JP2007145671A - 加熱炉、ガラスの加熱方法及び加熱炉の維持方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】石英製の炉心管に失透部分が形成されても、低コストで損傷を抑えて炉心管を長期的に用いることができ、設備費の削減を図ることが可能な加熱炉、ガラスの加熱方法及び加熱炉の維持方法を提供する。
【解決手段】本発明の加熱炉1は、石英製の炉心管2とその昇温部2aの外周に配置したヒータ3を有し、炉心管2の昇温部2aと同軸上に並んで設けられた延長部8の上端から被加熱物であるガラス体G1を炉心管2内に出し入れ可能であり、ヒータ3の延長部8側の端部から延長部8の上端までの長さLを、昇温部2aの内径Dの5倍以上としている。
【選択図】図1
【解決手段】本発明の加熱炉1は、石英製の炉心管2とその昇温部2aの外周に配置したヒータ3を有し、炉心管2の昇温部2aと同軸上に並んで設けられた延長部8の上端から被加熱物であるガラス体G1を炉心管2内に出し入れ可能であり、ヒータ3の延長部8側の端部から延長部8の上端までの長さLを、昇温部2aの内径Dの5倍以上としている。
【選択図】図1
Description
本発明は、石英製の炉心管を有する加熱炉、それを用いたガラスの加熱方法、及び加熱炉の維持方法に関する。
ガラス体を製造する際にガラス微粒子堆積体を焼結して透明ガラス化する場合や、ガラス体を延伸する場合、ガラス体を線引きして光ファイバを製造する場合などには、一般に筒状の炉心管を備えた加熱炉が用いられている。
ガラスに対する不純物を発生させない材質として、石英ガラスにより形成された炉心管を使用することが知られているが、炉心管をヒータにより昇温させた後、ヒータ付近の炉心管のガラスが失透(クリストバライト化)し、以後の降温(250℃〜350℃以下)による相変化により亀裂等の損傷が生じることがある。炉心管が損傷した場合は、その炉心管を新たなものに交換する必要がある。そのため、炉心管の内周面に向かって冷却媒体を吹き出すノズルを、炉心管内で回転させながら移動させることにより、炉心管を強制的に急速冷却することにより失透の発生を抑える技術が知られている(例えば、特許文献1参照)。
ガラスに対する不純物を発生させない材質として、石英ガラスにより形成された炉心管を使用することが知られているが、炉心管をヒータにより昇温させた後、ヒータ付近の炉心管のガラスが失透(クリストバライト化)し、以後の降温(250℃〜350℃以下)による相変化により亀裂等の損傷が生じることがある。炉心管が損傷した場合は、その炉心管を新たなものに交換する必要がある。そのため、炉心管の内周面に向かって冷却媒体を吹き出すノズルを、炉心管内で回転させながら移動させることにより、炉心管を強制的に急速冷却することにより失透の発生を抑える技術が知られている(例えば、特許文献1参照)。
ガラスのクリストバライト化による失透は、一旦加熱されたガラスが徐冷されることにより起こるだけでなく、1500℃〜1600℃に昇温した場合にも起こる。上記特許文献1に記載された技術では、徐冷による失透を防ぐことができたとしても、昇温による失透を防ぐことはできない。
本発明は、石英製の炉心管に失透部分が形成されても、低コストで損傷を抑えて炉心管を長期的に用いることができ、設備費の削減を図ることが可能な加熱炉、ガラスの加熱方法及び加熱炉の維持方法を提供することを目的としている。
上記課題を解決することのできる本発明に係る第1の加熱炉は、石英製の炉心管とその外周側に配置した加熱源とを有し、前記加熱源の内側に位置する前記炉心管と同軸上に設けられた延長部の前記炉心管とは逆側の端部から被加熱物を前記炉心管内に出し入れ可能である加熱炉であって、前記加熱源の前記延長部側の端部から前記延長部の前記炉心管とは逆側の端部までの長さが、前記炉心管の内径の5倍以上であることを特徴とする。
また、上記課題を解決することのできる本発明に係る第2の加熱炉は、石英製の炉心管とその外周側に配置した加熱源とを有し、前記炉心管の端部から被加熱物を前記炉心管内に出し入れ可能である加熱炉であって、前記加熱源の前記被加熱物の出し入れ側の端部から前記炉心管の前記被加熱物の出し入れ側の端部までの長さが、前記炉心管の内径の5倍以上であることを特徴とする。
また、上記課題を解決することのできる本発明に係るガラスの加熱方法は、本発明に係る上記加熱炉を使用してガラスを加熱することを特徴とする。
また、上記課題を解決することのできる本発明に係る加熱炉の維持方法は、本発明に係る上記第1の加熱炉を使用してガラスを加熱した後、前記延長部の外周に断熱材を配置した状態として、前記炉心管内部の待機温度を350℃以上かつ500℃以下とすることを特徴とする。
また、上記課題を解決することのできる本発明に係る加熱炉の維持方法は、本発明に係る上記第2の加熱炉を使用してガラスを加熱した後、前記炉心管の外周の前記加熱源のない部分に断熱材を配置した状態として、前記炉心管内部の待機温度を350℃以上かつ500℃以下とすることを特徴とする。
本発明によれば、石英製の炉心管に失透部分が形成されたとしても、外気の流入によって炉心管が急激に冷却されることがなく、その失透部分の破損を抑えて継続して使用することができる。そのため、設備費の削減を図ることができる。
以下、本発明に係る加熱炉、ガラスの加熱方法及び加熱炉の維持方法の実施形態の例について図面を参照して説明する。
図1は、加熱炉の構造を示す概略断面図である。
図1に示すように、この加熱炉1は、縦型に配置された円筒形状の炉心管2と、炉心管2の外周側に配置された加熱源であるヒータ3とを備えている。ヒータ3の周囲は断熱材4で覆われている。炉心管2は、石英により形成されており、ヒータ3の発熱により炉心管2のうちヒータ3の内側に位置する昇温部2aを中心に昇温させられる。そして、炉心管2の内側の加熱空間5に被加熱物(例えばガラス体G1)を挿入して加熱することができる。
図1は、加熱炉の構造を示す概略断面図である。
図1に示すように、この加熱炉1は、縦型に配置された円筒形状の炉心管2と、炉心管2の外周側に配置された加熱源であるヒータ3とを備えている。ヒータ3の周囲は断熱材4で覆われている。炉心管2は、石英により形成されており、ヒータ3の発熱により炉心管2のうちヒータ3の内側に位置する昇温部2aを中心に昇温させられる。そして、炉心管2の内側の加熱空間5に被加熱物(例えばガラス体G1)を挿入して加熱することができる。
また、炉心管2の上方には、円筒形状の延長部8が炉心管2と同軸上に設けられている。この延長部8は、上端の開口部9から炉心管2の加熱空間5にガラス体G1を出し入れする部分である。なお、延長部8の上端には、開口部9を開閉するための上蓋14を着脱することができる。
また、炉心管2の下方には、円筒形状の下筒6が炉心管2と同軸上に設けられている。なお、下筒6の下端には、着脱可能な下蓋7が装着されている。
これらの延長部8及び下筒6も、炉心管2と同様に石英により形成されている。
また、炉心管2の下方には、円筒形状の下筒6が炉心管2と同軸上に設けられている。なお、下筒6の下端には、着脱可能な下蓋7が装着されている。
これらの延長部8及び下筒6も、炉心管2と同様に石英により形成されている。
また、本実施形態では、延長部8及び下筒6の内径は炉心管2と等しくされているが、炉の用途によってはそれらの内径が一致しなくても良い。
また、延長部8または下筒6は、炉心管2と一体的に形成されていても良い。その場合、ガラス体G1は炉心管2の端部から出し入れすることになる。
また、延長部8または下筒6は、炉心管2と一体的に形成されていても良い。その場合、ガラス体G1は炉心管2の端部から出し入れすることになる。
また、下筒6には、炉内に所望のガスを供給するガス導入部11が設けられている。このガス導入部11は、シールガスを供給するガスコントロールパネル(図示せず)等に接続されており、ガスコントロールパネルから供給されたシールガスを、炉内の空間(加熱空間5や延長部8及び下筒6の内側空間)に向けて吹き出すことができるように構成されている。
また、上蓋14には、炉内のガスを炉外へ排出するためのガス排出部12が設けられており、上蓋14を延長部8の上端に取り付けた際には、ガス導入部11から炉内に供給されたシールガスを排出するようになっている。
加熱炉1は、その延長部8の内径Dに対して、ヒータ3の上端から延長部8の上端までの突出長さLが十分に長い、5倍以上の寸法とされている。ここで、延長部8の内径Dとヒータ3の上端から延長部8の上端までの突出長さLとの関係を示すグラフを図2に示す。
次に、上記加熱炉1を使用したガラスの加熱方法について、光ファイバ用のガラス母材を形成する場合を例に挙げて説明する。
まず、炉心管2の開口部9からガラス微粒子堆積体である多孔質のガラス体G1を導入し、図3に示すように、このガラス体G1を昇温部2aの内側に配置させ、蓋14によって開口部9を閉じる。
まず、炉心管2の開口部9からガラス微粒子堆積体である多孔質のガラス体G1を導入し、図3に示すように、このガラス体G1を昇温部2aの内側に配置させ、蓋14によって開口部9を閉じる。
この状態で、ヒータ3の温度を上げて、炉心管2内の温度を上げるとともに、塩素ガス(Cl2)とヘリウムガス(He)との混合ガスを、ガス導入部11から炉内に吹き出す。
そして、延長部8内、炉心管2内、下筒6内を上記混合ガスの雰囲気とした状態で、昇温部2a内(加熱空間5)の温度を1000℃〜1350℃(好ましくは、1100℃〜1250℃)の温度範囲に保持し、数十分程度の所定時間の間加熱して脱水処理を行う。
そして、延長部8内、炉心管2内、下筒6内を上記混合ガスの雰囲気とした状態で、昇温部2a内(加熱空間5)の温度を1000℃〜1350℃(好ましくは、1100℃〜1250℃)の温度範囲に保持し、数十分程度の所定時間の間加熱して脱水処理を行う。
このとき、ガラス体G1がヒータ3の軸方向の長さ(すなわち昇温部2aの長さ)よりも短い場合は、ガラス体G1の位置を保持したままその全体を加熱するが、ガラス体G1がヒータ3の軸方向の長さよりも長い場合は、ガラス体G1を軸方向に(例えば上から下方向へ)移動させていき、ガラス体G1の一端から他端まで全長にわたって加熱する。
次いで、昇温部2a内(加熱空間5)の温度をヒータ3によって、1400℃〜1600℃に昇温させると同時に、特定比率の塩素ガス(Cl2)とヘリウムガス(He)、または、ヘリウムガス(He)のみをガス導入部11から導入し、ガラス体G1を所定時間加熱して、透明なガラス母材G2とする。
図4は、ガラス体G1を下方に移動し終わった後の、加熱炉1内とガラス母材G2の様子を表す図であり、この時点でガラス体G1は透明化されて透明なガラス母材G2となっている。
次に、蓋14を外し、延長部8の開口部9から透明化したガラス母材G2を取り出す。
ここで、炉心管2には、ガラス体G1の加熱時におけるヒータ3の昇温により、クリストバライト化した失透部分が形成されることがある。その失透部分は、炉心管2の昇温部2a及びその近傍に形成される。場合によっては、延長部8及び下筒6にも形成される。そして、この失透部分では、開口部9からの外気の流入などによる急激な降温により亀裂などの破損が生じるおそれがある。
しかしながら、本実施形態の加熱炉1では、延長部8の内径Dに対して、ヒータ3の上端から延長部8の上端までの突出長さLが5倍以上の寸法とされているので、開口部9から失透部分までの容積が従来に比べ大きく確保され、蓋14を取り外して開口部9を開口したときの内部へ流入する外気による影響が従来に比べ小さくされ、失透部分の急激な降温が抑えられる。これにより、炉心管2に形成された失透部分における急冷による破損を確実に防ぐことができる。
ここで、延長部8の内径Dに対して突出長さLの異なる炉心管を用いた加熱炉1を比較した結果、小型(内径D=φ150mm)の加熱炉の場合では、突出長さL=500mmでは失透部分に破損が発生したが、突出長さL=750mmでは破損は発生しなかった。
また、中型(内径D=φ300mm)の加熱炉の場合、突出長さL=1000mmでは失透部分に破損が発生したが、突出長さL=1500mmでは破損は発生しなかった。
さらに、大型(内径D=φ400mm)の加熱炉の場合、突出長さL=1500mmでは失透部分に破損が発生したが、突出長さL=2000mmでは破損は発生しなかった。
このように、加熱炉の大きさによらず、図2に示したL=5Dの関係を満たすことで、失透部分の破損を防げることがわかる。L>5Dとなれば、開口部9を開口したときの内部へ流入する外気による影響がさらに小さくなるので、その条件であっても炉心管2に形成された失透部分における急冷による破損を確実に防ぐことができる。
また、中型(内径D=φ300mm)の加熱炉の場合、突出長さL=1000mmでは失透部分に破損が発生したが、突出長さL=1500mmでは破損は発生しなかった。
さらに、大型(内径D=φ400mm)の加熱炉の場合、突出長さL=1500mmでは失透部分に破損が発生したが、突出長さL=2000mmでは破損は発生しなかった。
このように、加熱炉の大きさによらず、図2に示したL=5Dの関係を満たすことで、失透部分の破損を防げることがわかる。L>5Dとなれば、開口部9を開口したときの内部へ流入する外気による影響がさらに小さくなるので、その条件であっても炉心管2に形成された失透部分における急冷による破損を確実に防ぐことができる。
つまり、L≧5Dの関係を満たす本実施形態の加熱炉1によれば、石英製の炉心管2に失透部分が形成されたとしても、その失透部分の破損による炉心管2の交換を行う必要がなくなり、炉心管2を継続して使用することができる。そのため、加熱炉にかかる設備費の削減を図ることができる。
また、延長部8の外周に断熱材10を配置させて延長部8を覆ったままとしておき、ガラス母材G2を取り出した後の待機時に、昇温部2aの待機温度を350℃以上かつ500℃以下の範囲内に維持する。350℃より温度が低くなると炉心管2が割れるおそれがある。そのため、ヒータ3に通電して350℃以上かつ500℃以下の範囲の温度にするとよい。ヒータ3に通電加熱したうえにその温度を維持するために炉心管2の外周のヒータ3がない部分を断熱材で覆ってもよい。
なお、上記実施形態では、縦型の加熱炉1を例に挙げて説明したが、横型の加熱炉の場合にも上記実施形態と同様な寸法とすることにより、失透部分における破損を抑えることができる。
また、上記実施形態では、多孔質のガラス体G1を加熱炉1によって加熱して光ファイバ用のガラス母材G2とする例を示したが、本発明の加熱炉はガラスの加熱加工の全般に使用できるものである。例えば、加工するガラスとしては多孔質のガラス体に限らず、透明なガラス体も使用できる。例えば、透明なガラス体を延伸する加工や、透明なガラス体(光ファイバ母材)を線引きして光ファイバとする際の加熱炉としても有効に使用できる。
また、上記実施形態では、多孔質のガラス体G1を加熱炉1によって加熱して光ファイバ用のガラス母材G2とする例を示したが、本発明の加熱炉はガラスの加熱加工の全般に使用できるものである。例えば、加工するガラスとしては多孔質のガラス体に限らず、透明なガラス体も使用できる。例えば、透明なガラス体を延伸する加工や、透明なガラス体(光ファイバ母材)を線引きして光ファイバとする際の加熱炉としても有効に使用できる。
1 加熱炉
2 炉心管
2a 昇温部
3 ヒータ(加熱源)
4,10 断熱材
8 延長部
G1 ガラス体(被加熱物)
G2 ガラス母材
2 炉心管
2a 昇温部
3 ヒータ(加熱源)
4,10 断熱材
8 延長部
G1 ガラス体(被加熱物)
G2 ガラス母材
Claims (5)
- 石英製の炉心管とその外周側に配置した加熱源とを有し、前記加熱源の内側に位置する前記炉心管と同軸上に設けられた延長部の前記炉心管とは逆側の端部から被加熱物を前記炉心管内に出し入れ可能である加熱炉であって、
前記加熱源の前記延長部側の端部から前記延長部の前記炉心管とは逆側の端部までの長さが、前記炉心管の内径の5倍以上であることを特徴とする加熱炉。 - 石英製の炉心管とその外周側に配置した加熱源とを有し、前記炉心管の端部から被加熱物を前記炉心管内に出し入れ可能である加熱炉であって、
前記加熱源の前記被加熱物の出し入れ側の端部から前記炉心管の前記被加熱物の出し入れ側の端部までの長さが、前記炉心管の内径の5倍以上であることを特徴とする加熱炉。 - 請求項1または2に記載の加熱炉を使用してガラスを加熱することを特徴とするガラスの加熱方法。
- 請求項1に記載の加熱炉を使用してガラスを加熱した後、前記延長部の外周に断熱材を配置した状態として、前記炉心管内部の待機温度を350℃以上かつ500℃以下とすることを特徴とする加熱炉の維持方法。
- 請求項2に記載の加熱炉を使用してガラスを加熱した後、前記炉心管の外周の前記加熱源のない部分に断熱材を配置した状態として、前記炉心管内部の待機温度を350℃以上かつ500℃以下とすることを特徴とする加熱炉の維持方法。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62162636A (ja) * | 1986-01-13 | 1987-07-18 | Hitachi Cable Ltd | 光フアイバ用多孔質母材焼結装置 |
JPS62162634A (ja) * | 1986-01-08 | 1987-07-18 | Hitachi Cable Ltd | 光フアイバ用多孔質母材の焼結方法 |
JPH04280830A (ja) * | 1991-03-08 | 1992-10-06 | Fujikura Ltd | ガラス母材の加熱処理炉 |
JPH05339012A (ja) * | 1992-06-08 | 1993-12-21 | Fujikura Ltd | ガラス母材の加熱処理装置 |
JPH05339024A (ja) * | 1992-06-08 | 1993-12-21 | Fujikura Ltd | ガラス母材の加熱処理装置 |
JP2003261336A (ja) * | 2002-01-07 | 2003-09-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 透明ガラス母材の製造方法 |
-
2005
- 2005-11-29 JP JP2005344591A patent/JP2007145671A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62162634A (ja) * | 1986-01-08 | 1987-07-18 | Hitachi Cable Ltd | 光フアイバ用多孔質母材の焼結方法 |
JPS62162636A (ja) * | 1986-01-13 | 1987-07-18 | Hitachi Cable Ltd | 光フアイバ用多孔質母材焼結装置 |
JPH04280830A (ja) * | 1991-03-08 | 1992-10-06 | Fujikura Ltd | ガラス母材の加熱処理炉 |
JPH05339012A (ja) * | 1992-06-08 | 1993-12-21 | Fujikura Ltd | ガラス母材の加熱処理装置 |
JPH05339024A (ja) * | 1992-06-08 | 1993-12-21 | Fujikura Ltd | ガラス母材の加熱処理装置 |
JP2003261336A (ja) * | 2002-01-07 | 2003-09-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 透明ガラス母材の製造方法 |
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