至８のうちのいずれかに記載の光走査装置を備え、上記振動ミラーを所定の走査周波数により駆動するとともに、往走査または復走査のいずれかの期間中に、画像情報に応じて上記光源手段を変調して像担持体上に静電潜像を形成し、該静電潜像を顕像化し、該顕像を記録媒体に転写して画像を形成することを特徴とする。
請求項１０に記載の発明では、画像形成装置において、請求項１乃至８のうちのいずれかに記載の光走査装置を備え、上記振動ミラーを複数配備して共通の走査周波数により駆動するとともに、往走査または復走査のいずれかの期間中に、画像情報に応じて上記光源手段を変調して各色に対応した像担持上に各々静電潜像を形成し、該静電潜像を顕像化し、該顕像を転写体上で重ね合わせて記録媒体に転写し、多色画像を形成することを特徴とする。
請求項１１に記載の発明では、請求項１０に記載の画像形成装置において、上記複数の振動ミラーにおける走査方向を揃えて各色の画像記録を行うことを特徴とする。

請求項１に記載の発明によれば、被走査面における主走査方向に沿ったドット間隔の均一性を確保するために有効走査率（θｄ／θ０）を低く抑えたとしても、振幅θ０によらず光源手段から振動ミラーに至る光線の入射角度αを最小限に留めることができる。
また、同期検知信号を得るための光検出手段に至る光線を被走査面における走査領域の始端側に配備することで、走査領域の終端側を走査する振動ミラーの偏向角を最小限に留め、振動ミラーにおける最大偏向角２θｍａｘを最小とすることができ、ミラー幅を最小限とすることができる。
従って、ビームスポットの小径化や主走査方向におけるドット間隔の均一性確保にも対処でき、高品位な画像形成が行える。

請求項２に記載の発明によれば、光検出手段に至る光線と走査領域の始端に至る光線とのなす角度が、正のパワーを有する結像光学系を通すことで縮小されることがないので、振動ミラーでの偏向角の差θｓ−θｄがより小さくても光束が分離できるようになるので、光源手段から振動ミラーに至る光線の入射角度αを小さく留めることができ、ミラー幅を最小限とすることができる。
また、結像光学系を構成する各光学素子の、光源手段の波長変化に伴って発生する主走査方向における結像位置の移動の影響を受けずに、光源手段に至る光線の振動ミラーでの偏向角θｓを直接検出できるので、上記した振れ角の制御がより確実に行え、高品位な画像形成が行える。

請求項３に記載の発明によれば、結像光学系を介さずに、振動ミラーによって偏向された光ビームを検出して同期検知信号を得ても、結像光学系を構成する走査レンズの温度による屈折率の変化やレンズ面の曲率変化の影響を受けず、画像書出し開始位置のずれを低減できるので、高品位な画像形成が行える。
請求項４に記載の発明によれば、振動ミラーにおける必要最小限の最大偏向角２θｍａｘに対して、振動ミラーの法線方向を決めてやることで、振幅の無駄をなくして最小限で済ませることができ、ミラー幅も最小限とすることができるので、ビームスポットの小径化や主走査方向に沿ったドット間隔の均一性確保にも対処でき、高品位な画像形成が行える。

請求項５に記載の発明によれば、振動ミラーの法線方向、言いかえれば、振幅中心を結像光学系の光軸に対して任意に設定しても、振幅中心を基準として、被走査面で主走査方向に沿ったドット間隔が均一となるようにでき、高品位な画像形成が行える。
請求項６に記載の発明によれば、振動ミラーの法線方向、言いかえれば、振幅中心を結像光学系の光軸に対して任意に設定しても、振幅中心を基準として、被走査面で主走査方向に沿ったドット間隔が均一となるようにでき、高品位な画像形成が行える。
請求項７に記載の発明によれば、動作環境、つまり温度や気圧の変化に伴って発生するねじり梁のばね定数の変動や空気抵抗の変動などがあったとしても、振れ角が変化することがないので、主走査方向に沿ったドット間隔の均一性を安定的に保持する確保することができ、高品位な画像形成が行える。

請求項８に記載の発明によれば、α／２＞θ＞θｓの範囲のみにおいて発光源の出力設定を行うことで、振動ミラーにより偏向された光ビームが発光源に戻ることを確実に防止することができ、よって出力の設定エラーをなくし、被走査面においてビーム強度を安定的に保つことができるので、高品位な画像形成が行える。
請求項９に記載の発明によれば、振動ミラーを用いることによって低騒音、低消費電力な画像形成装置を実現できる。
請求項１０に記載の発明によれば、振動ミラーを用いることによって低騒音、低消費電力で、かつ、タンデムカラーエンジンに対応した画像形成装置を実現できる。
請求項１１に記載の発明によれば、複数の振動ミラーにおける走査方向を揃えて各色の画像記録を行うことにより、書き出し方向が揃えられ、高品位な画像形成が行える。

以下、本発明の一実施形態を図１乃至図１７に基づいて説明する。
図１は、４つのステーション(色別の画像形成ステーション)を走査する光走査装置９００Ａの例を示し、２ステーションずつ２分し、相反する方向に向けて配置した一対の振動ミラー４６０に各々ビームを入射して、偏向、走査する方式を示している。
４つの感光体ドラム１０１、１０２、１０３、１０４は転写体としての中間転写ベルト１０５の移動方向（矢印方向）に沿って等間隔で配列され、順次異なる色のトナー像を中間転写ベルト１０５に転写して重ね合わせることでカラー画像を形成する。
各感光体ドラムを走査する光走査装置９００Ａは一体的に構成され、後述する各々に対応した光源ユニットからのビームを個別に配備された振動ミラー４６０により走査する。

振動ミラー４６０は光走査装置９００Ａの中央部に背合わせで平行に配置され、副走査方向に所定角度傾けて入射された各光源ユニットからの光ビームを、一括で偏向し走査する。
光源手段または光源装置としての光源ユニット１０７、１０８、１０９、１１０は、光源ユニット１０７、１１０が光源ユニット１０８、１０９よりも射出位置が所定間隔だけずれるように、また、光源ユニット１０７、１０８からの光ビーム２０１、２０２と、光源ユニット１０９、１１０からの光ビーム２０３、２０４とが、各振動ミラー４６０の静止時に偏向された、走査角θ＝０に相当する光線が同軸に揃うように対称に配備され、イエロー、シアン、マゼンタ、ブラックの各々に対応した感光体ドラム上に、同時に画像を書き込んでいく。
この際、いずれか一方の振動ミラーにおいて、後述する同期検知センサでの検出信号をもとに１／２周期タイミングを遅らせて、振動ミラーの復走査時に画像を書き込むようにすれば、各ステーションの走査方向を揃えることができる。

各光源ユニットからのビーム２０１、２０２、２０３、２０４は、各振動ミラーの法線に対し主走査方向での入射角が各々３５°（＝α／２＋θｄ）となるように配備され、光源ユニット１０８、１０９からの光ビーム２０２、２０３は入射ミラー１１１、１１２によって折り返され、直接振動ミラーへと向かう光源ユニット１０７、１１０からの光ビーム２０１、２０４の光路と主走査方向を揃えて各振動ミラー４６０に各々水平に入射される。
シリンダレンズ１１３、１１４、１１５、１１６は一方が平面、もう一方が副走査方向に共通の曲率を有し、振動ミラー４６０の偏向点までの光路長が等しくなるように配備してある。各光源ユニット１０７、１０８および１０９、１１０からの光ビームは光軸を挟んで副走査方向に上下にずらして入射させることで、屈折力によって光ビームは折り曲げられ、偏向面の近傍で交差するように斜入射される。

偏向面において各光ビームは主走査方向に線状となるように収束され、後述するトロイダルレンズとの組み合わせで、偏向点と感光体ドラム面上とが副走査方向に共役な面倒れ補正光学系をなす。
偏向後は、ビーム同士が分離するように間隔を拡げつつ走査レンズ（以下、「ｆθレンズ」ともいう）１２０、１２１に入射される。走査レンズ１２０、１２１は樹脂成形により、主走査方向には振動ミラーの正弦波振動に対応してｆ・ａｒｃｓｉｎ特性、つまり、単位走査角あたりの主走査位置の変化ｄＨ／ｄθがｓｉｎ−１（θ／θ０）に比例する特性となるようパワー（屈折力）を持たせた非円弧面形状となし、振動ミラーの回転に伴って感光体ドラム面上でビームが略等速に移動するように各画素に対応した主走査位置を補正するとともに、後段のトロイダルレンズ１２２、１２３、１２４、１２５とにより各ビームを感光体面上にスポット状に結像し、潜像を記録する。

トロイダルレンズは図２に示すように、第１面に鋸歯状の回折格子からなるフレネル状の回折面を形成しており、発光源の波長が長くなると主走査方向における結像位置が光軸に近づくように、回折によるパワーを持たせている。
一般に、結像光学系のパワーは正であるので、波長が長くなると屈折力が弱くなり、主走査方向には結像位置が光軸から遠ざかる方向に移動するが、この結像位置の移動と逆方向になるように回折パワーを設定することで、ステーション間の倍率差が発生しないように配慮している。
本実施形態では、各色ステーションの振動ミラーを、回転軸が主走査方向における画像中央と一致するように配置し、振動ミラーから感光体ドラム面に至る各々の光路長が一致し、等間隔で配列された各感光体ドラムに対する入射位置、入射角が等しくなるように、１ステーションあたり３枚ずつの折り返しミラーが配置される。

図１に基づいて各色ステーション毎に光路を追って説明すると、光源ユニット１０７からのビーム２０１は、シリンダレンズ１１３を介して下向きに傾けられて、振動ミラー４６０に入射され、走査レンズ１２０を通過した後、折り返しミラー１２６で反射されてトロイダルレンズ１２２を通過し、折り返しミラー１２７、１２８で反射されて感光体ドラム１０２に導かれ、第２のステーションとしてマゼンタ画像を形成する。
光源ユニット１０８からのビーム２０２は、シリンダレンズ１１４を介して上向きに傾けられ、入射ミラー１１１で反射されて振動ミラー４６０に入射され、走査レンズ１２０を通過した後、折り返しミラー１２９で反射されてトロイダルレンズ１２３を通過し、折り返しミラー１３０、１３１で反射されて感光体ドラム１０１に導かれ、第１のステーションとしてイエロー画像を形成する。
対称に配備された第３、第４ステーションについても同様で、光源ユニット１０９からのビーム２０３は、入射ミラー１１２を介して振動ミラー４６０で偏向され、折り返しミラー１３２で反射されてトロイダルレンズ１２５を通過し、折り返しミラー１３３、１３４で反射されて感光体ドラム１０４に導かれ、第４のステーションとしてブラック画像を、また、光源ユニット１１０からのビーム２０４は、振動ミラー４６０で偏向され、折り返しミラー１３５で反射されてトロイダルレンズ１２４を通過し、折り返しミラー１３６、１３７で反射されて感光体ドラム１０３に導かれ、第３のステーションとしてシアン画像を形成する。
これらの構成部品は後述する単一のハウジングに一体的に保持される。

光検出手段としての同期検知センサ１３８、１４０を実装する基板は、対向する２ステーションに対して１組ずつ設けられ、光源側の感光体走査領域外でビームを検出し、この検出信号をもとにステーション毎の同期検知信号を生成して画像を書き出すタイミングをとる。
振動ミラー４６０は、図３に示すように、入射される光ビームの径をｄ０とすると、回転軸に直交する方向の幅２ｒは、最大偏向角２θｍａｘを用いて、
２ｒ≧ｄ０／ｃｏｓθｍａｘ
とする必要がある。
しかしながら、上記したようにｒを大きくすると慣性モーメントＩが大きくなり、共振周波数や振れ角に対して不利となる。従って、θｍａｘはできるだけ小さい方が好ましい。

従来、光源ユニットから振動ミラー面への入射角αと振動ミラーの振れ角（振幅）をθ０との関係は、
α＞２θ０
であり、最大偏向角２θｍａｘ＝α＋２θ０
としていたが、
本実施形態では、同期検知センサ１３８、１４０へは振動ミラー４６０で偏向された光ビームが走査レンズ１２０、１２１の脇をすり抜け、結像レンズ１３９、１４１により集束され、入射されるようにすることで、図４に示すように、
２θ０≧α＞２θｓ＞２θｄ
ここで、θｄは感光体上を走査する有効振れ角、θｓは同期検知時の振れ角
なる関係としている。
具体的には、θ０＝２５°、θｄ＝１５°、α＝４０°、θｓ＝１８°である。

また、従来、振動ミラー面への入射角αを静止時の振動ミラー面の法線に対し、α／２だけ傾けて入射させ、振幅中心が走査レンズの光軸と一致するように配備していたが、本実施形態では、振幅中心を光軸から
Δθ＝α／２−２θｄ
だけ光源側に傾けるように、上記した走査レンズ乃至はトロイダルレンズの少なくとも１面を、主走査方向に沿って非対称な曲面形状とする、あるいは、後述するように、半導体レーザを変調するクロックのパルス周期または位相を主走査位置に応じて可変することで、振動ミラーの振幅中心と走査レンズの光軸とが一致していないことに伴って発生する主走査方向における結像位置のずれを補正するようにしている。
このようにすれば、最大偏向角は２θｍａｘ＝α＋２θｄまで縮小でき、ミラー幅２ｒが最小限で済むようにできる。

図１に示すように、中間転写ベルト１０５の出口ローラ部（図１の左端部）には、各ステーションで形成されて重ね合わされた各色画像の重ね合わせ精度を検出するための検出手段が配備されている。
検出手段は中間転写ベルト１０５上に形成したトナー像の検出パターンを読み取ることで、主走査レジスト、副走査レジストを基準となるステーションからのずれとして検出し、定期的に補正制御が行なわれる。
本実施形態では、検出手段は照明用のＬＥＤ素子１５４と、反射光を受光するフォトセンサ１５５および一対の集光レンズ１５６とからなり、画像の左右両端と中央の３ヵ所に配備され、中間転写ベルト１０５の移動に応じて基準色であるブラックとの検出時間差を読み取っていく。

図５は、本実施形態における光走査装置に用いる振動ミラーモジュールの分解斜視図を示している。
ここでは、振動ミラーの回転トルクの発生方法として電磁駆動方式の例を説明する。図示するように、振動ミラーのミラー面をなす可動ミラー４４１は、ねじり梁４４２で軸支されており、後述するように、単一のＳｉ基板からエッチングにより外形を貫通して作製し、実装基板４４８に装着され、振動ミラーを一体に備えたユニットとしての振動ミラー基板４４０を構成する。図１や図８では実装基板４４８は省略している。
本実施形態では、一対の振動ミラー基板４４０を背合わせで一体支持したモジュールをなす。
支持部材４４５は、樹脂で成形され、回路基板４４９の所定位置に位置決めされており、振動ミラー基板４４０を、ねじり梁４４２が主走査平面に直交し各ミラー面が主走査方向に対し所定の角度、ここでは３０°傾くように、ミラー面同士を平行に位置決めする位置決め部４５１と、振動ミラー基板４４０の実装基板４４８の一辺に形成されている配線端子４５５が、装着時に接触するように金属製端子群を配列したエッジコネクタ部４５２と、を一体で構成している。
本実施形態では、支持部材４４５と回路基板４４９とを別部材としたが、いずれか一方が他方を兼ねる構成としてもよい。

振動ミラー基板４４０は、一辺を上記したエッジコネクタ部４５２に挿入し、押え爪４５３の内側に嵌め付けられ、基板裏側の両側面を位置決め部４５１に沿わせて支えられるとともに、電気的な配線が同時になされ、各々の振動ミラー基板４４０が個別に交換できるようにしている。
回路基板４４９には、振動ミラーの駆動回路を構成する制御ＩＣや水晶発振子等が実装され、コネクタ４５４を介して電源および制御信号が入出力される。
また、各振動ミラーの振幅位相を１／２周期ずらすことで、相反する方向に偏向した場合であっても、走査方向を揃えることができる。

図６に示すように、振動ミラーモジュール４７０は、該振動ミラーモジュール４７０を包囲するように立設された側壁４５７を一体的に形成するハウジング（光学ハウジング）４００に装着され、側壁４５７の上端縁は上カバー４５８によって封止されている。
光ビームを入出射する側壁４５７の開口部には平板状の透過窓４５９が備えられている。該透過窓４５９は振動ミラー面（可動ミラー４４１）と副走査方向に約５°傾くように配備され、振動ミラー面との間で光ビームが繰り返し反射されないように配慮している。
上カバー４５８には、発砲ポリウレタン等を貼り合わせ、外気からの熱伝搬を抑制するように断熱性を確保している。

次に、図７及び図８（分解斜視図）を用いて振動ミラー基板４４０の詳細について説明する。
振動ミラー４６０は、表面にミラー面を形成し振動子をなす可動部と、それを支え回転軸をなすねじり梁と、支持部をなすフレームとからなり、Ｓｉ基板をエッチングにより切り抜いて形成する。
本実施形態では、図７（ｃ）に示すように、ＳＯＩ基板と呼ばれる６０μｍと１４０μｍとの２枚の基板が酸化膜を挟んで予め接合されたウエハを用いて作製する。
まず、１４０μｍ基板（第２の基板）４６１の表面側からプラズマエッチングによるドライプロセスによって、ねじり梁４４２、平面コイルが形成される振動板４４３、可動部の骨格をなす補強梁４４４と、フレーム４４６とを残したそれ以外の部分を酸化膜まで貫通する。
次に、６０μｍ基板（第１の基板）４６２の表面側からＫＯＨなどの異方性エッチングによって、可動ミラー４４１と、フレーム４４７とを残したそれ以外の部分を酸化膜まで貫通し、最後に、可動部周囲の酸化膜を除去して分離し、振動ミラーの構造体を形成する。

ここで、ねじり梁４４２、補強梁４４４の幅は４０〜６０μｍとした。上記したように振動子の慣性モーメントＩは振れ角を大きくとるには小さい方が望ましく、反面、慣性力によってミラー面が変形してしまうため、本実施形態では可動部を肉抜きした構造としている。
さらに、６０μｍ基板４６２の表面側にアルミニウム薄膜を蒸着して反射面となし、図７（ｂ）に示すように、１４０μｍ基板４６１の表面側には銅薄膜で平面コイルとしてのコイルパターン４６３とねじり梁４４２を介して配線された端子４６４、および、トリミング用のパッチ４６５を形成する。
当然、振動板４４３側に薄膜状の永久磁石を備え、フレーム４４７側に平面コイルを形成する構成とすることもできる。

実装基板４４８上には、振動ミラー４６０を装着する枠状の台座４６６と、振動ミラー４６０を囲うように形成されたヨーク４４９が配備され、ヨーク４４９には可動ミラー４４１端に対向して各々Ｓ極とＮ極とを向かい合わせ、回転軸と直交する方向に磁界を発生する一対の永久磁石４５０が接合されている。
振動ミラー４６０は、ミラー面を表に向けて台座４６６に装着され、各端子４６４間に電流を流すことにより、コイルパターン４６３の回転軸に平行な各辺にローレンツ力が生じ、ねじり梁４４２をねじって可動ミラー４４１を回転する回転トルクＴを発生し、電流を切るとねじり梁４４２の戻り力により水平に戻る。
従って、コイルパターン４６３に流れる電流の方向を交互に切り換えることによって、可動ミラー４４１を往復振動させることができる。

そして、この電流の切り換える周期を、振動ミラー４６０を構成する構造体の、ねじり梁４４２を回転軸とした１次振動モードの固有振動数、いわゆる共振振動数ｆ０に近づけると振幅が励起され大きな振れ角を得ることができる。
従って、通常は走査周波数ｆｄをこの共振振動数ｆ０に合わせて設定、あるいは追従するように制御しているが、共振振動数ｆ０は上記したように、振動ミラー４６０を構成する振動子の慣性モーメントＩによって決定されるため、仕上がりの寸法精度にばらつきがあると個体間で差が生じてしまい、本実施形態のように複数の振動ミラーを用いる場合、各々の走査周波数ｆｄを揃えることが困難となる。
この共振振動数ｆ０のばらつきは、プロセスの能力にもよるが、±２００Ｈｚ程度あり、例えば、走査周波数ｆｄ＝２ｋＨｚとすると１／１０ラインに相当する走査ラインピッチのずれが生じることになり、１０ライン記録すると１ライン分もの走査位置ずれになってしまう。
選別によって共振振動数ｆ０の近いものを組み合わせることはできるが、生産効率が悪いうえ、交換を行う際には常に対で扱う必要があるためコストもかかる。

そこで、本実施形態では、実装基板４４８に装着する前に、可動部の裏側に形成したパッチ４６５に炭酸ガスレーザなどにより切り込みを入れて可動部の質量を徐々に減らしていくことで慣性モーメントＩを調整し、個体間の寸法差があっても共振振動数ｆ０が概略一致するように、ここでは±５０Ｈｚに入るように調整している。
そして、その周波数帯域内で、共振振動数ｆ０によらず、走査周波数ｆｄを設定している。

図９は、質量の可変（トリミング）による共振周波数の調整の様子を示している。
振動ミラー４６０には、加振装置により走査周波数に相当する振動が付与され、振動ミラー４６０の裏側よりパッチ４６５に炭酸ガスレーザが照射され、共振によって急峻に振れ角が増大するまで切込みを入れていく。
共振状態の検出は、振動ミラー４６０の表側から光源装置によりビームを当て、反射されたビームの振れを振幅検出装置により検出することにより行うことができる。
なお、このような減量方式のトリミングによらずとも、バランスウエイトを付着していく増量方式の方法によってもよい。

図１０は、振動ミラーを振幅させる駆動回路のブロック図である。
上記したように、振動ミラー裏側に形成した平面コイル（コイルパターン４６３）には、交互に電流の流れる方向が切り換わるように、交流電圧、またはパルス波状電圧が印加され、振れ角θが一定となるように平面コイルに流す電流のゲインを調節して往復振動させる。
図１１に、電流の流れる方向を切り換える周波数ｆと振れ角θとの関係を示すが、一般に、共振周波数ｆ０をピークとした周波数特性となり、走査周波数ｆｄを共振周波数ｆ０に一致させれば、最も振れ角が大きくとれる。しかしながら、共振周波数付近においては急峻に振れ角が変化する。
従って、初期的には可動ミラー４４１の駆動部（振動ミラー駆動手段）において固定電極に印加する駆動周波数を共振振動数に合うよう設定することができるが、温度変化に伴うバネ定数の変化などで共振周波数が変動した際には振れ角が激減してしまい、経時的な安定性に乏しいという欠点がある。

そこで、本実施形態では、走査周波数ｆｄを共振周波数ｆ０から外した単一周波数に固定し、ゲイン調整に応じて振れ角θが増減できるようにしている。
具体的には、共振周波数ｆ０＝２ｋＨｚに対し、走査周波数ｆｄは２．５ｋＨｚとし、ゲイン調整により振れ角θが±２５°になるように合わせている。
経時的には、振れ角θを、振動ミラー４６０により走査されたビームを、走査領域の始端に配備した同期検知センサ１３９、１４０において復走査時に検出した検出信号と往走査時に検出した検出信号との時間差により検出し、振れ角θが一定となるように制御している。

図１２に示すように、振動ミラーは共振振動されるため、時間ｔとともにｓｉｎ波状に走査角θが変化する。従って、振動ミラーの最大振れ角、つまり振幅がθ０とすると、
θ＝θ０・ｓｉｎ２πｆｄ・ｔ
同期検知センサ１３９、１４０において走査角を２θｓに対応したビームを検出するとすると、検出信号は復走査と往走査とで発生され、その時間差Ｔを用いると、
θｓ＝θ０・ｃｏｓ２πｆｄ・Ｔ／２
で表され、θｓは固定であるので、Ｔを計測すれば最大振れ角θ０が検出できることがわかる。
なお、復走査でのビーム検出から往走査でのビーム検出に至る期間、振動ミラーの振れ角でいうと、
θ０＞θ＞θｓ
なる期間では発光源の発光を禁止するようにしている。発光の禁止制御は、図１０に示す光源駆動手段としての光源駆動部によりなされる。
被走査面である感光体ドラム面では、時間に対して各画素の間隔が均一となるように主走査ドットを形成する必要がある。

振動ミラーは図１３に示すように、時間とともに振れ角θの変化率が加速度的に小さくなるため、主走査領域の両端にいくに従って被走査面では画素間隔が間延びしてしまう。
一般に、このずれは走査レンズにｆ・ａｒｃｓｉｎレンズを用いることによって補正するが、仮に、ポリゴンミラーでの走査と同様、画素クロックを単一の周波数で変調した際、時間に対して走査角２θが比例、つまり等速度で変化するようにするためには、主走査領域端で主走査位置の補正量が最も大きくなるように主走査方向に沿ったパワー（屈折力）を設定する必要がある。
このとき、像高０、つまり画像中心から任意の像高Ｈまでの時間をｔとすると、像高Ｈと振れ角θ（走査角２θ）との関係は、
Ｈ＝ω・ｔ＝（ω／２πｆｄ）・ｓｉｎ−１（θ／θ０）
となる。ここで、ωは定数である。

ところが、この画素間隔の疎密、いわゆるリニアリティの補正量が大きくなると、走査レンズの主走査方向に沿ったパワーの偏差が大きくなり、被走査面における各画素に対応したビームスポット径の変化も大きくなってしまう。
また、上記したように振動ミラーの振幅中心と光軸とが一致していないことによって光軸に非対称な曲面を有する走査レンズが必要になるため、本実施形態では画素クロックの位相Δｔを主走査位置に応じて可変することで、主走査方向に沿った走査レンズのパワーの偏差がなるべく小さくなるように、また、非対称成分を補正するようにしている。

いま、画素クロックの位相Δｔを変化させることに伴う走査角の変化を２Δθとすると、
Ｈ＝（ω／２πｆｄ）・ｓｉｎ−１｛（θ−Δθ）／θ０｝
Δθ／θ０＝ｓｉｎ２πｆｄｔ−ｓｉｎ２πｆｄ（ｔ−Δｔ）
なる関係式となる。
ここで、走査レンズをｆθレンズに近いパワー配分となるようにし、その残差を画素クロックの位相Δｔにより補正する場合、
Ｈ＝（ω／２πｆｄ）・｛（θ−Δθ）／θ０｝
＝（ω／２πｆｄ）・ｓｉｎ−１（θ／θ０）
Δθ／θ０＝θ／θ０−ｓｉｎ−１（θ／θ０）
なる関係式となり、主走査方向に沿った所定画素の位相Δｔ（ｓｅｃ）は、
（θ／θ０）−ｓｉｎ−１（θ／θ０）＝ｓｉｎ２πｆｄｔ−ｓｉｎ２πｆｄ（ｔ−Δｔ）
なる関係式に基づいて決定されるように、発光源を変調すればよい。

図１４は、発光源である半導体レーザを変調するの駆動回路のブロック図である。
各色毎にラスター展開された画像データはフレームメモリに各々一時保存され、画像処理部に順に読み出されて、前後の関係を参照しながら中間調に対応したマトリクスパターンに応じて各ラインの画素データが形成され、各発光源に対応したラインバッファに転送される。
書込制御部は、ラインバッファから、同期検知信号をトリガとして各々読み出されて独立に変調する。

次に、各発光点を変調するクロックの生成部（画素クロック生成部）について説明する。カウンタでは、高周波クロック生成部で生成された高周波クロックＶＣＬＫをカウントし、比較回路ではこのカウント値と、デューティ比に基いてあらかじめ設定される設定値Ｌ、および画素クロックの遷移タイミングとして外部から与えられ、位相シフト量を指示する位相データＨとを比較し、カウント値が上記設定値Ｌと一致した際に画素クロックＰＣＬＫの立下りを指示する制御信号ｌを、位相データＨと一致した際に画素クロックＰＣＬＫの立上がりを指示する制御信号ｈを出力する。この際、カウンタは制御信号ｈと同時にリセットされ再び０からカウントを行うことで、連続的なパルス列が形成できる。
こうして、１クロック毎に位相データＨを与え、順次パルス周期が可変された画素クロックＰＣＬＫを生成する。ここでは、画素クロックＰＣＬＫは、高周波クロックＶＣＬＫの８分周とし、１／８クロックの分解能で位相が可変できるようにしている。この可変制御は、図１０に示す光源駆動手段としての光源駆動部によりなされる。

図１５は、任意の画素の位相をシフトした説明で、１／８クロックだけ位相を遅らせた例である。
デューティ５０％とすると設定値Ｌ＝３が与えられ、カウンタで４カウントされ画素クロックＰＣＬＫを立ち下げる。１／８クロック位相を遅らせるとすると位相データＨ＝６が与えられ、７カウントで立上げる。同時にカウンタがリセットされるので、４カウントで再び立ち下げる。つまり、隣接するパルス周期が１／８クロック分縮められたことになる。
こうして生成された画素クロックＰＣＬＫは、光源駆動部に与えられ、この画素クロックＰＣＬＫに対してラインバッファから読み出された画素データを重畳させた変調データにより、半導体レーザを駆動する。

図１６は、単一の周波数で変調した際の主走査位置に応じた各画素における主走査位置の補正量を示すが、主走査領域を複数、実施例では主走査領域を８つの領域に分割し、折れ線で近似することで各領域の境界で主走査位置ずれが０となるように、領域毎に位相シフト回数を設定し、階段状に補正する。
例えば、ｉ領域の画素数をＮｉ、各画素でのシフト量を画素ピッチｐの１／１６単位とし、各領域の両端における主走査位置のずれがΔＬｉであったとすると、
ｎｉ＝Ｎｉ・ｐ／１６ΔＬｉ
となり、ｎｉ画素毎に位相をシフトしてやればよい。
画素クロックｆｃとすると、トータルでの位相差Δｔは、位相シフト回数Ｎｉ／ｎｉを用い
Δｔ＝１／１６ｆｃ×∫（Ｎｉ／ｎｉ）ｄｉ
となり、Ｎドット目の画素における位相差Δｔについても同様に、それまでの位相シフトの累積回数により設定できる。

なお、分割された領域幅は均等であっても不均等であってもよく、分割数もいくつであっても構わないが、各画素でのシフト量が大きくなると、その段差が画像上目立ちやすくなるため、画素ピッチｐの１／４単位以下とするのが望ましく、逆に位相シフト量が小さくなると位相シフト回数が増えメモリ容量が増えてしまう。また、分割数が少ないほどメモリ容量が少なくてすむため、主走査位置ずれが大きい領域の領域幅を小さく、小さい領域の領域幅を大きく設定することが効率的である。
半導体レーザの出力は、一般に、背面光を同一パッケージ内に装着される光量モニタ用のセンサによって一走査毎に画像領域にかかる前に検出され、１ライン記録中は一定値を保持するように発光源に印加する電流量を制御する。

図１７は、図１に示した光走査装置９００Ａを搭載した画像形成装置の例を示す。
ブラックの感光体ドラム１０４の周囲には、感光体ドラムを高圧に帯電する帯電チャージャ９０２、光走査装置９００Ａにより記録された静電潜像に帯電したトナーを付着して顕像化する現像装置９０４、感光体ドラムに残ったトナーを掻き取って備蓄するクリーニング装置９０５が配置される。他の感光体ドラムの周囲構成も同様である。感光体ドラムへは振動ミラーの往復走査により１周期で２ライン毎の画像記録が行われる。
上記した画像形成ステーションは中間転写ベルト１０５の移動方向に並列され、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックのトナー画像が中間転写ベルト１０５上にタイミングを合わせて順次転写され、重ね合わされてカラー画像が形成される。
各画像形成ステーションはトナー色が異なるだけで、基本的には同一構成である。

一方、記録媒体としての記録紙は給紙トレイ９０７から給紙コロ９０８により供給され、レジストローラ対９０９により副走査方向の記録開始のタイミングに合わせて送り出され、中間転写ベルト１０５からトナー画像が転写される。その後、定着装置９１０で定着がなされ、排紙ローラ対９１２により排紙トレイ９１１に排出される。

図１８に基づいて第２の実施形態を説明する。なお、上記実施形態と同一部分は同一符号で示し、特に必要がない限り既にした構成上及び機能上の説明は省略して要部のみ説明する。
本実施形態では、４ステーションを単一の振動ミラーにより走査する方式を示している。
図示するように各感光体ドラム１０１、１０２、１０３、１０４を走査する光走査装置９００Ｂは一体的に構成され、中間転写ベルト１０５の移動方向（矢印方向）に沿って等間隔で配列された４つの感光体ドラム１０１、１０２、１０３、１０４に対し、各々に対応した光源ユニット１０７、１０８、１０９、１１０からのビームを、振動ミラー４６０での偏向後に再度分離して、導くことで同時に画像を形成する。
振動ミラー４６０に対して各光源ユニットからのビームは副走査方向に異なる入射角で斜入射させることで、各光源ユニットからのビームを一括して偏向、走査するようにしている。

各光源ユニット１０７、１０８、１０９、１１０は、副走査方向に高さが異なるように、光源ユニット１１０が最も高く、順に低くなるように、放射状に配備されている。
光源ユニット１１０からのビーム２０４に、他の光源ユニットからのビーム２０３、２０２、２０１は、階段状に高さが異なる３枚の入射ミラー１１１によって、ビーム２０３、２０２、２０１の順で上下一列に揃うように折り返され、副走査方向に高さを異ならせてシリンダレンズ１１３に入射され、振動ミラー４６０へと向かう。

各ビームはシリンダレンズ１１３によって振動ミラー面の近傍で副走査方向に交差され、偏向後はビーム同士が分離するように間隔を拡げつつｆθレンズ１２０に入射される。
ｆθレンズ１２０は全てのステーションで共用され、副走査方向には収束力を持たない。ｆθレンズ１２０を通った各光源ユニットからのビームのうち、光源ユニット１０７からのビームは、折返しミラー１２６で反射され、トロイダルレンズ１２２を介して感光体ドラム１０１上にスポット状に結像し、第１の画像形成ステーションとしてイエロー色の画像情報に基いた潜像を形成する。
光源ユニット１０８からのビームは、折返しミラー１２７で反射され、トロイダルレンズ１２３、折返しミラー１２８を介して感光体ドラム１０２上にスポット状に結像し、第２の画像形成ステーションとしてマゼンタ色の画像情報に基いた潜像を形成する。

光源ユニット１０９からのビームは、折返しミラー１２９で反射され、トロイダルレンズ１２４、折返しミラー１３０を介して感光体ドラム１０３上にスポット状に結像し、第３の画像形成ステーションとしてシアン色の画像情報に基いた潜像を形成する。
光源ユニット１１０からのビームは、折返しミラー１３１で反射され、トロイダルレンズ１２５、折返しミラー１３２を介して感光体ドラム１０４上にスポット状に結像し、第４の画像形成ステーションとしてブラック色の画像情報に基いた潜像を形成する。
同様に、同期検知センサ１３８へは振動ミラー４６０で偏向された光ビームが走査レンズ１２０の脇をすり抜け、結像レンズ１３９により集束され、入射されるようにしており、その検出信号をもとにステーション毎の同期検知信号を生成している。
本実施形態における光走査装置９００Ｂも第１の実施形態における光走査装置９００Ａと同様に画像形成装置に設けることができる。

本発明の第１の実施形態における光走査装置の斜視図である。 結像光学系の中のトロイダルレンズの形状を示す図で、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面断面図である。 振動ミラーにおける回転軸に直交する方向の幅と入射される光ビームの径との関係を示す図である。 振動ミラー面へのビームの入射角、振動ミラーの振れ角、感光体を走査する有効振れ角、同期検知時の振れ角の関係を示す図である。 振動ミラーモジュールの分解斜視図である。 ハウジングへの振動ミラーモジュールの装着状態を示す分解斜視図である。 振動ミラー基板を示す図で、（ａ）は全体正面図、（ｂ）はミラー部の背面図、（ｃ）は振動ミラーの基板の接合状態を示す概要断面図である。 振動ミラー基板の分解斜視図である。 振動ミラーの質量の可変による共振周波数の調整手法を示す図である。 振動ミラーを振幅させる駆動回路のブロック図である。 電流の流れる方向を切り換える周波数と振れ角の関係を示す図である。 振動ミラーの共振振動に伴う走査角の変化を示す図である。 振動ミラーの時間経過に伴う振れ角の変化率を示す図である。 光源手段の発光源（半導体レーザ）を変調するための駆動回路のブロック図である。 任意の画像の位相をシフトした場合の説明図である。 単一の周波数で変調した際の主走査位置に応じた各画素における主走査位置の補正量を示す図である。 画像形成装置の概要構成図である。 第２の実施形態における光走査装置の斜視図である。 振動ミラーにおける回転軸に直交する方向の幅の概念図である。

符号の説明

１０１、１０２、１０３、１０４ 被走査面又は像担持体としての感光体ドラム
１０７．１０８、１０９、１１０ 光源手段としての光源ユニット
１２０、１２１ 結像光学系の光学素子としての走査レンズ
１２２、１２３、１２４、１２５ 結像光学系の光学素子としてのトロイダルレンズ
１３８、１４０ 光検出手段としての同期検知センサ
４６０ 振動ミラー

Claims (11)

1. 光源手段と、
   ねじり梁によって支持され、上記光源手段からの光ビームを偏向して被走査面を往復走査する振動ミラーと、
   上記振動ミラーに周期的に回転力を発生させる振動ミラー駆動手段と、
   上記振動ミラーによって走査された光ビームを上記被走査面に結像する結像光学系と、
   主走査方向における所定位置で上記振動ミラーによって偏向された光ビームを検出する光検出手段と、
   を有する光走査装置において、
   上記振動ミラーに入射する光ビームの光線と上記結像光学系の光軸とのなす角度をα（入射角度）、上記光検出手段に入射すべく偏向された光ビームの光線と上記結像光学系の光軸とのなす角度を２θｓ、上記振動ミラーの振幅をθ０、とすると、
   θ０≧α／２＞θｓ
   なる関係を満足することを特徴とする光走査装置。
2. 請求項１に記載の光走査装置において、
   上記光検出手段は、上記結像光学系を介さずに、上記振動ミラーによって偏向された光ビームを検出することを特徴とする光走査装置。
3. 請求項２に記載の光走査装置において、
   上記結像光学系を構成する光学素子の少なくとも１面に、上記光源手段の波長変化に伴う主走査方向における結像位置の移動を補正するようにパワーを設定した回折面を有することを特徴とする光走査装置。
4. 請求項１に記載の光走査装置において、
   上記被走査面における走査領域端に到達すべく偏向された光ビームの光線と上記結像光学系の光軸とのなす角度を２θｄとすると、上記振動ミラーの振幅中心が上記結像光学系の光軸に対し、
   α／２−θｄ
   だけ傾くように配備することを特徴とする光走査装置。
5. 請求項４に記載の光走査装置において、
   上記結像光学系を構成する光学素子の少なくとも１面に、光軸に対して主走査方向に非対称な曲面を有することを特徴とする光走査装置。
6. 請求項４に記載の光走査装置において、
   上記光源手段を変調するクロックのパルス周期または位相の少なくともいずれか一方を、主走査位置に応じて可変する光源駆動手段を備えることを特徴とする光走査装置。
7. 請求項１に記載の光走査装置において、
   上記振動ミラー駆動手段は、上記光検出手段により検出された検出信号をもとに、上記振動ミラーの振幅を算出し、振れ角が一定となるように回転力を制御することを特徴とする光走査装置。
8. 請求項１に記載の光走査装置において、
   上記光源手段は、上記振動ミラーの振れ角が少なくとも
   θ０≧θ≧α／２
   の範囲において発光を禁止する光源駆動手段を備えることを特徴とする光走査装置。
9. 請求項１乃至８のうちのいずれかに記載の光走査装置を備え、
   上記振動ミラーを所定の走査周波数により駆動するとともに、往走査または復走査のいずれかの期間中に、画像情報に応じて上記光源手段を変調して像担持体上に静電潜像を形成し、該静電潜像を顕像化し、該顕像を記録媒体に転写して画像を形成することを特徴とする画像形成装置。
10. 請求項１乃至８のうちのいずれかに記載の光走査装置を備え、
    上記振動ミラーを複数配備して共通の走査周波数により駆動するとともに、往走査または復走査のいずれかの期間中に、画像情報に応じて上記光源手段を変調して各色に対応した像担持上に各々静電潜像を形成し、該静電潜像を顕像化し、該顕像を転写体上で重ね合わせて記録媒体に転写し、多色画像を形成することを特徴とする画像形成装置。
11. 請求項１０に記載の画像形成装置において、
    上記複数の振動ミラーにおける走査方向を揃えて各色の画像記録を行うことを特徴とする画像形成装置。

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