KR101166146B1 - 개선된 노즐 장치의 세정 장치, 세정 시스템, 및 세정 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 개선된 노즐 장치의 세정 장치 및 세정 시스템, 및 개선된 노즐 장치의 세정 방법을 개시한다.
본 발명에 따른 개선된 노즐 장치의 세정 장치는 상기 노즐 장치의 노즐부의 일측면을 세정하도록 제공되며, 제 1 시너 공급구 및 제 1 에어 공급구를 구비하는 제 1 세정 유닛; 및 상기 노즐부의 대향 측면을 세정하도록 제공되며, 제 2 시너 공급구 및 제 2 에어 공급구를 구비하는 제 2 세정 유닛을 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 세정 유닛은 각각 노즐 디스펜서 형상 또는 슬릿 다이 형상으로 구현되고 또한 상기 노즐 장치의 노즐부의 길이와 동일하거나 더 긴 길이를 가지는 것을 특징으로 하고 있다.

Description

개선된 노즐 장치의 세정 장치, 세정 시스템, 및 세정 방법{An Improved Cleaning Device, System, and Method for Cleaning A Nozzle Device}
본 발명은 개선된 개선된 노즐 장치의 세정 장치 및 세정 시스템, 및 개선된 노즐 장치의 세정 방법에 관한 것이다.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 노즐 장치의 립(lip) 하단부에 제공되는 복수의 노즐 구멍 또는 슬릿의 도액 잔류물을 제거하는데 사용되는 세정 장치를 에어 공급구 및 시너 공급구를 함께 구비한 노즐 디스펜서 형상 또는 슬릿 다이 형상으로 구현함으로써, 에어 및 시너 공급시 세정 장치를 이동할 필요가 없으므로 세정 시간이 현저하게 감소되고, 또한 세정 장치를 이동시키기 위한 별도의 구동 장치가 불필요하므로 전체 세정 시스템의 구성 및 세정 동작이 단순화되는 개선된 노즐 장치의 세정 장치 및 세정 시스템, 및 개선된 노즐 장치의 세정 방법에 관한 것이다.
일반적으로 PDP 또는 LCD를 제조하기 위해서는 글래스와 같은 기재(基材) 또는 작업물(work piece) 상에 도액을 도포하기 위해서는 노즐 디스펜서(nozzle dispenser) 또는 슬릿 다이(또는 슬릿 노즐)(이하 노즐 디스펜서 및 슬릿 다이를 통칭하여 "노즐 장치"라 합니다)를 구비한 코팅 장치가 사용된다.
좀 더 구체적으로, 도 1a에 개략적으로 도시된 PDP 또는 LCD를 제조하기 위해 사용되는 테이블 코팅 장치(table coater)(100)(이하 "코팅 장치"라 합니다)에서는 코팅할 작업물인 글래스 기판(110)을 석션 테이블(suction table: 112) 상에 위치시킨 후 갠트리(gantry: 125)에 부착된 노즐 장치(120)를 수평방향으로 이동시키면서 예를 들어, 글래스 기판(110) 상에 형성된 R, G, B 셀(cell)로 이루어진 화소(pixel)를 형성하도록 도액을 도포시키는 방법이 사용되고 있다.
도 1b는 상술한 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 노즐 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 1b를 참조하면, 종래 기술에 따른 노즐 장치(120)는 제 1 립(122), 및 제 1 립(122)과 대향하여 제공되는 제 2 립(124); 상기 제 1 립(122)과 상기 제 2 립(124) 사이에 제공되며, 도액을 저장하는 챔버(128); 및 상기 챔버(128)에 저장된 도액을 토출하는 복수의 노즐 구멍(126) 또는 슬릿(126)을 포함한다. 이하에서는 복수의 노즐 구멍(126) 또는 슬릿(126)을 통칭하여 노즐부(126)로 지칭하기로 한다.
제 1 립(122) 및/또는 제 2 립(124)의 상부 또는 일측면에는 도액 공급 장치(미도시)로부터 도액이 유입되는 도액 공급구(미도시)가 제공된다.
상술한 테이블 코팅 장치(100)에서는 도액 공급에 따른 코팅이 행해진 후, 도액을 공급하는 노즐 장치(120)의 노즐부(126)를 포함하여 양쪽 측면에 도액 잔류물이 남게 된다. 이러한 잔류 도액을 제거하지 않은 상태로 후속적으로 도액을 공급하는 경우, 잔류 도액에 의해 일정한 양의 도액 공급이 어렵게 되거나, 도액이 잔류 도액 방향을 따라 흐르게 되어 원하는 위치에 도액의 공급이 이루어지지 않거나, 또는 심한 경우 노즐 입구 또는 슬릿 입구가 막혀 도액 공급이 불가능하게 되는 등의 문제가 발생할 수 있다.
상술한 노즐 장치(120)의 노즐부(126)의 잔류 도액 문제를 해결하기 위해, 종래 기술에서는 도액 공급 후 노즐 장치(120)의 잔류 도액을 제거하기 위한 세정 장치(cleaning device)가 사용되고 있다.
도 1c는 도 1b에 도시된 종래 기술에 따른 노즐 장치에 사용되는 세정 장치 및 세정 시스템과 시너 및 에어가 공급되는 것을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1c를 참조하면, 종래 기술의 세정 시스템(130)은 노즐 장치(120)와 직접 접촉하지 않는 비접촉형 세정 장치(140)를 포함한다. 이러한 종래 기술의 세정 시스템(130)은 서로 대향하는 제 1 및 제 2 내측면(142a,142b)을 구비하는 세정 장치(140)를 구비한 세정 헤드(150); 상기 제 1 및 제 2 내측면(142a,142b)에 각각 제공되는 복수의 제 1 및 제 2 시너 공급구(144a,144b); 상기 제 1 및 제 2 내측면(142a,142b)에 각각 제공되는 복수의 제 1 및 제 2 에어 공급구(146a,146b); 상기 복수의 제 1 및 제 2 시너 공급구(144a,144b)와 연결되는 시너 공급 관로(152); 상기 복수의 제 1 및 제 2 에어 공급구(146a,146b)와 연결되는 에어 공급 관로(154); 상기 시너 공급 관로(152)와 연결되며, 시너를 공급하는 시너 공급 장치(160); 및 상기 에어 공급 관로(154)와 연결되며, 에어를 공급하는 에어 공급 장치(170)를 포함한다. 참조부호 180은 세정 헤드(150)를 노즐 장치(120)의 길이 방향을 따라 노즐 장치(120)를 이동시키는 구동 액추에이터로 예를 들어 선형 구동 모터로 구현될 수 있다.
여기서, 에어는 에어만을 지칭하거나 또는 에어와 질소(N2)가 함유된 가스를 지칭하는 것으로 이하의 본 명세서에서는 설명의 편의상 "에어"로 지칭하기로 한다. 따라서, 본 명세서에서 사용되는 "에어"는 에어 또는 에어와 질소(N2)가 함유된 가스를 모두 포함한다는 점에 유의하여야 한다.
상술한 복수의 제 1 및 제 2 시너 공급구(144a,144b) 및 복수의 제 1 및 제 2 에어 공급구(146a,146b)에는 각각 예를 들어 착탈 가능한 노즐부재(미도시)가 제공될 수 있다. 이러한 착탈 가능한 노즐부재가 제공되는 종래 기술의 비접촉식 세정 시스템(130)은 본 출원인에 의해 2008년 9월 2일자에 "착탈가능한 세정용 노즐부재를 구비한 세정 유닛 및 이를 구비한 세정 시스템"이라는 발명의 명칭으로 대한민국 특허출원 제 10-2008-0086224호로 출원되어 2010년 3월 11일자로 공개된 대한민국 공개 특허 제10-2010-0027345호(이하 "공개 특허 345호"라 합니다)에 상세히 기술되어 있다. 이러한 공개 특허 345호에 개시된 내용은 본 명세서에 참조되어 본 발명의 일부를 이룬다.
상술한 바와 같은 노즐 장치(120)와 직접 접촉하지 않는 비접촉형 세정 장치(140)를 포함하는 종래 기술의 세정 시스템(130)은 가공이 용이한 복수의 세정용 노즐부재를 사용하므로, 1) 균일한 세정력을 얻을 수 있고, 2) 복수개의 세정용 노즐부재 중 일부가 가공 불량에 의해 균일한 세정력을 갖지 못하는 경우, 해당되는 일부 세정용 노즐부재만을 다시 제작하면 되므로 세정 유닛의 전체 제조 비용 및 시간이 절감되고, 3) 글래스 기판의 상이한 사이즈에 따라 상이한 길이를 갖는 노즐 장치의 세정 시에 적절히 대응하는 것이 용이하며, 4) 복수개의 세정용 노즐부재 중 일부가 이물로 막히는 경우, 해당 세정용 노즐부재만을 탈착하여 신속하게 이물을 제거할 수 있고, 5) 복수개의 세정용 노즐부재 중 일부에 고장이 발생한 경우, 고장난 세정용 노즐부재만을 교체할 수 있으므로 교체 프로세스가 용이할 뿐만 아니라 교체 비용 및 교체 시간이 현저하게 절감되는 장점이 달성된다.
그러나, 상술한 종래 기술의 비접촉형 세정 시스템(130)은 다음과 같은 문제점을 여전히 가지고 있다.
1. 세정 헤드(150)가 구동 액추에이터(180)에 의해 노즐 장치(120)의 길이 방향을 따라 이동하면서 세정 동작을 행하므로 세정 시간이 길어진다. 그에 따라, 전체 공정시간(tact time)도 길어져 제품 생산성이 낮아진다.
2. 복수개의 세정용 노즐부재 중 일부가 가공 불량에 의해 균일한 세정력을 갖지 못하는 경우, 해당 세정용 노즐부재의 재제작에 따른 추가 제조 비용 및 시간이 요구되며, 그에 따라 세정 장치 및 세정 시스템의 초기 설정 시간이 증가될 수 있다.
따라서, 상술한 문제점을 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다.
대한민국 공개 특허 제10-2010-0027345호
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 노즐 장치의 립(lip) 하단부에 제공되는 복수의 노즐 구멍 또는 슬릿의 도액 잔류물을 제거하는데 사용되는 세정 장치를 에어 공급구 및 시너 공급구를 함께 구비한 노즐 디스펜서 형상 또는 슬릿 다이 형상으로 구현함으로써, 에어 및 시너 공급시 세정 장치를 이동할 필요가 없으므로 세정 시간이 현저하게 감소되고, 또한 세정 장치를 이동시키기 위한 별도의 구동 장치가 불필요하므로 전체 세정 시스템의 구성 및 세정 동작이 단순화되는 개선된 노즐 장치의 세정 장치 및 세정 시스템, 및 개선된 노즐 장치의 세정 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 1 특징에 따른 노즐 장치의 세정 장치는 상기 노즐 장치의 노즐부의 일측면을 세정하도록 제공되며, 제 1 시너 공급구 및 제 1 에어 공급구를 구비하는 제 1 세정 유닛; 및 상기 노즐부의 대향 측면을 세정하도록 제공되며, 제 2 시너 공급구 및 제 2 에어 공급구를 구비하는 제 2 세정 유닛을 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 세정 유닛은 각각 노즐 디스펜서 형상 또는 슬릿 다이 형상으로 구현되고 또한 상기 노즐 장치의 노즐부의 길이와 동일하거나 더 긴 길이를 가지는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 제 2 특징에 따른 노즐 장치의 세정 시스템은 상기 노즐 장치의 노즐부의 일측면을 세정하도록 제공되며, 제 1 시너 공급구 및 제 1 에어 공급구를 구비하는 제 1 세정 유닛; 상기 노즐부의 대향 측면을 세정하도록 제공되며, 제 2 시너 공급구 및 제 2 에어 공급구를 구비하는 제 2 세정 유닛; 상기 제 1 시너 및 제 2 시너 공급구와 하나의 시너 공급 관로를 통해 연결되는 시너 공급 장치; 및 상기 제 1 및 제 2 에어 공급구와 하나의 에어 공급 관로를 통해 연결되는 에어 공급 장치를 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 세정 유닛은 각각 노즐 디스펜서 형상 또는 슬릿 다이 형상으로 구현되고 또한 상기 노즐 장치의 노즐부의 길이와 동일하거나 더 긴 길이를 가지는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 제 3 특징에 따른 노즐 장치의 세정 시스템은 상기 노즐 장치의 노즐부의 일측면을 세정하도록 제공되며, 제 1 시너 공급구 및 제 1 에어 공급구를 구비하는 제 1 세정 유닛; 상기 노즐부의 대향 측면을 세정하도록 제공되며, 제 2 시너 공급구 및 제 2 에어 공급구를 구비하는 제 2 세정 유닛; 상기 제 1 시너 및 제 2 시너 공급구와 각각 제 1 및 제 2 시너 공급 관로를 통해 연결되는 시너 공급 장치; 및 상기 제 1 및 제 2 에어 공급구와 각각 제 1 및 제 2 에어 공급 관로를 통해 연결되는 에어 공급 장치를 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 세정 유닛은 각각 노즐 디스펜서 형상 또는 슬릿 다이 형상으로 구현되고 또한 상기 노즐 장치의 노즐부의 길이와 동일하거나 더 긴 길이를 가지는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 제 4 특징에 따른 노즐 장치의 세정 방법은 a) 각각이 상기 노즐 장치의 노즐부의 길이와 동일하거나 더 긴 길이를 가지며, 복수의 노즐 구멍 또는 슬릿으로 구현되는 제 1 시너 공급구 및 제 1 에어 공급구를 구비한 제 1 세정 유닛 및 제 2 시너 공급구 및 제 2 에어 공급구를 구비한 제 2 세정 유닛을 포함하는 세정 시스템의 상부에 상기 노즐 장치를 위치시키는 단계; b) 상기 세정 시스템의 시너 공급 장치 및 에어 공급 장치를 각각 사용하여 상기 제 1 및 제 2 시너 공급구 및 상기 제 1 및 제 2 에어 공급구를 통해 각각 시너 및 에어를 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 제 5 특징에 따른 노즐 장치의 세정 방법은 a) a) 각각이 상기 노즐 장치의 노즐부의 길이와 동일하거나 더 긴 길이를 가지며, 복수의 노즐 구멍 또는 슬릿으로 구현되는 제 1 시너 공급구 및 제 1 에어 공급구를 구비한 제 1 세정 유닛 및 제 2 시너 공급구 및 제 2 에어 공급구를 구비한 제 2 세정 유닛을 포함하는 세정 시스템의 상부에 상기 노즐 장치를 위치시키는 단계; b) 상기 세정 시스템의 제 1 및 제 2 시너 공급 장치를 사용하여 상기 제 1 및 제 2 시너 공급구를 통해 시너를 개별적으로 공급하고, 또한 상기 세정 시스템의 제 1 및 제 2 에어 공급 장치를 사용하여 상기 제 1 및 제 2 에어 공급구를 통해 에어를 개별적으로 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명에 따른 개선된 노즐 장치의 세정 장치 및 세정 시스템, 및 개선된 노즐 장치의 세정 방법을 사용하면 다음과 같은 장점이 달성된다.
1. 세정 장치(240)가 노즐 장치(220)의 하부에서 정지된 상태로 한번에 세정 동작을 행하므로 세정 시간 및 전체 공정시간(tact time)이 현저하게 줄어들어 제품 생산성이 높아진다.
2. 세정 장치(240)의 제 1 및 제 2 시너 공급구(244a,244b) 및 제 1 및 제 2 에어 공급구(246a,246b)가 각각 노즐 장치(220)의 노즐부(226)와 동일한 복수의 노즐 구멍 또는 슬릿으로 구현되므로, 종래 기술과 같은 별도로 제조되는 복수개의 세정용 노즐부재를 사용할 필요가 없다.
3. 종래 기술의 복수개의 세정용 노즐부재부의 가공 불량에 의한 균일한 세정력을 갖지 못하는 문제가 발생하지 않는다.
4. 세정 장치 및 세정 시스템의 초기 설정 시간이 상당히 감소된다. 또한, 세정 장치가 노즐 장치와 별개로 제공되므로 세정 장치의 세정이 필요하거나 또는 세정 장치의 제 1 및 제 2 시너 공급구 및 제 1 및 제 2 에어 공급구 중 일부에 고장이 발생한 경우에도, 세정 장치를 노즐 장치와 분리 공정, 세정 또는 수리 공정, 및 조립 공정이 불필요하고 따라서 전체 공정 시간이 현저하게 줄어든다.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.
삭제
도 1a는 LCD 또는 PDP를 제조하기 위해 사용되는 테이블 코팅 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1b는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 노즐 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 1c는 도 1b에 도시된 종래 기술에 따른 노즐 장치에 사용되는 세정 장치 및 세정 시스템과 시너 및 에어가 공급되는 것을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 노즐 장치의 세정 장치 및 세정 시스템을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2b는 도 2a에 도시된 노즐 장치의 세정 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2c는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 노즐 장치의 세정 장치 및 세정 시스템을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 노즐 장치의 세정 방법을 도시한 플로우차트이다.
도 3b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 노즐 장치의 세정 방법을 도시한 플로우차트이다.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
도 2a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 노즐 장치의 세정 장치 및 세정 시스템을 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 2b는 도 2a에 도시된 노즐 장치의 세정 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 노즐 장치(220)의 세정 장치(240)는 상기 노즐 장치(220)의 복수의 노즐부(226)의 일측면(226a)을 세정하도록 제공되며, 제 1 시너 공급구(244a) 및 제 1 에어 공급구(246a)를 구비하는 제 1 세정 유닛(240a); 및 상기 노즐부(226)의 대향 측면(226b)을 세정하도록 제공되며, 제 2 시너 공급구(244b) 및 제 2 에어 공급구(246b)를 구비하는 제 2 세정 유닛(240b)을 포함한다. 여기서, 제 1 세정 유닛(240a)과 제 2 세정 유닛(240b)은 동일한 구성을 가지며, 상기 노즐 장치(220)와는 별개로 제공된다.
좀 더 구체적으로, 상술한 제 1 세정 유닛(240a)은 제 1 중간 립(247a)을 사이에 두고 서로 대향하여 제공되는 제 1 세정 립(243a) 및 제 2 세정 립(245a); 상기 제 1 세정 립(243a)과 상기 제 1 중간 립(247a) 사이에 형성되는 제 1 시너 공급 슬롯(slot)(253a); 상기 제 1 시너 공급 슬롯(253a)과 연결되며, 시너를 토출하는 제 1 시너 공급구(244a); 상기 제 2 세정 립(247a)과 상기 제 1 중간 립(247a) 사이에 형성되는 제 1 에어 공급 슬롯(255a); 및 상기 제 1 에어 공급 슬롯(255a)과 연결되며, 에어를 토출하는 제 1 에어 공급구(246a)를 포함한다. 또한, 제 2 세정 유닛(240b)은 제 2 중간 립(247b)을 사이에 두고 서로 대향하여 제공되는 제 3 세정 립(243b) 및 제 4 세정 립(245b); 상기 제 3 세정 립(243b)과 상기 제 2 중간 립(247b) 사이에 형성되는 제 2 시너 공급 슬롯(253b); 상기 제 2 시너 공급 슬롯(253b)과 연결되며, 시너를 토출하는 제 2 시너 공급구(244b); 상기 제 4 세정 립(247b)과 상기 제 2 중간 립(247b) 사이에 형성되는 제 2 에어 공급 슬롯(255b); 및 상기 제 2 에어 공급 슬롯(255b)과 연결되며, 에어를 토출하는 제 2 에어 공급구(246b)를 포함한다.
또한, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 노즐 장치(220)의 세정 시스템(230)은 상기 노즐 장치(220)의 노즐부(226)의 일측면(226a)을 세정하도록 제공되며, 제 1 시너 공급구(244a) 및 제 1 에어 공급구(246a)를 구비하는 제 1 세정 유닛(240a); 상기 노즐부(226)의 대향 측면(226b)을 세정하도록 제공되며, 제 2 시너 공급구(244b) 및 제 2 에어 공급구(246b)를 구비하는 제 2 세정 유닛(240b); 상기 제 1 및 제 2 시너 공급구(244a,244b)와 하나의 시너 공급 관로(252)를 통해 연결되는 시너 공급 장치(260); 및 상기 제 1 및 제 2 에어 공급구(246a,246b)와 에어 공급 관로(254)를 통해 연결되는 에어 공급 장치(270)를 포함한다.
상술한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 노즐 장치(220)의 세정 장치(240) 및 세정 시스템(230)에서, 제 1 및 제 2 세정 유닛(240a,240a)은 각각 노즐 디스펜서 형상 또는 슬릿 다이 형상으로 구현되며, 제 1 및 제 2 시너 공급구(244a,244b) 및 제 1 및 제 2 에어 공급구(246a,246b)는 도 2a 및 도 2b에 도시된 노즐 장치(220)의 노즐부(226)와 동일한 노즐부(즉, 복수의 노즐 구멍 또는 슬릿)로 구현될 수 있다. 또한, 제 1 및 제 2 세정 유닛(240a,240a)은 각각 노즐 장치(220)의 노즐부(226)의 길이와 동일하거나 더 긴 길이를 갖는 것이 바람직하다.
이하에서는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 노즐 장치(220)의 세정 장치(240) 및 세정 시스템(230)의 구체적인 구성 및 동작을 상세히 기술한다.
다시 도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 노즐 장치(220)의 세정 장치(240) 및 세정 시스템(230)은 노즐 장치(220)의 노즐부(226)의 일측면(226a)을 세정하도록 제공되는 제 1 세정 유닛(240a), 및 상기 노즐부(226)의 대향 측면(226b)을 세정하도록 제공되는 제 2 세정 유닛(240b)을 포함한다. 여기서, 제 1 및 제 2 세정 유닛(240a,240b)은 각각 노즐 디스펜서 형상 또는 슬릿 다이 형상으로 구현된다.
또한, 제 1 세정 유닛(240a)은 제 1 중간 립(247a)을 사이에 두고 서로 대향하여 제공되는 제 1 세정 립(243a) 및 제 2 세정 립(245a)을 포함한다. 제 1 세정 립(243a)과 제 1 중간 립(247a) 사이에는 제 1 시너 공급 슬롯(253a)이 형성되어 있다. 또한, 제 2 세정 립(247a)과 제 1 중간 립(247a) 사이에는 제 1 에어 공급 슬롯(255a)이 형성되어 있다. 제 1 시너 공급구(244a)는 시너를 토출하도록 제 1 시너 공급 슬롯(253a)과 연결되며, 제 1 에어 공급구(246a)는 에어를 토출하도록 제 1 에어 공급 슬롯(255a)과 연결된다.
한편, 제 2 세정 유닛(240b)은 제 2 중간 립(247b)을 사이에 두고 서로 대향하여 제공되는 제 3 세정 립(243b) 및 제 4 세정 립(245b)을 포함한다. 제 3 세정 립(243b)과 제 2 중간 립(247b) 사이에는 제 2 시너 공급 슬롯(253b)이 형성되어 있다. 또한, 제 4 세정 립(247b)과 제 2 중간 립(247b) 사이에는 제 2 에어 공급 슬롯(255b)이 형성되어 있다. 제 2 시너 공급구(244b)는 시너를 토출하도록 제 2 시너 공급 슬롯(253b)과 연결되며, 제 2 에어 공급구(246b)는 에어를 토출하도록 제 2 에어 공급 슬롯(255b)과 연결된다.
상술한 구성을 갖는 제 1 세정 유닛(240a)의 제 1 시너 공급 슬롯(253a)과 제 2 세정 유닛(240b)의 제 2 시너 공급 슬롯(253b)은 각각 하나의 시너 공급 관로(252)를 통해 시너 공급 장치(260)와 연결된다. 제 1 세정 유닛(240a)은 제 1 세정 립(243a)과 제 1 중간 립(247a) 사이에서 제 1 시너 공급 슬롯(253a)과 연결되는 제 1 시너 버퍼(248a)를 추가로 포함하고, 제 2 세정 유닛(240b)은 제 3 세정 립(243b)과 제 2 중간 립(247b) 사이에서 제 2 시너 공급 슬롯(253b)과 연결되는 제 2 시너 버퍼(248b)를 추가로 포함할 수 있다. 따라서, 하나의 시너 공급 관로(252)는 제 1 및 제 2 시너 공급 슬롯(253a,253b)과 직접 연결되거나, 또는 제 1 및 제 2 시너 버퍼(248a,248b)를 통해 제 1 및 제 2 시너 공급 슬롯(253a,253b)과 연결될 수 있다. 또한, 제 1 세정 유닛(240a)의 제 1 에어 공급 슬롯(255a)과 제 2 세정 유닛(240b)의 제 2 에어 공급 슬롯(255b)은 각각 하나의 에어 공급 관로(254)를 통해 에어 공급 장치(270)와 연결된다. 제 1 세정 유닛(240a)은 제 2 세정 립(245a)과 제 1 중간 립(247a) 사이에서 제 1 에어 공급 슬롯(255a)과 연결되는 제 1 에어 버퍼(249a)를 추가로 포함하고, 제 2 세정 유닛(240b)은 제 4 세정 립(245b)과 제 2 중간 립(247b) 사이에서 제 2 에어 공급 슬롯(255b)과 연결되는 제 2 에어 버퍼(249b)를 추가로 포함할 수 있다. 따라서, 하나의 에어 공급 관로(254)는 제 1 및 제 2 에어 공급 슬롯(255a,255b)과 직접 연결되거나, 또는 제 1 및 제 2 에어 버퍼(249a,249b)를 통해 제 1 및 제 2 에어 공급 슬롯(255a,255b)과 연결될 수 있다. 즉, 제 1 및 제 2 시너 버퍼(248a,248b) 및 제 1 및 제 2 에어 버퍼(249a,249b)의 사용은 선택사양으로 필수적으로 사용되어야 하는 것은 아니라는 점에 유의하여야 한다.
시너 공급 장치(260)가 하나의 시너 공급 관로(252)를 통해 시너를 공급하면, 공급된 시너는 제 1 및 제 2 시너 공급 슬롯(253a,253b)을 경유하거나 또는 제 1 및 제 2 시너 버퍼(248a,248b) 및 제 1 및 제 2 시너 공급 슬롯(253a,253b)을 경유하여 제 1 및 제 2 시너 공급구(244a,244b)를 통해 각각 노즐 장치(220)의 노즐부(226)의 일측면(226a) 및 대향 측면(226b) 상으로 토출된다. 이와 동시에 에어 공급 장치(270)가 하나의 에어 공급 관로(254)를 통해 에어를 공급하면, 공급된 에어는 제 1 및 제 2 에어 공급 슬롯(253a,253b)을 경유하거나 또는 제 1 및 제 2 시너 버퍼(248a,248b) 및 제 1 및 제 2 시너 공급 슬롯(253a,253b)을 경유하여 제 1 및 제 2 시너 공급구(244a,244b)를 통해 각각 노즐 장치(220)의 노즐부(226)의 일측면(226a) 및 대향 측면(226b) 상으로 토출된다.
상술한 바와 같은 본 발명의 제 1 실시예에서는, 시너 및 에어가 노즐 장치(220)의 노즐부(226)의 일측면(226a) 및 대향 측면(226b)의 전체 길이에 걸쳐 토출되므로, 세정 장치(240) 및 세정 시스템(230)을 노즐 장치(220)의 하부에서 이동시킬 필요가 없다. 따라서, 세정 시간이 현저하게 감소된다.
도 2c는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 노즐 장치의 세정 장치 및 세정 시스템을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2c에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 노즐 장치(220)의 세정 장치(240) 및 세정 시스템(230)에서는, 제 1 및 제 2 세정 유닛(240a,240b)의 제 1 및 제 2 시너 공급 슬롯(253a,253b) 또는 제 1 및 제 2 시너 버퍼(248a,248b)가 각각 별개의 제 1 및 제 2 시너 공급 관로(253a,253b)를 통해 별개의 제 1 및 제 2 시너 공급 장치(260a,260b)와 연결되고, 또한 제 1 및 제 2 세정 유닛(240a,240b)의 제 1 및 제 2 에어 공급 슬롯(253b,253b) 또는 제 1 및 제 2 에어 버퍼(249a,249b)가 각각 별개의 제 1 및 제 2 에어 공급 관로(255a,255b)를 통해 별개의 제 1 및 제 2 에어 공급 장치(270a,270b)와 연결되어 있다. 따라서, 도 2c에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 노즐 장치(220)의 세정 장치(240) 및 세정 시스템(230)에서는, 시너가 제 1 및 제 2 시너 공급 관로(253a,253b)를 통해 제 1 및 제 2 시너 공급 장치(260a,260b)로부터 제 1 및 제 2 시너 공급 슬롯(253a,253b) 또는 제 1 및 제 2 시너 버퍼(248a,248b)로 공급되고, 에어가 제 1 및 제 2 에어 공급 관로(255a,255b)를 통해 제 1 및 제 2 에어 공급 장치(270a,270b)로부터 각각 제 1 및 제 2 에어 공급 슬롯(253b,253b) 또는 제 1 및 제 2 에어 버퍼(249a,249b)를 통해 공급된다는 점을 제외하고는 도 2a에 도시된 본 발명의 제 1 실시예에 따른 노즐 장치(220)의 세정 장치(240) 및 세정 시스템(230)과 그 동작이 완전히 동일하다.
도 3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 노즐 장치의 세정 방법을 도시한 플로우차트이다.
도 3a를 도 2a 및 도 2b와 함께 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 노즐 장치의 세정 방법(300)은 a) 각각이 상기 노즐 장치(230)의 노즐부(226)의 길이와 동일하거나 더 긴 길이를 가지며, 복수의 노즐 구멍 또는 슬릿으로 구현되는 제 1 시너 공급구(244a) 및 제 1 에어 공급구(246a)를 구비한 제 1 세정 유닛(240a) 및 제 2 시너 공급구(244b) 및 제 2 에어 공급구(246b)를 구비한 제 2 세정 유닛(240a,240a)을 포함하는 세정 시스템(230)의 상부에 상기 세정 시스템(230)과는 별개로 상기 노즐 장치(230)를 위치시키는 단계(310); b) 상기 세정 시스템(230)의 시너 공급 장치(260) 및 에어 공급 장치(270)를 각각 사용하여 상기 제 1 및 제 2 시너 공급구(244a,244b) 및 상기 제 1 및 제 2 에어 공급구(246a,246b)를 통해 각각 시너 및 에어를 공급하는 단계(320)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
도 3b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 노즐 장치의 세정 방법을 도시한 플로우차트이다.
도 3b를 도 2c와 함께 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 노즐 장치의 세정 방법(300)은 a) 각각이 상기 노즐 장치(230)의 노즐부(226)의 길이와 동일하거나 더 긴 길이를 가지며, 복수의 노즐 구멍 또는 슬릿으로 구현되는 제 1 시너 공급구(244a) 및 제 1 에어 공급구(246a)를 구비한 제 1 세정 유닛(240a) 및 제 2 시너 공급구(244b) 및 제 2 에어 공급구(246b)를 구비한 제 2 세정 유닛(240a,240a)을 포함하는 세정 시스템(230)의 상부에 상기 세정 시스템(230)과는 별개로 상기 노즐 장치(230)를 위치시키는 단계(310); b) 상기 세정 시스템(230)의 제 1 및 제 2 시너 공급 장치(260a,260b)를 사용하여 상기 제 1 및 제 2 시너 공급구(244a,244b)를 통해 시너를 개별적으로 공급하고, 또한 상기 세정 시스템(230)의 제 1 및 제 2 에어 공급 장치(270a,270b)를 사용하여 상기 제 1 및 제 2 에어 공급구(246a,246b)를 통해 에어를 개별적으로 공급하는 단계(320)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.
120,220: 노즐 장치 122,222: 제 1 립 124,224: 제 2 립
128,228: 챔버 126,226: 노즐 구멍/슬릿 (노즐부)
130,230: 세정 시스템 140,240; 세정 장치
240a,240b: 세정 유닛 243a,243b245a,245b: 세정 립
144a,144b;244a,244b: 시너 공급구
146a,146b;246a,246b: 에어 공급구
247a,247b: 중간 립 180: 구동 액추에이터
152,252: 시너 공급 관로 253a,253b: 시너 공급 슬롯
154,254: 에어 공급 관로 255a,255b: 에어 공급 슬롯
160,260,260a,260b: 시너 공급 장치
170,270,270a,270b: 에어 공급 장치

Claims (14)

  1. 노즐 장치의 세정 장치에 있어서,
    상기 노즐 장치의 노즐부의 일측면을 세정하도록 제공되며, 제 1 시너 공급구 및 제 1 에어 공급구를 구비하는 제 1 세정 유닛; 및
    상기 노즐부의 대향 측면을 세정하도록 제공되며, 제 2 시너 공급구 및 제 2 에어 공급구를 구비하는 제 2 세정 유닛
    을 포함하고,
    상기 제 1 및 제 2 세정 유닛은 각각 노즐 디스펜서 형상 또는 슬릿 다이 형상으로 구현되고 또한 상기 노즐 장치의 노즐부의 길이와 동일하거나 더 긴 길이를 가지며,
    상기 제 1 및 제 2 세정 유닛은 각각 상기 노즐 장치와는 별개로 제공되는
    노즐 장치의 세정 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 세정 유닛은 제 1 중간 립을 사이에 두고 서로 대향하여 제공되는 제 1 세정 립 및 제 2 세정 립을 포함하고,
    상기 제 1 세정 립과 상기 제 1 중간 립 사이에는 시너를 토출하는 상기 제 1 시너 공급구와 연결되는 제 1 시너 공급 슬롯이 형성되어 있으며,
    상기 제 2 세정 립과 상기 제 1 중간 립 사이에는 에어를 토출하는 상기 제 1 에어 공급구와 연결되는 제 1 에어 공급 슬롯이 형성되어 있고,
    상기 제 2 세정 유닛은 제 2 중간 립을 사이에 두고 서로 대향하여 제공되는 제 3 세정 립 및 제 4 세정 립을 포함하고,
    상기 제 3 세정 립과 상기 제 2 중간 립 사이에는 시너를 토출하는 상기 제 2 시너 공급구와 연결되는 제 2 시너 공급 슬롯이 형성되어 있으며,
    상기 제 4 세정 립과 상기 제 2 중간 립 사이에는 에어를 토출하는 상기 제 2 에어 공급구와 연결되는 제 2 에어 공급 슬롯이 형성되어 있고,
    노즐 장치의 세정 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제 1 세정 립과 상기 제 1 중간 립은 상기 제 1 시너 공급 슬롯과 연결되는 제 1 시너 버퍼를 추가로 포함하고, 상기 제 3 세정 립과 상기 제 2 중간 립은 상기 제 2 시너 공급 슬롯과 연결되는 제 2 시너 버퍼를 추가로 포함하며,
    상기 제 2 세정 립과 상기 제 1 중간 립은 상기 제 1 에어 공급 슬롯과 연결되는 제 1 에어 버퍼를 추가로 포함하고, 상기 제 4 세정 립과 상기 제 2 중간 립은 상기 제 2 에어 공급 슬롯과 연결되는 제 2 에어 버퍼를 추가로 포함하는
    노즐 장치의 세정 장치.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 시너 공급구 및 상기 제 1 및 제 2 에어 공급구는 각각 복수의 노즐 구멍 또는 슬릿으로 구현되는 노즐 장치의 세정 장치.
  5. 노즐 장치의 세정 시스템에 있어서,
    상기 노즐 장치의 노즐부의 일측면을 세정하도록 제공되며, 제 1 시너 공급구 및 제 1 에어 공급구를 구비하는 제 1 세정 유닛;
    상기 노즐부의 대향 측면을 세정하도록 제공되며, 제 2 시너 공급구 및 제 2 에어 공급구를 구비하는 제 2 세정 유닛;
    상기 제 1 시너 및 제 2 시너 공급구와 하나의 시너 공급 관로를 통해 연결되는 시너 공급 장치; 및
    상기 제 1 및 제 2 에어 공급구와 하나의 에어 공급 관로를 통해 연결되는 에어 공급 장치
    를 포함하고,
    상기 제 1 및 제 2 세정 유닛은 각각 노즐 디스펜서 형상 또는 슬릿 다이 형상으로 구현되고 또한 상기 노즐 장치의 노즐부의 길이와 동일하거나 더 긴 길이를 가지며,
    상기 제 1 및 제 2 세정 유닛은 각각 상기 노즐 장치와는 별개로 제공되는
    노즐 장치의 세정 시스템.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 제 1 세정 유닛은 제 1 중간 립을 사이에 두고 서로 대향하여 제공되는 제 1 세정 립 및 제 2 세정 립을 포함하고,
    상기 제 1 세정 립과 상기 제 1 중간 립 사이에는 시너를 토출하는 상기 제 1 시너 공급구와 연결되는 제 1 시너 공급 슬롯이 형성되어 있으며,
    상기 제 2 세정 립과 상기 제 1 중간 립 사이에는 에어를 토출하는 상기 제 1 에어 공급구와 연결되는 제 1 에어 공급 슬롯이 형성되어 있고,
    상기 제 2 세정 유닛은 제 2 중간 립을 사이에 두고 서로 대향하여 제공되는 제 3 세정 립 및 제 4 세정 립을 포함하고,
    상기 제 3 세정 립과 상기 제 2 중간 립 사이에는 시너를 토출하는 상기 제 2 시너 공급구와 연결되는 제 2 시너 공급 슬롯이 형성되어 있으며,
    상기 제 4 세정 립과 상기 제 2 중간 립 사이에는 에어를 토출하는 상기 제 2 에어 공급구와 연결되는 제 2 에어 공급 슬롯이 형성되어 있는
    노즐 장치의 세정 시스템.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 제 1 세정 립과 상기 제 1 중간 립은 상기 제 1 시너 공급 슬롯과 연결되는 제 1 시너 버퍼를 추가로 포함하고, 상기 제 3 세정 립과 상기 제 2 중간 립은 상기 제 2 시너 공급 슬롯과 연결되는 제 2 시너 버퍼를 추가로 포함하며,
    상기 제 2 세정 립과 상기 제 1 중간 립은 상기 제 1 에어 공급 슬롯과 연결되는 제 1 에어 버퍼를 추가로 포함하고, 상기 제 4 세정 립과 상기 제 2 중간 립은 상기 제 2 에어 공급 슬롯과 연결되는 제 2 에어 버퍼를 추가로 포함하며,
    상기 시너 공급 장치는 상기 하나의 시너 공급 관로 및 상기 제 1 및 제 2 시너 버퍼를 통해 상기 제 1 및 제 2 시너 공급구와 각각 연결되고,
    상기 에어 공급 장치는 상기 하나의 에어 공급 관로 및 상기 제 1 및 제 2 에어 버퍼를 통해 상기 제 1 및 제 2 에어 공급구와 각각 연결되는
    노즐 장치의 세정 시스템.
  8. 제 5항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 시너 공급구 및 상기 제 1 및 제 2 에어 공급구는 각각 복수의 노즐 구멍 또는 슬릿으로 구현되는 노즐 장치의 세정 시스템.
  9. 노즐 장치의 세정 시스템에 있어서,
    상기 노즐 장치의 노즐부의 일측면을 세정하도록 제공되며, 제 1 시너 공급구 및 제 1 에어 공급구를 구비하는 제 1 세정 유닛;
    상기 노즐부의 대향 측면을 세정하도록 제공되며, 제 2 시너 공급구 및 제 2 에어 공급구를 구비하는 제 2 세정 유닛;
    상기 제 1 시너 및 제 2 시너 공급구와 각각 제 1 및 제 2 시너 공급 관로를 통해 연결되는 시너 공급 장치; 및
    상기 제 1 및 제 2 에어 공급구와 각각 제 1 및 제 2 에어 공급 관로를 통해 연결되는 에어 공급 장치
    를 포함하고,
    상기 제 1 및 제 2 세정 유닛은 각각 노즐 디스펜서 형상 또는 슬릿 다이 형상으로 구현되고 또한 상기 노즐 장치의 노즐부의 길이와 동일하거나 더 긴 길이를 가지며,
    상기 제 1 및 제 2 세정 유닛은 각각 상기 노즐 장치와는 별개로 제공되는
    노즐 장치의 세정 시스템.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 제 1 세정 유닛은 제 1 중간 립을 사이에 두고 서로 대향하여 제공되는 제 1 세정 립 및 제 2 세정 립을 포함하고,
    상기 제 1 세정 립과 상기 제 1 중간 립 사이에는 시너를 토출하는 상기 제 1 시너 공급구와 연결되는 제 1 시너 공급 슬롯이 형성되어 있으며,
    상기 제 2 세정 립과 상기 제 1 중간 립 사이에는 에어를 토출하는 상기 제 1 에어 공급구와 연결되는 제 1 에어 공급 슬롯이 형성되어 있고,
    상기 제 2 세정 유닛은 제 2 중간 립을 사이에 두고 서로 대향하여 제공되는 제 3 세정 립 및 제 4 세정 립을 포함하고,
    상기 제 3 세정 립과 상기 제 2 중간 립 사이에는 시너를 토출하는 상기 제 2 시너 공급구와 연결되는 제 2 시너 공급 슬롯이 형성되어 있으며,
    상기 제 4 세정 립과 상기 제 2 중간 립 사이에는 에어를 토출하는 상기 제 2 에어 공급구와 연결되는 제 2 에어 공급 슬롯이 형성되어 있는
    노즐 장치의 세정 시스템.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 제 1 세정 립과 상기 제 1 중간 립은 상기 제 1 시너 공급 슬롯과 연결되는 제 1 시너 버퍼를 추가로 포함하고, 상기 제 3 세정 립과 상기 제 2 중간 립은 상기 제 2 시너 공급 슬롯과 연결되는 제 2 시너 버퍼를 추가로 포함하며,
    상기 제 2 세정 립과 상기 제 1 중간 립은 상기 제 1 에어 공급 슬롯과 연결되는 제 1 에어 버퍼를 추가로 포함하고, 상기 제 4 세정 립과 상기 제 2 중간 립은 상기 제 2 에어 공급 슬롯과 연결되는 제 2 에어 버퍼를 추가로 포함하며,
    상기 시너 공급 장치는 상기 제 1 및 제 2 시너 공급 관로 및 상기 제 1 및 제 2 시너 버퍼를 통해 상기 제 1 및 제 2 시너 공급구와 각각 연결되고,
    상기 에어 공급 장치는 상기 제 1 및 제 2 에어 공급 관로 및 상기 제 1 및 제 2 에어 버퍼를 통해 상기 제 1 및 제 2 에어 공급구와 각각 연결되는
    노즐 장치의 세정 시스템.
  12. 제 9항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 시너 공급구 및 상기 제 1 및 제 2 에어 공급구는 각각 복수의 노즐 구멍 또는 슬릿으로 구현되는 노즐 장치의 세정 시스템.
  13. 노즐 장치의 세정 방법에 있어서,
    a) 각각이 상기 노즐 장치의 노즐부의 길이와 동일하거나 더 긴 길이를 가지며, 복수의 노즐 구멍 또는 슬릿으로 구현되는 제 1 시너 공급구 및 제 1 에어 공급구를 구비한 제 1 세정 유닛 및 제 2 시너 공급구 및 제 2 에어 공급구를 구비한 제 2 세정 유닛을 포함하는 세정 시스템의 상부에 상기 세정 시스템과는 별개로 상기 노즐 장치를 위치시키는 단계; 및
    b) 상기 세정 시스템의 시너 공급 장치 및 에어 공급 장치를 각각 사용하여 상기 제 1 및 제 2 시너 공급구 및 상기 제 1 및 제 2 에어 공급구를 통해 각각 시너 및 에어를 공급하는 단계
    를 포함하는 노즐 장치의 세정 방법.
  14. 노즐 장치의 세정 방법에 있어서,
    a) 각각이 상기 노즐 장치의 노즐부의 길이와 동일하거나 더 긴 길이를 가지며, 복수의 노즐 구멍 또는 슬릿으로 구현되는 제 1 시너 공급구 및 제 1 에어 공급구를 구비한 제 1 세정 유닛 및 제 2 시너 공급구 및 제 2 에어 공급구를 구비한 제 2 세정 유닛을 포함하는 세정 시스템의 상부에 상기 세정 시스템과는 별개로 상기 노즐 장치를 위치시키는 단계; 및
    b) 상기 세정 시스템의 제 1 및 제 2 시너 공급 장치를 사용하여 상기 제 1 및 제 2 시너 공급구를 통해 시너를 개별적으로 공급하고, 또한 상기 세정 시스템의 제 1 및 제 2 에어 공급 장치를 사용하여 상기 제 1 및 제 2 에어 공급구를 통해 에어를 개별적으로 공급하는 단계
    를 포함하는 노즐 장치의 세정 방법.
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