JP2004036897A - 真空チャンバーに用いる回転軸のシール機構 - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 52
- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 38
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 3
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 description 24
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 22
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 3
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004705 High-molecular-weight polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 238000013024 troubleshooting Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Sealing With Elastic Sealing Lips (AREA)
- Sealing Devices (AREA)
- Sealing Of Bearings (AREA)
Abstract
シール性能を向上することができ、シールの分解点検および再組み立てを可能にするとともに、製品歩留りを向上することができる真空チャンバーに用いる回転軸のシール機構を提供する。
【解決手段】
内部に回転軸32を挿通支持した中空支持部材31が真空チャンバー100と大気中とに跨るように設置され、回転軸32と中空支持部材31との間の回転軸32の軸方向に真空シール機構26、塵埃が真空チャンバー100内に飛散するのを防止するダストシール24が大気側より順次装着され、真空シール機構26およびダストシール24は、大気に向かって開く端を有する環状溝で形成されたシール部24a、25a、26aと、環状溝内に内装され回転軸32に対して接圧するばね部24b、25b、26bとを有してなる。
【選択図】 図1
Description
11,31 中空支持部材
12,32 回転軸
12a,32a 第1の回転軸部
12b,32b 第2の回転軸部
13 第1のアーム
14 第2のアーム
15 ハンド
16a,16b 軸受
17 ボルト
18,19 磁性流体シール
20 第2の通路
21 フィルタケース
22 フィルタ
23 第1の通路
24 ダストシール
26 空気流防止シール(真空シール機構)
100 真空チャンバー
101 排気口
102 ベース
a 第1の空間
b 第2の空間
Claims (3)
- 真空チャンバーと大気中とに跨るように配置され、内部に回転軸を挿通支持した中空支持部材と、前記回転軸と前記中空支持部材との間に設けられる真空シール機構と、前記真空シール機構と大気との間で前記回転軸を前記中空支持部材の中で回転可能に受ける軸受と、を備え、前記真空シール機構は、大気に向かって開く端を有する環状溝で形成されたシール部と、前記環状溝内に内装され前記回転軸に対して接圧するばね部と、を有することを特徴とする真空チャンバーに用いる回転軸のシール機構。
- 真空チャンバーと大気中とに跨るように配置された中空支持部材と、前記中空支持部材の内部に挿通支持された中空状の第1の回転軸部および前記第1の回転軸部内に挿通支持された第2の回転軸部からなる回転軸と、前記中空支持部材と前記第1の回転軸部との間および前記第1の回転軸部と前記第2の回転軸部との間にそれぞれ設けられる真空シール機構と、前記真空シール機構と大気との間に配置され、前記第1の回転軸部を前記中空支持部材の中でおよび前記第2の回転軸部を前記第1の回転軸部の中で回転可能にそれぞれ受ける軸受と、を備え、前記真空シール機構は、大気に向かって開く端を有する環状溝で形成されたシール部と、前記環状溝内に内装され前記回転軸に対して接圧するばね部と、を有することを特徴とする真空チャンバーに用いる回転軸のシール機構。
- 前記真空シール機構と前記真空チャンバーとの間で前記回転軸と前記中空支持部材との間に配置されるダストシールを備え、前記ダストシールは、大気に向かって開く端を有する環状溝で形成されたシール部と、環状溝内に内装され回転軸に対して接圧するばね部と、を有し、前記ダストシールのばね部の接圧が前記真空シール機構のばね部の接圧より小さいことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の真空チャンバーに用いる回転軸のシール機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003317069A JP2004036897A (ja) | 2003-09-09 | 2003-09-09 | 真空チャンバーに用いる回転軸のシール機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003317069A JP2004036897A (ja) | 2003-09-09 | 2003-09-09 | 真空チャンバーに用いる回転軸のシール機構 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30444198A Division JP3792417B2 (ja) | 1998-10-26 | 1998-10-26 | 真空チャンバーに用いる回転軸のシール機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004036897A true JP2004036897A (ja) | 2004-02-05 |
Family
ID=31712695
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003317069A Pending JP2004036897A (ja) | 2003-09-09 | 2003-09-09 | 真空チャンバーに用いる回転軸のシール機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004036897A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007139140A (ja) * | 2005-11-22 | 2007-06-07 | Hisashi Watanabe | 回転運動伝達装置 |
JP2022541695A (ja) * | 2020-06-19 | 2022-09-27 | シーリンク株式会社 | 回転軸密閉装置及びこれを用いる半導体基板処理装置 |
-
2003
- 2003-09-09 JP JP2003317069A patent/JP2004036897A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007139140A (ja) * | 2005-11-22 | 2007-06-07 | Hisashi Watanabe | 回転運動伝達装置 |
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US11764102B2 (en) | 2020-06-19 | 2023-09-19 | Sealink Corp. | Rotating shaft sealing device and processing apparatus for semiconductor substrate using the same |
JP7357390B2 (ja) | 2020-06-19 | 2023-10-06 | シーリンク株式会社 | 回転軸密閉装置及びこれを用いる半導体基板処理装置 |
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A711 | Notification of change in applicant |
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|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050920 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080812 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081008 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090224 |