KR101091615B1 - 처짐 변형이 억제되는 프라이밍 롤러를 구비한 기판 코터 장치의 프라이밍 기구. - Google Patents

처짐 변형이 억제되는 프라이밍 롤러를 구비한 기판 코터 장치의 프라이밍 기구. Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판 코터 장치의 프라이밍 기구에 관한 것으로, 슬릿 형태의 토출구를 갖는 슬릿 노즐로부터 약액이 배출되어 기판의 표면에 약액을 도포하는 기판 코터 장치에 있어서, 내부에 중공부가 형성된 실린더 형상으로 형성되어, 상기 슬릿 노즐의 예비 토출 공정에 사용되는 프라이밍 롤러와; 중앙부가 볼록하게 휜 활 형상으로 형성되고 상기 중공부 내에 설치되어, 상기 프라이밍 롤러의 처짐 변형 시에 상기 롤러의 내벽과 접촉하여 상기 프라이밍 롤러의 처짐을 억제하는 활형 보강재를; 포함하여 구성되어, 슬릿 노즐의 폭에 대응하는 폭과 직경을 갖는 프라이밍 롤러의 대형화에 따라 그 자중에 의한 처짐 변형이 발생되더라도, 그 중공부에 미리 설치된 활형 보강재에 의해 프라이밍 롤러의 중앙부의 처짐이 지지되도록 함으로써, 프라이밍 롤러의 처짐을 억제하여 슬릿 노즐의 예비 토출 공정을 신뢰성있게 일정하게 행할 수 있도록 하는 기판 코터 장치의 프라이밍 기구를 제공한다.
롤러, 활형 보강재, 프라이밍 롤러, 기판 코터 장치, 처짐, 힘 조절

Description

처짐 변형이 억제되는 프라이밍 롤러를 구비한 기판 코터 장치의 프라이밍 기구. {PRIMIMING DEVICE INCLUDING PRIMING ROLLER OF RESTRICTING DEFLECTION THEREOF USED IN SUBSTRATE COATER APPARATUS }
본 발명은 기판 코터 장치의 프라이밍 기구에 관한 것으로, 슬릿 노즐의 폭이 길이짐에 따라 프라이밍 롤러의 폭과 직경이 길어지더라도 그 자중에 의한 처짐이 억제되어 슬릿 노즐이 균일하게 프라이밍 롤러의 외주면에 근접 내지 접촉하여 예비 토출 작용을 신뢰성있게 행할 수 있도록 하는 기판 코터 장치의 프라이밍 기구에 관한 것이다.
기판 코터 장치는 엘씨디 등의 디스플레이 장치를 제작하는 과정에서 유리 등의 재질로 제작된 기판에 포토리지스트(PR) 등의 감광성 약액을 일정한 두께로 도포하는 장치를 말한다.
기판 코터 장치를 이용하여 기판에 약액을 도포하는 공정은 시종 일관되게 일정한 두께로 일정한 점도의 약액을 도포하는 것이 매우 중요한 데, 이를 위해서는 노즐로부터 약액이 토출되기 시작하는 시점에서 급작스럽게 많은 약액이 토출되 는 것을 방지하는 것이 필요하다.
또한, 기판을 코팅하는 공정 사이의 대기 시간에 노즐끝단의 약액이 공기와 접촉하여 약액의 점도가 국부적으로 높아지는 데, 예정된 점도보다 높은 점도의 약액이 기판에 도포된 후 경화되면, 코팅막에 금이 가거나 코팅막이 골이 발생되는 심각한 결함이 발생되므로, 대기 시간 동안에 경화된 약액이 기판의 표면에 도포되는 것을 방지하는 것도 필요하다.
이를 위하여, 기판 코터 장치의 약액 토출용 노즐은 기판에 약액을 도포하기 이전에 실린더 형상의 프라이밍 롤러에 매우 근접한 상태에서 적은 양의 약액을 예비 토출하여 노즐의 토출구에 비드를 형성하는 공정이 기판에 약액을 도포하는 공정의 이전에 수행하게 된다.
예비 토출 공정이 완료되면, 기판 코터 장치의 노즐에 의해 기판의 표면에 약액이 도포되는 동안에, 프라이밍 기구의 프라이밍 롤러는 회전하면서 표면에 노즐의 비드 형성을 위한 예비 토출 과정에서 묻은 약액을 세척하여, 그 다음 기판의 도포 공정 이전의 예비 토출 과정을 원활하게 수행할 수 있도록 한다.
도 1은 일반적인 프라이밍 기구가 구비된 기판 코터 장치를 나타낸 사시도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 기판 코터 장치는 기판척(10)과, 상기 기판척(10) 일측에 노즐의 예비 토출을 행하기 위해 설치된 프라이밍 기구(20)와, 상기 기판척(10) 및 프라이밍 기구(20)의 상부에 위치한 슬릿 노즐(30)로 구성된다.
상기 기판척(10)은 유리 기판(G)을 안착시키기 위해 통상 유리 기판보다 큰 직사각형 형상으로 형성되고, 상면에는 유리 기판(G)을 요동 없이 안착시키기 위하여 진공 펌프와 연통된 다수개의 진공홀(미도시)이 형성된다.
상기 프라이밍 기구(20)는 기판척(10) 일측에 위치하며, 기판(G)에 약액을 도포하기 이전에 슬릿 노즐(30)이 이동하여 그 토출구가 프라이밍 롤러(22)의 표면에 근접한 상태에서 예비 토출을 행하여 토출구에 비드 형성을 하는 것을 보조한다. 그리고, 슬릿 노즐(30)의 비드 형성 공정에서 프라이밍 롤러(22)의 표면에 묻은 약액은 프라이밍 롤러(22)의 회전에 의해 세정조(24) 내에서 세척되어, 그 다음 기판 코팅 공정을 위한 예비 토출 공정을 준비한다. 여기서, 세정조(24)에는 세정액이 담겨져 프라이밍 롤러(22)가 회전하면서 일부가 침지되는 과정을 통해 프라이밍 롤러(22)가 세척되며, 세정조(24) 상부의 개구를 통해 프라이밍 롤러(22)의 상부가 외부로 노출되어 슬릿 노즐(30)의 예비 토출을 행할 수 있도록 한다.
상기 슬릿 노즐(30)은 약액 공급부(미도시)로부터 기포없는 약액을 공급받아 기판(G)의 표면에 일정한 두께로 약액을 도포한다. 이 때, 도면에는 기판(G)이 기판척(10)에 고정되어 있고, 슬릿 노즐(30)이 이동하면서 약액을 도포하는 구성을 예로 들었지만, 도포 공정 중에 슬릿 노즐(30)이 고정되고 기판(G)이 이동하면서 그 표면에 약액이 도포될 수도 있다. 어느 경우든지 슬릿 노즐(30)의 예비 토출을 위하여 슬릿 노즐(30)을 이동시켜야 하므로, 슬릿 노즐(30)을 이동시키는 갠츄리(미도시)가 구비된다.
슬릿 노즐(30)의 예비 토출 공정은, 슬릿 노즐(30)이 수평 이동하여 프라이 밍 기구(20)의 프라이밍 롤러(22)에 슬릿 노즐(30)의 토출구가 근접 이동한 상태에서, 프라이밍 롤러(22)의 표면에 약간의 약액을 토출하는 것에 의해 예비 토출이 이루어진다.
그리고, 예비 토출 공정에서 프라이밍 롤러(22)의 표면에는 약액이 묻게 되므로, 그 다음 기판 도포 공정을 위한 비드 형성 공정에서 슬릿 노즐(30)의 토출구가 깨끗한 표면의 프라이밍 롤러(22)의 표면에서 예비 토출할 수 있도록 프라이밍 롤러(22)는 회전축을 중심으로 회전하여, 세정조(24) 내의 세정액으로 침지되어 세척된다. 일반적으로, 프라이밍 기구(20)의 세정조(24) 내에는 세정액 이외에, 세정액 적하 유닛, 블레이드, 세정액 분사기, CDA(Clean Dry Air)건조기 등 여러 세정 유닛이 설치되어 프라이밍 롤러(22)의 표면을 깨끗하게 세척하지만, 이에 관한 상세한 설명과 구성은 생략하기로 한다.
도 2는 종래의 프라이밍 기구의 프라이밍 롤러의 종단면도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 프라이밍 롤러(22)는 중공형 실린더 형상으로 형성되는 원주부(22a)와, 상기 원주부(22a)의 양단에 일체로 결합된 회전축(22b)으로 구성된다.
상기한 바와 같은 프라이밍 롤러(22)는 기판(G)의 대형화에 따라 점차 큰 폭과 큰 직경으로 제작되며, 대략 직경 260mm, 폭 2,500mm이상의 롤러가 사용되고 있다. 이와 같이 큰 직경과 폭을 갖는 프라이밍 롤러(22)는 그 자체의 자중이 커짐에 따라 그 자중에 의해서 롤러 중앙부의 처짐이 발생되었다. 이에 따라, 예비 토출을 하고자 하는 슬릿 노즐(30)은 중앙부에서 프라이밍 롤러(22)와의 간극이 양단에서 의 프라이밍 롤러(22)와의 간극에 비해 더 커짐에 따라, 슬릿 노즐(30)이 비드 형성을 하고자 프라이밍 롤러(22)에 근접하여 예비 토출을 하더라도, 중앙부와 양 단부 사이의 간극이 일정하지 않아, 슬릿 노즐(30)의 비드 형성이 균일하지 않게 되어 기판의 약액 도포 공정에 악영향을 미쳐 도포 불량을 유발하는 문제점이 야기되었다.
즉, 프라이밍 롤러(22)의 중앙부에 처짐이 커지면, 예비 토출 공정에서 슬릿 노즐(30)과의 간격을 일정하게 유지할 수 없게 되고, 이로 인해 예비토출작업이 제대로 이루어지지 않아 약액의 토출면이 불규칙해지는 문제가 있었으며, 이는, 제품의 불량문제로 이어지기 때문에 프라이밍 롤러의 처짐을 보정해주거나 교체해주는 작업이 이루어지게 되는데, 이와 같은 작업을 수행하는 시간 동안 기판의 도포 공정이 전면 중단되기 때문에 생산 효율이 저하되는 문제점이 야기되었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 슬릿 노즐의 폭이 길이짐에 따라 프라이밍 롤러의 폭과 직경이 길어지더라도 그 자중에 의한 처짐이 억제되어 슬릿 노즐이 균일하게 프라이밍 롤러의 외주면에 근접 내지 접촉하여 예비 토출 공정을 신뢰성있게 행할 수 있도록 하는 기판 코터 장치의 프라이밍 기구 및 이를 구비한 기판 코터 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 중량이 커진 프라이밍 롤러의 처짐을 억제함으로써, 슬릿 노즐의 예비 토출 공정이 신뢰성있게 행할 수 있게 되고, 이를 통해 기판의 코팅 공정의 효율을 보다 향상시키는 것을 다른 목적으로 한다.
본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위하여, 슬릿 형태의 토출구를 갖는 슬릿 노즐로부터 약액이 배출되어 기판의 표면에 약액을 도포하는 기판 코터 장치에 있어서, 내부에 중공부가 형성된 실린더 형상으로 형성되어, 상기 슬릿 노즐의 예비 토출 공정에 사용되는 프라이밍 롤러와; 중앙부가 볼록하게 휜 활 형상으로 형성되고 상기 중공부 내에 설치되어, 상기 프라이밍 롤러의 처짐 변형 시에 상기 롤러의 내벽과 접촉하여 상기 프라이밍 롤러의 처짐을 억제하는 활형 보강재를; 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 프라이밍 기구를 제공한다.
이는, 기판의 대형화에 따라 슬릿 노즐의 폭에 대응하는 폭과 직경을 갖는 프라이밍 롤러의 대형화에 따라 그 자중에 의한 처짐 변형이 발생되더라도, 그 중공부에 미리 설치된 활형 보강재에 의해 프라이밍 롤러의 중앙부의 처짐이 지지되도록 함으로써, 프라이밍 롤러의 처짐을 억제하여 슬릿 노즐의 예비 토출 공정을 신뢰성있게 일정하게 행할 수 있도록 하기 위함이다.
그리고, 상기 활형 보강재가 보다 큰 지지 능력을 갖도록 하기 위하여 활형 보강재의 중앙부가 볼록해지는 힘이 가해진 상태로 상기 중공부 내부에 설치되는 것이 보다 효과적이다.
그리고, 상기 활형 보강재는 상기 프라이밍 롤러의 외주 방향을 따라 방사형 (放射形)으로 다수 배열되어, 원주 방향을 따라 균일하게 지지하여 활형 보강재의 설치를 보다 용이하게 할 수 있다.
상기 활형 보강재의 중앙부가 볼록해지는 힘을 조절하는 힘 조절수단이 상기 활형 보강재의 일단부 이상에 설치될 수도 있다. 이 때, 상기 힘 조절 수단이 상기 활형 보강재의 양단부에 설치될 수 있다.
여기서, 상기 힘 조절수단은, 상기 프라이밍 롤러의 양단부의 중앙부에 형성된 암나사부에 맞물리는 수나사부가 외주면에 형성되고, 상기 활형 보강재의 끝단이 고정된 조절 몸체를 구비하여, 상기 조절 몸체가 상기 암나사부의 축선 방향을 따라 이동하는 것에 의해 상기 활형 보강재의 중앙부를 볼록하게 하는 힘이 조절된다.
이 때, 상기 힘 조절수단은, 상기 조절 몸체의 외측단에는 공구를 삽입시켜 회전력이 전달되도록 한 공구홈이 형성되어, 상기 공구홈에 공구를 삽입하여 회전 시키는 것에 의해 상기 활형 보강재의 중앙부에 도입되는 볼록해지는 힘의 크기가 조절되도록 구성될 수도 있다. 이 때, 상기 공구홈은 일자나 십자 드라이버의 홈 또는 육각렌치 홈일 수 있다.
또한, 상기 조절 몸체의 회전에 따라 상기 활형 보강재가 함께 회전하는 것을 방지하기 위하여, 상기 조절 몸체와 상기 활형 보강재의 사이에는 상기 조절 몸체와 상기 활형 보강재 사이의 상대 회전 운동을 가능하게 하는 베어링이 개재된 것이 바람직하다.
한편, 본 발명은 내부에 중공부가 형성된 실린더 형상으로 형성된 롤러와; 중앙부가 볼록하게 휜 활 형상으로 형성되고 상기 중공부 내에 설치되어, 상기 롤러의 처짐 변형 시에 상기 롤러의 내벽과 접촉하여 상기 롤러의 처짐을 억제하는 활형 보강재를 포함하여 구성된 롤러의 처짐 방지 구조를 제공한다.
이 때, 상기 활형 보강재는 그 중앙부가 볼록해지는 힘이 가해진 상태로 상기 중공부 내부에 설치되는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 활형 보강재는 상기 롤러의 외주 방향을 따라 방사형 (放射形)으로 다수 배열된 것이 효과적이다.
또한, 상기 활형 보강재의 중앙부가 볼록해지는 힘을 조절하는 힘 조절수단이 상기 활형 보강재의 일단부 이상에 설치된 것이 보다 효과적이다.
이상으로부터 본 발명은 프라이밍 롤러의 중공형 몸체 내에 활형 보강재를 설치시켜 자중에 의한 휨변형이 억제되도록 함으로써, 프라이밍 롤러의 중량을 크게 증대시키지 않으면서 신뢰성있는 예비 토출(즉, 프라이밍) 공정을 가능하게 하는 유리한 효과가 얻어진다.
또한, 본 발명은 힘 조절수단에 의해 활형 보강재의 중앙부가 볼록해지는 힘을 쉽게 조절할 수 있으므로, 자중에 의한 프라이밍 롤러의 처짐이 최초 설정된 것보다 더 큰 경우에도, 프라이밍 롤러를 분해하지 않고서 힘 조절 수단을 통해 중앙부의 볼록해지는 힘을 더 크게 조절함으로써 간단하고 신속하게 프라이밍 롤러의 자중에 의한 처짐을 쉽게 보정할 수 있다.
따라서, 본 발명은 프라이밍 롤러의 수명을 연장할 수 있을 뿐만 아니라 균일한 품질의 코팅제품을 얻도록 하는 데 기여한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대해 첨부된 도면을 참조하여 자세히 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코터 장치의 프라이밍 기구의 프라이밍 롤러의 구성을 도시한 종단면도, 도 4는 도 3의 일단부의 본 발명에 따른 롤러 휨 변형 방지구조의 요부 확대도이다.
도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코터 장치의 프라이밍 기구(100)는 슬릿 형태의 토출구를 갖는 슬릿 노즐로부터 약액이 배출되어 기판의 표면에 약액을 도포하는 기판 코터 장치에 사용되는 기구로서, 양단에 고정된 회전축(120)을 중심으로 회전 가능하게 설치된 프라이밍 롤러(110)와, 프라이밍 롤러(110)의 중공부에 삽입 설치되어 프라이밍 롤러(110)의 중앙부 처짐을 억제하는 활형 보강재(130)와, 회전축(120)의 축 중심에 활형 보강재(130)의 중앙부를 볼록하게 하는 힘을 조절하는 힘 조절수단(140)과, 프라이밍 롤러(110)를 세척하는 세정조(24)로 구성된다.
상기 프라이밍 롤러(110)는 내부에 중공부가 형성된 실린더 형상으로 형성되고 회전 가능하게 설치되어 슬릿 노즐(30)의 예비 토출 공정에 사용된다.
상기 활형 보강재(130)는 중앙부가 볼록하게 휜 활 형상으로 탄성을 갖는 강재로 제작되고 만곡지게 휘어진 상태로 상기 중공부 내에 설치되어 프라이밍 롤러(110)의 처짐 변형 시에 상기 롤러의 내벽과 접촉하여 처짐 변형의 반대 방향의 힘을 프라이밍 롤러(110)에 가함으로써 프라이밍 롤러(110)의 처짐을 억제한다.
여기서, 활형 보강재(130)의 양단은 각각 프라이밍 롤러(110)의 양단에 결합된 회전축(120)의 중심부에 고정되고, 외측방향으로 휘어진 만곡부 중앙이 중공형 몸체(110)의 내면과 접지되어 탄력 지지한다. 이를 통해, 프라이밍 롤러(110)의 중공부에 설치된 활형 보강재(130)는 프라이밍 롤러(110)의 자중에 의한 중앙부에 접촉하여 그 처짐을 억제한다.
그리고, 활형 보강재(130)는 중공형 몸체(110) 내에 다수가 방사형(放射形)으로 일정 간격으로 배열되어, 활형 보강재(130)의 설치 방향에 무관하게 프라이밍 롤러(110)의 중앙부의 처짐을 억제할 수 있게 된다. 활형 보강재(130)의 수와 선경은 프라이밍 롤러(110)의 크기와 활형 보강재(130)의 탄성강도 등을 고려하여 정해진다. 대략 30도 내지 120도 간격으로 3 ~12개가 설치되는 것이 바람직하다.
상기 힘 조절수단(140)은 프라이밍 롤러(110)의 회전축(120) 중심에 형성된 암나사산과 맞물리는 수나사산이 외주면에 형성된 조절 몸체(145)가 구비되어, 프라이밍 롤러(110)에 대하여 축선 방향으로 이동 가능하게 설치된다.
즉, 힘 조절수단(140)은 외주면에 나사산이 형성된 조절 몸체(145)와, 조절 몸체(145)의 외측단 중심에 공구를 삽입시켜 회전력이 전달되도록 한 공구홈(141)과, 상기 공구홈(141)의 반대측에 위치한 조절 몸체(145)의 내측단에 조절 몸체(145)에 대하여 상대 회전 가능하게 하는 베어링(150)을 삽입 설치하도록 요입 형성된 베어링 홈(143)으로 이루어진다.
여기서, 상기 공구홈(141)은 일자나 십자 드라이버의 홈 또는 육각렌치 홈으로 형성될 수 있다.
그리고, 베어링 홈(143)은 활형 보강재(130)의 일단이 고정되는 베어링(150)을 수납하는 부위로서, 상기 힘 조절수단(140)의 회전시 활형 보강재(130)가 함께 회전되는 것을 방지하기 위한 베어링(150)을 삽입한다. 이 때, 베어링(150)은 활형 보강재(130)의 일단이 결합된 상태로 삽입된다.
상기 베어링(150)은 힘 조절수단(140)의 조절 몸체(145)의 회전시 활형 보강재(130)가 함께 회전되는 것을 방지하는 한편, 힘 조절수단(140)과 함께 축 방향으로 이동되면서 활형 보강재(130)를 수축시켜 중앙부가 더 볼록하게 하거나 이완시켜 중앙부가 더 홀쭉하게 들어가는 힘 조절하는 것을 보조한다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코터 장치의 프라이밍 기구(100)는 프라이밍 롤러(110)의 중량을 최소로 유지하면서 롤러(110) 표면의 평탄도를 반영구적으로 평탄하게 지속시킬 수 있으므로, 프라이밍 롤러(110)의 사용 수명이 연장되는 효과를 얻을 수 있고, 동시에 기판 코터 장치에 의해 코팅된 기판의 코팅 품질을 균일하게 유지시킬 수 있는 이점이 얻어진다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구 범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다. 즉, 본 발명의 일 실시예에서는 롤러의 처짐 방지 구조를 기판 코터 장치의 프라이밍 기구에 적용하는 것을 예로 들어 설명하였지만, 그 밖에 다른 형태의 롤러의 처짐을 방지하는 데에도 동일하게 적용될 수 있다.
도 1은 일반적인 프라이밍 기구가 구비된 기판 코터 장치를 나타낸 사시도.
도 2는 종래기술의 프라이밍 롤러의 구성을 도시한 종단면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코터 장치의 프라이밍 기구의 프라이밍 롤러의 구성을 도시한 종단면도.
도 4는 도 3의 일단부의 본 발명에 따른 롤러 휨 변형 방지구조의 요부 확대도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100: 프라이밍 기구
110: 프라이밍 롤러
120: 프라이밍 롤러의 양단 회전축
130: 활형 보강재
140: 힘 조절수단
141: 공구홈
143: 베어링 홈
150: 베어링

Claims (14)

  1. 슬릿 형태의 토출구를 갖는 슬릿 노즐로부터 약액이 배출되어 기판의 표면에 약액을 도포하는 기판 코터 장치에 있어서,
    내부에 중공부가 형성된 실린더 형상으로 형성되어, 상기 슬릿 노즐의 예비 토출 공정에 사용되는 프라이밍 롤러와;
    중앙부가 볼록하게 휜 활 형상으로 형성되어 그 중앙부에 볼록해지는 힘이 가해진 상태로 상기 중공부 내에 상기 프라이밍 롤러의 외주 방향을 따라 방사형 (放射形)으로 다수 배열 설치되어, 상기 프라이밍 롤러의 처짐 변형 시에 상기 롤러의 내벽과 접촉하여 상기 프라이밍 롤러의 처짐을 억제하는 활형 보강재와;
    상기 활형 보강재의 일단부 이상에 설치되어 상기 활형 보강재의 중앙부가 볼록해지는 힘을 조절하는 힘 조절수단을;
    포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 프라이밍 기구.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 힘 조절 수단이 상기 활형 보강재의 양단부에 설치된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 프라이밍 기구.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 힘 조절수단은,
    상기 프라이밍 롤러의 양단부의 중앙부에 형성된 암나사부에 맞물리는 수나사부가 외주면에 형성되고, 상기 활형 보강재의 끝단이 고정된 조절 몸체를 구비하여, 상기 조절 몸체가 상기 암나사부의 축선 방향을 따라 이동하는 것에 의해 상기 활형 보강재의 중앙부를 볼록하게 하는 힘이 조절되는 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 프라이밍 기구.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 힘 조절수단은,
    상기 조절 몸체의 외측단에는 공구를 삽입시켜 회전력이 전달되도록 한 공구홈이 형성되어, 상기 공구홈에 공구를 삽입하여 회전시키는 것에 의해 상기 활형 보강재의 중앙부에 도입되는 볼록해지는 힘의 크기가 조절되는 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 프라이밍 기구.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 공구홈은 일자나 십자 드라이버의 홈 또는 육각렌치 홈인 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 프라이밍 기구.
  6. 제 3항에 있어서,
    상기 조절 몸체의 회전에 따라 상기 활형 보강재가 함께 회전하는 것을 방지하기 위하여, 상기 조절 몸체와 상기 활형 보강재의 사이에는 상기 조절 몸체와 상기 활형 보강재 사이의 상대 회전 운동을 가능하게 하는 베어링이 개재된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 프라이밍 기구.
  7. 제 1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 프라이밍 기구가 장착된 기판 코터 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100611842B1 (ko) * 2005-02-21 2006-08-11 엘에스전선 주식회사 다공성 롤러 및 이를 구비하는 저온 건조 장치
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