JP4400748B2 - 圧電振動子、圧電部品及びその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、圧電振動子、圧電部品及びその製造方法に関し、更に詳しくは、厚み滑り振動を利用する圧電振動子の改良に係る。

この種の圧電振動子では、圧電基板を、厚み方向と直交する長さ方向に分極し、分極方向と直交する圧電基板の厚み方向の両主面に、振動用電極を設けた構造を有する。この種の圧電振動子は、エネルギー閉じ込め型振動子であるので、振動のエネルギーが共振部に有効に閉じ込められることが必要である。エネルギー閉じ込め効率を向上させる手段として、例えば、特許文献１では、分極方向と一致する長さ方向の両側に、幅方向に沿って延びる溝を設け、分極方向と平行な方向のエネルギー閉じ込め効率を向上させた圧電共振子を開示している。

しかし、この圧電共振子は、振動用電極の幅方向の両側、即ち、分極方向と垂直な方向におけるエネルギー閉じ込め効率を改善することができない。このため、エネルギー閉じ込め効率の向上に限界を生じる。
特開平７−１４７５２７号公報

本発明の課題は、分極方向と垂直な方向におけるエネルギー閉じ込め性を向上させ、高いＱ値が得られるようにした圧電振動子、圧電部品及びその製造方法を提供することである。

本発明のもう一つの課題は、圧電基板の両主面側において、ほぼ同一のエネルギー閉じ込め性を確保できるようにした圧電振動子、圧電部品及びその製造方法を提供することである。

上述した課題解決のため、本発明に係る圧電振動子は、振動用電極と、圧電基板とを含む。前記圧電基板は、厚み方向と直交する長さ方向に分極されている。前記振動用電極は、前記圧電基板の厚み方向の両主面に設けられている。前記圧電基板は、前記振動用電極の幅方向の側部に沿い、前記分極方向に延びる溝を有する。

上述したように、本発明に係る圧電振動子では、圧電基板は、厚み方向と直交する長さ方向に分極されており、振動用電極は分極方向と直交する圧電基板の厚み方向の両主面に設けられているから、厚み滑り振動モードを利用した圧電振動子が得られる。

上述した厚み滑り振動モードを利用した圧電振動子において、圧電基板は振動用電極の幅方向の側部に沿い、分極方向に延びる溝を有するから、分極方向と垂直な方向において、振動用電極の幅方向の側部に対するエネルギー閉じ込め性を向上させ、高いＱ値を確保することができる。

また、溝によると、振動用電極とは反対側の圧電基体の周辺部に、振動用電極を形成した面と同じ平面を構成する平面が残るので、圧電振動子に封止構造体を組み合わせて圧電部品を得る場合、圧電振動子に対する封止構造体の接合構造を簡素化し、量産性の向上に資することができる。

溝は、好ましくは、振動用電極の両側部に設けられる。このような構造であれば、振動用電極の幅方向の両側におけるエネルギー閉じ込め性を向上させることができる。

溝は、圧電基板の両主面の片面または両面に設けることができる。エネルギー閉じ込め性の向上という観点からは、両面に設けることが特に好ましい。両面側において、対称性のあるエネルギー閉じ込め作用が得られるからである。

溝を圧電基板の両主面に形成する場合、溝は、互いに向き合う位置に設けることが好ましい。このような配置によれば、圧電基板の両主面側において、エネルギー閉じ込め作用の対称性が更に向上し、Ｑ値の向上に資するからである。

溝は、圧電基板の長さ方向の両端面に開口していることが好ましい。このような構造であると、溝を、機械加工により、容易に形成できる。

圧電基体の幅Ｗ１と溝の幅Ｗ２との比（Ｗ２／Ｗ１）、及び、圧電基体３の幅Ｗ１と、振動用電極の中心から、溝の端縁までの距離Ｗ３との比（Ｗ３／Ｗ１）は、エネルギー閉じ込め性に影響を与える。本発明は、更に、上述した圧電振動子と、封止構造体とを含む圧電部品、及び、この圧電部品の製造方法についても開示する。

以上述べたように、本発明によれば、次のような効果を得ることができる。
（ａ）分極方向と垂直な方向におけるエネルギー閉じ込め性を向上させ、高いＱ値が得られるようにした圧電振動子、圧電部品及びその製造方法を提供することができる。
（ｂ）圧電基板の両主面側において、ほぼ同一のエネルギー閉じ込め性を確保できるようにした圧電振動子、圧電部品及びその製造方法を提供することができる。

図１は本発明に係る圧電振動子の斜視図、図２は図１に示した圧電振動子の正面図、図３は図２の３−３線における断面図である。図示された圧電振動子は、振動用電極１、２と、圧電基板３とを含む。

振動用電極１、２は、圧電基板３の厚み方向Ｚの両主面３１、３２に設けられている。振動用電極１、２は周知の電極形成技術に従って形成されている。振動用電極１、２にはリード電極１１、２１が備えられている。

圧電基板３は、周知の圧電セラミック材料を用いて構成され、厚み方向Ｚと直交する長さ方向Ｘに分極Ｐｘされている。以下の説明において、長さ方向Ｘを分極方向Ｘと表示することがある。圧電基板３の長さＬ１、幅Ｗ１及び厚みｔ１は適用される周波数に応じて選定される。一例として、Ｌ１＝４．５ｍｍ、Ｗ１＝２．０ｍｍ、厚みｔ１＝０．２０９ｍｍの例がある。

圧電基板３は、振動用電極１、２の幅方向Ｙの側部に沿い、分極方向Ｘに延びる溝４１〜４４を有する。実施例において、溝４１、４２は圧電基板３の主面３１に備えられ、溝４３、４４は、主面３１とは反対側の他の主面３２に設けられている。溝４１、４２は、振動用電極１の幅方向Ｙの両側部に設けられており、溝４３、４４は、振動用電極２の幅方向Ｙの両側部に設けられている。

溝４１〜４４は、溝幅Ｗ２を有し、圧電基板３の中心に対応する振動用電極１、２の中心Ｏ１から間隔Ｗ３を隔てて配置されている。溝幅Ｗ２は、溝４１〜４４のそれぞれにおいて異なっていてもよい。

圧電基体３の幅Ｗ１と、溝４１〜４４の幅Ｗ２との比（Ｗ２／Ｗ１）は、
（Ｗ２／Ｗ１）≧０．１
を満たすことが好ましい。

圧電基体３の幅Ｗ１と、振動用電極１、２の中心Ｏ１から、溝４１〜４４の端縁までの距離Ｗ３との比（Ｗ３／Ｗ１）は、
（Ｗ３／Ｗ１）≦０．２５
を満たすことが好ましい。これらの寸法比の選定理由については、後述する。

溝４１、４２と溝４３、４４は、互いに向き合う位置に設けられている。また、溝４１〜４４は、圧電基板３の長さ方向Ｘの両端面に開口している。これとは異なって、溝４１、４２のみを圧電基板３の主面３１に設け、溝４３、４４は省略する構造や、主面３１に溝４１のみを設け、主面３２に溝４４のみを設ける構造を採用することもできる。

更に、溝４１〜４４は、振動用電極１、２とは反対側の圧電基体の周辺部に、振動用電極１、２を形成した面と同じ平面を構成する平面が残るように、圧電基体３の周辺から間隔を隔てて形成してある。振動用電極１、２のリード電極１１、１２は、溝４１〜４４の内壁面に沿って導かれ、更に、溝４１〜４４の外側の平面に延長される。

溝４１〜４４の内壁面の作る形状は、図示の矩形状の他、円弧状、多角形状またはそれらの組み合わせであってもよい。

上述したように、本発明に係る圧電振動子では、圧電基板３は、厚み方向Ｚと直交する長さ方向Ｘに分極されており、振動用電極１、２は分極方向Ｘと直交する圧電基板３の厚み方向Ｚの両主面３１、３２に設けられているから、厚み滑り振動モードを利用した圧電振動子が得られる。

上述した厚み滑り振動モードを利用した圧電振動子において、圧電基板３は振動用電極１、２の幅方向Ｙの側部に沿い、分極方向Ｘに延びる溝４１、４２、４３、４４を有するから、分極方向Ｘと垂直な方向において、振動用電極１、２の幅方向Ｙの側部に対するエネルギー閉じ込め性を向上させ、高いＱ値を確保することができる。

しかも、溝４１〜４４は、振動用電極１、２とは反対側の圧電基体３の周辺部に、振動用電極１、２を形成した面と同じ平面を構成する平面が残るように形成されているので、圧電振動子に封止構造体を組み合わせて圧電部品を得る場合（後述）、圧電振動子に対する封止構造体の接合構造を簡素化し、量産性の向上に資することができる。

図示実施例において、溝４１〜４４は、振動用電極１、２の両側部に設けられている。このような構造であれば、振動用電極１、２の幅方向Ｙの両側におけるエネルギー閉じ込め性を向上させることができる。

また、溝４１〜４４は、圧電基板３の両主面３１、３２に設けられているので、両主面３１、３２において、対称性のあるエネルギー閉じ込め作用が得られ、エネルギー閉じ込め作用が高められる。

更に、溝４１〜４４は互いに向き合う位置に設けられているから、圧電基板３の両主面３１、３２の側において、エネルギー閉じ込め作用の対称性が更に向上し、Ｑ値の向上に資するからである。

溝４１〜４４は、圧電基板３の長さ方向Ｘの両端面に開口しているから、溝４１〜４４は、ダイシングソー等を用いた機械加工により、容易に形成できる。

図４は図１〜図３に図示した圧電振動子を用いた圧電部品の一例を示す分解斜視図、図５は図４に示した圧電部品の断面図、図６は図５の６ー６線に沿った断面図である。図示された圧電部品は、圧電振動子５と、２つの封止構造体６、７とを含む。圧電振動子５は図１〜図３に図示されたものでなる。封止構造体６、７は、圧電振動子５に結合され圧電振動子５の周りに振動空間５４、５５を形成する。図示実施例おいて、封止構造体６、７は、第１の面板部材６と、第２の面板部材７とを含む。

第１の面板部材６及び第２の面板部材７は、圧電振動子５を、その厚み方向の両面側から挟持するように配置され、接着剤層である空洞形成層５２、５３によって、圧電振動子５の圧電基板３の周辺部に接着されている。第１及び第２の面板部材６、７は、絶縁性セラミックス板または絶縁性プラスチック板によって構成される。

空洞形成層５２、５３は、圧電基板３の主面３１、３２の周辺部に枠状に配置されている。より詳しくは、空洞形成層５２、５３は、幅方向Ｙでは、溝４１〜４４よりは外側の平面部に付着される。溝４１〜４４よりは外側の平面部は、振動用電極１、２の付着された面と、同一平面を構成する。従って、振動用電極１、２の上には、空洞形成層５２、５３の層厚に対応する振動空間５４、５５が形成されることになる。

空洞形成層５２、５３は凹部４１〜４４の部分では、その内部に充填される。これにより、凹部４１〜４４は、長さ方向Ｘの両端が、空洞形成層５２、５３によって閉じられる。

圧電振動子５のリード電極１１、２１は、その端部が、空洞形成層５２、５３と圧電基板３との間の界面から外部に露出される。リード電極１１、２１の露出された端部は、第１の面板部材６、圧電基板３及び第２の面板部材７の側面に連続して形成される端子電極８１、８２に電気的、機械的に接続される。

図７は、図４〜図６に示した圧電部品について、比（Ｗ２／Ｗ１）とＱｍａｘとの関係を示すグラフである。圧電振動子５の寸法は、Ｌ１＝４．５ｍｍ、Ｗ１＝２．０ｍｍ、ｔ１＝０．２０９ｍｍ（図１参照）である。溝４１〜４４は深さｔ２＝０．０３ｍｍ（一定）とし、振動用電極１、２の中心Ｏ１からの距離Ｗ３＝０．３２５ｍｍ（一定）とした。

上述した条件のもとで、溝４１〜４４の溝幅Ｗ２を変化させ、そのときのＱｍａｘの値を測定した。Ｑｍａｘは共振周波数と反共振周波数の間におけるＱの最大値を意味する。Ｑは圧電振動子（共振子）のリアクタンス分Ｘの絶対値を、その抵抗分Ｒで除算した値である。即ち、Ｑ＝｜Ｘ｜／Ｒである。

図７を参照すると、圧電基体３の幅Ｗ１と、溝４１〜４４の幅Ｗ２との比（Ｗ２／Ｗ１）が、０．１以上の領域ではＱｍａｘの値が増大する。これは、（Ｗ２／Ｗ１）≧０．１の範囲では、分極方向と垂直方向におけるエネルギー閉じ込め性が向上するためと推測される。

図８は、図４〜図６に示した圧電部品について、比（Ｗ３／Ｗ１）とＱｍａｘとの関係を示すグラフである。圧電振動子５の寸法は、Ｌ１＝４．５ｍｍ、Ｗ１＝２．０ｍｍ、ｔ１＝０．２０９ｍｍ（図１参照）である。溝４１〜４４は深さｔ２＝０．０３ｍｍ（一定）とし、溝幅Ｗ２＝０．１５ｍｍ（一定）とした。

図８に示すように、圧電基体３の幅Ｗ１と、振動用電極１、２の中心Ｏ１から、溝４１〜４４の端縁までの距離Ｗ３との比（Ｗ３／Ｗ１）が、０．２５を超えると、Ｑｍａｘが低下する。これに対して、（Ｗ３／Ｗ１）≦０．２５の範囲では、ほぼ一定したＱｍａｘ値が得られる。これは、（Ｗ３／Ｗ１）≦０．２５の範囲では、分極方向と垂直方向におけるエネルギー閉じ込め性が向上するためと推測される。

図９は図１〜図３に図示した圧電振動子を用いた圧電部品の他の例を示す断面図、図１０は図９の１０−１０線に沿った断面図である。図示された圧電部品は、圧電振動子５と、支持部材７と、キャップ６とを含む。

支持部材７の一面上には、図１〜図３に示した圧電振動子５が搭載されている。支持部材７は、電気絶縁性を有するセラミックス板またはプラスチック板によって構成され、その両側に外部接続用の端子電極８１、８２が設けられ、端子電極８１、８２の間の中間部に接地用の端子電極８３が設けらている。端子電極８１、８２は、圧電振動子５を搭載した面と、側面とに連続するように設けられている。

圧電振動子５は、圧電基板３の両主面に振動用電極１、２が備えられており、振動用電極１、２のリード電極１１、２１が端子電極８１、８２に対向するように配置される。リード電極１１、２１は導電性接着剤５６、５７により、端子電極８１、８２に導通接続される。圧電基板３の分極方向については、既に述べた通りである。

キャップ６は、圧電振動子５を包囲し、支持部材７の一面上に搭載されている。キャップ６は、その内部に密閉された振動空間５４、５５が形成されるように、支持部材７との接合面が接着剤等によって封止される。

図９及び図１０に示した圧電部品も、図４〜図６に図示し、説明した圧電部品と同様の作用効果を奏する。

次に、図１１〜図２５を参照し、本発明に係る圧電部品の製造方法を説明する。図１１〜図２５は、直接には図４〜図６に示した圧電部品を製造する方法を開示するものであるが、図９及び図１０に示した圧電部品の製造にも適用できる。

まず、図１１に示すように 多数の圧電部品を含み得る平面積を有する圧電基板３００を用意し、この圧電基板３００を、図１２に示すように、周知の研摩手段によって研摩する。研摩は圧電基板３００の厚み方向の両面において行う。

次に、図１３、図１４に示すように、圧電基板３００に分極処理を施す。分極処理に当っては、圧電基板３００を、板面と平行する方向に分極する。この分極処理は、厚み滑り振動のための分極であり、その分極処理法は周知である。

具体的には、圧電基板３００の一面に、多数の帯状の分極用電極３０１を間隔を隔てて付着させるとともに、圧電基板３００の他面にも、分極用電極３０１と対向する位置に、これと同様の帯状の分極用電極３０２（図１４参照）を設ける。互いに対向関係にある分極電極３０１、３０２は、電気的に導通させる。

そして、直流電源Ｅから供給される電圧供給ラインの一方を、分極用電極３０１に対し１つおきに接続し、電圧供給ラインの他方を、電圧供給ラインの一方が接続されている分極用電極３０１とは対向関係にない分極用電極３０２に対し、１つおきに接続する。これにより、圧電基板３００は長さ方向Ｘに分極Ｐｘされる。

次に、分極用電極３０１、３０２を除去した後、図１５に示すように、圧電基板３００の厚さ方向Ｚの両面に多数の溝４００を形成する。溝４００は、ダイシングソー等を用いた機械加工によって形成することができる。溝４００は圧電基板３００の幅方向Ｙに所定の間隔を隔てて形成する。溝４００は、長さ方向Ｘの両端が、圧電基板３００の両端に開口するように形成することが、作業効率の観点から好ましい。

次に、図１６に示すように、圧電基板３００の一面上に振動用電極１０１及びリード電極１０２を含む導体パターン１００を、圧電基板３００の長さ方向Ｘに、間隔を隔てて多数形成する。各導体パターン１００における振動用電極１０１は、隣接する２つの溝４００−４００の間の平面に位置させる。導体パターン１００はスクリーン印刷、スパッタリング、蒸着、メッキまたはこれらの併用によって形成することができる。

次に、図１７に示すように、圧電基板３００の他面上にも、振動用電極２０１及びリード電極２０２を含む導体パターン２００を、圧電基板３００の長さ方向Ｘに、間隔を隔てて多数形成する。各導体パターン２００における振動用電極２０１は、隣接する２つの溝４００−４００の間に位置させる。導体パターン２００も、導体パターン１００と同様に、スクリーン印刷、スパッタリング、蒸着、メッキまたはこれらの併用によって形成することができる。

次に、図１８に示すように、振動用電極１０１の周りを囲むように、圧電基板３００の一面に、空洞形成層となる接着剤層５２０を付着させる。接着剤層５２０は、圧電基板３００の幅方向Ｙでは、溝４００の外側の平面に乗り、長さ方向Ｘでは溝４００を閉じるように塗布される。接着剤層５２０はスクリーン印刷によって形成できる。

次に、図１９に示すように、振動用電極２０１の周りを囲むように、圧電基板３００の他面に、空洞形成層となる接着剤層５３０を付着させる。接着剤層５３０も、圧電基板３００の幅方向Ｙでは、溝４００の外側の平面に乗り、長さ方向Ｘでは溝４００を閉じるように塗布される。接着剤層５３０はスクリーン印刷または接着シートの適用によって形成できる。

次に、図２０、図２１に図示するように、圧電基板３００の両面側の接着剤層５２０、５３０の上に、第１の封止部材６００及び第２の封止部材７００をそれぞれ接合する。これにより、図２２に図示するような圧電部品集合体が得られる。

図４〜図６に示した圧電部品を得る場合は、第１の封止部材６００及び第２の封止部材７００は、第１の面板部材及び第２の面板部材に相当し、図９、図１０に示した圧電部品を得る場合は、第１の封止部材６００はキャップに相当し、第２の封止部材７００は支持部材に相当する。

次に、図２３に示すように、圧電部品集合体を、Ｙ１−Ｙ１線に沿って切断して、図２４に示すように、スティック状（バー状）の圧電部品集合体を取り出す。図２３はＹ１−Ｙ１線で示される切断位置の明確化のため、また、図２４は図２３の図示との整合性を採るため、第１の封止部材６００を省略して示してある。

次に、図２５に示すように、圧電部品集合体を、Ｘ１−Ｘ１線に沿って切断して個々の圧電部品を取り出す。これにより、図４〜図６に図示した圧電部品が得られる。説明は省略するが、図９、図１０に示した圧電部品も、図１１〜図２５に図示した製造方法の適用によって製造できる。

本発明に係る圧電振動子の斜視図である。 図１に示した圧電振動子の正面図である。 図２の３−３線における断面図である。 図１〜図３に図示した圧電振動子を用いた圧電部品の一例を示す分解斜視図である。 図４に示した圧電部品の断面図である。 図５の６−６線に沿った断面図である。 図４〜図６に示した圧電部品について、比（Ｗ２／Ｗ１）とＱｍａｘとの関係を示すグラフである。 図４〜図６に示した圧電部品について、比（Ｗ３／Ｗ１）とＱｍａｘとの関係を示すグラフである。 図１〜図３に図示した圧電振動子を用いた圧電部品の他の例を示す断面図である。 図９の１０−１０線に沿った断面図である。 本発明に係る圧電部品の製造方法に用いられる圧電基板の平面図である。 図１１に示した圧電基板に対する研摩工程を示す図である。 研摩後の分極処理を示す平面図である。 研摩後の分極処理を示す正面図である。 分極処理後の溝加工を示す図である。 溝加工後の導体パターン形成工程を示す平面図である。 図１６に示した工程の後の導体パターン形成工程を示す図である。 導体パターン形成工程の後の接着剤層形成工程を示す図である。 図１８に示した接着剤層形成工程の後の接着剤層形成工程を示す図である。 積層工程を表面側から見た図である。 積層工程を裏面側から見た図である。 図２０、図２１の工程を経て得られた圧電部品集合体の正面図である。 図２２に示した圧電部品集合体において切断位置の明確化のため、第１の封止部材を省略して示した平面図である。 図２３に示した切断工程を経て得られたスティック状（バー状）の圧電部品集合体の平面図である。 図２４に示した圧電部品集合体に対する次の切断処理を示す図である。

符号の説明

１、２ 振動用電極
３ 圧電基板
３１、３２ 主面
４１〜４４ 溝

Claims (10)

1. 振動用電極と、圧電基板とを含む圧電振動子であって、
   前記圧電基板は、厚み方向と直交する長さ方向に分極されており、
   前記振動用電極は、前記圧電基板の厚み方向の両主面に設けられており、
   前記圧電基板は、更に、前記振動用電極の幅方向の側部に沿い、前記分極方向に延びる溝を有し、
   前記溝は、前記圧電基板の前記両主面の少なくても一方の面において前記振動用電極と、リード電極の端部の間に設けられている、
   圧電振動子。
2. 請求項１に記載された圧電振動子であって、前記溝は、前記両主面の一方の面において、前記振動用電極の両側に設けられている、
   圧電振動子。
3. 請求項１又は２に記載された圧電振動子であって、前記溝は、前記両主面の他方の面において、１本設けられている、
   圧電振動子。
4. 請求項１乃至３に記載された圧電振動子であって、前記溝は、前記圧電基板の長さ方向の両端面に開口している圧電振動子。
5. 請求項１乃至４の何れかに記載された圧電振動子であって、前記圧電基体の幅をＷ１とし、溝の幅をＷ２としたとき、比（Ｗ２／Ｗ１）は、
   （Ｗ２／Ｗ１）≧０．１
   を満たす圧電振動子。
6. 請求項１乃至４の何れかに記載された圧電振動子であって、前記圧電基体の幅をＷ１とし、前記幅Ｗ１の中心に一致する前記振動用電極の中心Ｏ１から、前記溝の端縁までの距離をＷ３としたとき、比（Ｗ３／Ｗ１）は、
   （Ｗ３／Ｗ１）≦０．２５
   を満たす圧電振動子。
7. 圧電振動子と、封止構造体とを含む圧電部品であって、
   前記圧電振動子は、請求項１乃至６の何れかに記載されたものでなり、
   前記封止構造体は、前記圧電振動子に結合され、前記圧電振動子の厚み方向の両面に振動空間を形成する
   圧電部品。
8. 請求項７に記載された圧電部品であって、前記封止構造体は、第１の面板部材と、第２の面板部材とを含み、前記第１の面板部材及び前記第２の面板部材は前記圧電振動子を両面側から挟持する
   圧電部品。
9. 請求項７に記載された圧電部品であって、前記封止構造体は、支持部材と、キャップとを含み、
   前記支持部材はその一面上に前記圧電振動子が搭載されており、
   前記キャップは、前記圧電振動子を包囲し、前記支持部材の前記一面上に搭載されている
   圧電部品。
10. 請求項７乃至９の何れかに記載された圧電部品の製造方法であって、
    多数の圧電部品を含み得る平面積を有する圧電基板を研摩し、
    次に、前記圧電基板に、板面と平行な方向の分極処理を施し、
    次に、前記圧電基板の厚さ方向の両面に多数の溝を形成し、前記溝は前記圧電基板の長さ方向に所定の間隔を隔てて形成し、
    次に、前記圧電基板の両面上に振動用電極及びリード電極を含む導体パターンを、前記圧電基板の幅方向に、間隔を隔てて多数形成し、その際、各導体パターンにおける前記振動用電極は前記溝の間の平面に形成し、
    次に、前記振動用電極の周りを囲むように、前記圧電基板の両面に、空洞形成層を付着させ、
    次に、前記圧電基板の両面側の前記空洞形成層の上に、第１の封止部材及び第２の封止部材をそれぞれ接合して、圧電部品集合体を構成し、
    次に、前記圧電部品集合体を切断して、個々の圧電部品を取り出す
    工程を含む圧電部品の製造方法。
    

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