JP2007142368A - 垂直構造窒化ガリウム系発光ダイオード素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】垂直構造窒化ガリウム系発光ダイオード素子は、n型電極110と、前記n型電極の下面にn型窒化ガリウム層120、活性層130及びp型窒化ガリウム層140が下に順次形成された発光構造物と、前記発光構造物の下面に形成されたp型電極と、前記発光構造物の側面及び下面を覆い、前記p型電極150の一部を露出させるように形成されており、分散ブラッグ反射器からなる保護膜と、前記保護膜及び前記p型電極の下面に形成されたメッキシード層と、前記メッキシード層の下面に形成された構造支持層と、を備える。
【選択図】 図2
Description
まず、図2及び図3を参考に、本発明の第1の実施の形態に係る窒化物系半導体発光素子について詳細に説明する。
図6を参考に、本発明の第2実施の形態について説明する。但し、第2の実施の形態の構成のうち、第1の実施の形態と同じ部分についた説明は省略し、第2の実施の形態において変わる構成についてのみ詳述する。
120 n型窒化ガリウム層
130 活性層
140 p型窒化ガリウム層
150 p型電極
160 保護膜
160a 低屈折率膜
160b 高屈折率膜
170 メッキシード層
170a 接着層
170b 反射層
200 構造支持層
210 第1メッキ層
220 第2メッキ層
Claims (7)
- n型電極と、
前記n型電極の下面にn型窒化ガリウム層、活性層及びp型窒化ガリウム層が下に順次形成された発光構造物と、
前記発光構造物の下面に形成されたp型電極と、
前記発光構造物の側面及び下面を覆い、前記p型電極の一部を露出させるように形成されており、分散ブラッグ反射器からなる保護膜と、
前記保護膜及び前記p型電極の下面に形成されたメッキシード層と、
前記メッキシード層の下面に形成された構造支持層と、
を備える垂直構造窒化ガリウム系発光ダイオード素子。 - 前記分散ブラッグ反射器が、低屈折率膜及び高屈折率膜が順次積層された半導体パターンが1つ以上積層されてなることを特徴とする請求項1に記載の垂直構造窒化ガリウム系発光ダイオード素子。
- 前記低屈折率膜が、高屈折率膜に比べて相対的に屈折率の低い屈折率膜であることを特徴とする請求項2に記載の垂直構造窒化ガリウム系発光ダイオード素子。
- 前記低屈折率膜及び前記高屈折率膜が、基準波長のλ/4の厚さを有することを特徴とする請求項2に記載の垂直構造窒化ガリウム系発光ダイオード素子。
- 前記金属シード層が、接着層及び反射層が順次積層されている二重層からなることを特徴とする請求項1に記載の垂直構造窒化ガリウム系発光ダイオード素子。
- 前記接着層が、Cr,Ni,Ti及びこれらが1つ以上混合された合金からなる群の中から選択された少なくとも1つの金属からなることを特徴とする請求項5に記載の垂直構造窒化ガリウム系発光ダイオード素子。
- 前記反射層が、Ag,Al,Pt及びこれらが1つ以上混合された合金からなる群の中から選択された少なくとも1つの金属からなることを特徴とする請求項5に記載の垂直構造窒化ガリウム系発光ダイオード素子。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050112162A KR100640496B1 (ko) | 2005-11-23 | 2005-11-23 | 수직구조 질화갈륨계 발광다이오드 소자 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007142368A true JP2007142368A (ja) | 2007-06-07 |
Family
ID=37621290
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006251270A Pending JP2007142368A (ja) | 2005-11-23 | 2006-09-15 | 垂直構造窒化ガリウム系発光ダイオード素子 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7372078B2 (ja) |
JP (1) | JP2007142368A (ja) |
KR (1) | KR100640496B1 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010123921A (ja) * | 2008-10-22 | 2010-06-03 | Nichia Corp | 窒化物半導体発光素子の製造方法及び窒化物半導体発光素子 |
JP2011086907A (ja) * | 2009-10-15 | 2011-04-28 | Lg Innotek Co Ltd | 半導体発光素子 |
JP2012138638A (ja) * | 2012-04-23 | 2012-07-19 | Sharp Corp | 窒化物半導体発光素子およびその製造方法 |
JP2012533873A (ja) * | 2009-07-17 | 2012-12-27 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | オプトエレクトロニクス半導体コンポーネント、および無機オプトエレクトロニクス半導体コンポーネントの製造方法 |
US8513679B2 (en) | 2009-10-15 | 2013-08-20 | Lg Innotek Co., Ltd. | Semiconductor light-emitting device and method for fabricating the same |
US8772803B2 (en) | 2009-10-15 | 2014-07-08 | Lg Innotek Co., Ltd. | Semiconductor light-emitting device and method for fabricating the same |
US8786056B2 (en) | 2010-06-09 | 2014-07-22 | Nichia Corporation | Semiconductor light emitting elements comprising a plating substrate with a projecting tab, or comprising an exposed seed layer |
WO2018105810A1 (ko) * | 2016-12-07 | 2018-06-14 | 엘지전자 주식회사 | 반도체 발광소자를 이용한 디스플레이 장치 |
Families Citing this family (48)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101004712B1 (ko) | 2006-12-30 | 2011-01-04 | 주식회사 에피밸리 | 3족 질화물 반도체 발광소자 |
KR101371511B1 (ko) * | 2007-10-04 | 2014-03-11 | 엘지이노텍 주식회사 | 수직형 발광 소자 |
KR101428062B1 (ko) * | 2008-01-11 | 2014-08-07 | 엘지이노텍 주식회사 | 수직형 발광 소자 |
KR101457209B1 (ko) | 2008-09-29 | 2014-10-31 | 서울바이오시스 주식회사 | 발광 소자 및 그 제조방법 |
TW201017863A (en) * | 2008-10-03 | 2010-05-01 | Versitech Ltd | Semiconductor color-tunable broadband light sources and full-color microdisplays |
JP5226449B2 (ja) * | 2008-10-03 | 2013-07-03 | スタンレー電気株式会社 | 半導体発光装置 |
CN101728451B (zh) * | 2008-10-21 | 2013-10-30 | 展晶科技(深圳)有限公司 | 半导体光电元件 |
KR100962899B1 (ko) | 2008-10-27 | 2010-06-10 | 엘지이노텍 주식회사 | 반도체 발광소자 및 그 제조방법 |
KR100962898B1 (ko) | 2008-11-14 | 2010-06-10 | 엘지이노텍 주식회사 | 반도체 발광소자 및 그 제조방법 |
KR101008268B1 (ko) | 2008-11-10 | 2011-01-13 | 전자부품연구원 | 외부양자효율 개선을 위한 수직구조 발광다이오드 및 그 제조방법 |
USRE48774E1 (en) | 2008-11-14 | 2021-10-12 | Suzhou Lekin Semiconductor Co., Ltd. | Semiconductor light emitting device |
KR101064026B1 (ko) * | 2009-02-17 | 2011-09-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 디바이스 패키지 및 그 제조방법 |
KR101014136B1 (ko) | 2009-02-17 | 2011-02-10 | 엘지이노텍 주식회사 | 반도체 발광소자 및 그 제조방법 |
KR101550922B1 (ko) * | 2009-03-10 | 2015-09-07 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 소자 |
TWI424592B (zh) * | 2009-11-02 | 2014-01-21 | Huga Optotech Inc | 具有濾光層之白光半導體發光元件 |
KR100999798B1 (ko) | 2010-02-11 | 2010-12-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 반도체 발광소자 및 그 제조방법 |
JP5845557B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2016-01-20 | ソニー株式会社 | 半導体発光素子の製造方法 |
KR101020963B1 (ko) * | 2010-04-23 | 2011-03-09 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 소자, 발광 소자 제조방법 및 발광 소자 패키지 |
CN101872823A (zh) * | 2010-06-07 | 2010-10-27 | 厦门市三安光电科技有限公司 | 侧壁具有分布布拉格反射镜的氮化镓基发光二极管及其制备方法 |
US20110303936A1 (en) * | 2010-06-10 | 2011-12-15 | Shang-Yi Wu | Light emitting device package structure and fabricating method thereof |
JP2012028749A (ja) | 2010-07-22 | 2012-02-09 | Seoul Opto Devices Co Ltd | 発光ダイオード |
KR101272708B1 (ko) * | 2010-10-28 | 2013-06-10 | 서울옵토디바이스주식회사 | 개선된 발광 효율을 갖는 발광다이오드 및 제조방법 |
KR101125025B1 (ko) | 2010-07-23 | 2012-03-27 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광소자 및 그 제조방법 |
DE102010033137A1 (de) * | 2010-08-03 | 2012-02-09 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Leuchtdiodenchip |
JP2014515559A (ja) * | 2011-06-01 | 2014-06-30 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | 発光デバイスを支持基板に取り付ける方法 |
KR101500027B1 (ko) | 2011-07-27 | 2015-03-18 | 엘지이노텍 주식회사 | 반도체 발광소자 |
KR101654339B1 (ko) * | 2011-10-28 | 2016-09-06 | 서울반도체 주식회사 | 웨이퍼 레벨 발광 다이오드 패키지 및 그것을 제조하는 방법 |
US9437783B2 (en) * | 2012-05-08 | 2016-09-06 | Cree, Inc. | Light emitting diode (LED) contact structures and process for fabricating the same |
KR20140073351A (ko) | 2012-12-06 | 2014-06-16 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 소자 |
CN103199183B (zh) * | 2013-04-08 | 2016-01-27 | 厦门市三安光电科技有限公司 | 一种提高垂直发光二极管芯片亮度的封装结构 |
US10439111B2 (en) | 2014-05-14 | 2019-10-08 | Genesis Photonics Inc. | Light emitting device and manufacturing method thereof |
US9997676B2 (en) | 2014-05-14 | 2018-06-12 | Genesis Photonics Inc. | Light emitting device and manufacturing method thereof |
TWI557952B (zh) | 2014-06-12 | 2016-11-11 | 新世紀光電股份有限公司 | 發光元件 |
TWI578574B (zh) * | 2014-07-14 | 2017-04-11 | 新世紀光電股份有限公司 | 發光元件結構 |
US20160181476A1 (en) * | 2014-12-17 | 2016-06-23 | Apple Inc. | Micro led with dielectric side mirror |
WO2016122725A1 (en) * | 2015-01-30 | 2016-08-04 | Technologies Llc Sxaymiq | Micro-light emitting diode with metal side mirror |
TWI657597B (zh) | 2015-03-18 | 2019-04-21 | 新世紀光電股份有限公司 | 側照式發光二極體結構及其製造方法 |
KR101771461B1 (ko) * | 2015-04-24 | 2017-08-25 | 엘지전자 주식회사 | 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법 |
CN106549092A (zh) | 2015-09-18 | 2017-03-29 | 新世纪光电股份有限公司 | 发光装置及其制造方法 |
KR102412409B1 (ko) * | 2015-10-26 | 2022-06-23 | 엘지전자 주식회사 | 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법 |
DE102016104965A1 (de) | 2016-03-17 | 2017-09-21 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Lichtemittierender Halbleiterchip und Verfahren zur Herstellung eines lichtemittierenden Halbleiterchips |
TWI651870B (zh) | 2016-10-19 | 2019-02-21 | 新世紀光電股份有限公司 | 發光裝置及其製造方法 |
US10121940B1 (en) * | 2017-04-27 | 2018-11-06 | Lg Electronics Inc. | Vehicle lamp using semiconductor light emitting device |
US10784423B2 (en) | 2017-11-05 | 2020-09-22 | Genesis Photonics Inc. | Light emitting device |
CN109755220B (zh) | 2017-11-05 | 2022-09-02 | 新世纪光电股份有限公司 | 发光装置及其制作方法 |
DE102018103291A1 (de) * | 2018-02-14 | 2019-08-14 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelektronisches halbleiterbauteil und verfahren zur herstellung eines optoelektronischen halbleiterbauteils |
KR102443027B1 (ko) | 2018-03-02 | 2022-09-14 | 삼성전자주식회사 | 반도체 발광소자 |
CN112582509B (zh) * | 2019-09-30 | 2022-07-08 | 成都辰显光电有限公司 | 微发光二极管芯片及显示面板 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005259768A (ja) * | 2004-03-09 | 2005-09-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 発光素子およびその製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20000008284A (ko) | 1998-07-11 | 2000-02-07 | 구자홍 | 발광 다이오드 및 그 제조방법 |
KR100613272B1 (ko) | 2003-12-30 | 2006-08-18 | 주식회사 이츠웰 | 수직형 전극 구조를 가지는 발광 다이오드 및 그 제조 방법 |
US7432119B2 (en) * | 2005-01-11 | 2008-10-07 | Semileds Corporation | Light emitting diode with conducting metal substrate |
EP2041802B1 (en) * | 2006-06-23 | 2013-11-13 | LG Electronics Inc. | Light emitting diode having vertical topology and method of making the same |
-
2005
- 2005-11-23 KR KR1020050112162A patent/KR100640496B1/ko active IP Right Grant
-
2006
- 2006-09-15 JP JP2006251270A patent/JP2007142368A/ja active Pending
- 2006-10-16 US US11/581,003 patent/US7372078B2/en active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005259768A (ja) * | 2004-03-09 | 2005-09-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 発光素子およびその製造方法 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010123921A (ja) * | 2008-10-22 | 2010-06-03 | Nichia Corp | 窒化物半導体発光素子の製造方法及び窒化物半導体発光素子 |
JP2012533873A (ja) * | 2009-07-17 | 2012-12-27 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | オプトエレクトロニクス半導体コンポーネント、および無機オプトエレクトロニクス半導体コンポーネントの製造方法 |
US8698178B2 (en) | 2009-07-17 | 2014-04-15 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelectronic semiconductor component and method for producing an inorganic optoelectronic semiconductor component |
US9935245B2 (en) | 2009-10-15 | 2018-04-03 | Lg Innotek Co., Ltd. | Semiconductor light-emitting device and method for fabricating the same |
JP2011086907A (ja) * | 2009-10-15 | 2011-04-28 | Lg Innotek Co Ltd | 半導体発光素子 |
US10636944B2 (en) | 2009-10-15 | 2020-04-28 | Lg Innotek Co., Ltd. | Semiconductor light-emitting device and method for fabricating the same |
US8421105B2 (en) | 2009-10-15 | 2013-04-16 | Lg Innotek Co., Ltd. | Semiconductor light-emitting device and method for fabricating the same |
US8513679B2 (en) | 2009-10-15 | 2013-08-20 | Lg Innotek Co., Ltd. | Semiconductor light-emitting device and method for fabricating the same |
US8772803B2 (en) | 2009-10-15 | 2014-07-08 | Lg Innotek Co., Ltd. | Semiconductor light-emitting device and method for fabricating the same |
US9117971B2 (en) | 2009-10-15 | 2015-08-25 | Lg Innotek Co., Ltd. | Semiconductor light-emitting device and method for fabricating the same |
US8786056B2 (en) | 2010-06-09 | 2014-07-22 | Nichia Corporation | Semiconductor light emitting elements comprising a plating substrate with a projecting tab, or comprising an exposed seed layer |
US9490388B2 (en) | 2010-06-09 | 2016-11-08 | Nichia Corporation | Semiconductor light emitting element fabrication method |
JP2012138638A (ja) * | 2012-04-23 | 2012-07-19 | Sharp Corp | 窒化物半導体発光素子およびその製造方法 |
WO2018105810A1 (ko) * | 2016-12-07 | 2018-06-14 | 엘지전자 주식회사 | 반도체 발광소자를 이용한 디스플레이 장치 |
US11355673B2 (en) | 2016-12-07 | 2022-06-07 | Lg Electronics Inc. | Display device using semiconductor light emitting element |
US11949047B2 (en) | 2016-12-07 | 2024-04-02 | Lg Electronics Inc. | Display device using semiconductor light emitting element |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20070114552A1 (en) | 2007-05-24 |
KR100640496B1 (ko) | 2006-11-01 |
US7372078B2 (en) | 2008-05-13 |
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Date | Code | Title | Description |
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|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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A602 | Written permission of extension of time |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A711 | Notification of change in applicant |
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|
A072 | Dismissal of procedure [no reply to invitation to correct request for examination] |
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