KR100684598B1 - 슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치 - Google Patents

슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치 Download PDF

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KR100684598B1
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오희석
문성일
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주식회사 나래나노텍
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Abstract

본 발명은 슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치는 외주면 둘레를 따라 형성되는 대향하는 2개의 오목형 경사면을 구비한 세정 롤(cleaning roll); 상기 세정 롤의 일측 단부에서 연장되는 회전축; 상기 2개의 오목형 경사면 상에 부착되는 쿠션부재; 상기 회전축의 일측 단부에서 상기 회전축에 연결되며, 상기 회전축을 지지하는 회전 굴대(axle); 상기 회전 굴대에 연결되며, 상기 회전 굴대를 회전시키기 위한 모터(M); 상기 2개의 오목형 경사면의 하단부에서 상기 세정 롤의 중심까지 연장되는 제 1 캐비티(cavity) 및 상기 제 1 캐비티로부터 상기 회전축의 중심을 따라 연장되는 제 2 캐비티; 및 상기 제 2 캐비티에 연결되는 진공 펌프(vacuum pump: P)를 포함하는 것을 특징으로 하고 있다.
슬릿 다이, 회전식 세정 장치

Description

슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치{Rotary-type Cleaning Device for Cleaning Slit Die}
도 1은 LCD 또는 PDP를 제조하기 위해 사용되는 테이블 코팅 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 슬릿다이 및 슬릿다이를 세정하기 위한 종래 기술의 블록형 세정 장치의 개략적인 사시도를 도시한 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 종래 기술의 블록형 세정 장치의 상세 사시도를 도시한 도면이다.
도 4는 도 1에 도시된 슬릿다이 및 슬릿다이를 세정하기 위한 종래 기술의 세정 시트(sheet)의 개략적인 사시도를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치의 사시도를 도시한 도면이다.
도 6은 도 5에 도시된 본 발명에 따른 슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치의 단면도를 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치의 사시도를 도시한 도면이다.
도 8은 도 7에 도시된 본 발명에 따른 슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치의 단면도를 도시한 도면이다.
본 발명은 슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 슬릿 다이의 노즐 부분에 하부의 코팅 잔류물을 확실하고 안정적으로 제거하기 위한 슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치를 제공하기 위한 것이다.
일반적으로 PDP 제조시 요구되는 RGB 형광체 코팅, 블랙 매트릭스 코팅, 격벽 코팅, 및 유전체 코팅과, LCD 제조시 요구되는 컬러 필터 코팅 등은 모두 통상적인 테이블 코팅 장치의 석션 테이블 상에서 이루어진다.
도 1에 개략적으로 도시된 LCD 또는 PDP를 제조하기 위해 사용되는 테이블 코팅 장치(table coater 또는 table coating apparatus)(100)에서는 코팅할 기재인 글래스(110)를 석션 테이블(120) 상에 위치시킨 후 갠트리(gantry)(125)에 부착된 슬릿 다이(130)를 수평방향으로 이동시키면서 글래스(110) 상에 필요한 코팅액을 도포시키는 방법이 사용되고 있다.
상술한 테이블 코팅 장치(100)에서 코팅이 행해진 후, 코팅액을 공급하는 슬릿 다이(130) 하부의 노즐 부분에 코팅액 잔류물이 남게 된다. 이러한 잔류 코팅액을 제거하지 않은 상태로 후속 코팅을 할 경우, 잔류 코팅액에 의해 일정한 양의 코팅액 공급이 어렵게 되거나, 코팅액이 잔류 코팅액 방향을 따라 흐르게 되어 원하는 위치에 코팅되지 않거나 또는 심한 경우 노즐 입구가 막혀 코팅이 불가능하 게 되는 등의 문제가 발생할 수 있다.
상술한 슬릿 다이(130)의 잔류 코팅액 문제를 해결하기 위해, 종래 기술에서는 코팅 후 슬릿 다이(130)의 잔류 코팅액을 제거하기 위한 세정 장치(cleaning device)가 사용되고 있다.
상술한 종래 기술의 세정 장치의 예가 도 2 및 도 3에 도시되어 있다. 좀 더 구체적으로, 도 2에는 도 1에 도시된 슬릿다이(10) 및 슬릿다이(10)를 세정하기 위한 종래 기술의 블록형 세정 장치(20)의 개략적인 사시도가 도시되어 있으며, 도 3에는 도 2에 도시된 종래 기술의 블록형 세정 장치(20)의 상세 사시도가 도시되어 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 슬릿다이(10)의 하단부 노즐에는 코팅 후 잔류 코팅액(12)이 남아 있다. 이러한 잔류 코팅액(12)을 제거하기 위해 사용되는 블록형 세정 장치(20)는 슬릿다이(10)의 하단부에 대응하는 대향하는 2개의 오목형 경사면(28,28)과 평탄부(26)를 구비하고 있다. 도 2에 도시된 블록형 세정 장치(20)는 평탄부(26)를 구비한 것으로 도시되어 있지만, 이러한 평탄부(26)는 선택 사양으로, 블록형 세정 장치(20)는 평탄부(26)가 없이 2개의 오목형 경사면(28,28) 만을 구비할 수도 있다. 이 경우, 2개의 오목형 경사면(28,28)은 각각의 하단부가 서로 접하는 V자형 경사면을 형성한다. 도 2에 도시된 블록형 세정 장치(20)의 경사면(28,28) 상에는 각각 시너(thinner) 공급용 구멍(22)과 클린 에어 및 질소(N2) 공급용 구멍(24)이 제공되어 있다. 블록형 세정 장치(20)의 시너(thinner) 공급용 구 멍(22)으로부터 시너가 공급되면, 잔류 코팅액(12)이 용해되어 희석된다. 그 후, 공급되어 용해되어 희석된 잔류 코팅액(12)은 클린 에어 및 질소(N2) 공급용 구멍(24)으로부터 공급되는 클린 에어 및 질소(N2)에 의해 제거된다. 이러한 방식으로 상술한 블록형 세정 장치(20)를 액추에이터(미도시)에 의해 슬릿다이(10)의 하단부 노즐의 길이 방향을 따라 평행 이동시키면, 소정의 코팅 동작 후 슬릿다이(10)의 하단부 노즐에 남아 있는 잔류 코팅액(12)이 블록형 세정 장치(20)에 의해 세정된 후, 슬릿다이(10)는 다시 코팅 동작을 행할 수 있게 된다.
상술한 블록형 세정 장치(20)는 주로 저점도 코팅액을 사용하는 슬릿다이(10)에 사용되는 것으로 비접촉 방식이라는 장점을 갖지만, 용해되어 희석된 잔류 코팅액(12)이 슬릿다이(10)의 하단부 노즐로부터 완전히 제거되지 않거나(제거율은 대략 95 내지 98%), 용해 및 희석제로 사용되는 시너의 일부가 슬릿다이(10)의 하단부 노즐에 남아 있다는 문제점이 발생하게 된다. 또한, 블록형 세정 장치(20)는 고점도 코팅액을 사용하는 슬릿다이(10)에 사용하는 경우 시너에 의해 잔류 고점도 코팅액이 충분히 용해되지 않아 슬릿다이(10)의 하단부 노즐에 대략 10%의 잔류 코팅액이 여전히 남아 있다는 문제점이 있다. 따라서, 블록형 세정 장치(20)를 사용하여 슬릿다이(10)를 세정하는 경우, 후속 코팅 공정시 남아 있는 일부 잔류 코팅액(12) 및/또는 일부 시너에 의해 코팅 품질이 열화되어 최종 LCD 또는 PDP 제품 불량을 야기하는 문제가 발생한다.
상술한 비접촉 방식의 블록형 세정 장치(20)의 문제점을 해결하기 위한 또 다른 종래 기술로 접촉 방식의 세정 시트가 도 4에 도시되어 있다.
도 4를 참조하면, 접촉 방식의 세정 시트(30)를 사용하는 경우, 세정 시트(30)는 소정의 기계 장치(미도시)에 장착되어 슬릿다이(10)의 하단부 노즐의 길이 방향을 따라 이동하며, 그 결과 세정 시트(30)가 슬릿다이(10)의 하단부 노즐에 남아 있는 잔류 코팅액(12)을 직접 접촉하여 닦아 내는 방식으로 세정이 이루어진다. 이러한 세정 시트(30)의 재질로는 주로 수지계열의 플라스틱 재질이 사용되며, 대표적으로 불소 수지(상품명: 테프론(Teflon) 또는 플라스틱 합성수지인 폴리카보네이트(polycarbonate)(상품명: 렉산(Lexan)가 사용된다.
상술한 접촉 방식의 세정 시트(30)는 저점도 잔류 코팅액은 물론 고점도 잔류 코팅액을 세정할 수 있다는 장점이 있지만, 접촉 방식의 특성상 슬릿다이(10)의 하단부 노즐의 잔류 코팅액이 완전히 닦여지지 않아, 일부 잔류 코팅액이 여전히 남아 있게 되어, 상술한 접촉 방식의 블록형 세정 장치(20)에서 발생하는 문제점이 여전히 발생한다.
또한, 접촉 방식의 세정 시트(30)는 슬릿다이(10)의 세정 도중에 사용된 세정 시트(30)를 계속해서 교체해주어야 하므로, 교체 시간에 따른 전체 공정시간(tact time)이 길어지며, 교체 작업이 번거롭다는 문제가 있었다.
본 발명은 기존의 슬릿다이(10)에서 코팅 후 하단부 노즐에 잔류되는 잔류 코팅액을 제거하기 위해 슬릿 다이의 잔류 코팅액과 접촉하는 부분을 회전 방식으로 구동할 수 있는 회전식 세정 장치를 단독으로 사용하거나 또는 회전식 세정 장 치와 종래 기술의 블록형 세정 장치를 함께 사용함으로써, 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것이다.
본 발명의 제 1 특징에 따르면, 노즐을 구비한 슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치에 있어서, 외주면 둘레를 따라 형성되는 대향하는 2개의 오목형 경사면을 구비한 세정 롤(cleaning roll); 상기 세정 롤의 일측 단부에서 연장되는 회전축; 상기 2개의 오목형 경사면 상에 부착되는 쿠션부재; 상기 회전축의 일측 단부에서 상기 회전축에 연결되며, 상기 회전축을 지지하는 회전 굴대(axle); 상기 회전 굴대에 연결되며, 상기 회전 굴대를 회전시키기 위한 모터(M); 상기 2개의 오목형 경사면의 하단부에서 상기 세정 롤의 중심까지 연장되는 제 1 캐비티(cavity) 및 상기 제 1 캐비티로부터 상기 회전축의 중심을 따라 연장되는 제 2 캐비티; 및 상기 제 2 캐비티에 연결되는 진공 펌프(vacuum pump: P)를 포함하는 회전식 세정 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 2 특징에 따르면, 노즐을 구비한 슬릿 다이 세정용 세정 장치에 있어서, 회전식 세정 장치; 및 블록식 세정 장치를 포함하되, 상기 회전식 세정 장치는 외주면 둘레를 따라 형성되는 대향하는 제 1 및 제 2 오목형 경사면을 구비한 세정 롤(cleaning roll); 상기 세정 롤의 일측 단부에서 연장되는 회전축; 상기 제 1 및 제 2 오목형 경사면 상에 부착되는 쿠션부재; 상기 회전축의 일측 단부에서 상기 회전축에 연결되며, 상기 회전축을 지지하는 회전 굴대(axle); 상기 회전 굴대에 연결되며, 상기 회전 굴대를 회전시키기 위한 모터(M); 상기 제 1 및 제 2 오목형 경사면의 하단부에서 상기 세정 롤의 중심까지 연장되는 제 1 캐비 티(cavity) 및 상기 제 1 캐비티로부터 상기 회전축의 중심을 따라 연장되는 제 2 캐비티; 및 상기 제 2 캐비티에 연결되는 진공 펌프(vacuum pump: P)를 포함하고, 상기 블록식 세정 장치는 대향하는 제 3 및 제 4 오목형 경사면을 구비하되, 상기 제 3 및 제 4 오목형 경사면에는 각각 시너(thinner) 공급용 구멍과 클린 에어 및 질소(N2) 공급용 구멍이 제공되며, 상기 세정 장치는 상기 블록식 세정 장치가 상기 세정 롤과 정렬된 상태로 상기 회전식 세정 장치에 고정 부착되는 일체형이거나, 또는 상기 세정 롤과 정렬된 상태로 상기 회전식 세정 장치와 고정 부착됨이 없는 분리형으로 제공되는 세정 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 3 특징에 따르면, 노즐을 구비한 슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치에 있어서, 외주면의 둘레를 따라 형성된 대향하는 2개의 오목형 경사면을 구비하며, 내부가 빈(hollow) 세정 롤(cleaning roll); 상기 세정 롤의 일측 단부에서 상기 세정 롤의 회전축 방향으로 연장되며, 내부가 빈 회전가능한 하우징; 상기 2개의 오목형 경사면 상에 부착되는 쿠션부재; 상기 하우징의 일측 단부에서 상기 하우징에 연결되며, 상기 하우징을 지지하는 회전 굴대(axle); 상기 회전 굴대에 연결되며, 상기 회전 굴대를 회전시키기 위한 모터(M); 상기 세정 롤의 내부에 상기 세정 롤과 이격되어 제공되는 비회전 고정 본체; 상기 비회전 고정 본체의 일측 단부에서 상기 하우징의 내부로 연장되는 연장부; 및 진공 펌프(vacuum pump: P)를 포함하고, 상기 세정 롤은 상기 오목형 경사면의 하단부에서 상기 세정 롤의 중심 방향으로 제 1 캐비티(cavity)를 구비하며, 상기 비회전 고정 본체는 그 외주 면의 소정 위치로부터 중심 부분까지 상기 제 1 캐비티와 정렬되는 제 2 캐비티를 구비하고, 상기 연장부는 그 내부에서 상기 제 2 캐비티로부터 상기 연장부의 길이방향을 따라 연장되는 제 3 캐비티를 구비하며, 상기 진공펌프(P)는 상기 제 3 캐비티의 일측 단부에 연결되는 회전식 세정 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 4 특징에 따르면, 노즐을 구비한 슬릿 다이 세정용 세정 장치에 있어서, 회전식 세정 장치; 및 블록식 세정 장치를 포함하되, 상기 회전식 세정 장치는 외주면의 둘레를 따라 형성된 대향하는 2개의 오목형 경사면을 구비하며, 내부가 빈(hollow) 세정 롤(cleaning roll); 상기 세정 롤의 일측 단부에서 상기 세정 롤의 회전축 방향으로 연장되며, 내부가 빈 회전가능한 하우징; 상기 2개의 오목형 경사면 상에 부착되는 쿠션부재; 상기 하우징의 일측 단부에서 상기 하우징에 연결되며, 상기 하우징을 지지하는 회전 굴대(axle); 상기 회전 굴대에 연결되며, 상기 회전 굴대를 회전시키기 위한 모터(M); 상기 세정 롤의 내부에 상기 세정 롤과 이격되어 제공되는 비회전 고정 본체; 상기 비회전 고정 본체의 일측 단부에서 상기 하우징의 내부로 연장되는 연장부; 및 진공 펌프(vacuum pump: P)를 포함하고, 상기 세정 롤은 상기 오목형 경사면의 하단부에서 상기 세정 롤의 중심 방향으로 제 1 캐비티(cavity)를 구비하며, 상기 비회전 고정 본체는 그 외주면의 소정 위치로부터 중심 부분까지 상기 제 1 캐비티와 정렬되는 제 2 캐비티를 구비하고, 상기 연장부는 그 내부에서 상기 제 2 캐비티로부터 상기 연장부의 길이방향을 따라 연장되는 제 3 캐비티를 구비하며, 상기 진공펌프(P)는 상기 제 3 캐비티의 일측 단부에 연결되고, 상기 블록식 세정 장치는 대향하는 제 3 및 제 4 오목형 경사 면을 구비하되, 상기 제 3 및 제 4 오목형 경사면에는 각각 시너(thinner) 공급용 구멍과 클린 에어 및 질소(N2) 공급용 구멍이 제공되며, 상기 세정 장치는 상기 블록식 세정 장치가 상기 세정 롤과 정렬된 상태로 상기 회전식 세정 장치에 고정 부착되는 일체형이거나, 또는 상기 세정 롤과 정렬된 상태로 상기 회전식 세정 장치와 고정 부착됨이 없는 분리형으로 제공되는 세정 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.
이하에서 본 발명의 실시예를 참조하여 본 발명을 설명한다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치의 사시도를 도시한 도면이고, 도 6은 도 5에 도시된 본 발명에 따른 슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치의 단면도를 도시한 도면이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 회전식 세정 장치(50)는 외주면(52) 둘레를 따라 형성되는 대향하는 2개의 오목형 경사면(51,51)을 구비한 세정 롤(cleaning roll: 55); 세정 롤(55)의 일측 단부에서 연장되는 회전축(56); 2개의 오목형 경사면(51,51) 상에 부착되는 쿠션부재(54); 회전축(56)의 일측 단부에서 회전축(56)에 연결되며, 회전축(56)을 지지하는 회전 굴대(axle: 58); 회전 굴대(58)에 연결되며, 회전 굴대(58)를 회전시키기 위한 모터(M); 경사면(51,51)의 하단부에서 세정 롤(55)의 중심까지 연장되는 제 1 캐비티(cavity: 57) 및 제 1 캐비티(57)로부터 회전축(56) 중심을 따라 연장되는 제 2 캐비티(59); 및 제 2 캐비티(59)에 연결되는 진공 펌프(vacuum pump: P)로 구성된다. 또한, 본 발명의 회전식 세정 장치(50)는 회전식 세정 장치(50) 전체를 도 2 및 도 4에 도시된 슬릿다이(10) 하단부의 노즐 부분의 길이 방향을 따라 평행 이동시킬 수 있는 액추에이터(미도시)를 추가로 구비할 수 있다. 이하 본 발명의 회전식 세정 장치(50)의 각 구성요소 및 이들의 기능에 대해 상세히 기술한다.
본 발명의 회전식 세정 장치(50)의 세정 롤(55)은 외주면(52) 둘레의 소정 위치에 대향하는 2개의 오목형 경사면(51,51)을 구비한다. 오목형 경사면(51,51)은 도 2 및 도 4에 도시된 슬릿다이(10) 하단부의 노즐 부분과 실질적으로 대응하는 형상을 구비한다. 세정 롤(55)의 오목형 경사면(51,51) 상에는 쿠션부재(54)가 부착된다. 쿠션부재(54)는 세정 롤(55)이 회전하여 슬릿다이(10) 하단부의 노즐 부분에 잔류하고 있는 잔류 코팅액을 제거할 때, 오목형 경사면(51,51)과 슬릿다이(10) 하단부의 노즐 부분이 직접 접촉할 경우 발생되는 노즐 부분의 마모 및/또는 변형에 의해 노즐이 막히거나 고장나는 것을 방지하기 위한 것이다. 본 발명의 회전식 세정 장치(50)에 사용되는 쿠션부재(54)로는 예를 들어 초산비닐수지가 사용될 수 있다. 그러나, 당업자라면, 초산비닐수지 이외에 쿠션 기능을 갖는 임의 재질의 쿠션부재(54)가 사용될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.
또한, 본 발명의 회전식 세정 장치(50)의 회전 굴대(58)는 회전축(56)의 일측 단부에서 회전축(56)에 연결되며, 회전축(56)을 지지한다. 모터(M)는 회전 굴대(58)에 연결되며, 회전 굴대(58)를 회전시킨다. 모터(M)에 의해 회전 굴대(58)를 회전시키면, 회전 굴대(58)에 연결된 회전축(56)과 회전축(56)에 연결된 세정 롤(55)이 동시에 회전한다. 따라서, 본 발명의 회전식 세정 장치(50)의 세정 롤(55)은 슬릿다이(10) 하단부의 노즐 부분에 잔류되는 잔류 코팅액과 회전 방식으로 접촉하면서 세정 동작을 행하게 된다.
한편, 제 1 및 제 2 캐비티(57,59)가 오목형 경사면(51,51)의 하단부에서 세정 롤(55)의 중심을 거쳐 회전축(56) 중심을 따라 연장된다. 제 1 및 제 2 캐비티(57,59)의 내부는 제 2 캐비티(59)의 일측 단부에 연결된 진공펌프(P)에 의해 진공 상태로 된다. 본 발명의 회전식 세정 장치(50)의 세정 롤(55)이 슬릿다이(10) 하단부의 노즐 부분에 잔류되는 잔류 코팅액과 회전 방식으로 접촉하면서 세정하면, 진공 상태의 제 1 및 제 2 캐비티(57,59)는 세정에 의해 슬릿다이(10) 하단부의 노즐 부분에서 분리된 잔류 코팅액을 흡착하여 외부로 배출한다. 본 발명의 제 1 실시예에서는, 하나의 제 1 캐비티(57)가 오목형 경사면(51,51)의 하단부에서 세정 롤(55)의 중심으로 연장되는 것으로 도시되어 있지만, 당업자라면 복수개의 제 1 캐비티(57)가 오목형 경사면(51,51)의 하단부에서 세정 롤(55)의 중심까지 연장되도록 제공될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다. 이 경우 세정 롤(55) 내부에 제공되는 복수개의 제 1 캐비티(57)는 세정 롤(55) 중심에서 방사상으로 배열된다.
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치의 사시도를 도시한 도면이고, 도 8은 도 7에 도시된 본 발명에 따른 슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치의 단면도를 도시한 도면이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 회전식 세정 장치(50)는 외주면(52)의 둘레를 따라 형성된 대향하는 2개의 오목형 경사면(51,51)을 구비하며, 내부가 빈(hollow) 세정 롤(cleaning roll: 55); 세정 롤(55)의 일측 단부에서 세정 롤(55)의 회전축 방향으로 연장되며, 내부가 빈 회전가능한 하우징(60); 2개의 오목형 경사면(51,51) 상에 부착되는 쿠션부재(54); 하우징(60) 일측 단부에서 하우징(60)에 연결되며, 하우징(60)을 지지하는 회전 굴대(axle: 58); 회전 굴대(58)에 연결되며, 회전 굴대(58)를 회전시키기 위한 모터(M); 상기 세정 롤(55)의 내부에 세정 롤(55)과 이격되어 제공되는 비회전 고정 본체(53); 비회전 고정 본체(53)의 일측 단부에서 하우징(60)의 내부로 연장되는 연장부(62); 및 진공 펌프(vacuum pump: P)를 포함한다. 제 1 캐비티(cavity: 57)가 오목형 경사면(51,51)의 하단부에서 세정 롤(55)의 중심 방향으로 제공된다. 비회전 고정 본체(53)는 그 외주면의 소정 위치로부터 중심부분까지 제 1 캐비티(57)와 정렬되는 제 2 캐비티(59)를 구비하고, 연장부(62)는 제 2 캐비티(59)로부터 연장부(62)의 길이 방향을 따라 연장되는 제 3 캐비티(63)를 구비한다. 제 3 캐비티(63)의 일측 단부는 진공 펌프(P)에 연결된다. 또한, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 회전식 세정 장치(50)는 회전식 세정 장치(50) 전체를 도 2 및 도 4에 도시된 슬릿다이(10) 하단부의 노즐 부분의 길이 방향을 따라 평행 이동시킬 수 있는 액추에이터(미도시)를 추가로 구비할 수 있다.
상술한 본 발명의 제 1 실시예의 세정 롤(55)과 회전축(56)은 제 2 실시예에서는 내부가 빈 세정 롤(55) 및 내부가 빈 하우징(60)과 비회전 고정 본체(53) 및 연장부(62)로 분리되어 제공된다는 점을 제외하고는 실질적으로 동일하다. 따라서, 제 1 실시예에 따른 회전식 세정 장치(50)에서는 세정 롤(55)과 회전축(56)이 회전하지만, 제 2 실시예에 따른 회전식 세정 장치(50)에서는 세정 롤(55)과 하우징(60)은 회전하지만, 비회전 고정 본체(53)와 연장부(62)는 회전하지 않으므로, 제 2 실시예의 경우가 제 1 실시예에 비해 모터(M)에 걸리는 부하(또는 하중)가 상당히 적다는 것을 알 수 있다.
상술한 본 발명의 회전식 세정 장치(50)에 사용되는 세정 롤(55)은 저점도 잔류 코팅액 및 고점도 잔류 코팅액을 사용하는 슬릿다이(10)에 모두 사용될 수 있다. 그러나, 저점도 잔류 코팅액을 사용하는 슬릿다이(10)에서 잔류 코팅액이 굳어진 경우 또는 고점도 잔류 코팅액을 사용하는 슬릿다이(10)의 경우, 본 발명의 회전식 세정 장치(50) 만으로는 잔류 코팅액을 완전히 제거하는 것이 불가능할 수도 있다. 이 경우, 도 2 및 도 3에 도시된 종래 기술의 블록형 세정 장치(20)가 본 발명의 회전식 세정 장치(50)와 함께 사용될 수도 있다. 즉, 종래 기술의 블록형 세정 장치(20)를 세정 롤(55) 부분에 정렬된 상태로 본 발명의 회전식 세정 장치(50)에 일체형으로 고정 부착하여, 세정 롤(55)에 의한 잔류 코팅액을 대부분 제거하는 세정을 먼저 행한 다음, 후속적으로 블록형 세정 장치(20)에 의해 미세하게 존재하는 잔류 코팅액을 세정하면, 실질적으로 완전한 세정이 이루어질 수 있다. 또한, 블록형 세정 장치(20)와 회전식 세정 장치(50)가 고정 부착된 일체형 세정 장치의 경우도, 상술한 바와 같이 슬릿다이(10) 하단부의 노즐 부분의 길이 방향을 따라 평행 이동시킬 수 있는 액추에이터(미도시)를 추가로 구비할 수 있다. 나아가, 블 록형 세정 장치(20)와 회전식 세정 장치(50)를 고정 부착시킨 일체형 세정 장치 대신에, 블록형 세정 장치(20)와 회전식 세정 장치(50)가 고정 부착되지 않은 분리형 세정 장치를 사용할 수도 있다. 이 경우, 블록형 세정 장치(20)와 회전식 세정 장치(50)는 각각 별개의 액추에이터(미도시)에 의해 각각 독립적으로 슬릿다이(10) 하단부의 노즐 부분의 길이 방향을 따라 평행 이동하는 것이 가능하다.
상술한 본 발명의 슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치를 사용하는 경우, 저점도 및 고점도 잔류 코팅액의 제거가 용이하게 이루어질 수 있다는 효과가 달성된다.
또한, 본 발명의 슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치는 저점도 및 고점도 잔류 코팅액을 실질적으로 완전하게 제거할 수 있으므로, 잔류 코팅액의 불완전 제거로 인한 최종 제품의 품질의 불량 원인을 획기적으로 줄일 수 있다는 효과가 달성된다.
나아가, 본 발명의 슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치는 접촉 방식의 세정 시트에 비해 시트 교체가 불필요하므로 전체 공정시간(tact time)이 단축될 뿐만 아니라, 시트 교체 작업에 따른 번거로움을 피할 수 있다는 장점이 달성된다.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.

Claims (20)

  1. 노즐을 구비한 슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치에 있어서,
    외주면 둘레를 따라 형성되는 대향하는 2개의 오목형 경사면을 구비한 세정 롤(cleaning roll);
    상기 세정 롤의 일측 단부에서 연장되는 회전축;
    상기 2개의 오목형 경사면 상에 부착되는 쿠션부재;
    상기 회전축의 일측 단부에서 상기 회전축에 연결되며, 상기 회전축을 지지하는 회전 굴대(axle);
    상기 회전 굴대에 연결되며, 상기 회전 굴대를 회전시키기 위한 모(M);
    상기 2개의 오목형 경사면의 하단부에서 상기 세정 롤의 중심까지 연장되는 제 1 캐비티(cavity) 및 상기 제 1 캐비티로부터 상기 회전축의 중심을 따라 연장되는 제 2 캐비티; 및
    상기 제 2 캐비티에 연결되는 진공 펌프(vacuum pump: P)
    를 포함하는 회전식 세정 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 회전식 세정 장치는 상기 회전식 세정 장치를 상기 노즐의 길이 방향을 따라 평행 이동시킬 수 있는 액추에이터를 추가로 포함하는 회전식 세정 장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 제 1 캐비티가 상기 평탄부의 소정 위치에서 상기 세정 롤의 중심까지 방사상으로 복수개 제공되는 회전식 세정 장치.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 쿠션부재의 재질이 초산비닐수지인 회전식 세정 장치.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 쿠션부재의 재질이 초산비닐수지인 회전식 세정 장치.
  6. 노즐을 구비한 슬릿 다이 세정용 세정 장치에 있어서,
    회전식 세정 장치; 및
    블록식 세정 장치
    를 포함하되,
    상기 회전식 세정 장치는
    외주면 둘레를 따라 형성되는 대향하는 제 1 및 제 2 오목형 경사면을 구비한 세정 롤(cleaning roll);
    상기 세정 롤의 일측 단부에서 연장되는 회전축; 상기 제 1 및 제 2 오목형 경사면 상에 부착되는 쿠션부재;
    상기 회전축의 일측 단부에서 상기 회전축에 연결되며, 상기 회전축을 지지 하는 회전 굴대(axle);
    상기 회전 굴대에 연결되며, 상기 회전 굴대를 회전시키기 위한 모터(M);
    상기 제 1 및 제 2 오목형 경사면의 하단부에서 상기 세정 롤의 중심까지 연장되는 제 1 캐비티(cavity) 및 상기 제 1 캐비티로부터 상기 회전축의 중심을 따라 연장되는 제 2 캐비티; 및
    상기 제 2 캐비티에 연결되는 진공 펌프(vacuum pump: P)
    를 포함하고,
    상기 블록식 세정 장치는 대향하는 제 3 및 제 4 오목형 경사면을 구비하되, 상기 제 3 및 제 4 오목형 경사면에는 각각 시너(thinner) 공급용 구멍과 클린 에어 및 질소(N2) 공급용 구멍이 제공되며,상기 세정 장치는 상기 블록식 세정 장치가 상기 세정 롤과 정렬된 상태로 상기 회전식 세정 장치에 고정 부착되는 일체형이거나, 또는 상기 세정 롤과 정렬된 상태로 상기 회전식 세정 장치와 고정 부착됨이 없는 분리형으로 제공되는
    세정 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 세정 장치는 일체형인 경우 상기 회전식 세정 장치 및 상기 블록식 세정 장치 전체를 상기 노즐의 길이 방향을 따라 평행 이동시킬 수 있는 하나의 액추에이터를 추가로 포함하고, 분리형인 경우 상기 회전식 세정 장치 및 상기 블록식 세정 장치를 상기 노즐의 길이 방향을 따라 개별적으로 평행 이동시킬 수 있는 2개의 액추에이터를 추가로 포함하는 세정 장치.
  8. 제 6항 또는 제 7항에 있어서,
    상기 제 1 캐비티가 상기 제 1 및 제 2 오목형 경사면의 하단부에서 상기 세정 롤의 중심까지 방사상으로 복수개 제공되는 세정 장치.
  9. 제 6항 또는 제 7항에 있어서,
    상기 쿠션부재의 재질이 초산비닐수지인 세정 장치.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 쿠션부재의 재질이 초산비닐수지인 세정 장치.
  11. 노즐을 구비한 슬릿 다이 세정용 회전식 세정 장치에 있어서,
    외주면의 둘레를 따라 형성된 대향하는 2개의 오목형 경사면을 구비하며, 내부가 빈(hollow) 세정 롤(cleaning roll);
    상기 세정 롤의 일측 단부에서 상기 세정 롤의 회전축 방향으로 연장되며, 내부가 빈 회전가능한 하우징;
    상기 2개의 오목형 경사면 상에 부착되는 쿠션부재;
    상기 하우징의 일측 단부에서 상기 하우징에 연결되며, 상기 하우징을 지지 하는 회전 굴대(axle);
    상기 회전 굴대에 연결되며, 상기 회전 굴대를 회전시키기 위한 모터(M);
    상기 세정 롤의 내부에 상기 세정 롤과 이격되어 제공되는 비회전 고정 본체;
    상기 비회전 고정 본체의 일측 단부에서 상기 하우징의 내부로 연장되는 연장부; 및
    진공 펌프(vacuum pump: P)
    를 포함하고,
    상기 세정 롤은 상기 오목형 경사면의 하단부에서 상기 세정 롤의 중심 방향으로 제 1 캐비티(cavity)를 구비하며,
    상기 비회전 고정 본체는 그 외주면의 소정 위치로부터 중심 부분까지 상기 제 1 캐비티와 정렬되는 제 2 캐비티를 구비하고,
    상기 연장부는 그 내부에서 상기 제 2 캐비티로부터 상기 연장부의 길이방향을 따라 연장되는 제 3 캐비티를 구비하며,
    상기 진공펌프(P)는 상기 제 3 캐비티의 일측 단부에 연결되는
    회전식 세정 장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 회전식 세정 장치는 상기 회전식 세정 장치를 상기 노즐의 길이 방향을 따라 평행 이동시킬 수 있는 액추에이터를 추가로 포함하는 회전식 세정 장치.
  13. 제 11항 또는 제 12항에 있어서,
    상기 제 2 캐비티가 상기 비회전 고정 본체의 외주면 둘레에서 상기 비회전 고정 본체의 중심까지 방사상으로 복수개 제공되는 회전식 세정 장치.
  14. 제 11항 또는 제 12항에 있어서,
    상기 쿠션부재의 재질이 초산비닐수지인 회전식 세정 장치.
  15. 제 13항에 있어서,
    상기 쿠션부재의 재질이 초산비닐수지인 회전식 세정 장치.
  16. 노즐을 구비한 슬릿 다이 세정용 세정 장치에 있어서,
    회전식 세정 장치; 및
    블록식 세정 장치
    를 포함하되,
    상기 회전식 세정 장치는
    외주면의 둘레를 따라 형성된 대향하는 2개의 오목형 경사면을 구비하며, 내부가 빈(hollow) 세정 롤(cleaning roll);
    상기 세정 롤의 일측 단부에서 상기 세정 롤의 회전축 방향으로 연장되며, 내부가 빈 회전가능한 하우징;
    상기 2개의 오목형 경사면 상에 부착되는 쿠션부재; 상기 하우징의 일측 단부에서 상기 하우징에 연결되며, 상기 하우징을 지지하는 회전 굴대(axle);
    상기 회전 굴대에 연결되며, 상기 회전 굴대를 회전시키기 위한 모터(M);
    상기 세정 롤의 내부에 상기 세정 롤과 이격되어 제공되는 비회전 고정 본체;
    상기 비회전 고정 본체의 일측 단부에서 상기 하우징의 내부로 연장되는 연장부; 및
    진공 펌프(vacuum pump: P)
    를 포함하고,
    상기 세정 롤은 상기 오목형 경사면의 하단부에서 상기 세정 롤의 중심 방향으로 제 1 캐비티(cavity)를 구비하며,
    상기 비회전 고정 본체는 그 외주면의 소정 위치로부터 중심 부분까지 상기 제 1 캐비티와 정렬되는 제 2 캐비티를 구비하고,
    상기 연장부는 그 내부에서 상기 제 2 캐비티로부터 상기 연장부의 길이방향을 따라 연장되는 제 3 캐비티를 구비하며,상기 진공펌프(P)는 상기 제 3 캐비티의 일측 단부에 연결되고,
    상기 블록식 세정 장치는 대향하는 제 3 및 제 4 오목형 경사면을 구비하되, 상기 제 3 및 제 4 오목형 경사면에는 각각 시너(thinner) 공급용 구멍과 클린 에어 및 질소(N2) 공급용 구멍이 제공되며,
    상기 세정 장치는 상기 블록식 세정 장치가 상기 세정 롤과 정렬된 상태로 상기 회전식 세정 장치에 고정 부착되는 일체형이거나, 또는 상기 세정 롤과 정렬된 상태로 상기 회전식 세정 장치와 고정부착됨이 없는 분리형으로 제공되는
    세정 장치.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 세정 장치는 일체형인 경우 상기 회전식 세정 장치 및 상기 블록식 세정 장치 전체를 상기 노즐의 길이 방향을 따라 평행 이동시킬 수 있는 하나의 액추에이터를 추가로 포함하고, 분리형인 경우 상기 회전식 세정 장치 및 상기 블록식 세정 장치를 상기 노즐의 길이 방향을 따라 개별적으로 평행 이동시킬 수 있는 2개의 액추에이터를 추가로 포함하는 세정 장치.
  18. 제 16항 또는 제 17항에 있어서,
    상기 제 2 캐비티가 상기 비회전 고정 본체의 외주면 둘레에서 상기 비회전 고정 본체의 중심까지 방사상으로 복수개 제공되는 세정 장치.
  19. 제 16항 또는 제 17항에 있어서,
    상기 쿠션부재의 재질이 초산비닐수지인 세정 장치.
  20. 제 18항에 있어서,
    상기 쿠션부재의 재질이 초산비닐수지인 세정 장치.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100862054B1 (ko) * 2007-05-23 2008-10-09 주식회사 나래나노텍 개선된 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이 및테이블 코팅 장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003285014A (ja) * 2002-03-28 2003-10-07 Ngk Insulators Ltd 口金の洗浄方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003285014A (ja) * 2002-03-28 2003-10-07 Ngk Insulators Ltd 口金の洗浄方法
KR20040101346A (ko) * 2002-03-28 2004-12-02 니뽄 가이시 가부시키가이샤 다이의 세정 방법

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1020040101346
15285014

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100862054B1 (ko) * 2007-05-23 2008-10-09 주식회사 나래나노텍 개선된 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이 및테이블 코팅 장치

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