JP2007150272A - レーザ照射装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ発振器から射出されるレーザビームを偏向する偏向ミラーと、転送レンズと、転送レンズを通過したレーザビームを複数に分割するシリンドリカルレンズアレイと、シリンドリカルレンズアレイで形成されたレーザビームを重ね合わせる集光レンズとを備え、レーザ発振器の射出口から偏向ミラーまでの距離をa、偏向ミラーから前記転送レンズまでの距離をb、転送レンズからシリンドリカルレンズアレイの入射面までの距離をc、転送レンズの焦点距離をfとした場合、これらが次式、
1/f=1/(a+b)+1/c
を満たすように配置する。
【選択図】図1
Description
以下に、本発明に係るレーザ照射装置の一態様に関し、図4を用いて更に具体的に説明する。ここでは、線状ビームの長辺方向の光軸ずれを防止する光学系の例を示す。また、レーザ発振器から射出したレーザビームを長さ150mmのビームスポットに成形するための光学系について説明するが、本発明はビームスポットの長さを150mmに限定するものではなく、150mmよりも長い場合にも短い場合についても同様に適用できる。
本実施の形態では、本発明に係るレーザ照射装置で用いる光学系について、実施の形態1に記載した光学系とは別の光学系について説明する。図7は実施の形態1の光学系に、短軸方向の光軸ずれを補正する機能を追加した光学系の例である。
本実施の形態では、本発明に係るレーザ照射装置で用いる光学系について、実施の形態1および実施の形態2に記載した光学系とは別の光学系について説明する。図8はレーザ発振器から射出したレーザビームを偏向ミラー面上に転送する光学系の例である。
11 下地絶縁膜
14 半導体膜
17 半導体層
18 ゲート絶縁膜
19 ゲート電極
20 ソース領域
21 ドレイン領域
22 チャネル形成領域
23 層間絶縁膜
24 ソース電極
25 ドレイン電極
31 層間絶縁膜
101 レーザ発振器の射出口
102 偏向ミラー
103 転送レンズ
104 シリンドリカルレンズアレイ
105 光路
106 光路
107 光路
110 レーザ発振器の射出口
111 転送レンズ
112 偏向ミラー
113 転送レンズ
114 シリンドリカルレンズアレイ
Claims (18)
- レーザ発振器と、
前記レーザ発振器から射出されるレーザビームを転送する転送レンズと、
前記転送レンズを通過したレーザビームを複数に分割するシリンドリカルレンズアレイと、
を有することを特徴とするレーザ照射装置。 - レーザ発振器と、
前記レーザ発振器から射出されるレーザビームを転送する転送レンズと、
前記転送レンズを通過したレーザビームを複数に分割するシリンドリカルレンズアレイと、
前記シリンドリカルレンズアレイで形成されたレーザビームを重ね合わせる集光レンズと
を有することを特徴とするレーザ照射装置。 - レーザ発振器と、
前記レーザ発振器から射出されるレーザビームを偏向する偏向ミラーと、
前記偏向ミラーで偏向されたレーザビームを転送する転送レンズと、
前記転送レンズを通過したレーザビームを複数に分割するシリンドリカルレンズアレイと、
前記シリンドリカルレンズアレイで形成されたレーザビームを重ね合わせる集光レンズと、
前記集光レンズを通過したレーザビームを投影させる照射面を設置するステージと
を有することを特徴とするレーザ照射装置。 - 請求項1乃至4のいずれか一項において、
前記転送レンズは、前記レーザ発振器の射出口と、前記シリンドリカルレンズアレイの入射面の位置を互いに共役の関係にするように配置されていることを特徴とするレーザ照射装置。 - レーザ発振器と、
前記レーザ発振器から射出されるレーザビームを転送する第1の転送レンズと、
前記第1の転送レンズを通過したレーザビームを偏向する偏向ミラーと、
前記偏向ミラーで偏向したレーザビームを転送する第2の転送レンズと、
前記第2の転送レンズを通過したレーザビームを複数に分割するシリンドリカルレンズアレイと、
前記シリンドリカルレンズアレイで形成されたレーザビームを重ね合わせる集光レンズと、
前記集光レンズを通過したレーザビームを投影させる照射面を設置するステージと
を有することを特徴とするレーザ照射装置。 - 請求項6又は7において、
前記レーザ発振器の射出口と前記偏向ミラーとは、互いに共役となる位置に配置され、
前記偏向ミラーと前記シリンドリカルレンズアレイとは、互いに共役となる位置に配置されていることを特徴とするレーザ照射装置。 - ガウスビームを射出するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から射出されるガウスビームを偏向する偏向ミラーと、
前記偏向ミラーで偏向されたガウスビームを転送する転送レンズと、
前記転送レンズを通過したガウスビームを複数に分割するシリンドリカルレンズアレイと、
前記シリンドリカルレンズアレイで形成されたガウスビームを重ね合わせる集光レンズと、
前記集光レンズを通過したガウスビームを投影させる照射面を設置するステージと
を有することを特徴とするレーザ照射装置。 - 請求項9又は10において、
前記転送レンズは、前記ガウスビームのビームウエストと、前記シリンドリカルレンズアレイの入射面の位置を互いに共役の関係にするように配置されていることを特徴とするレーザ照射装置。 - ガウスビームを射出するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から射出されるガウスビームを転送する第1の転送レンズと、
前記第1の転送レンズを通過したガウスビームを偏向する偏向ミラーと、
前記偏向ミラーで偏向したガウスビームを転送する第2の転送レンズと、
前記第2の転送レンズを通過したガウスビームを複数に分割するシリンドリカルレンズアレイと、
前記シリンドリカルレンズアレイで形成されたガウスビームを重ね合わせる集光レンズと、
前記集光レンズを通過したガウスビームを投影させる照射面を設置するステージと
を有することを特徴とするレーザ照射装置。 - 請求項12において、
前記ガウスビームのビームウエストと、前記偏向ミラーと、前記第1の転送レンズと、前記第2の転送レンズと、前記シリンドリカルレンズは、
前記ガウスビームのビームウエストから前記第1の転送レンズまでの距離をa、前記第1の転送レンズから前記偏向ミラーまでの距離をb、前記第1の転送レンズの焦点距離をf1とした場合、これらが次式、
前記偏向ミラーから前記第2の転送レンズまでの距離をc、前記第2の転送レンズから前記シリンドリカルレンズアレイまでの距離をd、前記第2の転送レンズの焦点距離をf2とするとした場合、これらが次式、
- 請求項12又は13において、
前記ガウスビームのビームウエストと前記偏向ミラーとは、互いに共役となる位置に配置され、
前記偏向ミラーと前記シリンドリカルレンズアレイとは、互いに共役となる位置に配置されていることを特徴とするレーザ照射装置。 - レーザ発振器から射出したレーザビームを転送レンズによりシリンドリカルレンズアレイ上に投影し、
前記シリンドリカルレンズアレイで該レーザビームを複数に分割し、
集光レンズにより、前記シリンドリカルレンズアレイで形成されたレーザビームを重ね合わせて照射することを特徴とするレーザ照射方法。 - レーザ発振器から射出したレーザビームをシリンドリカルレンズアレイで複数に分割するときに、前記レーザ発振器の射出口と前記シリンドリカルレンズアレイの入射面の位置を互いに共役の関係にするように配置された転送レンズを用い、該転送レンズにより前記シリンドリカルレンズアレイ上にレーザビーム投影し、
集光レンズにより、前記シリンドリカルレンズアレイで形成されたレーザビームを重ね合わせて照射することを特徴とするレーザ照射方法。 - レーザ発振器から射出したレーザビームを転送レンズによりシリンドリカルレンズアレイ上に投影し、
前記シリンドリカルレンズアレイで該レーザビームを複数に分割し、
集光レンズにより、前記シリンドリカルレンズアレイで形成されたレーザビームを重ね合わせて半導体膜に照射して結晶化を行う工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - レーザ発振器から射出したレーザビームをシリンドリカルレンズアレイで複数に分割するときに、前記レーザ発振器の射出口と前記シリンドリカルレンズアレイの入射面の位置を互いに共役の関係にするように配置された転送レンズを用い、該転送レンズにより前記シリンドリカルレンズアレイ上にレーザビーム投影し、
集光レンズにより、前記シリンドリカルレンズアレイで形成されたレーザビームを重ね合わせて半導体膜に照射して結晶化を行う工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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JP2008218601A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ビーム照射装置、及び、ビーム照射方法 |
JP2012243900A (ja) * | 2011-05-18 | 2012-12-10 | Showa Optronics Co Ltd | ファイバ転送レーザ光学系 |
JP2016046527A (ja) * | 2014-08-21 | 2016-04-04 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置とその作製方法、電子機器 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08220432A (ja) * | 1995-02-17 | 1996-08-30 | Nikon Corp | 投影光学系および該光学系を備えた露光装置 |
JPH0933852A (ja) * | 1995-07-19 | 1997-02-07 | Nikon Corp | 照明装置および該装置を備えた投影露光装置 |
JPH11162868A (ja) * | 1997-12-02 | 1999-06-18 | Toshiba Corp | レ−ザ照射装置 |
JP2001023921A (ja) * | 1992-06-26 | 2001-01-26 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザー処理装置 |
JP2004119900A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Sharp Corp | 半導体薄膜の結晶化方法およびレーザ照射装置 |
JP2005108987A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Sharp Corp | 半導体薄膜の結晶化装置および結晶化方法ならびに半導体装置の製造方法および半導体装置 |
JP2005311164A (ja) * | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Nikon Corp | レーザアニール装置 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001023921A (ja) * | 1992-06-26 | 2001-01-26 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザー処理装置 |
JPH08220432A (ja) * | 1995-02-17 | 1996-08-30 | Nikon Corp | 投影光学系および該光学系を備えた露光装置 |
JPH0933852A (ja) * | 1995-07-19 | 1997-02-07 | Nikon Corp | 照明装置および該装置を備えた投影露光装置 |
JPH11162868A (ja) * | 1997-12-02 | 1999-06-18 | Toshiba Corp | レ−ザ照射装置 |
JP2004119900A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Sharp Corp | 半導体薄膜の結晶化方法およびレーザ照射装置 |
JP2005108987A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Sharp Corp | 半導体薄膜の結晶化装置および結晶化方法ならびに半導体装置の製造方法および半導体装置 |
JP2005311164A (ja) * | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Nikon Corp | レーザアニール装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008218601A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ビーム照射装置、及び、ビーム照射方法 |
JP2012243900A (ja) * | 2011-05-18 | 2012-12-10 | Showa Optronics Co Ltd | ファイバ転送レーザ光学系 |
JP2016046527A (ja) * | 2014-08-21 | 2016-04-04 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置とその作製方法、電子機器 |
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