JP2007139140A - 回転運動伝達装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シール機構が、筒状支持部材の内部にあって、動力伝達軸の外周にフランジ状に突設されて動力伝達軸と一体に回転するリング状回転板と、リング状回転板と対向しかつその外周面を筒状支持部材の内周面に接して筒状支持部材の内部に保持されると共に、その中心孔には動力伝達軸が回転自在に挿通されるリング状静止板と、リング状静止板上の周方向等間隔の複数箇所を圧気を介して弾性的に押圧することにより、リング状静止板をリング状回転板へと圧接させる圧気式付勢部材と、を含み、それにより、リング状回転板とリング状静止板との摺り合わせ面を介して両雰囲気間をシールする。
【選択図】図1
Description
2 真空チャンバの容器壁
3 筒状支持部材
3a 取付用フランジ
4 動力伝達軸
5 回転軸受け
6 リング状回転板
6a,6a´ 対向面(テーパー面)
7 リング状静止板
7a 対向面
7b 中心孔
8 圧気式付勢部材
9 エアシリンダ
10 エア通路
71 基部
72 段部
73 第1の湾曲部
74 第2の湾曲部
75 リング状切り込み溝
c1〜c6 エアシリンダのプランジャによる押圧位置
P1,Px 摺り合わせ面の周縁
Claims (3)
- 大気側雰囲気と真空側雰囲気等のように、気圧差の存在する2つの雰囲気を隔てる隔壁に貫通固定されて両雰囲気間を連通する筒状支持部材と、
筒状支持部材の内部に挿通されかつ筒状支持部材に内装された回転軸受けを介して支持された動力伝達軸と、
筒状支持部材の内周面と動力伝達軸との隙間をシールするためのシール機構とを有し、
シール機構が、
筒状支持部材の内部にあって、動力伝達軸の外周にフランジ状に突設されて動力伝達軸と一体に回転するリング状回転板と、
リング状回転板と対向しかつその外周面を筒状支持部材の内周面に接して筒状支持部材の内部に保持されると共に、その中心孔には動力伝達軸が回転自在に挿通されるリング状静止板と、
リング状静止板上の周方向等間隔の複数箇所を圧気を介して弾性的に押圧することにより、リング状静止板をリング状回転板へと圧接させる圧気式付勢部材と、を含み、
リング状回転板とリング状静止板との摺り合わせ面を介して両雰囲気間をシールする、ことを特徴とする回転運動伝達装置。 - リング状回転板とリング状静止板とのいずれか一方の対向面は、半径方向に沿って傾斜しかつ表面が平滑処理されたテーパー面とされ、かつそのテーパー面は他方の部材の対向面に比べて摩耗しにくい硬質素材で形成されている、ことを特徴とする請求項1に記載の回転運動伝達装置。
- テーパー面との対向面は、半径方向に沿って湾曲する湾曲面とされている、ことを特徴とする請求項2に記載の回転運動伝達装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140044267A (ko) | 2012-10-04 | 2014-04-14 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 성막 방법 및 성막 장치 |
KR20160130994A (ko) | 2014-03-11 | 2016-11-15 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 플라즈마 처리 장치 및 성막 방법 |
CN110273843A (zh) * | 2019-08-06 | 2019-09-24 | 亚太泵阀有限公司 | 一种潜水电泵独立油腔密封结构 |
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-
2005
- 2005-11-22 JP JP2005336612A patent/JP4827502B2/ja not_active Expired - Fee Related
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