JP2007158213A - 電子部品実装装置および電子部品実装方法 - Google Patents

電子部品実装装置および電子部品実装方法 Download PDF

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Abstract

【課題】スタック実装において搭載ミスが発生した際の処置が容易な電子部品実装装置および電子部品実装方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板に実装された下段部品上に上段部品を重ねて実装するスタック実装において、上段部品を下段部品上に搭載する上段部品搭載時に、上段部品が正常に搭載されずに部品保持ノズルに保持されたまま持ち帰られる搭載ミスの発生有りの判定がなされた場合には、搭載ミスの発生回数が規定内であるか否かを判定し、規定外であれば装置停止して異常報知する。発生回数が規定内であれば、持ち帰り部品を強制ブローによって廃棄・回収した後、下段部品の位置認識を行って実装位置が正常であるか否かを判定し、実装位置が正常である旨の判定がなされたならば、下段部品上に上段部品を再搭載する処理を実行する。
【選択図】図6

Description

本発明は、電子部品を基板に実装する電子部品実装装置および電子部品実装方法に関するものである。
近年電子機器の小型化・高機能化の進展に伴い、電子機器に組み込まれる実装基板の実装密度を更に高密度化することが求められている。このような高密度実装に対応するための実装形態として、複数の電子部品を積層して実装したいわゆるスタック実装が採用されるようになっている(例えば特許文献1,2参照)。
特許文献1に示す例では、複数の半導体チップを予め積層して実装するいわゆるプリスタックによって半導体装置を形成し、この半導体装置を基板に実装するようにしている。また特許文献2に示す例では、基板上に直接電子部品を複数層重ねて実装する方法を採用している。
特開2003−133519号公報 特開2005−26648号公報
電子部品を基板に実装する実装動作は、部品搭載機構によって電子部品を吸着ノズルによって吸着保持して基板上に移送搭載することによって行われる。この実装動作においては、電子部品を保持した吸着ノズルを搭載位置に下降させて電子部品の吸着を解除した後吸着ノズルを上昇させることにより、電子部品の搭載が行われる。
ところで吸着ノズルによる電子部品の保持においては、電子部品の吸着ノズルからの離脱は必ずしも確実に行われるとは限らず、吸着ノズルを搭載位置から上昇させる際に、電子部品が吸着ノズルに付着したままともに上昇する不具合(いわゆる持ち帰り部品)が発生する場合がある。このような持ち帰り部品の発生は、吸着ノズルによる真空吸引状態検出する方法などによって搭載ミスとして検知され、この検知を承けて再度部品搭載動作が実行される。
しかしながら上述のスタック実装において、既に基板上に搭載された電子部品上に他の電子部品を搭載する際にこのような搭載ミスが発生した場合には、一般の基板への部品搭載時における処置とは異なった処置が必要とされる。すなわち、スタック実装においては基板にフラックスなどの粘着力によって保持された状態の電子部品上に重ねて部品搭載が行われることから、既に実装された電子部品がこの部品搭載動作時の電子部品との接触によって位置ズレを生じるおそれがある。従来のスタック実装においては、搭載ミスが発生した場合には既に電子部品が実装された基板全体を機外に排出して既実装部品を除去するリペア作業を行った後、再度実装ラインに投入するなど手間と時間を要する煩雑な処置が必要とされていた。
そこで本発明は、スタック実装において搭載ミスが発生した際の処置が容易な電子部品実装装置および電子部品実装方法を提供することを目的とする。
本発明の電子部品実装装置は、部品供給機構によって供給される電子部品を基板に実装する電子部品実装装置であって、前記部品供給機構から部品保持ノズルによって前記電子
部品を取り出して前記基板に移送搭載する部品搭載機構と、前記基板を撮像して認識する基板認識手段と、前記部品保持ノズルに保持された前記電子部品を撮像して認識する部品認識手段と、前記部品搭載機構を制御して、前記基板に既に実装された既実装部品上に他の電子部品を重ねて実装するスタック実装動作を実行させるスタック実装処理部と、前記部品搭載機構によるスタック実装動作において、前記他の電子部品が既実装部品上に正常に搭載されずに前記部品保持ノズルに保持されたまま持ち帰られる搭載ミスの発生有無を判定する搭載ミス判定部と、前記基板認識手段による認識結果に基づいて前記基板における電子部品の実装位置の正否を判定する位置ズレ判定部と、前記スタック実装動作において、前記搭載ミス判定部によって搭載ミスの発生有りの判定がなされ、且つ前記位置ズレ判定部によって当該搭載ミスが発生した既実装部品について実装位置が正常である旨の判定がなされたならば、前記部品搭載機構を制御して前記既実装部品上に前記他の電子部品を再搭載する処理を実行させるリトライ処理部とを備えた。
本発明の電子部品実装方法は、部品供給機構によって供給される電子部品を部品搭載機構の部品保持ノズルによって保持して取り出して基板に実装する電子部品実装方法であって、前記基板に既に実装された既実装部品上に重ねて他の電子部品を実装するスタック実装動作において、前記他の電子部品が既実装部品上に正常に搭載されずに前記部品保持ノズルに保持されたまま持ち帰られる搭載ミスの発生有りの判定がなされ、且つ当該搭載ミスが発生した既実装部品について実装位置が正常である旨の判定がなされたならば、前記既実装部品上に前記他の電子部品を再搭載する処理を実行する。
本発明によれば、スタック実装動作において、既実装部品上に他の電子部品が正常に搭載されないまま持ち帰られる搭載ミスの発生有り判定がなされ、且つ基板の認識結果に基づいて基板における既実装部品の実装位置が正常である旨の判定がなされたならば、既実装部品上に他の電子部品を再搭載する処理を実行することにより、スタック実装において搭載ミスが発生した際の処置を容易に行うことができる。
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の斜視図、図2は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置によって部品実装が行われた実装基板の斜視図、図3は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置における部品吸着ノズルの吸引・ブロー系の系統図、図4は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置における部品吸着ノズルの吸引・ブロー動作のタイミングチャート、図5は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の制御系の構成を示すブロック図、図6は本発明の一実施の形態の電子部品実装方法のフロー図、図7、図8,図9,図10は本発明の一実施の形態の電子部品実装方法の工程説明図である。
まず図1を参照して電子部品実装装置1の構造を説明する。図1において基台2aのX方向の両端部には、側フレーム2bが立設されている。基台2aの上面には、基板搬送機構4がX方向(基板搬送方向)に配設されている。基板搬送機構4は、電子部品が実装される基板3を搬送し位置決めする。基板搬送機構4の両側には、部品供給機構5A、5Bが配設されている。
部品供給機構5Aには複数のテープフィーダ6が並設されており、部品供給機構5Bには2基のトレイフィーダ7が配置されている。テープフィーダ6は抵抗やコンデンサなどの矩形チップ部品を供給し、トレイフィーダ7は下面に半田バンプが形成されたフリップチップやBGA(Ball Grid Array)を格子配列で収納した部品トレイ7aを供給する。
側フレーム2bの上面にはY軸テーブル8がY方向に配設されており、Y軸テーブル8にはX軸テーブル9が架設されている。X軸テーブル9には複数の部品保持ノズル11を備えた搭載ヘッド10が装着されており、Y軸テーブル8、X軸テーブル9を駆動することにより、搭載ヘッド10はXY方向に水平移動する。これにより搭載ヘッド10は、部品供給機構5A、5Bによって供給される電子部品を部品保持ノズル11によって取り出して基板3に搭載する。Y軸テーブル8、X軸テーブル9、搭載ヘッド10は、部品供給機構5A、5Bから部品保持ノズル11によって電子部品を取り出して基板3に移送搭載する部品搭載機構31(図5参照)となっている。
搭載ヘッド10には一体的に移動する基板認識カメラ12が設けられており、搭載ヘッド10を基板3の上方に移動させることにより、基板認識カメラ12によって基板3を撮像することができる。これにより、基板3の位置認識用の認識マーク3a(図2参照)や基板3に搭載された後の電子部品の位置ズレ検出用の画像が取得される。
基板搬送機構4と部品供給機構5Bとの間には、フラックス供給部13、部品認識カメラ14、部品排出部15が配置されている。フラックス供給部13は、平滑な底面を有する矩形の箱状容器内にフラックス20を貯留した構成となっており、フラックス20をスキージ13bで掻き寄せることにより、フラックス転写面13a上に所定膜圧のフラックス膜が形成される(図7(e)参照)。部品供給機構5Bから電子部品を取り出した搭載ヘッド10がフラックス供給部13上に移動し、部品保持ノズル11によって保持した電子部品をフラックス供給部13に対して昇降させることにより、電子部品の半田バンプにはフラックス20が転写により塗布される。
部品認識カメラ14はY方向に配置されたラインセンサを備えており、部品供給機構5A、5Bから取り出された電子部品を保持した搭載ヘッド10が、部品認識カメラ14の上方でX方向に移動するスキャン動作を行うことにより、部品保持ノズル11に保持された状態における電子部品を下方から撮像する。
部品排出部15は箱状容器であり、搭載ミスによって基板3に実装されなかった電子部品を回収する。すなわち、部品供給機構5A、5Bから電子部品を取り出した搭載ヘッド10が基板3上に移動して、部品保持ノズル11を昇降させて保持した電子部品を基板3に搭載する部品搭載動作において、電子部品が部品保持ノズル11に保持されたまま持ち帰られた場合には、搭載ヘッド10を部品排出部15の上方に移動させて、当該電子部品を部品排出部15内に落下投入する。
次に図2を参照して、電子部品実装装置1による実装作業の対象となる基板3について説明する。図2は電子部品実装装置1によってスタック部品16、バンプ付部品17、矩形部品18の3種類の電子部品が搭載された状態を示している。基板3には位置認識のための撮像対象となる認識マーク3aや、電子部品接続用の電極3b、3cなどが設けられている。認識マーク3aを基板認識カメラ12によって撮像することにより基板3の位置が認識され、この位置認識結果に基づいて、搭載ヘッド10によって電子部品が基板3の部品搭載位置に搭載される。
部品供給機構5Aのテープフィーダ6から微小部品用の部品保持ノズル11によって取り出された矩形部品18は、電極3cに接続用端子を合わせて搭載される。部品供給機構5Bの部品トレイ7aから専用の部品保持ノズル11aによって取り出されたバンプ付部品17は、半田バンプを接続用電極(図示省略)に位置合わせして搭載される。そしてスタック部品16は、いずれも部品供給機構5Bの部品トレイ7aから取り出された下段部品P1、上段部品P2を、上下に積層して構成されている。すなわち電極3bに半田バンプP1aをフラックス20を介して着地させ、次いで下段部品P1の上面に形成された電
極P1bに半田バンプP2aをフラックス20を介して着地させて積層構造を形成する。
次に図3を参照して、搭載ヘッド10において部品保持ノズル11によって部品保持のための真空吸引および部品離脱のためのエアブローを行う吸引・ブロー系について説明する。図3において、複数(ここでは4本)の部品保持ノズル11は、それぞれ個別に第1のバルブ22、第2のバルブ24を介して真空吸引源21、正圧供給源23に接続されている。真空吸引源21を駆動した状態で、第1のバルブ22を開状態にすることにより、部品保持ノズル11から真空吸引して電子部品を吸着保持する。
また正圧供給源23を駆動した状態で、第2のバルブ24を開状態にすることにより、部品保持ノズル11から正圧空気を吹き出す強制ブローが行われ、部品保持ノズル11に保持された状態の電子部品を離脱させることができる。この吸引・ブロー回路には、各部品保持ノズル11ごとに個別に圧力センサ25が接続されており、任意のタイミングにおいて吸引・ブロー回路の圧力を検出することが可能となっている。
図4は、部品搭載動作と第1のバルブ22、第2のバルブ24の動作タイミングとの関係を示している。電子部品を保持した部品保持ノズル11が基板3に対して下降して電子部品が基板3に着地したタイミングt1の後、タイミングt2にて第1のバルブ22は閉状態となり、これにより部品保持ノズル11からの真空吸引が停止される。この後、タイミングt3にて第2のバルブ24が開状態となり、部品保持ノズル11からエアブローが行われる。
この状態は部品保持ノズル11を上昇させるタイミングt5の前のタイミングt4まで保持される。このエアブローにより、部品保持ノズル11の吸着面と電子部品との接触面にエアが侵入し、電子部品が部品保持ノズル11と密着状態となっている場合においても、電子部品の部品保持ノズル11からの離脱が促進される。
そしてこの後、タイミングt6にて第1のバルブ22は再び開状態となり部品保持ノズル11からの真空吸引が行われる。このとき、部品保持ノズル11から電子部品が確実に離脱しているか否かを確認するための圧力検出が圧力センサ25によって行われる。部品搭載動作において正常に電子部品が搭載された場合には、部品保持ノズル11の吸着面には電子部品が存在せず吸引孔が塞がれていないことから、真空吸引を行っても圧力はあまり低下しない。
すなわち、タイミングt6の後に設定されたタイミングt7〜タイミングt8における圧力センサ25の検出圧力値が予め設定された閾値圧力よりも低いならば、離脱せずに付着した状態の電子部品によって部品保持ノズル11の吸引孔が塞がれており、持ち帰り部品による搭載ミス発生と判断する。
次に図5を参照して制御系の構成を説明する。図5において、制御部30は部品搭載機構31、部品供給機構5A、5B、基板搬送機構4、部品認識部32、基板認識部33、報知部34の各部と接続されて信号授受を行うとともに、これらの各部の動作や処理を制御する。制御部30は内部制御機能として実装動作処理部30a、スタック実装処理部30b、搭載ミス判定部30c、リトライ処理部30d、基板搬送処理部30e、位置補正量演算部30f、位置ズレ判定部30gを備えている。
実装動作処理部30aは、部品搭載機構31、部品供給機構5A、5B、基板搬送機構4を制御することにより、部品供給機構5A、5Bから電子部品を取り出して基板搬送機構4によって位置決めされた基板3に実装する部品実装動作を実行させる。この部品実装動作においては、部品認識カメラ14による撮像結果を部品認識部32によって認識処理
することによって取得された部品認識結果と、基板認識カメラ12による撮像結果を基板認識部33によって認識処理することによって得られた基板認識結果とが参照され、これにより、電子部品と基板3の部品搭載位置との位置ズレが補正される。基板認識カメラ12および基板認識部33は、基板3を撮像して認識する基板認識手段を構成し、部品認識カメラ14および部品認識部32は、部品保持ノズル11に保持された電子部品を撮像して認識する部品認識手段を構成する。
実装動作処理部30aは、部品搭載機構31を制御して、基板3に既に実装された既実装部品である下段部品P1上に、他の電子部品である上段部品P2を重ねて実装するスタック実装動作を実行させるための動作処理を行う。搭載ミス判定部30cは、部品搭載機構31によるスタック実装動作において、上段部品P2が下段部品P1上に正常に搭載されずに、部品保持ノズル11aに保持されたまま持ち帰られる搭載ミスの発生有無を判定する。
すなわち、上段部品P2を下段部品P1上に搭載する部品搭載動作後に、圧力センサ25によって図4に示すタイミングにおいて圧力検出を行うことにより、搭載ミスの発生有無を判定する。リトライ処理部30dはスタック実装動作において、搭載ミス判定部30cによって搭載ミスの発生有りの判定がなされ、且つ位置ズレ判定部30gによって当該搭載ミスが発生した下段部品P1について実装位置が正常である旨の判定がなされたならば、部品搭載機構31を制御して下段部品P1上に上段部品P2を再搭載する処理を実行させる。本実施の形態においては、搭載ミスの発生有りの判定がなされた電子部品を排出した後に、新たな電子部品を再搭載するようにしている。
基板搬送処理部30eは、基板搬送機構4による基板搬送動作の制御処理を行う。位置補正量演算部30fは、部品認識部32、基板認識部33の認識結果に基づいて、部品搭載機構31による部品搭載動作時の位置補正量を演算する処理を行う。位置ズレ判定部30gは、基板認識手段による認識結果に基づいて基板3における電子部品の実装位置の正否を判定する。すなわち基板3に実装された後の下段部品P1を基板認識カメラ12によって撮像し、部品認識部32によって認識処理することによって求められた下段部品P1の位置が、正しい実装位置にあるか否かを判定する。
この電子部品実装装置1は上記のように構成されており、以下電子部品実装装置1によって行われる電子部品実装方法について、図6のフローに沿って、各図を参照しながら説明する。この電子部品実装方法は、部品供給機構5A,5Bによって供給される電子部品を部品搭載機構31の部品保持ノズル11によって保持して取り出して基板3に実装するものであり、図6はこの部品実装作業において、基板3に既に実装された下段部品P1上に上段部品P2を重ねるスタック実装動作の詳細を示している。
図7(a)において、基板3の上面には、認識マーク3a、電極3b、3cが形成されており、電子部品実装装置1による部品実装作業に先立って、電極3cには図7(b)に示すようにスクリーン印刷装置によりクリーム半田19が印刷される。半田印刷後の基板3は電子部品実装装置1に搬入され、基板搬送機構4によって搬送され位置決めされる。そして図7(c)に示すように基板認識カメラ12によって認識マーク3aを撮像し、この撮像結果を基板認識部33によって認識処理することによって基板3の位置が認識される。
この後搭載ヘッド10による部品実装が開始される。まず、図7(d)に示すように、部品保持ノズル11によって部品供給機構5Aから取り出された矩形部品18が、クリーム半田19が印刷された電極3cに接続用端子を合わせて搭載される。次いで部品保持ノズル11aによる下段部品P1の実装が行われる。この部品実装においては、まず部品供
給機構5Bにて部品トレイ7aから下段部品P1を取り出した部品保持ノズル11aは、フラックス供給部13に移動する。
フラックス供給部13では、フラックス転写面13a上でスキージ13bを水平移動させることによってフラックス20の膜が形成されている。そして図7(e)に示すように、下段部品P1を保持した部品保持ノズル11aを昇降させることにより、半田バンプP1aの下部にフラックス20を転写する。この後下段部品P1を保持した部品保持ノズル11aは基板3上へ移動し、図7(f)に示すように、フラックス20が転写された半田バンプP1aを電極3bに位置合わせして、下段部品P1を基板3に搭載する。なお、図7においては図示を省略しているが、バンプ付部品17も同様に、フラックス20を転写した後に基板3に搭載される。
このようにバンプ付部品17や矩形部品18などの通常部品およびスタック部品16を構成する下段部品P1の実装が終了した基板3を対象として、スタック実装動作が実行される。図8(a)は、この状態の基板3を示している。スタック実装動作が開始されると、まず図8(b)に示すように、基板認識カメラ12を下段部品P1上へ移動させて、下段部品位置認識が行われる(ST1)。ここでは、下段部品P1の外形もしくは下段部品P1上面の電極を認識することにより、下段部品P1の位置を検出する。
この後、上段部品搭載が実行される(ST2)。すなわち図8(c)に示すように、フラックス20が半田バンプP2aに転写された後の上段部品P2を保持した部品保持ノズル11aを、既に実装された下段部品P1の上方へ移動させ、下段部品P1の上面の電極P1b(図2参照)に半田バンプP2aを位置合わせしてフラックス20を介して着地させる。この後、搭載ミス確認が行われる(ST3)。すなわち部品搭載動作後に部品保持ノズル11aを上昇させた後、圧力センサ25によって圧力検出を行うことにより、正常に搭載されずに上段部品P2が部品保持ノズル11aに付着したまま持ち帰られる搭載ミスの発生有無を確認する。
ここで正常であれば、すなわち図8(d)に示すように、上段部品P2が下段部品P1上に正しく搭載されていれば、スタック実装動作を終了する。そしてこの後基板3はリフロー工程に送られて加熱される。これにより、矩形部品18は電極3cに半田接合により接続される。また下段部品P1は半田バンプP1aが電極3bに半田接合され、さらに半田バンプP2aが下段部品P1に電極P1bを介して半田接合されることによって、基板3に実装された状態のスタック部品16が形成される。
次に図9を参照して、スタック実装動作において搭載ミスが発生した時の処置を説明する。図9(a)は、図8(a)と同様に下段部品P1の実装が完了した状態を示している。上段部品P2を保持した部品保持ノズル11aを下段部品P1上で昇降させる部品搭載動作において、図9(b)に示すように、何らかの原因で部品保持ノズル11aが上段部品P2を保持したまま上昇すると、(ST3)において圧力センサ25によって持ち帰り部品による搭載ミスが確認され、異常である旨の判定がなされる。そしてこのような搭載ミス発生を確認した場合には、まず搭載ミス回数をカウントし(ST4)、カウントされた回数が規定内であるか否かの搭載ミス回数判定を行う(ST5)。ここで搭載ミス回数が予め定められた規定回数以上であれば、装置状態に何らかの異常が発生していると判断し、装置停止して異常報知する(ST9)。これに対し、搭載ミス回数が規定内である場合には、以下の処理を行う。
まず図9(b)に示す状態の部品保持ノズル11aを部品排出部15の上方に移動させて、部品保持ノズル11aから強制ブローを行い、上段部品P2を部品排出部15内に落下させて廃棄又は回収する(ST6)。次いで図9(c)に示すように、基板認識カメラ
12を当該搭載ミスが発生した下段部品P1上に移動させてこの下段部品P1を撮像し、下段部品認識を行う(ST7)。そしてこの認識結果に基づき、位置ズレ判定部30gによって位置ズレ判定を行う(ST8)。
ここで下段部品P1が位置ズレを生じてなく実装位置が正常である旨の判定がなされたならば、(ST2)に戻って上段部品搭載を行う。すなわち図9(d)に示すように、新たに上段部品P2を取り出した部品保持ノズル11aを下段部品P1上に移動させ、図9(e)に示すように、上段部品P2を下段部品P1上に重ねて実装する。
また上述のスタック実装動作において搭載ミスが発生した際に下段部品P1の位置ズレが生じた場合、すなわち図10(b)に示すように、下段部品P1の半田バンプP1aが電極3bの位置から外れた場合には、図10(c)に示す下段部品位置認識において位置ズレが検出される。これにより(ST8)において実装位置が異常である旨の判定がなされ、(ST9)に移行して装置停止し異常報知が行われる。そしてこの異常報知を受けて、オペレータは位置ズレを生じた下段部品P1を除去するリペア処理を行う。
すなわち上述の電子部品実装方法は、基板に既に実装された下段部品P1上に重ねて上段部品P2を実装するスタック実装動作において、上段部品P2が下段部品P1上に正常に搭載されずに部品保持ノズル11aに保持されたまま持ち帰られる搭載ミスの発生有りの判定がなされ、且つ当該搭載ミスが発生した下段部品P1について実装位置が正常である旨の判定がなされたならば、下段部品P1上に上段部品P2を再搭載する処理を実行するようにしている。
これにより、従来のスタック実装において同様の搭載ミス発生時に行われていた煩雑な処置、すなわち基板全体を機外に排出して既実装部品を除去するリペア作業を行った後、再度実装ラインに投入するなど手間と時間を要する処置を行う必要がなく、スタック実装において、搭載ミスが発生した際の処置を容易に行うことができる。
本発明の電子部品実装装置および電子部品実装方法は、スタック実装において搭載ミスが発生した際の処置を容易に行うことができるという効果を有し、基板に電子部品を積層して実装する用途に有用である。
本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の斜視図 本発明の一実施の形態の電子部品実装装置によって部品実装が行われた実装基板の斜視図 本発明の一実施の形態の電子部品実装装置における部品吸着ノズルの吸引・ブロー系の系統図 本発明の一実施の形態の電子部品実装装置における部品吸着ノズルの吸引・ブロー動作のタイミングチャート 本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の制御系の構成を示すブロック図 本発明の一実施の形態の電子部品実装方法のフロー図 本発明の一実施の形態の電子部品実装方法の工程説明図 本発明の一実施の形態の電子部品実装方法の工程説明図 本発明の一実施の形態の電子部品実装方法の工程説明図 本発明の一実施の形態の電子部品実装方法の工程説明図
符号の説明
1 電子部品実装装置
3 基板
4 基板搬送機構
5A,5B 部品供給機構
6 テープフィーダ
7 トレイフィーダ
8 Y軸テーブル
9 X軸テーブル
10 搭載ヘッド
11 部品保持ノズル
12 基板認識カメラ
14 部品認識カメラ
15 部品排出部
16 スタック部品
P1 下段部品
P2 上段部品

Claims (4)

  1. 部品供給機構によって供給される電子部品を基板に実装する電子部品実装装置であって、
    前記部品供給機構から部品保持ノズルによって前記電子部品を取り出して前記基板に移送搭載する部品搭載機構と、前記基板を撮像して認識する基板認識手段と、前記部品保持ノズルに保持された前記電子部品を撮像して認識する部品認識手段と、
    前記部品搭載機構を制御して、前記基板に既に実装された既実装部品上に他の電子部品を重ねて実装するスタック実装動作を実行させるスタック実装処理部と、
    前記部品搭載機構によるスタック実装動作において、前記他の電子部品が既実装部品上に正常に搭載されずに前記部品保持ノズルに保持されたまま持ち帰られる搭載ミスの発生有無を判定する搭載ミス判定部と、
    前記基板認識手段による認識結果に基づいて前記基板における電子部品の実装位置の正否を判定する位置ズレ判定部と、
    前記スタック実装動作において、前記搭載ミス判定部によって搭載ミスの発生有りの判定がなされ、且つ前記位置ズレ判定部によって当該搭載ミスが発生した既実装部品について実装位置が正常である旨の判定がなされたならば、前記部品搭載機構を制御して前記既実装部品上に前記他の電子部品を再搭載する処理を実行させるリトライ処理部とを備えたことを特徴とする電子部品実装装置。
  2. 前記搭載ミスの発生有りの判定がなされた電子部品を排出した後に、新たな電子部品を再搭載することを特徴とする請求項1記載の電子部品実装装置。
  3. 部品供給機構によって供給される電子部品を部品搭載機構の部品保持ノズルによって保持して取り出して基板に実装する電子部品実装方法であって、
    前記基板に既に実装された既実装部品上に重ねて他の電子部品を実装するスタック実装動作において、
    前記他の電子部品が既実装部品上に正常に搭載されずに前記部品保持ノズルに保持されたまま持ち帰られる搭載ミスの発生有りの判定がなされ、且つ当該搭載ミスが発生した既実装部品について実装位置が正常である旨の判定がなされたならば、前記既実装部品上に前記他の電子部品を再搭載する処理を実行することを特徴とする電子部品実装方法。
  4. 前記搭載ミスの発生有りの判定がなされた電子部品を排出した後に、新たな電子部品を再搭載することを特徴とする請求項3記載の電子部品実装方法。
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