JP5340370B2 - 切断されたウェハをゾーン毎にクリーニングするための保持及びクリーニング装置及び方法 - Google Patents
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Description
ウェハを製造するために、まず、ブロックは支持板に固定される。支持板は、通常、ガラスから成り、ブロックの形状に応じて、平坦であるか又は湾曲している。固定のためには、一般的に接着剤が使用される。支持板は、一部のために、通常金属から成るアダプタプレートに固定される。アダプタプレートは、切断装置(ウェハソー)の一部である裏当て面と協働するように構成されている。アダプタプレートが裏当て面に固定された後、通常は1つ又は2つ以上の平行に延びた切断ワイヤを有する切断装置、例えばワイヤ層と共に、ブロックを加工することができる。これによって、ブロックから薄いスライスが形成され、これらのスライスは、接着剤により、支持体に面したエッジ(接着剤エッジ)によって支持体から懸吊されている。従って、並んで配置されたスライスは依然として支持板によって互いに結合されている。ブロックからウェハを完全に分離するために、切断装置がある程度支持板に切り込まなければならず、支持板はこれにより切り込まれ、これにより再利用には不適切となる。
2 保持領域
3 アダプタプレート
4 保持プレート
5 供給開口
6 平坦な上側
7A 前端側
7B 後端側
8A 右側
8B 左側
9 閉鎖ねじ
10 チャネル
11 チャネル
11A 第1の区域
11B 第2の区域
12 バリヤ
13A 基板ブロック
13B 基板ブロック
14 基板
15 通過開口
16 収容レール
L 装置の長手方向軸線
Claims (13)
- 切断される基板ブロック(13A,13B)を保持し、前記基板ブロック(13A,13B)を切断することによって形成された中間スペースをフラッシングするための装置において、装置長手方向軸線(L)に対して平行にかつ互いに上下に配置された2つの領域を有しており、上側の領域はアダプタ領域(1)として構成されており、該アダプタ領域(1)によって該装置を機械機器に結合することができ、下側の領域は保持領域(2)として形成されており、該保持領域(2)は、周囲で閉鎖された又は閉鎖可能なチャネルシステムの、チャネル(11)として提供された部分を有しており、前記チャネルシステムに、閉鎖可能な供給開口(5)によってフラッシング液を供給することができ、該チャネル(11)の底部は、前記フラッシング液のための通過開口(15)を提供するために前記基板ブロック(13A,13B)の切断中にスロット状の形式で開放させられ、前記チャネル(11)は、該チャネル(11)に取外し可能に取り付けられた複数のバリヤ(12)により、前記装置長手方向軸線(L)に沿って複数の区域(11A,11B)に細分されていることを特徴とする、切断される基板ブロック(13A,13B)を保持し、前記基板ブロック(13A,13B)を切断することによって形成された中間スペースをフラッシングするための装置。
- 前記装置長手方向軸線(L)に沿った前記チャネル(11)の前記区域(11A,11B)に、互いに別々にフラッシング液を供給することができる、請求項1記載の装置。
- 前記チャネル(11)が、互いに別々に供給することができる複数の構造的に別個のチャネルに細分されている、請求項1又は2記載の装置。
- 前記閉鎖可能な供給開口(5)が、前記アダプタ領域(1)の平坦な上側(6)に配置されている、請求項1から3までのいずれか1項記載の装置。
- 前記閉鎖可能な供給開口(5)が、前記アダプタ領域(1)の周囲の側(7A,7B,8A,8B)に配置されている、請求項1から3までのいずれか1項記載の装置。
- 前記保持領域(2)が保持プレート(4)として形成されており、前記アダプタ領域(1)がアダプタプレート(3)として形成されており、2つのプレート(3,4)が互いに解放可能に結合されている、請求項1から5までのいずれか1項記載の装置。
- 前記保持領域(2)の材料が、ガラス、プラスチック、エポキシド、セラミック、金属、及びこれらの材料の混合物から成るグループから選択されている、請求項1から6までのいずれか1項記載の装置。
- フラッシング液が、前記チャネルシステムに提供され、かつ該チャネルシステムから、前記通過開口(15)を介して流出することを特徴とする、請求項1から7までのいずれか1項記載の装置を使用することによって基板ブロック(13A,13B)を切断することによって形成された中間スペースをフラッシングする方法。
- 装置長手方向軸線(L)に対して平行にかつ互いに上下に配置された2つの領域を有する装置を使用することによって基板ブロック(13A,13B)を切断することによって形成された中間スペースをフラッシングする方法において、上側の領域がアダプタ領域(1)として構成されており、該アダプタ領域によって該装置を機械機器に結合することができ、周囲で閉鎖されたチャネルシステムの、前記装置長手方向軸線(L)に沿って延びた複数の区域(11A,11B)を有するチャネル(11)として提供された部分が、保持領域(2)として形成された下側の領域に配置され、該チャネル(11)が、該チャネル(11)に取外し可能に取り付けられた複数のバリヤ(12)によって細分されるものであり、
前記上側の領域に配置された閉鎖可能な供給開口(5)によって前記チャネルシステムにフラッシング液を供給するステップと、
前記基板ブロック(13A,13B)を切断するときに前記チャネル(11)の底部に形成されたスロット状の通過開口(15)によって前記中間スペースをフラッシングするステップとを有することを特徴とする、装置長手方向軸線(L)に対して平行にかつ互いに上下に配置された2つの領域を有する装置を使用することによって基板ブロック(13A,13B)を切断することによって形成された中間スペースをフラッシングする方法。 - 前記フラッシングが、前記フラッシング液が供給される前記通過開口(15)を介して前記装置長手方向軸線(L)に沿って均一に行われる、請求項8又は9記載の方法。
- 前記チャネル(11)の供給と、前記中間スペースの前記フラッシングとが、前記装置長手方向軸線(L)の方向で見て区域毎に行われる、請求項8から10までのいずれか1項記載の方法。
- 前記フラッシングが、ウェハソーの加工領域において行われる、請求項8から11までのいずれか1項記載の方法。
- 前記フラッシングが、液体及び/又は超音波を利用して行われる、請求項8から12までのいずれか1項記載の方法。
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