JP2015073009A - ウエハ洗浄装置およびウエハ洗浄方法 - Google Patents
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図11は従来のウエハ製造方法およびウエハ洗浄方法を示す工程図、図12は従来のウエハの分離方法を説明する図、図13は従来の洗浄液の噴射と超音波洗浄とを同時に行うウエハ洗浄装置を説明する図である。
また、図13に示すように、スライスベース2に固定されたウエハ5を予備的に洗浄する他の手法として、洗浄槽7に噴射機構8および超音波装置9を有した装置を用いる場合もあった。このウエハ洗浄装置は、洗浄槽7内に超音波装置9と複数の噴射機構8とを備える構成であり、噴射機構8はウエハ5の間に洗浄液6を噴射できる位置に向かい合い、且つ向かい合う噴射機構8からの流れが反対方向になるように配置される。このようなウエハ洗浄装置により、超音波を印加しながら洗浄液6を噴射することにより、超音波で緩んだスラッジ13等を洗い流していた(例えば、特許文献1参照)。
図14はスラッジ等による不具合を説明する図である。
予備的な洗浄は、ウエハを洗浄液に浸漬させた状態で、ウエハに洗浄液を噴射するシャワー洗浄と超音波を印加する超音波洗浄を行うことにより実施する。本発明では、シャワー洗浄の際、あるいはシャワー洗浄と前後して、ウエハに気体を噴射し、その後、洗浄液内を減圧し、減圧状態で、超音波洗浄、シャワー洗浄、あるいはその両方を行うことを特徴とする。
(実施の形態1)
図1は本発明のウエハ洗浄装置の構成を示す図、図2は本発明のウエハ洗浄方法を説明するフロー図、図3は本発明におけるウエハを洗浄液に浸漬させた状態を説明する図、図4は本発明の流体噴射の制御と流体によりウエハ間の間隔が広がる様子とを説明する図、図5は本発明の気泡が発生する様子を説明する図、図6は本発明の減圧により膨張した気泡の作用を説明する図、図7は本発明の超音波洗浄を説明する図、図8は本発明の整流板を供える吸引ユニットによる流動を説明する図、図9は本発明の保持台に固定されたウエハを傾斜させる構成を説明する図、図10は本発明のヒーターにより気泡を発生させるウエハ洗浄装置の構成を示す図である。
複数の噴射機構8は、洗浄液6である流体19の単独噴射を行う場合と、もしくは流体19と空気である流体18の同時噴射を行う場合とを切替えることが可能である。
次に、本発明の実施の形態1における洗浄装置を用いた洗浄方法について説明する。
更に、密閉された洗浄槽7を減圧装置24を用いて減圧をおこなう(図2のステップ5)。減圧後の洗浄槽7内の圧力は気泡17の発生、膨張を考慮して定めればよく、特に指定はないものの、−0.3 MPa以上0MPa以下とし、−0.1MPa以上0MPa以下とすることが望ましい。
次に、減圧状態において超音波装置9より超音波を発振して超音波洗浄する(図2のステップ6)。
この時の周波数は、特に限定されないものの、低周波(40kHz)、高周波(100kHz)の単独出力または低周波、高周波の同時出力が望ましい。また、減圧と超音波の連動時間は特に限定されないものの1秒以上60秒以内が望ましい。
このような傾斜を設けることにより、気体の流体18により生じた気泡17は、図9(b)に示すように、傾斜の角度に応じて液面方向へ流れ出る。その際、ウエハ5に付着しているスラッジ13も同時に排出できる為、更に洗浄性を向上することができる。
発生した水素は、前記洗浄方法における複数のウエハ5の間の気泡17(図5参照)と同じ作用を有する気泡27となり、気泡27の膨張収縮を利用した減圧洗浄が可能となる。
2 スライスベース
3 接着剤
4 ワイヤソー
5 ウエハ
6 洗浄液
7 洗浄槽
8 噴射機構(ノズル)
9 超音波装置
10 薬液もしくは熱水
11 洗浄蓋
12 トレイ
13 スラッジ
14 噴流ユニット
15 吸引排出ユニット
16 保持台
17 気泡
18 流体(気体)
19 流体(液体)
21 整流板
22 ヒーター
23 圧力計
24 減圧装置
25 配管
26 ウエハトップ部
27 気泡
28 流動
29 水槽
Claims (12)
- スライスベースに固定された複数のウエハを洗浄するウエハ洗浄装置であって、
洗浄液を貯留する洗浄槽と、
前記洗浄槽を密閉する洗浄蓋と、
前記洗浄槽内を減圧する減圧装置と、
前記スライスベースを保持して前記複数のウエハを前記洗浄槽の前記洗浄液に浸漬させる保持台と、
前記ウエハを超音波洗浄する超音波装置と、
前記洗浄槽内に配置されて前記ウエハに気体および前記洗浄液を含む複数の流体の内1または2以上の前記流体を組み合わせた流体を噴射する複数の噴射機構と、
前記複数の噴射機構から少なくとも気体を噴射した後に前記洗浄槽内を減圧し、減圧した状態で前記超音波洗浄を行うように前記減圧装置,前記超音波装置および前記噴射機構を制御する制御装置と
を有することを特徴とするウエハ洗浄装置。 - 前記複数の噴射機構から噴射する前記気体および前記洗浄液の噴射圧および流量を制御する噴射ユニットを更に有することを特徴とする請求項1記載のウエハ洗浄装置。
- 前記複数の噴射機構と前記ウエハを挟んで向かい合う位置に配置された吸引排出ユニットをさらに有し、前記複数の噴射機構が揺動し、前記複数の噴射機構の揺動に連動して前記吸引排出ユニットが揺動することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のウエハ洗浄装置。
- 前記吸引排出ユニットが整流板を備えることを特徴とする請求項3記載のウエハ洗浄装置。
- 前記複数の噴射機構は、前記ウエハの表面と直交する水平方向にかつ等間隔に少なくとも一列に配置され、出射方向を前記水平方向、または前記水平方向と直行し、かつ前記ウエハの表面と平行な垂直方向、もしくはその両方の方向に可変であることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のウエハ洗浄装置。
- 前記複数の噴射機構は、液体の単独噴射、もしくは前記気体を含む2種類以上の流体の同時噴射の切替えが可能であることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のウエハ洗浄装置。
- 前記複数の噴射機構が移動可能であり、前記複数の噴射機構と前記複数のウエハとの距離を任意に調整できることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載のウエハ洗浄装置。
- 減圧して前記洗浄液を含む流体の噴射および前記超音波洗浄を行った後、前記洗浄槽内を大気開放し、減圧から大気開放の動作を複数回繰り返すことを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載のウエハ洗浄装置。
- スライスベースに固定された複数のウエハを洗浄するウエハ洗浄装置であって、
洗浄液を貯留する洗浄槽と、
前記洗浄液を加熱するヒーターと、
前記スライスベースを保持して前記複数のウエハを前記洗浄槽の前記洗浄液に浸漬させる保持台と、
前記ウエハを超音波洗浄する超音波装置と、
前記洗浄槽内に配置されて前記ウエハに気体および前記洗浄液を含む複数の流体の内1または2以上の前記流体を組み合わせた流体を噴射する複数の噴射機構と、
前記複数の噴射機構から少なくとも気体を噴射した後に前記洗浄槽内を加熱し、加熱した状態で前記超音波洗浄を行うように前記ヒーター,前記超音波装置および前記噴射機構を制御する制御装置と
を有することを特徴とするウエハ洗浄装置。 - 前記保持台は、前記複数のウエハがスライス面に沿った方向に移動するように傾斜可能であることを特徴とする請求項1記載のウエハ洗浄装置。
- スライスベースに固定された複数のウエハを洗浄する際に、
前記ウエハを洗浄液に浸漬させる工程と、
互いに隣り合う前記ウエハ間の隙間に気体を噴射する工程と、
前記洗浄液内を減圧する工程と、
減圧した状態で前記ウエハに超音波を照射して超音波洗浄を行う工程と
を有することを特徴とするウエハ洗浄方法。 - スライスベースに固定された複数のウエハを洗浄する際に、
前記ウエハを洗浄液に浸漬させる工程と、
互いに隣り合う前記ウエハ間の隙間に気体を噴射する工程と、
前記洗浄液内を加熱する工程と、
加熱した状態で前記ウエハに超音波を照射して超音波洗浄を行う工程と
を有することを特徴とするウエハ洗浄方法。
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