JP2007167773A - ダイ塗工ヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも塗工液を供給する塗工液供給配管11と、エアー抜きを行うベント配管12と、塗工液を一次貯留しておくマニホールド13とを有する一方のダイヘッド部材10と、スリット形成用シム20と、合わせ面が平らな面を有する他方のダイヘッド部材30とから構成されているスリット塗工ヘッドであって、前記一方のダイヘッド部材10の合わせ面に前記塗工液供給配管11と、前記ベント配管12と、前記マニホールド13とが溝状に形成されているダイ塗工ヘッドである。
【選択図】図2
Description
また、被塗布基板の回転中心部と周辺部の塗布膜厚がその中間部分に比べて厚くなりすぎるという欠点もあった。
そこで、液晶ディスプレイまたはプラズマディスプレイ等のカラーフィルタ用の大型ガラス基板上にレジスト等の塗工液を均一かつ効率的に塗布する塗布ノズル及び塗布装置が提案されている。
ダイ塗工ヘッド200は、塗工ヘッド本体210と、レジスト等の塗工液を供給する塗工液供給配管220と、塗工液供給配管220から供給される塗工液を一時的に貯留するマニホールド230と、塗工液を被処理基板上に塗布するためのスリット240から構成されている。
この問題を解決する方法として、塗工液が吐出されるスリット240と、吐出された塗工液を平坦化するノズルリップ部とを具備し、スリット240から傾斜して延在する傾斜面角度を制御することにより、ノズル洗浄の負担を軽減しつつ、被塗布基板の全域にわたってムラのない均一な厚さで塗工液を塗布することができる塗布ノズル、およびこれを用いた塗布装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
液供給配管内の洗浄には多大の時間を要するという問題を有している。
また、塗工液供給配管への塗工液供給配管の着脱及びベント配管への排気配管の着脱が継ぎ手部材を用いたフランジ及びフェルールクランプにて固定されるので、塗工液供給配管への塗工液供給配管の取り付け、取り外し作業及びベント配管への排気配管の取り付け、取り外し作業をそれぞれ短時間に効率良く行うことができる。
図1は請求項1に係る本発明のダイ塗工ヘッドの一実施例を示す模式斜視図である。
図2はダイ塗工ヘッドの構成部材の一例を示す説明図である。
請求項1に係る本発明のダイ塗工ヘッド100は、ダイヘッド部材10と、リット形成用シム20と、ダイヘッド部材30とで構成されている。
これは、ダイ塗工ヘッドによる被処理基板への塗膜形成作業終了後のダイ塗工ヘッドを洗浄する際、ダイ塗工ヘッドを分解し、ダイヘッド部材10に形成された塗工液供給配管11、ベント配管12、マニホールド13内の洗浄を容易に行うことができるようにしたもので、特に、高粘度または反応性の塗工液を使用した場合に洗浄効果を発揮するようになっている。
スリット21の開口量は、スリット形成用シム20の厚みを変えることで調整する。
まず、塗工液供給配管11上にパッキン61及びボルト91を取り付け、ボルト91を緩めた状態で、継ぎ手部材40のフランジ41に設けられたダルマ穴43をボルト91に差し込んで(図5(a)参照)、フランジ41を所定の角度回転(ここでは、反時計回り)し、ボルト91を締め付けることにより、継ぎ手部材40を塗工液供給配管11へ取り付けることができる(図5(b)参照)。
また、継ぎ手部材40を塗工液供給配管11から取り外す場合は、ボルト91を緩めた状態で、所定の角度回転(ここでは、時計回り)することで、容易に取り外すことができる。
まず、ベント配管12上にパッキン61及びボルト91を取り付け、ボルト91を緩めた状態で、継ぎ手部材40のフランジ41に設けられたダルマ穴43をボルト91に差し込んで (図5(a)参照)、フランジ41を所定の角度回転(ここでは、反時計回り)し、ボルト91を締め付けることにより、継ぎ手部材40をベント配管12に取り付けることができる(図5(b)参照)。
また、継ぎ手部材40をベント配管12から取り外す場合は、ボルト91を緩めた状態で、所定の角度回転(ここでは、時計回り)することで、容易に取り外すことができる。
11……塗工液供給配管
12……ベント配管
13……マニホールド
20……スリット形成用シム
21……スリット
30……ダイヘッド部材
40……継ぎ手部材
41……フランジ
42、71……フェルール状継手
43……ダルマ穴
50……フェルールクランプ
61、62……パッキン
70……塗工液供給配管
80……排気配管
91……ボルト
Claims (3)
- 少なくとも塗工液を供給する塗工液供給配管(11)と、エアー抜きを行うベント配管(12)と、塗工液を一次貯留しておくマニホールド(13)とを有する一方のダイヘッド部材(10)と、スリット形成用シム(20)と、合わせ面が平らな面を有する他方のダイヘッド部材(30)とから構成されているスリット塗工ヘッドであって、前記一方のダイヘッド部材(10)の合わせ面に前記塗工液供給配管(11)と、前記ベント配管(12)と、前記マニホールド(13)とが溝状に形成されていることを特徴とするダイ塗工ヘッド。
- 前記塗工液供給配管(11)は、一方にダルマ穴(43)が形成されたフランジ(41)と他方にフェルール状継ぎ手(42)とを有する継ぎ手部材(40)の前記フランジ(41)によりパッキン(61)を介して固定されており、前記継ぎ手部材(40)のフェルール状継ぎ手(42)と塗工液供給配管(70)の一方に設けられたフェルール状継ぎ手(71)とをパッキン(62)を介してフェルールクランプ(50)にて固定することにより、塗工液供給配管(11)への塗工液供給配管(70)の着脱が容易にできるようにしたことを特徴とする請求項1に記載のダイ塗工ヘッド。
- 前記ベント配管(12)は、一方にダルマ穴(43)が形成されたフランジ(41)と他方にフェルール状継ぎ手(42)を有する継ぎ手部材(40)の前記フランジ(41)によりパッキン(61)を介して固定されており、前記継ぎ手部材(40)のフェルール状継ぎ手(42)と排気配管(80)の一方に設けられたフェルール状継ぎ手(81)とをパッキン(62)を介してフェルールクランプ(50)にて固定することにより、ベント配管(12)への排気配管(80)の着脱が容易にできるようにしたことを特徴とする請求項1または2に記載のダイ塗工ヘッド。
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