JP2007155474A - プローブ及びその製造方法 - Google Patents
プローブ及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007155474A JP2007155474A JP2005350408A JP2005350408A JP2007155474A JP 2007155474 A JP2007155474 A JP 2007155474A JP 2005350408 A JP2005350408 A JP 2005350408A JP 2005350408 A JP2005350408 A JP 2005350408A JP 2007155474 A JP2007155474 A JP 2007155474A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- contact
- buckling
- plating
- nickel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 85
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims abstract description 47
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 34
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical group [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 17
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 13
- 229910000629 Rh alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 claims description 15
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 10
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 7
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910000575 Ir alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 16
- PXXKQOPKNFECSZ-UHFFFAOYSA-N platinum rhodium Chemical compound [Rh].[Pt] PXXKQOPKNFECSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229910000566 Platinum-iridium alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 210000001015 abdomen Anatomy 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- HWLDNSXPUQTBOD-UHFFFAOYSA-N platinum-iridium alloy Chemical class [Ir].[Pt] HWLDNSXPUQTBOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Images
Abstract
【構成】 半導体素子600の電極610に接触する接触部110と、プローブカード500を構成する基板510の配線パターンに接続される接続部120と、接触部220と接続部120との間に設けられた座屈部130とを備え、座屈部130は、接触部220や接続部120より細く形成される。白金、ロジウム合金等の白金族の合金からなる細線200の全体にニッケル等をメッキする第1のメッキ工程と、座屈部130に相当する部分130Aにメッキされない素材からなるカバー230を形成するカバー工程と、カバー230でカバーされた部分以外の部分にニッケル等をメッキする第2のメッキ工程とを有する。
【選択図】 図2
Description
しかし、ニッケル又はニッケル合金のメッキが厚いと、座屈部においてオーバードライブ時の変形時に剥がれるおそれがあるが、薄いとそのような心配もない。
しかし、ニッケル又はニッケル合金のメッキが厚いと、座屈部130においてオーバードライブ時の変形時に剥がれるおそれがあるが、薄いとそのような心配もない。
このプローブカード500は、図4に示すように、基板510と、この基板510の裏面側に設けられるフレーム部520と、前記プローブ100とをその基本的構成要素としている。
110 接触部
120 接続部
130 座屈部
Claims (8)
- 測定対象物の電極に接触する接触部と、プローブカードを構成する基板の配線パターンに接続される接続部と、前記接触部と接続部との間に設けられた座屈部とを具備しており、前記座屈部は、接触部や接続部より細く形成されていることを特徴とするプローブ。
- 測定対象物の電極に接触する接触部と、プローブカードを構成する基板の配線パターンに接続される接続部と、前記接触部と接続部との間に設けられた座屈部とを具備しており、前記座屈部は、接触部や接続部より細く形成されているプローブにおいて、白金、ロジウム合金、イリジウム又はパラジウム合金等の白金族の合金からなる細線と、この細線に施された第1のメッキ層と、この第1のメッキ層の上であって、前記座屈部に相当する部分以外に施された第2のメッキ層とを有しており、前記第1及び第2のメッキ層は、ニッケル又はニッケル合金からなることを特徴とするプローブ。
- 前記第1のメッキ層は、第2のメッキ層より薄く形成されたものであることを特徴とする請求項2記載のプローブ。
- 前記第1のメッキ層の厚さは2〜10μm、第2のメッキ層の厚さは10〜20μmであることを特徴とする請求項2又は3記載のプローブ。
- 前記細線は、直径が15〜30μmであることを特徴とする請求項2、3又は4記載のプローブ。
- 先端が測定対象物の電極に接触する接触部となり、後端がプローブカードを構成する基板の配線パターンに接続される接続部となり、前記接触部と接続部との間に他の部分より細く形成された座屈部を有するプローブの製造方法において、白金、ロジウム合金、イリジウム又はパラジウム等の白金族の合金からなる細線の全体にニッケル又はニッケル合金をメッキする第1のメッキ工程と、前記座屈部に相当する部分にメッキされない素材からなるカバーを形成するカバー形成工程と、前記カバーでカバーされた部分以外の部分にニッケル又はニッケル合金をメッキする第2のメッキ工程と、前記カバーを剥離する剥離工程とを具備したことを特徴とするプローブの製造方法。
- 前記剥離工程の後に、接触部の先端に相当する部分を先鋭化する先鋭化工程を行なうことを特徴とする請求項6記載のプローブの製造方法。
- 前記先鋭化工程の後に、座屈部に相当する部分を屈曲させる屈曲工程を行なうことを特徴とする請求項7記載のプローブの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005350408A JP4421550B2 (ja) | 2005-12-05 | 2005-12-05 | プローブ及びプローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005350408A JP4421550B2 (ja) | 2005-12-05 | 2005-12-05 | プローブ及びプローブカード |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007155474A true JP2007155474A (ja) | 2007-06-21 |
JP4421550B2 JP4421550B2 (ja) | 2010-02-24 |
Family
ID=38240050
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005350408A Active JP4421550B2 (ja) | 2005-12-05 | 2005-12-05 | プローブ及びプローブカード |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4421550B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010190757A (ja) * | 2009-02-19 | 2010-09-02 | Nagoya Institute Of Technology | 座屈を利用した荷重負荷機構 |
JP2012094697A (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-17 | Kyocera Corp | 回路基板および電子装置 |
EP2674765A4 (en) * | 2011-02-08 | 2016-06-22 | Tanaka Precious Metal Ind | RHODIUM ALLOY HAVING EXCELLENT HARDNESS, TRANSFORMABILITY AND ANTI-SOIL CHARACTERISTICS, AND SUITABLE FOR A MACHINE WIRE FOR PROBE POINTS |
WO2023105553A1 (ja) * | 2021-12-06 | 2023-06-15 | 日本電子材料株式会社 | プローブカード |
WO2023175800A1 (ja) * | 2022-03-16 | 2023-09-21 | 日本電子材料株式会社 | 複合プローブ、プローブの取り付け方法及びプローブカードの製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5839798B2 (ja) | 2010-12-17 | 2016-01-06 | 株式会社オプトニクス精密 | プローブカード |
-
2005
- 2005-12-05 JP JP2005350408A patent/JP4421550B2/ja active Active
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010190757A (ja) * | 2009-02-19 | 2010-09-02 | Nagoya Institute Of Technology | 座屈を利用した荷重負荷機構 |
JP2012094697A (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-17 | Kyocera Corp | 回路基板および電子装置 |
EP2674765A4 (en) * | 2011-02-08 | 2016-06-22 | Tanaka Precious Metal Ind | RHODIUM ALLOY HAVING EXCELLENT HARDNESS, TRANSFORMABILITY AND ANTI-SOIL CHARACTERISTICS, AND SUITABLE FOR A MACHINE WIRE FOR PROBE POINTS |
WO2023105553A1 (ja) * | 2021-12-06 | 2023-06-15 | 日本電子材料株式会社 | プローブカード |
WO2023175800A1 (ja) * | 2022-03-16 | 2023-09-21 | 日本電子材料株式会社 | 複合プローブ、プローブの取り付け方法及びプローブカードの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4421550B2 (ja) | 2010-02-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8471578B2 (en) | Probe and method of manufacturing probe | |
JP5103566B2 (ja) | 電気接触子およびそれを備える検査冶具 | |
JP5100750B2 (ja) | プローブ、プローブカード及びプローブの製造方法 | |
JP4421550B2 (ja) | プローブ及びプローブカード | |
JP5255459B2 (ja) | コンタクトプローブ | |
JP3458684B2 (ja) | コンタクトプローブ | |
JP4743945B2 (ja) | 接続装置の製造方法 | |
JPH1144708A (ja) | コンタクトプローブおよびその製造方法 | |
JP2010044983A (ja) | 接触子及びその製造方法、ならびに前記接触子を備える接続装置及びその製造方法 | |
JP5062355B2 (ja) | 接続端子及び接続端子の製造方法 | |
JP2003043064A (ja) | 接触子製造用金型及びその製造方法並びに接触子の製造方法 | |
JP2010002391A (ja) | コンタクトプローブ及びその形成方法 | |
JP2008096293A (ja) | 検査用接触子の製造方法、検査用接触子、検査用治具及び検査装置 | |
JP3648527B2 (ja) | プローブカードの製造方法 | |
TW200532209A (en) | Multi-signal single beam probe | |
JP2008311017A (ja) | 接続装置 | |
JP4074297B2 (ja) | プローブユニットの製造方法 | |
JP2007147518A (ja) | 電極子装置 | |
JP2010276359A (ja) | 基板検査装置用検査治具 | |
JP2010107319A (ja) | コンタクトプローブの製造方法 | |
JP2005241426A (ja) | 電子部品検査装置 | |
JP2009300079A (ja) | コンタクトプローブ及びプローブカード | |
JP5203136B2 (ja) | コンタクトプローブの製造方法 | |
JP2003254994A (ja) | コンタクトプローブおよびその製造方法 | |
JP2004309331A (ja) | 接触子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090430 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090512 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090624 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090710 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090804 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091002 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091201 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091202 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121211 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4421550 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121211 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131211 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |