JP2007142372A - 微小電気機械式装置及び半導体装置、並びにそれらの作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スペーサ層を用いて空間が形成されたMEMS、該MEMSを有するセンサーを形成する。スペーサ層を用いて空間が形成されたMEMSにより、犠牲層を成膜する工程及び該犠牲層をエッチングする工程を不要とすることができる。その結果、エッチング時間の制約がなく、また歩留まりを向上させることができる。
【選択図】図6
Description
本実施の形態では、スペーサ層を用いて空間を形成する微小電気機械式装置の作製工程について説明する。
(1) 第1の機能層101と第2の機能層103とをそれぞれ電極とし、特に第1の機能層101については熱、音波、電圧等に起因して変形する電極とする。これにより、熱、音波、電圧等からの刺激を感知する圧電素子、熱電素子、または歪み抵抗素子等の微小電気機械装置として該立体構造を用いることができる。
(2) 第1の機能層101を電気回路含む層とし、第2の機能層103を熱、音波、電圧等に起因して変形する素子(例えば、圧電素子、熱電素子、及び歪み抵抗素子等が挙げられる。)を含む層とする。この場合、空間104が存在することによって該素子を容易に変形させることができる。このようにして、微小電気機械装置と電気回路とを含む半導体装置をとして該立体構造を用いることができる。なお、空間104は、希ガスまたは窒素等の不活性ガスで充填するのが好ましい。第1の機能層101の劣化を防止することができるからである。
本実施の形態では、スペーサ層を用いて空間を形成する微小電気機械式装置の別構成について説明する。
本実施の形態では、上記実施の形態で説明した空間を有する微小電気機械式装置と、半導体素子でなる電気回路とを有する半導体装置を作製する方法について説明する。
本実施の形態では、微小電気機械式装置をフィルターに適用した形態を説明する。図13(A)に示すように、フィルターは複数の周波数が重なりあう複合波から特定の周波数範囲のみを通過させ、又は阻止する整流機能を有する。すなわち、フィルターを通った複合波は、整流波として取り出すことができる。このようなフィルターは無線通信を行う電子機器、例えば携帯電話、PDA(Personal Digital Assistants、情報携帯端末)、無線通信チップを備えたカードに搭載することができる。
本実施の形態では、微小電気機械式装置を圧力センサーに適用した形態を説明する。図14(A)に示すように、圧力センサーは、圧電素子の一方の電極を一定の電圧(例えば接地電圧(GND))に接続し、圧力を加えられて変形した圧電素子の逆圧電効果によりもう一方の電極の電圧が変化することを利用する。そして圧力センサーは、電圧変化が制御回路を入力、その電圧変化を増幅させ、又は必要に応じて電圧変化を加工して出力する機能を有する。このような圧力センサーは、圧力の変動を制御する場合、例えば成膜装置内の圧力変動等を制御するときのフィードバック機構の一部として搭載することができる。
本実施の形態では、微小電気機械式装置を有し、無線通信を可能とした半導体装置について説明する。
本実施の形態では、半導体装置の外観について説明する。
本実施の形態では、上記実施の形態で示した圧電素子を有する半導体装置を、圧力センサーとして適用することができる例を説明する。本実施の形態では、センサーとして機能する半導体装置を、タイヤの空気圧を監視するシステムの圧力センサーに適用する場合について説明する。
本実施の形態では、微小電気機械式装置を用いて脈拍を測定する半導体装置の形態について説明する。
Claims (14)
- 第1のフィルム基板上に選択的に設けられた、接着性を有する第1のスペーサ層と、
前記第1のスペーサ層の上方に設けられた圧電素子を有する層と、
前記圧電素子を有する層の上方又は側方に、選択的に設けられた接着性を有する第2のスペーサ層と、
前記第2のスペーサ層上に設けられた第2のフィルム基板とを有し、
前記圧電素子を有する層は、第1の電極、圧電材料、および第2の電極を有する圧電素子を一つ又は複数有し、
前記第1のスペーサ層および前記第2のスペーサ層は、前記圧電素子と重なる開口部を形成するように選択的に配置されたことを特徴とする微小電気機械式装置。 - 第1のフィルム基板上に選択的に設けられた、接着性を有する第1のスペーサ層と、
前記第1のスペーサ層の上方に設けられた機能層と、
前記機能層の上方又は側方に、選択的に設けられた接着性を有する第2のスペーサ層と、
前記第2のスペーサ層上に設けられた第2のフィルム基板とを有し、
前記機能層は、圧電素子、熱電素子、歪み抵抗素子、インダクタ、又はコンデンサから選ばれた一つまたは複数の機能を奏し、
前記第1のスペーサ層および前記第2のスペーサ層は、前記素子と重なる開口部を形成するように選択的に配置されたことを特徴とする微小電気機械式装置。 - 請求項1又は請求項2において、
前記第1のスペーサ層と前記第2のスペーサ層とは、重なっていることを特徴とする微小電気機械式装置。 - 基板上に剥離層を形成し、
前記剥離層上に、第1の電極、圧電材料、および第2の電極を有する圧電素子を一つ又は複数有する圧電素子を有する層を形成し、
前記圧電素子を有する層の上方に、接着性を有する第1のスペーサ層を選択的に形成し、
前記第1のスペーサ層を介して、前記圧電素子を有する層の上方に第1のフィルム基板を接着し、
前記圧電素子を有する層と前記第1のフィルム基板とが前記第1のスペーサ層の接着性によって接着していることを利用して、前記基板から前記圧電素子を有する層を剥離し、
前記基板から剥離された前記圧電素子を有する層に、接着性を有する第2のスペーサ層を選択的に形成した第2のフィルム基板を接着し、
前記第1のスペーサ層および前記第2のスペーサ層は、前記圧電素子と重なる開口部を形成するように選択的に配置されたことを特徴とする微小電気機械式装置の作製方法。 - 基板上に剥離層を形成し、
前記剥離層上に、圧電素子、熱電素子、歪み抵抗素子、インダクタ、又はコンデンサから選ばれた一つまたは複数の機能を奏する素子を有する機能層を形成し、
前記機能層の上方に、接着性を有する第1のスペーサ層を選択的に形成し、
前記第1のスペーサ層を介して、前記機能層の上方に第1のフィルム基板を接着し、
前記機能層と前記第1のフィルム基板とが前記第1のスペーサ層の接着性によって接着していることを利用して、前記基板から前記機能層を剥離し、
前記基板から剥離された前記機能層に、接着性を有する第2のスペーサ層を選択的に形成した第2のフィルム基板を接着し、
前記第1のスペーサ層および前記第2のスペーサ層は、前記素子と重なる開口部を形成するように選択的に配置されたことを特徴とする微小電気機械式装置の作製方法。 - 請求項4又は請求項5において、
前記第1のスペーサ層と前記第2のスペーサ層とは、重なっていることを特徴とする微小電気機械式装置の作製方法。 - 基板上に設けられた、半導体素子でなる電気回路を有する層と、前記電気回路と電気的に接続された電極と、
前記電気回路を有する層および前記電極の上方又は側方に、選択的に設けられた接着性を有する第1のスペーサ層と、
前記第1のスペーサ層の上方に設けられた圧電素子を有する層と、
前記圧電素子を有する層の上方又は側方に、選択的に設けられた接着性を有する第2のスペーサ層と、
前記第2のスペーサ層上に設けられた第1のフィルム基板とを有し、
前記圧電素子を有する層は、第1の電極、圧電材料、および第2の電極を有する圧電素子を一つ又は複数有し、
前記第1のスペーサ層および前記第2のスペーサ層は、前記圧電素子と重なる開口部を形成するように選択的に配置されたことを特徴とする半導体装置。 - 基板上に設けられた、半導体素子でなる電気回路を有する層と、前記電気回路と電気的に接続された電極と、
前記電気回路を有する層および前記電極の上方又は側方に、選択的に設けられた接着性を有する第1のスペーサ層と、
前記第1のスペーサ層の上方に設けられた機能層と、
前記機能層の上方又は側方に、選択的に設けられた接着性を有する第2のスペーサ層と、
前記第2のスペーサ層上に設けられた第2のフィルム基板とを有し、
前記機能層は、圧電素子、熱電素子、歪み抵抗素子、インダクタ、又はコンデンサから選ばれた一つまたは複数の機能を奏し、
前記第1のスペーサ層および前記第2のスペーサ層は、前記素子と重なる開口部を形成するように選択的に配置されたことを特徴とする半導体装置。 - 請求項7又は請求項8において、
前記第1のスペーサ層と前記第2のスペーサ層とは、重なっていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項7乃至請求項9のいずれか一において、
前記第1のスペーサ層は、異方性導電接着剤でなることを特徴とする半導体装置。 - 第1の基板上に剥離層を形成し、
前記剥離層上に、第1の電極、圧電材料、および第2の電極を有する圧電素子を一つ又は複数有する圧電素子を有する層を形成し、
前記圧電素子を有する層の上方に、接着性を有する第1のスペーサ層を選択的に形成し、
前記第1のスペーサ層を介して、前記圧電素子を有する層の上方に第1のフィルム基板を接着し、
前記圧電素子を有する層と前記第1のフィルム基板とが前記第1のスペーサ層の接着性によって接着していることを利用して、前記基板から前記圧電素子を有する層を剥離し、
第2の基板上に半導体素子でなる電気回路を有する層と、前記電気回路と電気的に接続する電極とを形成し、
前記電気回路を有する層および前記電極の上方または下方に、接着性を有する第2のスペーサ層を選択的に形成し、
前記第1の基板から剥離された前記電気回路を有する層および前記電極に、前記圧電素子を有する層を、前記第2のスペーサ層により接着し、
前記第1のスペーサ層および前記第2のスペーサ層は、前記圧電素子と重なる開口部を形成するように選択的に配置されたことを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 第1の基板上に剥離層を形成し、
前記剥離層上に、圧電素子、熱電素子、歪み抵抗素子、インダクタ、又はコンデンサから選ばれた一つまたは複数の機能を奏する素子を有する機能層を形成し、
前記機能層の上方に、接着性を有する第1のスペーサ層を選択的に形成し、
前記第1のスペーサ層を介して、前記機能層の上方に第1のフィルム基板を接着し、
前記機能層と前記第1のフィルム基板とが前記第1のスペーサ層の接着性によって接着していることを利用して、前記基板から前記機能層を剥離し、
第2の基板上に半導体素子でなる電気回路を有する層と、前記電気回路と電気的に接続する電極とを形成し、
前記電気回路を有する層および前記電極の上方又は下方に、接着性を有する第2のスペーサ層を選択的に形成し、
前記第1の基板から剥離された前記電気回路を有する層および前記電極に、前記機能層を、前記第2のスペーサ層により接着し、
前記第1のスペーサ層および前記第2のスペーサ層は、前記素子と重なる開口部を形成するように選択的に配置されたことを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項11又は請求項12のいずれか一において、
前記第1のスペーサ層と前記第2のスペーサ層とは、重なっていることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項11乃至請求項13のいずれか一において、
前記第1のスペーサ層は、異方性導電接着剤でなることを特徴とする半導体装置の作製方法。
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