JP6192595B2 - 半導体製造用処理液配管継手 - Google Patents
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Description
20、21 配管
30 本体部
40、41 ナット部
40c グリップ部
50 アダプタ
Claims (6)
- 内部を流れる半導体製造用の処理液が正圧となる配管に用いられ、前記配管が挿入される本体部と、前記本体部と螺合することで前記本体部に挿入される配管を締め付けて当該本体部と当該配管を接続するナット部と、を備えた半導体製造用処理液配管継手であって、
前記ナット部の外径は、前記本体部に挿入される配管の外径の2倍以上であり、
前記ナット部の外周面には、前記配管の長さ方向に沿って形成された凸状の突起部と凹状の窪み部により形成されたグリップ部が、少なくとも一箇所以上に形成され、
前記半導体製造用処理液配管継手は、前記ナット部の外周面に対して、前記ナット部を挿通する配管の長さ方向から嵌合自在に形成された円環形状のアダプタ部を更に備え、
前記アダプタ部は、前記配管の長さ方向に沿って、前記配管の直径より大きな幅を有する切り欠きが形成され、前記配管に対して着脱自在であることを特徴とする、半導体製造用処理液配管継手。 - 前記本体部と前記ナット部には、前記ナット部の締め付け完了時に、作業者に締め付け完了を報知する締め付け確認機構が形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の半導体製造用処理液配管継手。
- 前記締め付け確認機構は、前記本体部における前記ナット部と対向する面、及び前記ナット部における前記本体部と対向する面にそれぞれ形成された、前記ナット部を締め付け完了位置まで締め込んだ際に嵌合する凹凸部であることを特徴とする、請求項2に記載の半導体製造用処理液配管継手。
- 前記締め付け確認機構は、前記本体部における前記ナット部と対向する面、又は前記ナット部における前記本体部と対向する面の少なくともいずれかに内蔵された、前記ナット部を締め付け完了位置まで締め込んだ際に破裂するマイクロカプセル顔料であり、
前記ナット部は、透明な材料により形成されていることを特徴とする、請求項2に記載の半導体製造用処理液配管継手。 - 前記本体部と前記ナット部との間に設けられ、前記ナット部の締め付け完了時に、作業者に締め付け完了を報知する締め付け確認機構を備え、
該締め付け確認機構は、前記ナット部を締め付け完了位置まで締め込んだ際に前記本体部と前記ナット部との間で回らなくなる厚みで形成されている環状部材であることを特徴とする、請求項1に記載の半導体製造用処理液配管継手。 - 前記ナット部及び前記本体部は、多条ねじにより螺合されることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の半導体製造用処理液配管継手。
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