JP2003087084A - 圧電振動子、圧電部品及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】分極方向と垂直な方向におけるエネルギー閉じ
込め性を向上させ、高いＱ値が得られるようにした圧電
振動子を提供する。 【解決手段】振動用電極１、２は、圧電基板３の厚み方
向Ｚの両主面３１、３２に設けられている。圧電基板３
は、厚み方向Ｚと直交する長さ方向Ｘに分極Ｐｘされて
いる。圧電基板３は、振動用電極１、２の幅方向Ｙの側
部に沿い、分極方向Ｘに平行に延びる溝４１〜４４を有
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電振動子、圧電
部品及びその製造方法に関し、更に詳しくは、厚み滑り
振動を利用する圧電振動子の改良に係る。

【０００２】

【従来の技術】この種の圧電振動子では、圧電基板を、
厚み方向と直交する長さ方向に分極し、分極方向と直交
する圧電基板の厚み方向の両主面に、振動用電極を設け
た構造を有する。この種の圧電振動子は、エネルギー閉
じ込め型振動子であるので、振動のエネルギーが共振部
に有効に閉じ込められることが必要である。エネルギー
閉じ込め効率を向上させる手段として、例えば、特開平
７ー１４７５２７号公報は、分極方向と一致する長さ方
向の両側に、幅方向に沿って延びる溝を設け、分極方向
と平行な方向のエネルギー閉じ込め効率を向上させた圧
電共振子を開示している。

【０００３】しかし、この圧電共振子は、振動用電極の
幅方向の両側、即ち、分極方向と垂直な方向におけるエ
ネルギー閉じ込め効率を改善することができない。この
ため、エネルギー閉じ込め効率の向上に限界を生じる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、分極
方向と垂直な方向におけるエネルギー閉じ込め性を向上
させ、高いＱ値が得られるようにした圧電振動子、圧電
部品及びその製造方法を提供することである。

【０００５】本発明のもう一つの課題は、圧電基板の両
主面側において、ほぼ同一のエネルギー閉じ込め性を確
保できるようにした圧電振動子、圧電部品及びその製造
方法を提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上述した課題解決のた
め、本発明に係る圧電振動子は、振動用電極と、圧電基
板とを含む。前記圧電基板は、厚み方向と直交する長さ
方向に分極されている。前記振動用電極は、前記圧電基
板の厚み方向の両主面に設けられている。前記圧電基板
は、前記振動用電極の幅方向の側部に沿い、前記分極方
向に延びる溝を有する。

【０００７】上述したように、本発明に係る圧電振動子
では、圧電基板は、厚み方向と直交する長さ方向に分極
されており、振動用電極は分極方向と直交する圧電基板
の厚み方向の両主面に設けられているから、厚み滑り振
動モードを利用した圧電振動子が得られる。

【０００８】上述した厚み滑り振動モードを利用した圧
電振動子において、圧電基板は振動用電極の幅方向の側
部に沿い、分極方向に延びる溝を有するから、分極方向
と垂直な方向において、振動用電極の幅方向の側部に対
するエネルギー閉じ込め性を向上させ、高いＱ値を確保
することができる。

【０００９】また、溝によると、振動用電極とは反対側
の圧電基体の周辺部に、振動用電極を形成した面と同じ
平面を構成する平面が残るので、圧電振動子に封止構造
体を組み合わせて圧電部品を得る場合、圧電振動子に対
する封止構造体の接合構造を簡素化し、量産性の向上に
資することができる。

【００１０】溝は、好ましくは、振動用電極の両側部に
設けられる。このような構造であれば、振動用電極の幅
方向の両側におけるエネルギー閉じ込め性を向上させる
ことができる。

【００１１】溝は、圧電基板の両主面の片面または両面
に設けることができる。エネルギー閉じ込め性の向上と
いう観点からは、両面に設けることが特に好ましい。両
面側において、対称性のあるエネルギー閉じ込め作用が
得られるからである。

【００１２】溝を圧電基板の両主面に形成する場合、溝
は、互いに向き合う位置に設けることが好ましい。この
ような配置によれば、圧電基板の両主面側において、エ
ネルギー閉じ込め作用の対称性が更に向上し、Ｑ値の向
上に資するからである。

【００１３】溝は、圧電基板の長さ方向の両端面に開口
していることが好ましい。このような構造であると、溝
を、機械加工により、容易に形成できる。

【００１４】圧電基体の幅Ｗ１と溝の幅Ｗ２との比（Ｗ
２／Ｗ１）、及び、圧電基体３の幅Ｗ１と、振動用電極
の中心から、溝の端縁までの距離Ｗ３との比（Ｗ３／Ｗ
１）は、エネルギー閉じ込め性に影響を与える。本発明
は、更に、上述した圧電振動子と、封止構造体とを含む
圧電部品、及び、この圧電部品の製造方法についても開
示する。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１は本発明に係る圧電振動子の
斜視図、図２は図１に示した圧電振動子の正面図、図３
は図２の３−３線における断面図である。図示された圧
電振動子は、振動用電極１、２と、圧電基板３とを含
む。

【００１６】振動用電極１、２は、圧電基板３の厚み方
向Ｚの両主面３１、３２に設けられている。振動用電極
１、２は周知の電極形成技術に従って形成されている。
振動用電極１、２にはリード電極１１、２１が備えられ
ている。

【００１７】圧電基板３は、周知の圧電セラミック材料
を用いて構成され、厚み方向Ｚと直交する長さ方向Ｘに
分極Ｐｘされている。以下の説明において、長さ方向Ｘ
を分極方向Ｘと表示することがある。圧電基板３の長さ
Ｌ１、幅Ｗ１及び厚みｔ１は適用される周波数に応じて
選定される。一例として、Ｌ１＝４．５ｍｍ、Ｗ１＝
２．０ｍｍ、厚みｔ１＝０．２０９ｍｍの例がある。

【００１８】圧電基板３は、振動用電極１、２の幅方向
Ｙの側部に沿い、分極方向Ｘに延びる溝４１〜４４を有
する。実施例において、溝４１、４２は圧電基板３の主
面３１に備えられ、溝４３、４４は、主面３１とは反対
側の他の主面３２に設けられている。溝４１、４２は、
振動用電極１の幅方向Ｙの両側部に設けられており、溝
４３、４４は、振動用電極２の幅方向Ｙの両側部に設け
られている。

【００１９】溝４１〜４４は、溝幅Ｗ２を有し、圧電基
板３の中心に対応する振動用電極１、２の中心Ｏ１から
間隔Ｗ３を隔てて配置されている。溝幅Ｗ２は、溝４１
〜４４のそれぞれにおいて異なっていてもよい。

【００２０】圧電基体３の幅Ｗ１と、溝４１〜４４の幅
Ｗ２との比（Ｗ２／Ｗ１）は、 （Ｗ２／Ｗ１）≧０．１ を満たすことが好ましい。

【００２１】圧電基体３の幅Ｗ１と、振動用電極１、２
の中心Ｏ１から、溝４１〜４４の端縁までの距離Ｗ３と
の比（Ｗ３／Ｗ１）は、 Ｗ３／Ｗ１）≦０．２５ を満たすことが好ましい。これらの寸法比の選定理由に
ついては、後述する。

【００２２】溝４１、４２と溝４３、４４は、互いに向
き合う位置に設けられている。また、溝４１〜４４は、
圧電基板３の長さ方向Ｘの両端面に開口している。これ
とは異なって、溝４１、４２のみを圧電基板３の主面３
１に設け、溝４３、４４は省略する構造や、主面３１に
溝４１のみを設け、主面３２に溝４４のみを設ける構造
を採用することもできる。

【００２３】更に、溝４１〜４４は、振動用電極１、２
とは反対側の圧電基体の周辺部に、振動用電極１、２を
形成した面と同じ平面を構成する平面が残るように、圧
電基体３の周辺から間隔を隔てて形成してある。振動用
電極１、２のリード電極１１、１２は、溝４１〜４４の
内壁面に沿って導かれ、更に、溝４１〜４４の外側の平
面に延長される。

【００２４】溝４１〜４４の内壁面の作る形状は、図示
の矩形状の他、円弧状、多角形状またはそれらの組み合
わせであってもよい。

【００２５】上述したように、本発明に係る圧電振動子
では、圧電基板３は、厚み方向Ｚと直交する長さ方向Ｘ
に分極されており、振動用電極１、２は分極方向Ｘと直
交する圧電基板３の厚み方向Ｚの両主面３１、３２に設
けられているから、厚み滑り振動モードを利用した圧電
振動子が得られる。

【００２６】上述した厚み滑り振動モードを利用した圧
電振動子において、圧電基板３は振動用電極１、２の幅
方向Ｙの側部に沿い、分極方向Ｘに延びる溝４１、４
２、４３、４４を有するから、分極方向Ｘと垂直な方向
において、振動用電極１、２の幅方向Ｙの側部に対する
エネルギー閉じ込め性を向上させ、高いＱ値を確保する
ことができる。

【００２７】しかも、溝４１〜４４は、振動用電極１、
２とは反対側の圧電基体３の周辺部に、振動用電極１、
２を形成した面と同じ平面を構成する平面が残るように
形成されているので、圧電振動子に封止構造体を組み合
わせて圧電部品を得る場合（後述）、圧電振動子に対す
る封止構造体の接合構造を簡素化し、量産性の向上に資
することができる。

【００２８】図示実施例において、溝４１〜４４は、振
動用電極１、２の両側部に設けられている。このような
構造であれば、振動用電極１、２の幅方向Ｙの両側にお
けるエネルギー閉じ込め性を向上させることができる。

【００２９】また、溝４１〜４４は、圧電基板３の両主
面３１、３２に設けられているので、両主面３１、３２
において、対称性のあるエネルギー閉じ込め作用が得ら
れ、エネルギー閉じ込め作用が高められる。

【００３０】更に、溝４１〜４４は互いに向き合う位置
に設けられているから、圧電基板３の両主面３１、３２
の側において、エネルギー閉じ込め作用の対称性が更に
向上し、Ｑ値の向上に資するからである。

【００３１】溝４１〜４４は、圧電基板３の長さ方向Ｘ
の両端面に開口しているから、溝４１〜４４は、ダイシ
ングソー等を用いた機械加工により、容易に形成でき
る。

【００３２】図４は図１〜図３に図示した圧電振動子を
用いた圧電部品の一例を示す分解斜視図、図５は図４に
示した圧電部品の断面図、図６は図５の６ー６線に沿っ
た断面図である。図示された圧電部品は、圧電振動子５
と、２つの封止構造体６、７とを含む。圧電振動子５は
図１〜図３に図示されたものでなる。封止構造体６、７
は、圧電振動子５に結合され圧電振動子５の周りに振動
空間５４、５５を形成する。図示実施例おいて、封止構
造体６、７は、第１の面板部材６と、第２の面板部材７
とを含む。

【００３３】第１の面板部材６及び第２の面板部材７
は、圧電振動子５を、その厚み方向の両面側から挟持す
るように配置され、接着剤層である空洞形成層５２、５
３によって、圧電振動子５の圧電基板３の周辺部に接着
されている。第１及び第２の面板部材６、７は、絶縁性
セラミックス板または絶縁性プラスチック板によって構
成される。

【００３４】空洞形成層５２、５３は、圧電基板３の主
面３１、３２の周辺部に枠状に配置されている。より詳
しくは、空洞形成層５２、５３は、幅方向Ｙでは、溝４
１〜４４よりは外側の平面部に付着される。溝４１〜４
４よりは外側の平面部は、振動用電極１、２の付着され
た面と、同一平面を構成する。従って、振動用電極１、
２の上には、空洞形成層５２、５３の層厚に対応する振
動空間５４、５５が形成されることになる。

【００３５】空洞形成層５２、５３は凹部４１〜４４の
部分では、その内部に充填される。これにより、凹部４
１〜４４は、長さ方向Ｘの両端が、空洞形成層５２、５
３によって閉じられる。

【００３６】圧電振動子５のリード電極１１、２１は、
その端部が、空洞形成層５２、５３と圧電基板３との間
の界面から外部に露出される。リード電極１１、２１の
露出された端部は、第１の面板部材６、圧電基板３及び
第２の面板部材７の側面に連続して形成される端子電極
８１、８２に電気的、機械的に接続される。

【００３７】図７は、図４〜図６に示した圧電部品につ
いて、比（Ｗ２／Ｗ１）とＱｍａｘとの関係を示すグラ
フである。圧電振動子５の寸法は、Ｌ１＝４．５ｍｍ、
Ｗ１＝２．０ｍｍ、ｔ１＝０．２０９ｍｍ（図１参照）
である。溝４１〜４４は深さｔ２＝０．０３ｍｍ（一
定）とし、振動用電極１、２の中心Ｏ１からの距離Ｗ３
＝０．３２５ｍｍ（一定）とした。

【００３８】上述した条件のもとで、溝４１〜４４の溝
幅Ｗ２を変化させ、そのときのＱｍａｘの値を測定し
た。Ｑｍａｘは共振周波数と反共振周波数の間における
Ｑの最大値を意味する。Ｑは圧電振動子（共振子）のリ
アクタンス分Ｘの絶対値を、その抵抗分Ｒで除算した値
である。即ち、Ｑ＝｜Ｘ｜／Ｒである。

【００３９】図７を参照すると、圧電基体３の幅Ｗ１
と、溝４１〜４４の幅Ｗ２との比（Ｗ２／Ｗ１）が、
０．１以上の領域ではＱｍａｘの値が増大する。これ
は、（Ｗ２／Ｗ１）≧０．１の範囲では、分極方向と垂
直方向におけるエネルギー閉じ込め性が向上するためと
推測される。

【００４０】図８は、図４〜図６に示した圧電部品につ
いて、比（Ｗ３／Ｗ１）とＱｍａｘとの関係を示すグラ
フである。圧電振動子５の寸法は、Ｌ１＝４．５ｍｍ、
Ｗ１＝２．０ｍｍ、ｔ１＝０．２０９ｍｍ（図１参照）
である。溝４１〜４４は深さｔ２＝０．０３ｍｍ（一
定）とし、溝幅Ｗ２＝０．１５ｍｍ（一定）とした。

【００４１】図８に示すように、圧電基体３の幅Ｗ１
と、振動用電極１、２の中心Ｏ１から、溝４１〜４４の
端縁までの距離Ｗ３との比（Ｗ３／Ｗ１）が、０．２５
を超えると、Ｑｍａｘが低下する。これに対して、（Ｗ
３／Ｗ１）≦０．２５の範囲では、ほぼ一定したＱｍａ
ｘ値が得られる。これは、（Ｗ３／Ｗ１）≦０．２５の
範囲では、分極方向と垂直方向におけるエネルギー閉じ
込め性が向上するためと推測される。

【００４２】図９は図１〜図３に図示した圧電振動子を
用いた圧電部品の他の例を示す断面図、図１０は図９の
１０−１０線に沿った断面図である。図示された圧電部
品は、圧電振動子５と、支持部材７と、キャップ６とを
含む。

【００４３】支持部材７の一面上には、図１〜図３に示
した圧電振動子５が搭載されている。支持部材７は、電
気絶縁性を有するセラミックス板またはプラスチック板
によって構成され、その両側に外部接続用の端子電極８
１、８２が設けられ、端子電極８１、８２の間の中間部
に接地用の端子電極８３が設けらている。端子電極８
１、８２は、圧電振動子５を搭載した面と、側面とに連
続するように設けられている。

【００４４】圧電振動子５は、圧電基板３の両主面に振
動用電極１、２が備えられており、振動用電極１、２の
リード電極１１、２１が端子電極８１、８２に対向する
ように配置される。リード電極１１、２１は導電性接着
剤５６、５７により、端子電極８１、８２に導通接続さ
れる。圧電基板３の分極方向については、既に述べた通
りである。

【００４５】キャップ６は、圧電振動子５を包囲し、支
持部材７の一面上に搭載されている。キャップ６は、そ
の内部に密閉された振動空間５４、５５が形成されるよ
うに、支持部材７との接合面が接着剤等によって封止さ
れる。

【００４６】図９及び図１０に示した圧電部品も、図４
〜図６に図示し、説明した圧電部品と同様の作用効果を
奏する。

【００４７】次に、図１１〜図２５を参照し、本発明に
係る圧電部品の製造方法を説明する。図１１〜図２５
は、直接には図４〜図６に示した圧電部品を製造する方
法を開示するものであるが、図９及び図１０に示した圧
電部品の製造にも適用できる。

【００４８】まず、図１１に示すように 多数の圧電部
品を含み得る平面積を有する圧電基板３００を用意し、
この圧電基板３００を、図１２に示すように、周知の研
摩手段によって研摩する。研摩は圧電基板３００の厚み
方向の両面において行う。

【００４９】次に、図１３、図１４に示すように、圧電
基板３００に分極処理を施す。分極処理に当っては、圧
電基板３００を、板面と平行する方向に分極する。この
分極処理は、厚み滑り振動のための分極であり、その分
極処理法は周知である。

【００５０】具体的には、圧電基板３００の一面に、多
数の帯状の分極用電極３０１を間隔を隔てて付着させる
とともに、圧電基板３００の他面にも、分極用電極３０
１と対向する位置に、これと同様の帯状の分極用電極３
０２（図１４参照）を設ける。互いに対向関係にある分
極電極３０１、３０２は、電気的に導通させる。

【００５１】そして、直流電源Ｅから供給される電圧供
給ラインの一方を、分極用電極３０１に対し１つおきに
接続し、電圧供給ラインの他方を、電圧供給ラインの一
方が接続されている分極用電極３０１とは対向関係にな
い分極用電極３０２に対し、１つおきに接続する。これ
により、圧電基板３００は長さ方向Ｘに分極Ｐｘされ
る。

【００５２】次に、分極用電極３０１、３０２を除去し
た後、図１５に示すように、圧電基板３００の厚さ方向
Ｚの両面に多数の溝４００を形成する。溝４００は、ダ
イシングソー等を用いた機械加工によって形成すること
ができる。溝４００は圧電基板３００の幅方向Ｙに所定
の間隔を隔てて形成する。溝４００は、長さ方向Ｘの両
端が、圧電基板３００の両端に開口するように形成する
ことが、作業効率の観点から好ましい。

【００５３】次に、図１６に示すように、圧電基板３０
０の一面上に振動用電極１０１及びリード電極１０２を
含む導体パターン１００を、圧電基板３００の長さ方向
Ｘに、間隔を隔てて多数形成する。各導体パターン１０
０における振動用電極１０１は、隣接する２つの溝４０
０−４００の間の平面に位置させる。導体パターン１０
０はスクリーン印刷、スパッタリング、蒸着、メッキま
たはこれらの併用によって形成することができる。

【００５４】次に、図１７に示すように、圧電基板３０
０の他面上にも、振動用電極２０１及びリード電極２０
２を含む導体パターン２００を、圧電基板３００の長さ
方向Ｘに、間隔を隔てて多数形成する。各導体パターン
２００における振動用電極２０１は、隣接する２つの溝
４００−４００の間に位置させる。導体パターン２００
も、導体パターン１００と同様に、スクリーン印刷、ス
パッタリング、蒸着、メッキまたはこれらの併用によっ
て形成することができる。

【００５５】次に、図１８に示すように、振動用電極１
０１の周りを囲むように、圧電基板３００の一面に、空
洞形成層となる接着剤層５２０を付着させる。接着剤層
５２０は、圧電基板３００の幅方向Ｙでは、溝４００の
外側の平面に乗り、長さ方向Ｘでは溝４００を閉じるよ
うに塗布される。接着剤層５２０はスクリーン印刷によ
って形成できる。

【００５６】次に、図１９に示すように、振動用電極２
０１の周りを囲むように、圧電基板３００の他面に、空
洞形成層となる接着剤層５３０を付着させる。接着剤層
５３０も、圧電基板３００の幅方向Ｙでは、溝４００の
外側の平面に乗り、長さ方向Ｘでは溝４００を閉じるよ
うに塗布される。接着剤層５３０はスクリーン印刷また
は接着シートの適用によって形成できる。

【００５７】次に、図２０、図２１に図示するように、
圧電基板３００の両面側の接着剤層５２０、５３０の上
に、第１の封止部材６００及び第２の封止部材７００を
それぞれ接合する。これにより、図２２に図示するよう
な圧電部品集合体が得られる。

【００５８】図４〜図６に示した圧電部品を得る場合
は、第１の封止部材６００及び第２の封止部材７００
は、第１の面板部材及び第２の面板部材に相当し、図
９、図１０に示した圧電部品を得る場合は、第１の封止
部材６００はキャップに相当し、第２の封止部材７００
は支持部材に相当する。

【００５９】次に、図２３に示すように、圧電部品集合
体を、Ｙ１−Ｙ１線に沿って切断して、図２４に示すよ
うに、スティック状（バー状）の圧電部品集合体を取り
出す。図２３はＹ１ーＹ１線で示される切断位置の明確
化のため、また、図２４は図２３の図示との整合性を採
るため、第１の封止部材６００を省略して示してある。

【００６０】次に、図２５に示すように、圧電部品集合
体を、Ｘ１−Ｘ１線に沿って切断して個々の圧電部品を
取り出す。これにより、図４〜図６に図示した圧電部品
が得られる。説明は省略するが、図９、図１０に示した
圧電部品も、図１１〜図２５に図示した製造方法の適用
によって製造できる。

【００６１】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果を得ることができる。 （ａ）分極方向と垂直な方向におけるエネルギー閉じ込
め性を向上させ、高いＱ値が得られるようにした圧電振
動子、圧電部品及びその製造方法を提供することができ
る。 （ｂ）圧電基板の両主面側において、ほぼ同一のエネル
ギー閉じ込め性を確保できるようにした圧電振動子、圧
電部品及びその製造方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る圧電振動子の斜視図である。

【図２】図１に示した圧電振動子の正面図である。

【図３】図２の３−３線における断面図である。

【図４】図１〜図３に図示した圧電振動子を用いた圧電
部品の一例を示す分解斜視図である。

【図５】図４に示した圧電部品の断面図である。

【図６】図５の６−６線に沿った断面図である。

【図７】図４〜図６に示した圧電部品について、比（Ｗ
２／Ｗ１）とＱｍａｘとの関係を示すグラフである。

【図８】図４〜図６に示した圧電部品について、比（Ｗ
３／Ｗ１）とＱｍａｘとの関係を示すグラフである。

【図９】図１〜図３に図示した圧電振動子を用いた圧電
部品の他の例を示す断面図である。

【図１０】図９の１０−１０線に沿った断面図である。

【図１１】本発明に係る圧電部品の製造方法に用いられ
る圧電基板の平面図である。

【図１２】図１１に示した圧電基板に対する研摩工程を
示す図である。

【図１３】研摩後の分極処理を示す平面図である。

【図１４】研摩後の分極処理を示す正面図である。

【図１５】分極処理後の溝加工を示す図である。

【図１６】溝加工後の導体パターン形成工程を示す平面
図である。

【図１７】図１６に示した工程の後の導体パターン形成
工程を示す図である。

【図１８】導体パターン形成工程の後の接着剤層形成工
程を示す図である。

【図１９】図１８に示した接着剤層形成工程の後の接着
剤層形成工程を示す図である。

【図２０】積層工程を表面側から見た図である。

【図２１】積層工程を裏面側から見た図である。

【図２２】図２０、図２１の工程を経て得られた圧電部
品集合体の正面図である。

【図２３】図２２に示した圧電部品集合体において切断
位置の明確化のため、第１の封止部材を省略して示した
平面図である。

【図２４】図２３に示した切断工程を経て得られたステ
ィック状（バー状）の圧電部品集合体の平面図である。

【図２５】図２４に示した圧電部品集合体に対する次の
切断処理を示す図である。

【符号の説明】

１、２ 振動用電極 ３ 圧電基板 ３１、３２ 主面 ４１〜４４ 溝

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０３Ｈ 9/02 Ｈ０１Ｌ 41/08 Ｃ 9/10 41/22 Ｚ (72)発明者 鈴木 輝 東京都中央区日本橋一丁目13番１号 ティ ーディーケイ株式会社内 (72)発明者 井上 正良 東京都中央区日本橋一丁目13番１号 ティ ーディーケイ株式会社内 Ｆターム(参考） 5J108 BB04 CC04 CC09 CC11 CC12 CC13 DD02 EE03 FF01 GG03 KK03 KK04 MM02 MM04 MM11

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 振動用電極と、圧電基板とを含む圧電振
   動子であって、 前記圧電基板は、厚み方向と直交する長さ方向に分極さ
   れており、 前記振動用電極は、前記圧電基板の厚み方向の両主面に
   設けられており、 前記圧電基板は、更に、前記振動用電極の幅方向の側部
   に沿い、前記分極方向に延びる溝を有する圧電振動子。
2. 【請求項２】 請求項１に記載された圧電振動子であっ
   て、前記溝は、前記振動用電極の両側部に設けられてい
   る圧電振動子。
3. 【請求項３】 請求項１に記載された圧電振動子であっ
   て、前記溝は、前記圧電基板の前記両主面に設けられて
   いる圧電振動子。
4. 【請求項４】 請求項１に記載された圧電振動子であっ
   て、前記溝は、前記圧電基板の長さ方向の両端面に開口
   している圧電振動子。
5. 【請求項５】 請求項４に記載された圧電振動子であっ
   て、前記溝は、前記両主面において互いに向き合う位置
   に設けられている圧電振動子。
6. 【請求項６】 請求項１に記載された圧電振動子であっ
   て、前記圧電基体の幅をＷ１とし、溝の幅をＷ２とした
   とき、比（Ｗ２／Ｗ１）は、 （Ｗ２／Ｗ１）≧０．１ を満たす圧電振動子。
7. 【請求項７】 請求項１に記載された圧電振動子であっ
   て、前記圧電基体の幅をＷ１とし、前記幅Ｗ１の中心に
   一致する前記振動用電極の中心Ｏ１から、前記溝の端縁
   までの距離をＷ３としたとき、比（Ｗ３／Ｗ１）は、 （Ｗ３／Ｗ１）≦０．２５ を満たす圧電振動子。
8. 【請求項８】 圧電振動子と、封止構造体とを含む圧電
   部品であって、 前記圧電振動子は、請求項１乃至７の何れかに記載され
   たものでなり、 前記封止構造体は、前記圧電振動子に結合され、前記圧
   電振動子の厚み方向の両面に振動空間を形成する圧電部
   品。
9. 【請求項９】 請求項８に記載された圧電部品であっ
   て、前記封止構造体は、第１の面板部材と、第２の面板
   部材とを含み、前記第１の面板部材及び前記第２の面板
   部材は前記圧電振動子を両面側から挟持する圧電部品。
10. 【請求項１０】 請求項８に記載された圧電部品であっ
    て、前記封止構造体は、支持部材と、キャップとを含
    み、 前記支持部材はその一面上に前記圧電振動子が搭載され
    ており、 前記キャップは、前記圧電振動子を包囲し、前記支持部
    材の前記一面上に搭載されている圧電部品。
11. 【請求項１１】 圧電部品の製造方法であって、 多数の圧電部品を含み得る平面積を有する圧電基板を研
    摩し、 次に、前記圧電基板に、板面と平行な方向の分極処理を
    施し、 次に、前記圧電基板の厚さ方向の両面に多数の溝を形成
    し、前記溝は前記圧電基板の長さ方向に所定の間隔を隔
    てて形成し、 次に、前記圧電基板の両面上に振動用電極及びリード電
    極を含む導体パターンを、前記圧電基板の幅方向に、間
    隔を隔てて多数形成し、その際、各導体パターンにおけ
    る前記振動用電極は前記溝の間の平面に形成し、 次に、前記振動用電極の周りを囲むように、前記圧電基
    板の両面に、空洞形成層を付着させ、 次に、前記圧電基板の両面側の前記空洞形成層の上に、
    第１の封止部材及び第２の封止部材をそれぞれ接合し
    て、圧電部品集合体を構成し、 次に、前記圧電部品集合体を切断して、個々の圧電部品
    を取り出す工程を含む圧電部品の製造方法。