JP2007149590A

JP2007149590A - ラジカル処理装置

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Publication number: JP2007149590A
Application number: JP2005345497A
Authority: JP
Inventors: Takafumi Iijima; 崇文飯島; Kikei Kubo; 貴恵久保; Takaaki Murata; 隆昭村田; Yuji Okita; 裕二沖田
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2005-11-30
Filing date: 2005-11-30
Publication date: 2007-06-14

Abstract

【課題】放電によるラジカル処理方法を使用するラジカル処理装置において、水処理などに適用した場合の処理効率の向上を図ることができるラジカル処理装置を提供することにある。
【解決手段】放電によりラジカルを生成するラジカル処理装置１０において、高電圧の印加により放電プラズマを発生させる突起部材４の近傍にラジカル処理用ガス６を導入するためのガス流入口７及びラジカルを含むラジカル含有ガス１１を噴出するためのガス流出口８を有する構成である。
【選択図】図１

Description

本発明は、放電を利用して発生するラジカルにより、水の浄化処理や、物質の表面処理または表面化異質などの処理に適用できるラジカル処理装置に関する。

近年、例えば水の浄化処理に適用する水処理方法として、塩素を利用した方法以外に、オゾン（Ｏ_３）の酸化反応を利用した水処理方法が注目されている。両方法とも、化学的に強い酸化力を利用して、水中に溶存する有機物質を分解することができる。

一般的に、それらの酸化ポテンシャルは、塩素が１．４ボルトであるのに対し、オゾンは２．０７ボルトと高い。これに対して、ヒドロキシルラジカル（ＯＨラジカル）や、酸素原子ラジカル（Ｏラジカル）は、酸化ポテンシャルがそれぞれ２．８５ボルト、２．４２ボルトであり、オゾンよりさらに高い。また、有機物質に対する反応速度定数も、オゾンより高い。

このため、ＯＨラジカルやＯラジカルを利用すれば、ダイオキシンなどの難分解性物質をすばやく分解することが可能である。ここで、ＯＨラジカルやＯラジカルなどを総称して、以下単にラジカルと表記する。また、ラジカルを利用して水処理などを行なう処理をラジカル処理と表記する。このラジカルは、放電を発生させることにより得られ、多湿雰囲気での放電下ではＯＨラジカルが得られて、酸素雰囲気下ではＯラジカルが得られる。

ラジカル処理の先行技術としては、例えばコロナ放電を利用した有害物質を浄化する浄化方法が提案されている（例えば、特許文献１を参照）。また、低温プラズマにより反応性ガスを発生させて、オゾンより反応性の高いラジカルを有効に利用するラジカル処理方法も提案されている（例えば、特許文献２及び特許文献３を参照）。さらに、プラズマ放電により、廃水中にラジカルを発生させて浄化する浄化方法も提案されている（例えば、特許文献４を参照）。
特開２００１−７０９４６号公報特開２００３−８００５９号公報特開２００３−８００５８号公報特開２０００−２８８５４７号公報

前述のような放電方法により得られるラジカルは、反応性が非常に高く、発生した直後に消滅する。このラジカルにより水中に溶存する難分解性有機物を分解するには、発生直後に、ラジカルを水中へ溶け込ませる必要がある。従って、単に放電によるラジカル処理方法を適用しただけでは、水処理の効率はそれ程高くないという問題点がある。

そこで、本発明の目的は、放電によるラジカル処理方法を使用するラジカル処理装置において、水処理などに適用した場合の処理効率の向上を図ることができるラジカル処理装置を提供することにある。

本発明の観点は、ラジカル処理用ガスから放電により発生するラジカルにより、例えば水中に溶存する難分解性物質などの分解処理を行なうラジカル処理を、効率的に行なうことができる構造を備えたラジカル処理装置である。

本発明の観点に従ったラジカル処理装置は、放電用の高電圧を発生する電源と、前記電源からの高電圧により放電プラズマを発生させるプラズマ発生用部材を有する高電圧電極と、前記高電圧電極に対向して配置された接地電極と、前記プラズマ発生用部材の近傍にラジカル処理用ガスを導入するためのガス流入部、及び前記放電プラズマにより生成されるラジカルを含むガスを処理対象物に対して噴出するためのガス流出部を有する本体とを備えた構成である。

本発明によれば、放電によるラジカルを含むガスを処理対象に噴出することにより、ラジカルが消滅する前に処理対象との反応を実現することにより、ラジカル処理効率の向上を図るラジカル処理装置を提供できる。特に、水の浄化処理や、物質の表面改質や表面処理に適用した場合に有効である。

以下図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。

［第１の実施形態］
図１は、本実施形態に関するラジカル処理装置の要部を説明するための図である。

ラジカル処理装置１０は、図１に示すように、通常ではパルス高電圧を発生する電源１と、先端部でプラズマ５を発生させるプラズマ発生用部材である突起部材４が接続された高電圧電極２と、当該高電圧電極２に対する接地電位となる接地電極３とを有する。

電源１は、高電圧電極２と接地電極３との間に高電圧を印加して、突起部材４の先端部で例えばコロナ放電によるプラズマ５を発生させる。高電圧電極２には、図１及び図３（正面図）に示すように、ラジカル処理用ガス６を導入するためのガス流入口７が設けられている。また、接地電極３には、図１及び図１０に示すように、ラジカルを含むガス１１を流出（噴出）するためのガス流出口８が設けられている。

ガス流入口７は、図３に示すように、例えば横長のスリット形状である。また、突起部材４は、例えば刃形状（ブレード形状）である。さらに、ガス流出口８は、図１０に示すように、例えば横長のスリット形状である。

なお、突起部材４は、刃状で両端が丸く加工を施されている部材でもよい。

次に、図２は、当該ラジカル処理装置１０を水処理プラントに適用した場合の構成を示す図である。

水処理プラントは、処理水１１０を収容するための反応容器１００と、当該反応容器１００に設置されたラジカル処理装置１０とから構成される。処理水１１０は、例えば難分解性有機物や廃棄物、最終処分場の浸出水、ダイオキシン類、工場の排水、家庭排水等を含有した廃水である。反応容器１００は、例えばステンレス材質からなる。

ラジカル処理装置１０は、反応容器１００の側面で、処理水１１０の水面より下部に設置されている。なお、ラジカル処理装置１０は、反応容器１００の底部に設置されてもよい。ラジカル処理装置１０では、高電圧電極２は、絶縁部９を介して接地電極３と一体的に構成されている。高電圧電極２と接地電極３との間には、例えば高電圧パルスを発生する電源１から例えばコロナ放電に必要な高電圧が印加される。これにより、突起部材４は、その先端部で例えばコロナ放電によるプラズマ５を発生する。なお、突起部材４は、誘電体材料により覆われていてもよい。

次に、図１と共に図２も参照して、本実施形態に関するラジカル処理装置１０の作用効果を説明する。

まず、反応容器１００の内部に処理水１１０が蓄えられると、ラジカル処理装置１０によるラジカル処理が行なわれる。ラジカル処理装置１０では、図１に示すように、ガス流入口７からラジカル処理用ガス６が導入される。ここで、ラジカル処理用ガス６は、例えば水分を含む空気である。

一方、高電圧電極２と接地電極３との間には、電源１から高電圧パルスが印加される。これにより、高電圧電極２に接続された突起部材４の先端では、コロナ放電によるプラズマ５が発生する。突起部材４の周辺には、ラジカル処理用ガス６が導入されているため、プラズマ５とラジカル処理用ガス６との反応により、ラジカルが発生する。

ガス流出口８からは、プラズマ５内で生成されるラジカルが含まれたラジカル含有ガス１１が噴出される。このラジカル含有ガス１１が、ガス流出口８から反応容器１００の内部に蓄えられた処理水１１０中に噴出される。ラジカル含有ガス１１は、図２に示すように、微小な気泡として処理水１１０中に吹き込まれて、有機物などを分解処理する。

以下、高電圧電極２からのコロナ放電によるラジカルの生成プロセスの原理を説明する。

放電が酸素（Ｏ原子）を含有する空気（ラジカル処理用ガス６）などの雰囲気中で発生した場合、放電内では電子ｅと気体分子との衝突により、基底状態の酸素原子Ｏ（^３Ｐ）や励起状態のＯ原子Ｏ（^１Ｄ）が発生する。これを、下記の化学式（１）で表現する。

ｅ＋Ｏ_２→Ｏ（^１Ｄ）＋Ｏ（^３Ｐ）…（１）
ここで、Ｏ（^１Ｄ）は水分子と反応し、ヒドロキシラジカル（以下、ＯＨラジカルと表記する）を意味する。すなわち、下記の化学式（２）が成立する。

Ｏ（^１Ｄ）＋Ｈ_２Ｏ→２・ＯＨ…（２）
Ｏ（^３Ｐ）原子からは、Ｏ_２分子と中性分子Ｍとの３体衝突により、オゾンＯ_３が発生する。すなわち、下記の化学式（３）が成立する。

Ｏ（^３Ｐ）＋Ｏ_２＋Ｍ→Ｏ_３＋Ｍ…（３）
Ｏ（^３Ｐ）は、Ｈ_２Ｏとも反応し、下記式（４）に示すように、ＯＨラジカルも発生する。

Ｏ（^３Ｐ）＋Ｈ_２Ｏ→２・ＯＨ…（４）
また、水分子に直接電子が衝突することによっても、Ｈ原子およびＯＨラジカルが発生する。これを、下記の化学式（５）で表現する。

ｅ＋Ｈ_２Ｏ→Ｈ＋・ＯＨ…（５）
また、ＯＨラジカルからは、過酸化水素Ｈ_２Ｏ_２も発生する。これを、下記の化学式（６）で表現する。

・ＯＨ＋・ＯＨ→Ｈ_２Ｏ_２…（６）
このようにして生成されたＯ原子、ＯＨラジカル、オゾンおよび過酸化水素が、ラジカルとして、熱運動、拡散、ガス流により処理水中へ溶け込むことによって処理される。

直接処理では、放電から発生したＯＨラジカルが処理対象水２の水中へと溶解し、すぐに難分解性有機物と反応する。これにより、水Ｈ_２Ｏと、二酸化炭素ＣＯ_２と、過酸化水素に分解する。これを、下記の化学式（７）で表現する。

・ＯＨ＋Ｒ→Ｈ_２Ｏ＋ＣＯ_２＋Ｈ_２Ｏ_２…（７）
これに対し、間接処理では、放電から発生したオゾンと過酸化水素との反応により、ＯＨラジカルが発生し、難分解性有機物を分解する。

過酸化水素は、水中に溶解すると解離して、ＨＯ_２ ^―と水素イオンＨ^＋を形成する。これを、下記の化学式（８）で表現する。

Ｈ_２Ｏ_２→ＨＯ_２ ^―＋Ｈ^＋…（８）
発生したＨＯ_２ ^―は、Ｏ_３と反応し、Ｏ_３ ^―とＨＯ_２ラジカルを形成する。これを、下記の化学式（９）で表現する。

ＨＯ_２ ^―＋Ｏ_３→Ｏ_３ ^―＋ＨＯ_２…（９）
発生したＨＯ_２は解離し、Ｏ_２ ^―とＨ^＋を形成する。これを、下記の化学式（１０）で表現する。

ＨＯ_２→Ｏ_２ ^―＋Ｈ^＋（１０）
発生したＯ_２ ^―はオゾンと反応し、Ｏ_３ ^―を形成する。これを、下記の化学式（１１）で表現する。

Ｏ_２ ^―＋Ｏ_３→Ｏ_３ ^―＋Ｏ_２…（１１）
Ｏ_３ ^―はＨ^＋と反応し、ＨＯ_３を形成する。これを、下記の化学式（１２）で表現する。

Ｏ_３ ^―＋Ｈ^＋→ＨＯ_３…（１２）
ＨＯ_３は解離し、ＯＨラジカルを形成する。これを、下記の化学式（１３）で表現する。

ＨＯ_３→・ＯＨ＋Ｏ_２…（１３）
以上のようにして、放電により発生したラジカル含有ガス１１を、反応容器１００の内部に蓄えられた処理水１１０中に溶解させて、当該ラジカルによる直接処理及び間接処理の２段階により、処理水１１０に含まれる有機物などの分解処理を含む水処理を行なうことができる。

ここで、本実施形態のラジカル処理装置１０は、ガス流入口７からラジカル処理用ガス６を導入し、突起部材４の先端でコロナ放電によるプラズマ５でラジカルを生成し、当該ラジカルが含まれたラジカル含有ガス１１を処理水１１０中に噴出する。従って、プラズマ５で発生したラジカルは、消滅する前に、処理水１１０中に短時間で溶け込むことが可能となる。従って、溶解したラジカルが、消滅する前の有効な状態で、処理水１１０中に溶存する難分解性有機物などと反応し、効率的に分解処理することが可能となる。

また、本実施形態のラジカル処理装置１０は、図３（Ａ），（Ｂ）及び図１０（Ａ），（Ｂ）に示すように、ガス流入口７からラジカル処理用ガス６を導入し、さらに均一的に設けられたガス流出口８からラジカル含有ガス１１を処理水１１０中に均一的に噴出させることが可能となる。なお、図３及び図１０において、同図（Ｂ）は同図（Ａ）内のＸにおける断面図である。

これにより、処理水１１０中に溶存する難分解性有機物などとの反応を均一化し、結果として、効率的なラジカル処理を実現することが可能となる。

［第２の実施形態］
図４（Ａ），（Ｂ）は、第２の実施形態に関するラジカル処理装置１０の高電圧電極２の構造を示す図である。図４において、同図（Ｂ）は同図（Ａ）内のＸにおける断面図である。

本実施形態において、高電圧電極２の構造以外は、図１、図２および図１０（Ａ），（Ｂ）に示すような第１の実施形態に関するラジカル処理装置１０と同様であるため、説明を省略する。

本実施形態に関する高電圧電極２には、図４（Ａ），（Ｂ）に示すように、ガス流入口７として、少なくとも１つ以上からなる円形状の穴から構成されている。このような構造のガス流入口７であれば十分な圧損が生じることから、ラジカル処理用ガス６を、複数の穴から均一な流速または流量で、突起部材４の先端周辺まで導入することができる。従って、突起部材４では、ラジカル処理用ガス６と放電プラズマ５とが均一に反応し、当該反応により生成されるラジカルが均一に含まれたラジカル含有ガス１１（均一なラジカル濃度分布）を、処理水１１０中に噴出することができる。これにより、処理水１１０中に溶存する難分解性有機物等とのラジカル反応を均一化し、結果として、効率的なラジカル処理を実現することが可能となる。

［第３の実施形態］
図５（Ａ），（Ｂ）は、第３の実施形態に関するラジカル処理装置１０の高電圧電極２の構造を示す図である。図５において、同図（Ｂ）は同図（Ａ）内のＸにおける断面図である。

本実施形態では、高電圧電極２上に設けられた突起部材４は針状である。また、第１の本実施形態と同様に、この針状での突起部材４は、誘電体材料により覆われていてもよい。このような構造の突起部材４であれば、その先端部において放電プラズマは、低電力で発生する。即ち、放電プラズマは、突起部材４の先端が鋭角であるほど低電力で発生する。従って、突起部材４の形状を針状とすることにより、結果として低電力でラジカルを発生させることができる。これにより、浄化処理などの水処理に適用する場合に、低消費電力化が可能となるため、水処理プラントの処理効率を高めることが可能となる。

［第４の実施形態］
図６（Ａ），（Ｂ）は、第４の実施形態に関するラジカル処理装置１０の高電圧電極２の構造を示す図である。図６において、同図（Ｂ）は同図（Ａ）内のＸにおける断面図である。

本実施形態では、高電圧電極２上に設けられた突起部材４は針状であり、かつ、ガス流入口７は少なくとも１つ以上からなる円形状の穴から構成されている。なお、突起部材４は、誘電体材料により覆われていてもよい。

このような構造の突起部材４であれば、前述の第３の実施形態と同様に、その先端部において、放電プラズマを低電力で発生させることができる。従って、低電力でラジカルを発生させることができるため、浄化処理などの水処理に適用する場合に、低消費電力化が可能となるため、水処理プラントの処理効率を高めることが可能となる。

また、ガス流入口７を円形の穴とすることにより、前述の第２の実施形態と同様に、十分な圧損が生じることから、ラジカル処理用ガス６を、複数の穴から均一な流速または流量で、突起部材４の先端周辺まで導入することができる。これにより、ラジカル処理用ガス６は、突起部材４の先端付近を均一に流れるようになるため、放電プラズマ５により発生するラジカルを含むラジカル含有ガス１１のラジカル濃度分布も、均一となる。従って、処理水１１０中に溶存する難分解性有機物等とのラジカル反応を均一化し、結果として、効率的な水処理を実現することが可能となる。

［第５の実施形態］
図７（Ａ），（Ｂ）は、第５の実施形態に関するラジカル処理装置１０の高電圧電極２の構造を示す図である。図７において、同図（Ｂ）は同図（Ａ）内のＸにおける断面図である。

本実施形態では、高電圧電極２上に設けられた突起部材４は、中空円錐形状である。さらに、突起部材４の中空部がガス流入口７で、ガス流入口７は、円形状の穴から構成されて、導入されるラジカル処理用ガス６を突起部材４の円錐状の先端部の穴に送り出す。なお、突起部材４は、誘電体材料により覆われていてもよい。

このような構造の突起部材４であれば、その先端部が針状で鋭角であるため、放電プラズマは低電力で発生する。従って、低電力でラジカルを発生させることができるため、これにより、浄化処理などの水処理に適用する場合に、低消費電力化が可能となるため、水処理プラントの処理効率を高めることが可能となる。

また、突起部材４を中空円錐状とすることにより、突起部材４とガス流入口７とを一体化できるため、高電圧電極２の構成を単純化することが可能となる。さらに、ガス流入口７は円形の穴とすることにより、前述の第２の実施形態と同様に、十分な圧損が生じることから、ガス流入口７のそれぞれから均一にラジカル処理用ガス６が流れるようになる。さらに、突起部材４の先端では放電プラズマ５が発生することから、その先端部に設けられたガス流入口７を流れるラジカル処理用ガス６は、確実に放電プラズマ５に接することになる。従って、放電プラズマ内で発生するラジカルを含むラジカル含有ガス１１を、効率よく処理水１１０中に吹き込むことが可能となる。

［第６の実施形態］
図８（Ａ），（Ｂ）は、第６の実施形態に関するラジカル処理装置１０の高電圧電極２の構造を示す図である。図８（Ａ）は正面図であり、図８（Ｂ）は図（Ａ）内のＸにおける断面図である。

本実施形態では、高電圧電極２上には突起部材４が設けられず、図８（Ａ）に示すように、高電圧電極２が例えばガラス部材などの誘電体１２で覆われている構成である。なお、高電圧電極２に高電圧を印加する高電圧発生電源１は、交流発生電源でもよい。

本実施形態のラジカル処理装置１０では、誘電体１２に覆われた高電圧電極２と接地電極３との間に印加される高電圧により、放電プラズマが発生する。このとき、高電圧電極２は誘電体１３により覆われているため、放電はコロナ放電ではなく、高電圧電極２と接地電極３との間に、極めて短時間で消滅するマイクロ放電が発生する。

このマイクロ放電は、誘電体１２のバラスト効果により電極２，３間に、均一かつ無数に発生する。このため、高電圧電極２に設けられたガス流入口７から導入されるラジカル処理用ガス６は、多くのマイクロ放電と接する。従って、ラジカル密度が高いラジカル含有ガス１１が、生成されてガス流出口８から処理水１１０中に吹き込まれる。これにより、高濃度のラジカルを含有したガス１１を処理水１１０中に送り込むことになり、高効率の浄化処理などの水処理を行なうことが可能となる。

［第７の実施形態］
図９（Ａ），（Ｂ）は、第７の実施形態に関するラジカル処理装置１０の高電圧電極の構造を示す図である。図９において、同図（Ｂ）は同図（Ａ）内のＸにおける断面図である。

本実施形態において、高電圧電極の構造以外は、図１、図２および図１０（Ａ），（Ｂ）に示すような第１の実施形態に関するラジカル処理装置１０と同様であるため、説明を省略する。

本実施形態では、基本的には前述の第６の実施形態と同様の構造であり、誘電体１２に覆われた高電圧電極２と接地電極３との間に印加される高電圧により、放電プラズマが発生する。このとき、高電圧電極２は誘電体１２により覆われているため、放電はコロナ放電ではなく、高電圧電極２と接地電極３との間に、極めて短時間で消滅するマイクロ放電が発生する。また、高電圧電極２上に設けられたガス流入口７は、少なくとも１つ以上からなる円形状の穴から構成されている。

本実施形態の構造であれば、前述の第６の実施形態と同様に、マイクロ放電が、誘電体１２のバラスト効果により電極２，３間に、均一かつ無数に発生するため、高電圧電極２に設けられたガス流入口７から導入されるラジカル処理用ガス６は、多くのマイクロ放電と接する。従って、ラジカル密度が高いラジカル含有ガス１１が、生成されてガス流出口８から処理水１１０中に吹き込まれる。これにより、高濃度のラジカルを含有したガス１１を処理水１１０中に送り込むことになり、高効率の浄化処理などの水処理を行なうことが可能となる。

また、ガス流入口７を円形状の穴とすることにより、前述の第５の実施形態と同様に、十分な圧損が生じることから、ガス流入口７のそれぞれから均一にラジカル処理用ガス６が流れるようになる。

［第８の実施形態］
図１１（Ａ），（Ｂ）は、第８の実施形態に関するラジカル処理装置１０の接地電極３の構造を示す図である。図１１において、同図（Ｂ）は同図（Ａ）内のＸにおける断面図である。

図１０（Ａ），（Ｂ）は、前述したように、第１の実施形態に関するラジカル処理装置１０の接地電極３の構造を示す図である。第８の実施形態において、接地電極の構造以外は、図１、図２および図１０（Ａ），（Ｂ）に示すような第１の実施形態に関するラジカル処理装置１０と同様であるため、説明を省略する。

本実施形態では、基本的には第１の実施形態と同様であり、接地電極３にはガス流出口８が設けられている。ガス流出口８は、図１１（Ａ），（Ｂ）に示すように、少なくとも一つ以上の円形の穴から構成されている。

まず、図１０（Ａ），（Ｂ）に示す場合と同様に、ガス流出口８を接地電極３に設けることにより、放電プラズマをガス相で発生させつつ、放電プラズマ内で生成されるラジカルをラジカル含有ガス１１として、瞬時に処理水１１０中に吹き込ませることが可能となる。このことから、寿命の短いラジカルを処理水１１０中で活性化させた状態で、有効に水処理に利用できるようになる。

さらに、図１１（Ａ），（Ｂ）に示すように、ガス流出口８を円形の穴とすることにより、ラジカル含有ガス１１に十分に圧力損を発生させることができる。従って、ガス流出口８から処理水１１０中に均一にラジカルを噴出できるため、高い効率のラジカル処理を実現することができる。なお、図１０及び図１１において、高電圧電極側の面は誘電体で覆われていてもよい。

また、第１から第８の各実施形態では、ラジカル処理装置１０を、浄水処理などの水処理プラントに適用した場合を想定したが、これに限ることなく、表面処理プロセスに適用してもよい。具体的には、処理対象物として、例えばディスプレイ用のガラス基板がある。また、使用済みの有機ＥＬパネルやＰＣＢ含有紙などであり、表面洗浄や表面改質、表面処理用に用いることが可能である。

なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。

本発明の第１の実施形態に関するラジカル処理装置の要部を説明するための図。第１の実施形態に関するラジカル処理装置を水処理装置に適用した場合の構成を示す図。第１の実施形態に関するラジカル処理装置の高電圧電極の構造を説明するための図。第２の実施形態に関するラジカル処理装置の高電圧電極の構造を説明するための図。第３の実施形態に関するラジカル処理装置の高電圧電極の構造を説明するための図。第４の実施形態に関するラジカル処理装置の高電圧電極の構造を説明するための図。第５の実施形態に関するラジカル処理装置の高電圧電極の構造を説明するための図。第６の実施形態に関するラジカル処理装置の高電圧電極の構造を説明するための図。第７の実施形態に関するラジカル処理装置の高電圧電極の構造を説明するための図。第１の実施形態に関するラジカル処理装置の接地電極の構造を説明するための図。第８の実施形態に関するラジカル処理装置の接地電極の構造を説明するための図。

符号の説明

１…電源、２…高電圧電極、３…接地電極、４…突起部材、５…プラズマ、
６…ラジカル処理用ガス、７…ガス流入口、８…ガス流出口、９…絶縁部、
１０…ラジカル処理装置、１１…ラジカル含有ガス、１２…誘電体、
１００…反応容器、１１０…処理水。

Claims

放電用の高電圧を発生する電源と、
前記電源からの高電圧により放電プラズマを発生させるプラズマ発生用部材を有する高電圧電極と、
前記高電圧電極に対向して配置された接地電極と、
前記プラズマ発生用部材の近傍にラジカル処理用ガスを導入するためのガス流入部、及び前記放電プラズマにより生成されるラジカルを含むガスを処理対象物に対して噴出するためのガス流出部を有する本体と
を具備したことを特徴とするラジカル処理装置。
前記電源は、パルス高電圧発生電源であることを特徴とする請求項１に記載のラジカル処理装置。
前記本体は、
前記ガス流入部から導入された前記ラジカル処理用ガスを、前記プラズマ発生用部材の周辺に供給するためのガス流路を有することを特徴とする請求項１または請求項２のいずれか１項に記載のラジカル処理装置。
前記ガス流入部は、前記高電圧電極と一体的に構成されて、スリット形状の流入口を有することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のラジカル処理装置。
前記ガス流入部は、前記高電圧電極と一体的に構成されて、円形状の複数の穴からなる流入口を有することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のラジカル処理装置。
前記プラズマ発生用部材は、刃形状の突起部材であり、周辺に前記ラジカル処理用ガスを流すためのガス流路を有する構成であることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のラジカル処理装置。
前記プラズマ発生用部材は、針形状の突起部材であり、周辺に前記ラジカル処理用ガスを流すためのガス流路を有する構成であることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のラジカル処理装置。
前記プラズマ発生用部材は、中空円錐構造であり、内部に前記ラジカル処理用ガスを流すためのガス流路を有する構成であることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のラジカル処理装置。
前記プラズマ発生用部材は、誘電体材料で覆われている構成であることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載のラジカル処理装置。
前記ガス流出部は、前記接地電極と一体的に構成されて、スリット形状の流入口を有することを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載のラジカル処理装置。
前記ガス流出部は、前記接地電極と一体的に構成されて、円形状の流入口を有することを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載のラジカル処理装置。
前記接地電極は、誘電体材料で覆われている構成であることを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載のラジカル処理装置。